【課題】位相シフト法による３次元計測を可能にしながらも、液晶シャッタにおける隣接する画素の透過率を連続的に変化させる場合に比べて応答時間を短縮する。
【解決手段】投影装置１は、光源１１と、処理装置３からの制御信号により透過率が個別に制御される画素が２次元格子上に配列された液晶シャッタ１２と、光源１１から出力され液晶シャッタ１２を透過した光束の少なくとも一部を混合して計測対象４の表面に照射させるレンズ１３とを備える。処理装置３は、液晶シャッタ１２にそれぞれ複数列の画素からなり平均透過率が周期的に変化する複数の帯領域を形成させるように制御信号を出力し、レンズ１３は、帯領域を透過した光束を混合して計測対象４の表面に縞状の光パターンを形成させる。 （もっと読む）

【課題】照射部の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制する。
【解決手段】ムラ検査用画像取得装置１１は、基板９が載置されるステージ２、基板９の検査表面９１に向けて照明光を照射する照射部３、検査表面９１にて反射した照明光を受光する撮像部４１を備える。撮像部４１は、ラインセンサ４１１および撮像光学系４１２を備える。ラインセンサ４１１の各受光素子には、ムラ検査に必要な強度の光が入射する。撮像光学系４１２は、物体側において非テレセントリックであり、ラインセンサ４１１の位置と光学的に共役な合焦位置は、検査表面９１から撮像部４１側にずれて位置する。ムラ検査用画像取得装置１１では、照射部３と検査表面９１との間の光軸Ｊ１に沿う方向における距離が１００ｍｍ以上である。これにより、照射部３の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体の形状を高速かつ高精度に計測する装置を提供する。
【解決手段】計測対象物体２１の形状を計測する装置であって、光源用基板３２と、該光源用基板３２上に配置された複数の格子投影用ＬＥＤ３３とを有する格子投影用光源３１と、１次元格子が描かれた格子面を含む、光源用基板３２に平行に配置された格子プレート３４とを有する格子投影部３０と、１次元格子が投影された計測対象物体２１を撮影する撮影部１１と、撮影された画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体２１の形状を求める解析制御装置１２とを備え、複数の格子投影用ＬＥＤ３２の各々の光軸が、光源用基板３２の法線に対して、計測対象物体２１側に傾斜していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラＣＡＭ１は鏡筒ＫＴ１の一端と接続され、鏡筒ＫＴ１の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ１Ｃの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒ＫＴ１とチップ１Ｃとの間には、面発光照明ＳＳＬ１、拡散板ＫＢ１およびハーフミラーＴＫ１を内部に備え、カメラＣＡＭ１と同じ光軸でチップ１Ｃの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒ＫＴ２を配置する。 （もっと読む）

【課題】溶接ビード切削幅測定の信頼性を向上させる照明方法および画像処理方法を提供する。
【解決手段】照明光をエリア光とし、該エリア光を測定領域がビード長手方向１３で相異なる二以上の輝度部（例えばＡ部、Ｂ部、Ｃ部の全三部）に分かれるように照射し、画像処理では、ビード長手方向での輝度変化が最大値のビード幅方向分布から、溶接ビード切削幅を求める。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に投影される縞の像の歪みを防止することができ、また、影の問題や、ハレーションの問題等を解消することができる３次元測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元測定装置１００は、投影部２０と、撮像部３０とを含む。投影部２０は、基板１０に向けて垂線を下ろしたときの基板の表面（投影面）との交点３の周囲の領域である投影可能領域２に縞を投影可能とされる。撮像部３０は、投影可能領域２内に複数の撮像領域１を有する。投影可能領域２は、広範な領域とされているので、投影可能領域２内には複数の撮像領域１を設けることができる。撮像可能領域２内における撮像領域１の位置等は、影あるいはハレーションの影響の排除等を目的として設定される。 （もっと読む）

【課題】切削部の境界が明確に検出できる溶接ビード切削幅測定方法を提供する。
【解決手段】溶接ビード切削部１１を照明装置で照射し、照射された領域をカメラ３で撮影し、その撮影画像を画像処理装置４で処理して溶接ビード切削幅を測定する溶接ビード切削幅測定方法において、前記照明装置として、溶接ビード切削部に対し左側から照射する左側照明装置１と右側から照射する右側照明装置２との２つを用い、左側からの照射と右側からの照射を交互に行う。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２は、検出光Ｌ２の出射強度が出射角度範囲の一方側から他方側に向かって減少する第１点灯動作と、検出光Ｌ２の出射強度が出射角度範囲の他方側から一方側に向かって減少する第２点灯動作とを行う。従って、第１点灯動作時における受光部１３の受光強度と第２点灯動作時における受光部１３の受光強度との比較結果に基づいて検出用光源部１２に対する対象物体Ｏｂの角度位置（角度θ）を検出でき、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射した際の受光部１３の受光強度に基づいて検出用光源部１２から対象物体Ｏｂまでの距離ｒを検出できる。 （もっと読む）

【課題】対象物体が傾いている場合や対象物体のサイズが部分によって相違している場合でも、対象物体の位置を精度よく検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出用光源１２から検出光Ｌ２を出射し、検出対象空間１０Ｒの対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２の一部を光検出器３０で受光して対象物体Ｏｂの位置を検出する。また、入射光選択部２０は、検出対象空間１０Ｒ（空間１０Ｒ1、１０Ｒ2、１０Ｒ3）のうち、一部の空間についてはこの一部の空間から光検出器３０への反射光Ｌ３の入射が許容された選択状態とし、他の空間については他の空間から光検出器３０への反射光の入射が阻止された非選択状態とする。また、入射光選択部２０は、選択状態とされる空間および非選択状態とされる空間をＺ軸方向で切り換える、 （もっと読む）

【課題】湾曲したフレキシブル基板に実装された複数の発光素子から出射された検出光を利用して対象物体の位置を検出する方式を採用するにあたって、発光素子を所定の位置に設けることのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置の光源部２０では、帯状のフレキシブル基板４０に複数の発光素子３０が実装されており、複数の発光素子３０は各々、検出光Ｌ２を出射する。フレキシブル基板４０は、基板支持部材５０の凸曲面５５に重ねて配置されているため、フレキシブル基板４０が長すぎた場合、フレキシブル基板４０の端部を切り欠き５１１ｂ、５２１ｂに差し込むことができる。このため、フレキシブル基板４０が浮き上がることがない。 （もっと読む）

【課題】均一で安定性の高い光スポットを発生させる回折光学素子を提供する。
【解決手段】複数の基本ユニットが２次元的に配列されている第１の回折素子と、複数の基本ユニットが２次元的に配列されている第２の回折素子と、を有し、入射する光に対して２次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、前記第１の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第１の方向とし、前記第２の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第２の方向とし、前記光が前記第1の回折素子、前記第２の回折素子の順に入射するとき、前記第１の回折素子で発生する回折光がさらに、前記第２の回折素子に入射して発生する０次光の最近接距離をΔｘとし、前記第２の回折素子により発生する回折光及び迷光における最近接距離をαとした場合、前記第１の方向と前記第２の方向のなす角φが、−｜φ_１｜＜φ＜｜φ_１｜、かつ、φ≠０、ｓｉｎφ_１＝−α／Δｘであることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】車輪の径中心を求める必要も、カメラの焦点も変える必要がなく、簡単に光切断法による車輪の形状計測を実行できる車輪形状計測装置等を提供する。
【解決手段】レールに対し所定の高さに設置され、通過センサ１１ａ〜１２ｂによって車輪１０ａが通過したことが検出された場合、車輪１０ａ，１０ｂの計測部位に向け水平方向にレーザ線条光を照射するレーザ線条光照射部１３ａと、車輪１０ａ，１０ｂの通過が検出された場合、レーザ線条光が照射された車輪１０ａ，１０ｂの照射部位を撮影するカメラ１５ａ，１７ａと、それらのカメラ１５ａ，１７ａが撮影した車輪１０ａ，１０ｂの照射部位の画像を画像処理して、水平方向にレーザ線条光を照射したことに基づく歪を補正する画像処理部１８と、歪補正された画像に基づいて車輪１０ａ，１０ｂの形状に関する所定の計測項目を計測する車輪形状計測部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】環境変化に左右されない正確な測距値を取得可能なレーザ画像計測装置を得る。
【解決手段】レーザ光の発振時間と反射光の受光時間との時間差に基づき対象物までの距離を導出するために、基準となる変調信号Ｍを生成する基準信号発生部２０と、変調信号Ｍにより変調されたレーザ光を出射するレーザ光送信部３０と、レーザ光を走査して整形された送信ビームＬを出射するレーザ光走査部４０と、反射光を受信信号に変換する受信部５０と、レーザ光走査部４０内のレーザ光走査光学系５から基準固定距離に設置されて送信ビームＬが照射される基準反射板６と、受信信号から基準反射板６および対象物の距離値Ｄｚを導出する信号処理部６０と、を備える。レーザ光走査部４０および受信部５０は、基準反射板６からの反射光を、対象物に対する距離測定と同一の光路で送受信する。信号処理部６０は、基準反射板６の距離変動量ΔＤｚから、対象物の距離値を補正する。 （もっと読む）

【課題】出射光学系の部品の取り付け角度がずれたとき、出射光学系から出射されるレーザ光の光軸方向のずれを相殺するように出射光学系に入射するレーザ光の光軸の方向を調整することができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源１０とレーザ光を走査する第１ミラー１６との間に、直交する２つの回転軸回りに回転可能に支持されたミラー１４ａを設ける。測定対象物ＯＢからの反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第１受光センサ２４と、第１受光センサ２４にて反射した反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第２受光センサ２６を設ける。３次元カメラＣＡと測定対象物ＯＢが所定の位置関係になるようにセットし、反射光が第２受光センサ２６の所定の範囲内にて受光されるように、ミラー１４ａを回転させる。 （もっと読む）

【課題】シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサにおいて、測定精度が安定した投光ビームの調整方法を提供する。
【解決手段】シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサ１０は、測定対象物に対して光を照射する投光モジュール９と、投光モジュール９からの光が測定対象物で反射して、反射光を受光面で受光する受光部１３と、測定対象物と受光部１３との間に位置して、反射光を受光面に結像する受光レンズ１４とを備える。投光ビームの調整方法は、受光部１３における像のサイズが、投光モジュール９を構成する投光レンズ１２と測定対象物との距離によらず一定になるように光源１１から照射される光の焦点位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】誤った対応付けを低減すると同時に、より様々な被写体の形状に対しても三次元計測を可能とする、よりロバストな三次元計測方法を提供する。
【解決手段】複数種類の符号が二次元に並ぶ投影符号列の各符号に、符号の種類ごとに異なる色または輝度を有する点をシンボルとおして割り当てることで得られた二次元の点列を含む投影パターンを被写体に投影し、投影パターンが投影された被写体を撮像することにより得られた撮像画像を用いて被写体の三次元計測を行う画像情報処理装置は、撮像画像から点列を抽出して撮像パターンを取得し、撮像パターンの各点を対応する符号に変換して撮像符号列を取得する。装置は、複数種類のサンプリング形状から選択された一つのサンプリング形状にしたがって所定数の符号を取得し、取得した符号を並べて情報符号列を生成し、情報符号列と投影符号列の部分とを対応付けることで撮像画像中における投影パターンの投影位置を同定し、三次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光源を用いて線状パターンの投影を行いつつ、投影面でのスペックルの発生を抑制する
【解決手段】レーザビームＬ５０を、光ビーム走査装置６０によって反射させ、ホログラム記録媒体４５に照射する。ホログラム記録媒体４５には、走査基点Ｂに収束する参照光を用いて線状散乱体の像３５がホログラムとして記録されている。光ビーム走査装置６０は、レーザビームＬ５０を走査基点Ｂで屈曲させてホログラム記録媒体４５に照射する。このとき、レーザビームの屈曲態様を時間的に変化させ、屈曲されたレーザビームＬ６０のホログラム記録媒体４５に対する照射位置を時間的に変化させる。ホログラム記録媒体４５からの回折光Ｌ４５は、ステージ２１０の受光面Ｒ上に線状散乱体の再生像３５を生成する。受光面Ｒに物体を載置すると、ホログラム再生光により線状パターンが投影されるので、その投影像を撮影して物体の三次元形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査体の高さを少ない撮像回数で求める。
【解決手段】外観検査装置１０は、周期的に明るさが変化する第１縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第１投影画像を撮像する。外観検査装置１０は、第１縞パターンとは異なる周期で明るさが変化する第２縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第２投影画像を撮像する。外観検査装置１０は、第２縞パターンに対応する被検査体の計測点の明るさ変動の位相を、第１投影画像及び第２投影画像における当該計測点の明るさと、第１縞パターン及び第２縞パターンのそれぞれに対応する明るさ変動の既知の関係とに基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラのライン周期と比べてＰＷＭ周期が十分に短くなくても、所望の光量を各ライン周期に供給することができ、撮像された画像における明暗差が出るのを防ぐことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】検査対象Ｗに光を照射する光照射機構１と、所定のＰＷＭ周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すＰＷＭ制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するＰＷＭ制御部２と、を備え、ラインセンサカメラの各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、１期間分又は数期間分であり、前記ＰＷＭ周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、受光素子が１ライン周期に撮像する１画素のアスペクト比が大きくなるほど、１ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定した。 （もっと読む）

【課題】ライン光照明系の歪みが高精度に校正するための３次元形状測定機の校正方法、及び、この校正方法により校正された３次元形状測定機を提供する。
【解決手段】被検物１７にライン光を投影する照明部であるライン光投影装置１６と、被検物１７上に投影されたライン光の像を取得する撮像部である測定カメラ１１と、を有し、前記像から被検物１７の３次元座標を算出する３次元形状測定機１において、３次元座標に含まれるライン光投影装置１６の歪みを校正する３次元形状測定機１の校正方法であって、ライン光投影装置１６の光軸に対して略垂直に拡散面２１ａを配置するステップと、ライン光投影装置１６部により拡散面２１ａにライン光を照射して測定カメラ１１でライン光の像を取得するステップと、取得した像から３次元座標を校正する補正データを算出するステップと、を有する。 （もっと読む）