【課題】製品の設計時ＣＡＤデータおよび測定点群データを用いて、製品の検査に必要な寸法の測定の精度を向上する。
【解決手段】被検査物となる製品５を並進移動させ、または、回転移動させる駆動ユニット３、および製品５にレーザ光を照射して走査するレーザスキャナ４と接続し、被検査物の部位の寸法を測定する非接触式三次元寸法測定装置１において、まず、寸法を測定したい部位を特定する寸法測定用データを製品５の設計時三次元ＣＡＤデータに追加する。次に、レーザスキャナ４の走査結果に基づいて、製品５にレーザ光を照射した点の、三次元の座標値を含む点群データを生成し、寸法測定用データを追加した三次元ＣＡＤデータを点群データに重ね合わせる。最後に、重ね合わせがなされた点群データにおいて、寸法測定用データにより特定した部位の寸法を測定する。測定結果は、プリンタ２から検査票として印刷出力する。 （もっと読む）

【解決手段】部品の物理的特徴を計測するシステムと方法であって、システムは光源、検知装置、反射装置、及び保持マウントを有している。方法は、部品が保持マウント内に配置されるように部品をシステムに連結するステップと、システムを動作させて光源が光源光路に沿って伝搬するコリメート光線を放射するようにするステップと、を有し、コリメート光線は、センサ光路に沿って伝搬するように反射され、部品の影を生成するように部品に入射し、検知装置はデータを影に対応して生成する。画像データは部品に対応して結果データを生成するために処理され、結果データは平滑化アルゴリズム、機能サイズアルゴリズム、センタリングアルゴリズムの少なくとも１つにさらに対応している。 （もっと読む）

本発明は、包装容器に製品を挿入するピッキングラインであって、搬送方向（ｘ）における製品（１４）の供給及び搬送のためのコンベヤベルト（１２）と、コンベヤベルト（１２）における製品（１４）のポジションを特定するためのポジション画像処理系（２０）を備えた少なくとも１つのピッカ（１８）とが設けられている形式のものに関する。このような形式のピッキングラインにおいて本発明の構成では、搬送方向（ｘ）で見て少なくとも１つのピッカ（１８）の上流側に、品質画像処理系（１６）が配置されていて、該品質画像処理系（１６）は、コンベヤベルト（１２）上を搬送方向（ｘ）において品質画像処理系（１６）のところを通過する製品（１４）を、所定の品質特徴に関して検査するために働き、かつ搬送方向（ｘ）で見て品質画像処理系（１６）の下流側に続くピッカ（１８）に伝えられる、製品（１４）の把持又は非把持のための制御命令として役立つ品質情報と、製品（１４）との対応付けのために働く品質画像処理系（１６）である。
（もっと読む）

【課題】横分解能が極めて高く、高精細、高コントラストの干渉波形が得られるレーザ走査干渉計を提供する。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光をコリメータレンズ１３で平行レーザ光束Ｂとし、走査ミラー１５で走査光Ｂ１〜Ｂ３に変換し、テレセントリックｆθレンズ１６を通して参照面１７ａ及び被観察面１８ａに照射する。参照面１７ａ及び被観察面１８ａからの反射光は、テレセントリックｆθレンズ１６で反射平行光束Ｂｒとなり、走査ミラー１５で反射し、ビームスプリッタ１４を通過して結像レンズ２０で集光され、ピンホール２１ａを通過して受光素子２２に入射する。受光素子２２で反射平行光束Ｂｒの光量を計測して演算手段を含む制御部２３に送信し、制御部２３で受光素子２２から得た光量信号を時系列データとして取得し、データ処理を行って表示手段２４に明暗データからなる干渉波形を出力する。 （もっと読む）

ロードサイドの多視点パノラマを生成する方法が開示される。方法は、移動車両上に装着された少なくとも１つの地上レーザスキャナにより取得され、各々が位置データ及び方向データと関連付けられるレーザスキャンサンプルのセットを得ることと、少なくとも１つの画像シーケンスを得ることであり、各画像シーケンスは移動車両上に装着された地上カメラを使用して取得され、少なくとも１つの画像シーケンスの各画像は位置データ及び方向データと関連付けられる少なくとも１つの画像シーケンスを得ることと、レーザスキャンサンプルのセットから表面を導き出すこと及びレーザスキャンサンプルと関連付けられる位置データに依存して前記表面の場所を決定することと、表面の場所、並びに各画像と関連付けられる位置データ及び方向データに依存して、少なくとも１つの画像シーケンスから前記表面に対する多視点パノラマを生成することとを含む。
（もっと読む）

【課題】検査環境による検査対象物の形状の良否判定の精度が検査環境によって低下することを防止する。
【解決手段】形状検査装置は、検査対象物を照明するための検査光源と、撮像手段と、前記検査光源を点灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データである検査データを取得する検査データ取得手段と、前記検査光源を消灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データであるオフセットデータを取得するオフセットデータ取得手段と、前記検査データと前記オフセットデータの差分を示す差分データを取得する差分データ取得手段と、前記差分データに基づいて前記検査対象物の形状の良否を判定する良否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥を漏れなく精度良く検査するとともに、検査結果を分かりやすく正確に表示し、検査に必要な各装置を自在に増設して、効率良く外観検査を行うシステムを安価に提供する。
【解決手段】外観検査システム１０で扱うレンズ１７は、検査トレイ１６に配列され、外観検査装置２２で良，不良，再検査の何れかに各々評価される。レンズ１７の評価や検査に用いた画像は、サーバ２１のデータベース２８に登録される。レンズ１７を配置した検査トレイ１６がトレイ保管庫２６に保管されている間に、再検査装置２３でサーバ２１から検査時の画像等が読み出され、再検査のレンズ１７は良又は不良に分類される。検査結果表示装置２４には検査時のままレンズが配列された検査トレイ１６が配置され、サーバ２１から取得した各々のレンズ１７の評価が各々のレンズ１７に直接的に表示され、レンズ１７は選別される。 （もっと読む）

【課題】 接続用の端子がパッケージの実装面内に複数設けられているＩＣチップやコネクタ等を測定の対象とした場合であっても、前記各端子と、この端子以外のパッケージの樹脂面とを的確に判別し、前記端子に対する水平基準面からの正確な浮き上がり度を正確に測定することのできる端子平坦度測定装置及び端子平坦度測定方法を提供することである。
【解決手段】 測定対象であるワーク２２のピン２３を載置するガラス基板２４と、このガラス基板２４に沿って光センサ２５を走査する走査手段３２と、この走査手段３２によって前記光センサ２５から各ピン２３に向けて照射されたレーザ光の反射光量の変化に基づいて各ピン２３の位置を検出する端子位置検出手段３３と、前記各ピン２３に向けて照射されたレーザ光の焦点調整に基づいて各ピン２３の前記ガラス基板２４面からの浮き上がり度を測定する端子高さ検出手段３４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】人為的作業を省きながら、棒材の真直度判定（測定）を機械的、自動的に実施可能にするとともに、作業上の熟練度が要求されず、数値化による真直度の客観的合否判定を実現可能にする。
【解決手段】 直線状のナイフエッジ２ａを持つ基準長尺部材２と、前記ナイフエッジ２ａに対し所定距離を置いて対向設置された棒材支承部材３、４とが設けられて前記基準長尺部材２および前記棒材９の長手方向に移動可能に設置された架台１と、前記基準長尺部材２および前記棒材支承部材２，３に支承された前記棒材９の上方および下方に設置された発光手段５および受光手段６と、を備え、真直度演算手段７に、前記受光手段６から得られる出力信号に基づいて、前記棒材９および前記ナイフエッジ２ａ間の距離を該棒材９の長手方向の測定ポイントごとに演算させる。 （もっと読む）

【課題】 路面画像を縮小して表示する際にも、クラックの位置や進展形状を識別可能とする技術を提供する。
【解決手段】 微細なクラックの位置と進展形状を識別可能な縮小路面画像を作成する方法であって、道路を走行しながら路面を繰り返し撮影する工程と、撮影された原画像をつなぎ合わせた路面画像を記述する路面画像データを生成する工程と、路面画像データから、路面画像におけるクラックの位置と進展形状を特定する工程と、路面画像データから、路面画像を縮小した縮小路面画像を記述する縮小路面画像データを生成する工程と、路面画像から縮小路面画像への縮小倍率に従って、路面画像におけるクラックの位置と進展形状から、縮小路面画像におけるクラックの位置と進展形状を算出する工程と、縮小路面画像におけるクラックの位置と進展形状を縮小路面画像に識別可能に重ね合わせたクラック識別画像を出力する工程を備える方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、炭素繊維布帛の欠点を簡便、かつ、高精度で、信頼性高く検査できる炭素繊維布帛の検査装置および検査方法を提案すること。
【解決手段】
本発明の炭素繊維布帛の検査装置は、炭素繊維布帛を移動させる送出装置と巻取装置と、それらの間に設置する、少なくとも次の（ａ）〜（ｈ）の手段を備えることを特徴とする炭素繊維布帛の布帛欠点の位置および種類を検出する検査装置である。
（ａ）照明手段
（ｂ）画像取得手段
（ｃ）遮光手段
（ｄ）撮像した取得画像を数値化した布帛情報に処理する画像処理手段
（ｅ）炭素繊維布帛形態を数値化した布帛情報を予め基準情報として登録しておく記憶手段
（ｆ）布帛情報と基準情報とを比較して、布帛欠点の在否、および、欠点の位置ならびに種類を判別する判別手段
（ｇ）出力手段
（ｈ）炭素繊維布帛の移動量または前記画像取得手段の移動量を検出する移動量検出手段 （もっと読む）

【課題】基板と、該基板に配された構成部材と、を含み、該構成部材が配された側とは反対の側から該構成部材が基板を介して視認可能である検査対象物における基板の欠陥のみを確実に検出することができる欠陥検出方法等を提供する。
【課題手段】本発明は、基板と、前記基板に配された構成部材と、を含み、前記構成部材が配された側とは反対の側から該構成部材が前記基板を介して視認可能である検査対象物における前記基板の欠陥を検出する欠陥検出方法において、前記検査対象物の基板面に対して、前記構成部材が配された側とは反対の側から照明光を照射する照明工程と、前記基板面から得られる光の特定波長領域のみを受光して前記基板面を撮像する撮像工程と、前記基板面の撮像画像又は当該撮像画像に対して所定の補正処理を行った後の撮像画像から前記欠陥を検出する検出工程と、を有し、前記特定波長領域は、前記基板面から得られる反射光量が、前記構成部材から得られる反射光量よりも大きい波長帯域であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、不良が発生したウエハの端部の状態をプロセス全体にわたって容易に観察、追跡ができる機能を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ウエハ外周部を検査するウエハ表面検査装置において、ウエハ外周部の画像を撮るレンズ系およびＣＣＤカメラと、撮った画像データを記憶する記憶手段と、記憶装置に記憶されている画像データを表示する表示手段とを有することを特徴とする。
更に、具体的に述べると、本発明はプリアライメント部に載せてウエハを回転させ、ウエハのオリエンテーションフラット部あるいはノッチ部の位置合わせを行う部位に、レンズ系とＣＣＤカメラにより、ウエハ端部の外周１週分の画像を記録し、記憶装置に取り込み、ＣＲＴ上に表示させる機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査部位への検査領域の設定を高い精度で行えるようにして、検査の精度を高める。
【解決手段】検査対象の基板について、あらかじめ全体画像１０３を作成し、この全体画像１０３上の被検査部位に検査領域３１を対応づけておく。検査時に、撮像対象領域３０に対応する位置にカメラ３Ａを位置決めして撮像し、処理対象画像４０を取得すると、全体画像１０３上でこの処理対象画像４０に対応する領域４１を抽出し、この領域４１の撮像対象領域３０に対するずれ量Δｘ，Δｙを算出する。さらに、検査領域３１の設定位置をずれ量Δｘ，Δｙを用いて補正し、この補正後の座標に基づき、処理対象画像４０に検査領域を設定する。 （もっと読む）

【課題】 表面および裏面の両面形状を同時に高精度に測定することができる基板の両面形状測定装置及び基板の両面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 測定装置本体１は、金属製のベッド２上の一端部にほぼ垂直状態に配置した縦型定盤３の基準平面４と、それにほぼ平行に被測定基板Ｐを保持する保持機構５と、変位計走査コラム９とを有する。上記変位計走査コラム９は、第１（第２）の変位計を搭載する第１のエアスライド、第３の変位計を搭載する第２のエアスライドを備え、一対のＶ溝１０に沿って水平軸方向に移動する。また、第１（第２）のエアスライドが垂直軸方向に移動する。上記第１（第２）の変位計の走査により被測定基板Ｐの板面の一面の表面形状を測定し、同時に、上記第３の変位計の走査により上記板面の他面の表面形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、どのような色合いの物体であってもシルエットを抽出し得て、また、より高精度でシルエットを抽出し得るシルエット抽出装置及び該方法を提供する。また、これにより得たシルエットに基づいて視体積交差法により物体の３次元形状データ（視体積）を生成する３次元形状データ生成装置及び該方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る、互いに異なる複数の方向から撮影して取得される複数の背景画像と複数の取得画像とに基づいてシルエットをそれぞれ抽出し視体積交差法により物体の３次元形状データを生成する３次元形状データ生成装置１は、複数の領域のそれぞれにランダムに色が割り当てられているランダムパターン背景が背景に用いられ、物体上の対象領域における拡散反射色を一の取得画像を除く他の取得画像から推定し、物体の観測色と背景色との近さに起因するシルエット欠損を修復する。 （もっと読む）

【課題】噴流はんだ槽における二次噴流ノズルの構成部分、特にリヤーフォーマーの高さ、水平状態、傾斜角度等は、はんだ付け不良、はんだの付着量に大いに影響する。従来リヤーフォーマーの位置調整は作業者が曲尺を用いて経験や感で行っていたため、正確な位置調整ができなかった。
【解決手段】本発明は、レーザーセンサーを横方に摺動可能に設置した位置調整装置である。また本発明は、不良のない二次噴流ノズルの位置を標準位置として予めその距離を測定しておく。そして新たに二次噴流ノズルの位置調整を行う場合、標準位置を基準にして調整を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査面に存在する欠陥に対して照射光の回り込みを四方八方から生じさせるような照明を用いながらも欠陥の誤検出が抑制された表面検査技術を提供する。
【解決手段】複数の発光素子から構成された照明部による照射光によって照明された被検査面に対する撮像カメラ４の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段６とからなる表面欠陥検査装置。欠陥評価手段が、出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも１回行う前処理部６０Ａと、この前処理部から出力された画像データから被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部６０Ｂと、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部６０Ｃを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被検査体が進行方向と垂直な幅方向に変位してしまう場合に周期性欠陥を低負荷の計算で検出でき,また,周期性欠陥及びその周期性をより正確に検出することが可能な周期性欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体を撮像して得た画像データにおいて検出された欠陥を，欠陥の特性で分類し，前記画像データ全体に分割配置された各周期性判定領域に含まれる周期性欠陥の候補をそれぞれ計数し，前記周期性欠陥の候補の個数が第１の閾値を上回る場合に，当該周期性判定領域について，隣接する前記周期性欠陥の候補同士のヒストグラムを作成し，前記ヒストグラムの前記横軸の所定範囲内にある各値に，対応する前記横軸の値を重みを付けて加算し，得た加工ヒストグラムにおいて，第２の閾値を上回る頻度が存在する場合に，周期性欠陥を含むと判定する。 （もっと読む）

【課題】ｎｍオーダの３次元計測を行う場合、従来の三角測量法は精度が不足し、垂直走査法、位相シフト法などの手法では多数の検出回数が必要であった。
【解決手段】白色干渉を応用した計測方法で、インターフェログラムの変動の時間的周期と、わずかに差をもたせて光源を周期的に変動させ、ビートとして現れる検出光を少なくとも２度測定して位相分布を求めることで、３次元計測を高速に少ない検出回数で実現できる表面形状測定方法及び表面形状測定装置を提供する。 （もっと読む）