【課題】測定者が測定対象物の大きさを迅速かつ確実に測定することができること。
【解決手段】画像を投影する投影装置において、前記投影装置と前記画像を投影される測定対象物との距離を検出する距離検出部と、前記距離検出部が検出した距離に基づいて、前記測定対象物に実寸大の目盛りの画像を投影する画像投影部と、を備えることを特徴とする投影装置。 （もっと読む）

【課題】大口径凹鏡を用いた三角測量装置を提供する。
【解決手段】本発明は大口径凹鏡を用いた三角測量装置に係り、さらに詳しくは、大口径凹鏡を用いて物体に入射する光量の集中度を高めることにより正確な映像を取得して精度を高める大口径凹鏡を用いた三角測量装置に関する。本発明の装置は、ライン光を発する任意の照明と、前記任意の照明から発せられたライン光を前記物体の表面に向かって反射させるための大口径凹鏡と、前記物体から反射された光を受光するためのカメラと、を備えることを特徴とする。これにより、本発明の装置は、大口径凹鏡により収束光を形成して取得された３次元バンプの測定領域が一層広くなり、しかも、形状誤差が減少されるという効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】画像情報の明るさを適切に制御することができる画像処理装置の提供。
【解決手段】画像処理装置は、落射照明用ＬＥＤ２１、及び透過照明用ＬＥＤ３と、光量設定手段５１と、光量判定手段５２と、電流制御手段５３とを備える。光量設定手段５１は、ＬＥＤ２１，３にて被測定物を照明する光量を設定する。光量判定手段５２は、光量設定手段５１にて設定される光量がＬＥＤ２１，３の低光量域における光量か、高光量域における光量かを判定する。電流制御手段５３は、光量判定手段５２にて低光量域における光量と判定されたときに、ＬＥＤ２１，３に印加する電流をパルス制御する低光量域制御部５３１と、光量判定手段５２にて高光量域における光量と判定されたときに、ＬＥＤ２１，３に印加する電流を制御する高光量域制御部５３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】載置面に対する被観測物の傾きを簡易に観測する。
【解決手段】傾き検査装置２００は、載置面に載置された被観測物（切断装置１００）の載置面に対する傾きを検出するための装置である。傾き検査装置２００は、被観測物に光を照射または投影する光源２１０と、光源２１０と被観測物との間に配置され、第１の方向に延在する第１のスリットおよび当該第１の方向と垂直な第２の方向に延在する第２のスリットを含む遮光板２１８と、遮光板２１８を平面方向に回転可能に支持するとともに、第１のスリットが載置面に対して垂直な状態で遮光板２１８を固定する移動機構とを含む。 （もっと読む）

【課題】スループット速度が改善された基板の特性を測定するための方法および装置を提供する。
【解決手段】基板の特性を測定するための方法および装置である。ターゲットが基板上に存在しており、基板の走査移動の間に測定が実行される。基板の走査移動は、リニアな移動であり、測定は、パルス光源を用いてターゲットの反射像を取得することを含む。１つの光パルスの持続時間は１００ｐｓｅｃである。リソグラフィ装置は、このような測定装置を含み、デバイス製造方法は、このような測定方法を含む。 （もっと読む）

物体の表面法線の勾配を決定する装置であって、方法は、各画像が異なる方向からの照明のもとで取得された、前記物体の３つの２Ｄ画像のデータを受信する手段と、画素からの２つの画像から得られるデータのみがあるように、前記画像のどの画素が陰になっているかを定める手段と、前記２つの画像に関して利用可能な前記データを使用して、陰影画素の表面法線の勾配に関する可能な解の範囲を決定する手段と、前記物体の領域上の勾配場の積分可能性を拘束として使用して、コスト関数を最小化することにより、前記勾配に関する解を選定する手段と、を具備する。
【選定図】図１
（もっと読む）

計測システムの照明サブシステム、計測システム、および計測測定のために試験片を照明するための方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】プリント基板上のはんだの変位を、レジストの底部の位置からの変位として測定する。
【解決手段】第１のセンシング手段（ＯＳ１，Ｄ１，Ｄ２）により、プリント板の表面の測定点に垂直に、レジストが透過する波長０．７６〜０．９μｍ内の近赤外光を照射し、測定点からの散乱光を受光する。データ処理部３は、その第１のセンシング手段の出力に基づいてプリント板の表面における各測定点における変位を求める。第２のセンシング手段は、同じ測定点に垂直に対し所定角度斜めの角度で近赤外光を照射し測定点で正反射した正反射光を受光する。測定点判定部５は、その第２のセンシング手段の出力に基づく輝度データにより少なくとも測定点がはんだ箇所であるかレジスト箇所であるかを識別する。測定演算部７は、その識別の結果とデータ処理部が求めた変位とを受けて、レジスト箇所底部の変位を基準として、はんだ箇所の変位を求める。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能である３次元センサ用光導波路およびそれを用いた３次元センサを提供する。
【解決手段】下記（α）の光導波路単層体Ｖが、その厚み方向に同軸的に複数積層されることにより、その積層された枠状の光導波路単層体Ｖの内側空間を測定用空間Ｈにした３次元センサ用光導波路Ｗ₁ が形成されている。
（α）コア３Ａ，３Ｂと、このコア３Ａ，３Ｂを被覆した状態で形成されたオーバークラッド層４とを備え、全体が枠状に形成され、光を出射するコア３Ａの端部が上記枠状の内側の一側部に位置決めされ、上記出射された光を入射するコア３Ｂの端部が上記枠状の内側の他側部に位置決めされた光導波路単層体Ｖ。 （もっと読む）

【課題】照明光が照明された撮影対象物を撮影した画像により、撮影対象物の形状を明確に捉えることのできる画像表示装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】撮影対象物２のまわりをかこむ周囲の複数の位置のそれぞれから順次照明光Ｌを撮影対象物２に照明したときの撮影対象物２の画像がカメラ３によって撮影される。そして該撮影により得られた複数の撮影画像にわたって対応する画素の明度の平均値が撮影画像の画素ごとに算出され、該算出された各平均値が、表示装置６に表示させる撮影対象物２の画像における対応画素の明度として設定される。 （もっと読む）

【課題】個々間で厚さにばらつきのある薄膜部材のパターンマッチングを安定して行うことができる画像認識装置及び画像認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源部８は波長の異なる照明光Ｌを選択的に切り換えて出射し、照明光学系９は光源部８から出射された照明光Ｌを認識マークＭ（薄膜部材）に導いてこれを照明する。制御部１０は、光源部８から出射される照明光Ｌの波長を切り換えて異なる波長の照明光Ｌで認識マークＭを照明しながらカメラ７ｅで認識マークＭの撮像を行うとともに、認識マークＭの撮像に用いている照明光Ｌの波長に応じた認識マークＭのテンプレート画像を記憶部１１から読み出し、撮像によって得られた認識マークＭの画像と記憶部１１から読み出したテンプレート画像とを比較してパターンマッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】ワークがエッジ検出用レーザービームに対して透明である場合にも、ワークのエッジを精度良く検出可能なワークのエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】エッジ検出用レーザービーム発振手段と、該エッジ検出用レーザービーム発振手段から発振されたエッジ検出用レーザービームのコヒーレンスを低下させ、低コヒーレントエッジ検出用レーザービームに変換するコヒーレンス低下手段と、該低コヒーレントエッジ検出用レーザービームを集光して前記保持面又は前記ワークの表面に照射する集光器と、該保持面又は該ワーク表面で反射した低コヒーレントエッジ検出用反射ビームを第２の光路に導くビームスプリッターと、該ビームスプリッターで第２の光路に導かれた該低コヒーレントエッジ検出用反射ビームを受光して光強度に応じた電気信号を出力する受光素子と、該電気信号に基づいて前記ワークのエッジ位置を求める制御手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、湾曲した板状体の検査装置及び検査方法に関し、湾曲した板状体の全面を略均一に検査して、その欠陥検出を正確に行うことにある。
【解決手段】複数の曲率を有する湾曲した板状体へ向けて光を照射する光源と、光源と板状体との間に配設され、該光源から板状体へ向けて照射された光を透過・遮断するための所定の明暗パターンが形成されたパターン形成部材と、板状体を反射した光源からの光を受光する受光センサと、を設け、受光センサに受光された光の受光パターンに基づいて板状体を検査する装置において、パターン形成部材に形成された所定の明暗パターンを、受光センサでの受光パターンの間隔周期が該受光センサの分解能に対して所定の下限複数倍から所定の上限複数倍までの範囲内になるように、板状体の曲率に合わせて粗密にする。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光走査により広範に３次元形状測定を行うことができる３次元形状測定において、３次元形状に色彩や陰影を付しても精度が良好な３次元形状測定を行うこと。
【解決手段】 測定対象物表面の色彩や陰影を表す明度データＭ（ｎ）は出射レーザー光強度データＩ（ｎ）に基づいて計算される。この出射レーザー光の強度は、補正信号発生回路１２２およびレーザー光量補正回路１２４によりフォトセンサ１１２にて受光する反射光強度が基準反射光強度となるように制御される。反射光強度が一定とされるので、反射率の高低により３次元形状データの計算が不可能となる部分を少なくすることができ、精度の良い３次元形状測定を行うことができる。さらに、レーザー光の照射方向を走査用光学系１０６で走査する方式にて測定対象物の３次元形状測定および明度計算を行うので、広い領域で測定対象物ＯＢの３次元形状測定および明度計算を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な画像処理を経ることなく、塗装面の状態を精確に反映した検出値により信頼性の高い平滑性検査を安定的に行なうことができる塗装状態検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 塗装面４上の被検査面４０に、全面的な暗部（２０ｂ）と該暗部中に配置された細線状の明部（２０ａ）で構成された明暗画像（２０）を投影する画像投影手段２と、被検査面４０の投影画像（５０）を撮像する撮像手段３と、得られた多階調画像５０を所定の閾値（Ｖ_Ｔ）で２値化し、その２値画像における明暗境界線（５２ｃ）を抽出する画像処理手段５と、前記明暗境界線の波形を解析して塗装面の平滑性を判定する判定手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 表示面の周囲に設置する発光源に代えて、液晶セルのバックライトをタッチパネル用の光源として利用することにより、消費電力を低減し、配線の引き回しを簡素化する。
【解決手段】 液晶セル１の背面に設置され、液晶セル１に光を照射するための平面型光源２と、液晶セル１の一辺に沿って設置される反射部３ａと、液晶セル１の他の一辺に沿って配置される受光部４ａとを備え、反射部３ａは、平面型光源２から出射された光を入射して液晶セル１の表面に平行な方向に反射し、受光部４ａは、反射部３ａから反射された光を受光して電気信号に変換する光学式タッチパネル１０とした。また液晶セルには、液晶シャッターが備わっており、照射した光をセル単位で透過、遮光することができる。 （もっと読む）

【課題】プリント基板の材質などによって、マークの鮮明な映像が得られずに認識エラーと判断した場合でも、鮮明な映像を得ること。
【解決手段】２次元バーコードＢＣを撮像して認識処理した結果に基づいてＣＰＵ２１が認識エラーと判断した場合に、リトライ機能が「有り」と判断した場合には、必要な照明パターンの変更及び輝度の変更をする。この場合、照明パターンの変更はしないと設定されていれば、リング照明灯１８及び同軸照明灯１６の標準の輝度を夫々マイナス８０％〜プラス８０％の範囲内で２０％毎の９段階に変更して合計８１通り変更する。８１通りの輝度変更に基づく認識処理による認識エラーでない画像の中から、ＣＰＵ２１は最もコントラストの良い画像の結果を選択してその輝度データをＲＡＭ２２に格納し、以降の基板認識処理の際に、この変更後の輝度データを使用して、リング照明灯１８及び同軸照明灯１６を点灯させる。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ印刷の３次元自動検査において陰面（オクルージョン）のない３次元画像の獲得を実現する。
【解決手段】基板面の上方において第１のカラーイメージセンサカメラおよび第２のカラーイメージセンサカメラが対向し、基板の同一領域を斜めの視軸（ビューイングアングル）で見下ろして撮像する両眼視システムと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、第１カメラよりも低い位置にあって第１カメラと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２カメラよりも低い位置にあって第２カメラと同じ方向から基板を照明する第２色相光源によって３次元撮像幾何光学配置を構成することにより、陰面（オクルージョン）のないクリームはんだ印刷品質の自動的な３次元画像検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】透明体の不良について、より明瞭に検査できる透明体検査装置、透明体検査方法、および透明体検査システムを提供する。
【解決手段】普通人が視認すると透明に見える透明体を検査する透明体検査装置に、前記透明体に含有されている蛍光成分を発光させる所定波長の照明光を照射する照明手段と、該照射を受けて発光している前記透明体を撮影して撮影画像を取得する撮影手段と、該撮影画像に基づいて前記透明体に不良がないか判定する判定手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、被検基板の表面に照明光を照射する照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が波長選択機構７０，７５のバンドパスフィルターに照射されるようになっている。 （もっと読む）