【課題】ノイズ光が入射した場合に誤った計測が行われるのを防止して、計測の精度を確保する。
【解決手段】検出用の光を投光する投光部１０１と、投光された光に対する反射光を受光する受光部１０２と、変位を計測する計測処理部として機能するＣＰＵ１０とを具備するセンサ１のＣＰＵ１０に、受光量の変化を表すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段の機能を付与する。ＣＰＵ１０は、判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別した場合には、計測処理を行って結果を出力するが、判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱すると判別した場合には、計測結果が出力されないように制御する。 （もっと読む）

【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】ベッドを基準にして監視すべき領域を自動的に検出することにより、監視対象の人の動作を正確かつ再現性よく検出することを可能にした監視装置を提供する。
【解決手段】距離画像センサ１０は、画素値が物体までの距離値である距離画像を生成する。距離画像センサ１０の視野領域には、監視対象であるベッドの全体を含む。ベッド認識部２１は、距離画像センサ１０が出力した距離画像を用いてベッドの位置を抽出する。人認識部２２は、距離画像センサ１０が出力した距離画像のうちベッド認識部２１により認識したベッドの範囲内と範囲外とにおいて人が占有する領域を検出する。行動判定部２３は、ベッド認識部２１により検出したベッドと人認識部２２により検出した人の領域との組み合わせによりベッドに対する人の動作を判別する。 （もっと読む）

【課題】撮像領域内の各地点からの光に含まれる偏光成分間の大きさの違いを示す指標値に基づく画素値をもった偏光情報画像の高精度な解析処理を実現することを課題とする。
【解決手段】水平偏光成分Ｐ及び鉛直偏光成分Ｓの大きさの違いを示す差分偏光度（指標値）を算出し、算出した各指標値に基づく画素値をもった差分偏光度画像（偏光情報画像）を撮像するという撮像動作を連続して行うことで、露光量が互いに異なる例えば３種類の偏光情報画像を撮像する。そして、過去の撮像動作により撮像された３種類の偏光情報画像の中から、偏光成分間の大きさの違いが最大である特定の偏光情報画像を選定し、選定した特定の偏光情報画像に対応する露光量に基づいて後の撮像動作時の露光量を決定する。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体に垂直でかつ幅方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、被測定物体に垂直でかつ搬送方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、撮像素子上の結像座標を被測定物体の測定座標に変換する座標変換器と、顕在形状演算器を備えた。 （もっと読む）

【課題】三次元計測を行うにあたり、計測効率の低下を抑制しつつ、計測精度の向上等を図ることのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１０は、プリント基板１を搬送するコンベア１３と、プリント基板１の表面に対し斜め上方から所定の光を照射する照明装置１４と、当該光の照射されたプリント基板１を撮像するカメラ１５とを備えている。照明装置１４は、第１照明１４Ａ〜第８照明１４Ｈを備えている。そして、三次元計測を目的として第１輝度のパターン光の下で複数回の撮像が行われる合間に、三次元計測を目的とした第２輝度のパターン光の下での複数回の撮像や、輝度画像データを取得することを目的とした第１輝度及び第２輝度の各色成分の均一光の下での撮像が行われる。 （もっと読む）

【課題】複数の奥行計測装置が近傍で動作している場合、近傍の奥行計測装置が発光する平面パターンが妨害して平面パターンの認識ができず奥行計算ができない場合があった。
【解決手段】平面パターンの発光を間欠的にして、ほぼ発光期間のみを露光期間とすることにより、近傍の奥行計測装置が発光する期間に露光する確率を減らす。
これにより平面パターンが認識できなくなる確率が減じる。また、平面パターンが認識できないことを検出して発光のタイミングを変える。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤカメラの飽和露光量を超える過大な入力光量に対して、最短時間で測定可能なＣＣＤカメラ信号を得ることが可能な測定装置、及びその応答時間の短縮方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＣＣＤカメラ１ａの露光時間を制御する測定装置１００の応答時間の短縮方法であって、ＣＣＤカメラは、異なる透過率の２つ以上のフィルタ出力を同時に使用し、入力光量の最小値を検出する第１の透過率の大きいフィルタ出力の測定範囲の最大値（飽和値）と、第２の透過率の低い第２のフィルタ出力の測定範囲の（最小値）とがラップするような透過率とし、第１のフィルタ出力が飽和している場合には、前記第２のフィルタ出力から、前記第１の透過率と前記第２の透過率との比率から、前記第１のフィルタ出力に換算した露光時間の補正ゲインを求め、一回の制御周期（測定周期）で入力光量を検知し、次の制御周期で第１のフィルタの露光時間を更新する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、光の波長による、計測対象物の変位を計測する精度の変動を抑えた共焦点計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置１００は、白色ＬＥＤ２１と、白色ＬＥＤ２１から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ１と、回折レンズ１より計測対象物２００側に配置され、回折レンズ１で色収差を生じさせた光を計測対象物２００に集光する対物レンズ２と、対物レンズ２で集光した光のうち、計測対象物２００において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ１の焦点距離は、回折レンズ１から対物レンズ２までの距離と、対物レンズ２の焦点距離との差より大きい。 （もっと読む）

【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラＣＡＭ１は鏡筒ＫＴ１の一端と接続され、鏡筒ＫＴ１の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ１Ｃの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒ＫＴ１とチップ１Ｃとの間には、面発光照明ＳＳＬ１、拡散板ＫＢ１およびハーフミラーＴＫ１を内部に備え、カメラＣＡＭ１と同じ光軸でチップ１Ｃの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒ＫＴ２を配置する。 （もっと読む）

【課題】 屋外において昼夜に亘って連続的に変位計測が可能で計測誤差が少ない変位計測用の自己発光型ターゲット、及びそれを備えた変位計測システムを提供すること。
【解決手段】 撮像手段（カメラ３）で撮像した画像を解析手段（ＰＣ４）で解析することにより計測対象物（レール）の変位計測を行う変位計測システム１に用いられ、計測対象物（レール）に取り付けられて自ら発光する変位計測用の自己発光型ターゲット（計測用ターゲット２）を、ケース２０と、このケース２０の背面側内部に取り付けられて発光する発光手段２１と、ケース２０の前面側内部に取り付けられ、蓄光性蛍光体と光透過性物質とを含有して板状に成型された蓄光面材２２と、を備えた内照式の自己発光型ターゲットとする。 （もっと読む）

【課題】対象物を光ストライプで照射し、対象物表面から反射した光を検出することで、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブを提供する。
【解決手段】走査プローブは、（ａ）光ストライプを生成および発するためのストライプ生成手段１４、（ｂ）対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ１６、（ｃ）カメラ１６によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプの強度を調節するための手段を備える。ストライプ長を修正する手段、処理手段のための隔離された区分室、およびスキャナのための取り付け可能なダストカバーを有するスキャナにも関する。 （もっと読む）

【課題】確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行う。
【解決手段】ラインセンサ２５を構成するラインピクセル上の合焦時の光点像（レーザスポットＳ_１）では、レーザ光の光量が絞られる調整制御が行われ、合焦ピクセルから離れた位置となる非合焦時の光点像（レーザスポットＳ_２）では、レーザ光の光量が増加される調整制御が行われるように、あらかじめ定められたテーブルデータに従ったフィードフォワード制御が行われることで、確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行うことができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像環境の変化を検出し、工具寸法を高精度に測定できるように撮像条件を自動的に調整したり、画像を補正するようにした、撮像式工具測定装置および撮像式工具測定方法を提供する。
【解決手段】撮像部１２からの工具像にかかる信号、または画像前処理部２０からの処理信号に基づいて撮像環境・条件を検出する撮像環境・条件検出部２５と、撮像環境・条件検出部２５の検出情報を基に、撮像の適正条件を判断し、調整指令を導出する撮像条件判断・調整指令部２７と、前記撮像条件判断・調整指令部２７からの調整指令信号により、撮像条件を調整する調整手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】反射画像の輝度を適切な輝度に調整することができ、被計測物の三次元形状を正確に計測することが可能な三次元形状計測装置を提供すること。
【解決手段】三次元形状計測装置１００は、輝度が正弦波状に変化する縞状の光パターンを異なる位相で複数回、被計測物に投影する投影手段１０と、光パターンが投影された被計測物の反射画像を撮像する撮像手段２０と、被計測物の反射画像を基に、被計測物の三次元座標を計測する計測手段３１と、を有し、光パターンを被計測物に投影する前に、投影手段１０より所定の光を被計測物に投影し、所定の光が投影された被計測物の反射画像における各画素の輝度階調値と、所定の光の輝度階調値と、を基に、被計測物の光の最大反射率を算出する反射率算出手段３２と、最大反射率に応じて、撮像手段２０が受光する受光量を調整する調整手段３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に投光する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する照明装置１２０を制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測をより短時間で実現することのできる三次元計測装置及び基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、プリント基板に対し光を照射する照明装置と、プリント基板上の前記照射された部分を撮像するＣＣＤカメラと、各種制御を行う制御装置とを備えている。そして、検査対象領域が輝度飽和しない第１露光時間で第１撮像処理を行い、計測基準領域の計測に適した所定の露光時間のうち、前記第１露光時間で不足した分に相当する第２露光時間で第２撮像処理を行う。続いて、検査対象領域に関しては、第１撮像処理により得た画像データの値を用い、計測基準領域に関しては、第１撮像処理により得た画像データの値と、第２撮像処理により得た画像データの値とを合算した値を用いた三次元計測用の画像データを作成し、当該三次元計測用の画像データに基づき、三次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にて目標領域の情報を精度よく取得できる情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光を前記目標領域に向けて投射する投射光学系１０と、前記目標領域からの反射光を受光して信号を出力するＣＭＯＳイメージセンサ１２５とを有する。レーザ光が出射されたときにＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される第１の撮像データから、レーザ光が出射されていないときにＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される第２の撮像データが減算され、減算結果が、メモリ２５に記憶される。３次元距離演算部２１ｃは、メモリ２５に記憶された減算結果に基づいて、３次元距離情報を演算し取得する。 （もっと読む）