【課題】実装しようとする電子部品の諸寸法を測定する際に、電子部品の傾きによる測定精度の低下を抑える。
【解決手段】電子部品の下方よりライン光を照射し、電子部品の下方に備えた撮像手段によって光切断線測定する電子部品の三次元測定方法において、吸着ノズル１０に吸着されている電子部品３０の微小な傾き誤差を考慮した上で、この電子部品３０へ水平となるように、投光ユニット２６を微小回転動作させ、該投光ユニット２６からレーザライン光１９ｂを照射する。これにより、認識率も上がり、且つ精度の向上にもつながる。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状測定を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】パタン投影系２０が、投影パターンの投影方向を、第１の投影方向Ａ１と、第１の投影方向に対して撮像系の光軸を中心に１８０度回転対称となる第２の投影方向Ａ２とで切り替える投影方向切替手段３０を有して構成され、形状測定部５０は、被検物の表面上における同一の測定点に対し、第１の投影方向Ａ１で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる測定点の第１の高さ情報と、第２の投影方向で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる第２の高さ情報との差から算出可能な撮像系のディストーションに因り発生する高さ情報を、第１又は第２の高さ情報から除いて、測定点の高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状測定を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】所定幅を有したスリット光Ｓからなる投影パターンを被検物５に投影する投影部２０と、スリット光Ｓが所定間隔走査される毎に被検物に投影された投影パターン像を撮像する撮像部３０と、撮像部３０で撮像される投影パターン像のそれぞれに対し、スリット光Ｓの走査位置に応じて算定される３以上の変調係数をそれぞれ乗じて３以上の変調画像を取得し、同じ変調係数を乗じて取得された変調画像群をスリット光Ｓの走査方向に並べて合成して３以上の正弦波パターン投影画像を生成する画像生成部４１と、３以上の正弦波パターン投影画像から被検物５の位相分布を算出し、位相分布に基づいて被検物５の表面形状を測定する形状測定部４２と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】高さの校正を迅速に行う。
【解決手段】三次元形状計測システム１０は、計測対象に投影された光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する装置であり、光パタンを画像として読み取るためのラインセンサを備えた撮像ユニット１５と、計測対象を移動させる移動ユニット１１と、移動ユニット１１を制御すると共に、ラインセンサにより読み取られた画像を解析することにより、計測対象の三次元形状を計測する画像解析・処理ユニット１６とを備える。高さの校正は、複数の平面を段状に有する校正用ターゲット２１を計測対象として行われる。画像解析・処理ユニット１６は、校正用ターゲット２１における或る平面に光パタンを投影させて、投影された光パタンをラインセンサによって画像として読み取り、これを、校正用ターゲット２１における別の平面に対しても繰り返す。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの厚みや上面高さを確実に計測することができる計測装置およびこの計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】レーザー光線を集光しチャックテーブルに保持されたウエーハに照射する集光器と、照射されたレーザー光線の反射光受光手段と、集光器によるレーザー光線の集光点変更手段と、集光点変更手段からの変更信号と受光手段からの信号に基いてウエーハの厚みを測定する制御手段を具備し、制御手段は集光点変更手段を構成する一対のミラーの２つの設置角度の差とウエーハの厚みとの関係を設定した厚み制御マップを備え、一対のミラーの設置角度を変更する角度調整アクチュエータによって設置角度を変更しつつ受光手段から２つの強い光量のピークを検出し、２つの強い光量のピークを入力したときの設置角度検出センサーの検出信号に基いて設置角度の差を求め、設置角度差を厚み制御マップと照合してウエーハの厚みを求める。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体の搬送方向に平行な直線と垂直の平面内に配置され、上記平面内の被測定物体表面の幅方向へスリット状の光を照射するスリット光光源と、上記平面と垂直な平面でかつ被測定物体の表面に垂直な平面を介して上記スリット光光源と反対側に配置され、上記被測定物体上のスリット状の光を撮像する撮像装置とを備えた。また、幅方向と搬送方向に上記の凹凸測定器を設け、顕在化形状演算をする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、共焦点撮像系によりZスキャン機構無しで物体の表面形状計測を可能とした焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置において、高速計測時に著しく露光時間が短くなることから三次元形状計測で異常をきたす問題が生じる為、露光時間を多く確保して適度な光量を得た画像を取得し、正常に三次元形状計測を可能とすることを目的とする。
【解決手段】
焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置の移動機構による物体の移動と微小シフト機構によるスポットの移動とを等速とすることにより、共焦点撮像系が物体に対して同じ箇所を長時間露光可能なように構成し、三次元形状計測を行う。 （もっと読む）

【課題】入射光を散乱する性質を有する対象面において周囲に対して凸状または凹状となる欠陥を容易に精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置１は、板金加工物である対象物９の対象面９１上にフラッシュ光である光束８１を導く光照射部２、光の照射方向とは反対側に配置されて対象面９１を撮像する撮像部３、および、対象物９を光照射部２および撮像部３に対して相対的かつ連続的に移動する移動機構４を備え、対象物９が連続的に移動する間に光の照射および撮像が繰り返される。光照射部２の光軸Ｊ１と撮像領域の法線Ｎとのなす角θ１は７０°以上９０°未満とされ、撮像部３の光軸Ｊ２と法線Ｎとのなす角θ２は０°以上４２°以下とされる。さらに、撮像領域の各位置に入射する光の入射方向の範囲の半角が０°以上３°以下とされる。これにより、撮像部３により取得された画像中の影として対象面９１上の欠陥を容易に精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】光源の光によって発生するノイズを防止することにより正確に指示体の指示位置を演算することができる指示位置演算システムを提供すること。
【解決手段】光源２２（発光部１３、１４）と受光センサ１７（コントローラ１６）とが所与の基準位置関係にある場合に受光センサ１７に入射する反射光ＲＬを発生させる方向に光源２２からの直接光ＤＬを進行させない位置に遮蔽部２４を設けている。 （もっと読む）

【課題】物体の地形上の特徴の仮想的に再構築するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】物体の地形上の特徴の撮像及び仮想的に再構築するためのシステム及び方法が提供される。照射システムは物体を照らす。そして、画像は画像取得システムによって得られうる。そして、物体、照射システム及び画像取得システムを具備している少なくとも２つの部材は取付けられる。又は、さもないと、運動誘導機構にそれぞれ制御可能に連係される。特にロボットアームにおいて、少なくとも２つの部材がそれぞれ移動可能であり、画像データを得るために最適な照明及び視野状態を提供されるようにする。画像データは、物体の地形上の特徴が再構築されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】電子部品の形状分析のための指標を、ライン光の走査位置に依存せず常に一定に維持することができ、カメラによる撮像光の分析をより正確且つ適正に行なう。
【解決手段】電子部品Ｐに対してライン光Ｌを照射すると共に該ライン光Ｌを当該ライン光の照射ライン方向と交差する方向（ｘ方向）に走査し、この拡散光（反射光）Ｌｒを撮像カメラ２３にて取得することによって電子部品Ｐの走査面の形状または高さを測定する電子部品Ｐの三次元測定装置１４において、ライン光Ｌの走査位置Ｘ（Ｘ１、Ｘｃ、Ｘ２）に依存して、該ライン光Ｌの前記電子部品Ｐの走査面への入射方向に対して前記カメラに向かう散乱光の出射方向のなす角度α（α１、αｃ、α２）が変化することに起因する前記カメラでの受光量の変化を補正する補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】基本的にはドーム型照明方式の考え方を用い、ローアングル光照明方式の不具合を解消しながらも、その場合に生じ得る照度不足や照度ムラといった新たな問題点を解決し、配線基板の検査をより精度良く行えるようにする。
【解決手段】光透過性及び光拡散性を有し、検査用カメラ３００が撮影する検査領域２０ａを覆うように近接配置される概略平板状又はドーム状をなす光拡散部材２と、その光拡散部材２の外側に離間して配置され、前記検査領域２０ａに当該光拡散部材２を透過させて光を照射する複数の光照射部材４と、前記光拡散部材２に設けられた撮影用観測孔２ａの周囲からカメラの方向に延びる筒状体３と、を備え、前記カメラが、それら筒状体３及び観測孔２ａを介し前記検査領域２０ａを撮影できるように構成するとともに、前記筒状体３のカメラ側開口に、前記光照射部材４からの直射光が入らないように構成した。 （もっと読む）

【課題】車両のドライバの目の状態を検出する技術において、光源の配置を工夫することで、目の検出ができなくなるような状況の発生頻度を低減する。
【解決手段】このように、右側近赤外照明１と、左側近赤外照明２と、右側近赤外照明１および左側近赤外照明２によって照らされた車両のドライバの目を撮影するためのカメラ３と、カメラ３によって撮影された目の状態に基づいた制御を実行するＥＣＵ４と、を備えた目状態検出装置５０において、右側近赤外照明１を、カメラ３よりもドライバの座席から向かって右側に配置し、かつ、右側近赤外照明１の光軸１１を、カメラ３の撮影方向３１に対して右に１５°〜４５°傾いて配置し、左側近赤外照明２を、カメラ３よりもドライバの座席から向かって左側に配置し、かつ、左側近赤外照明２の光軸２１はカメラ３の撮影方向３１に対して左に１５°〜４５°傾いて配置することで、目状態検出装置５０を車室内に設置する。 （もっと読む）

【課題】ノズルに吸着される電子部品を適切に透過照明して高精度で認識可能な電子部品の認識装置を提供する。
【解決手段】吸着ノズル２の吸着面側に光拡散性のテーパー面５が形成され、このテーパー面を介して電子部品１が第１の光源７により透過照明される。ここで、前記第１の光源は吸着ノズルを包囲する面に複数個設けられており、第１の光源はテーパー面が均一に照明されるように疎密に配置されているので、簡単な構成で最適な透過照明を行なうことができ、良好な認識を高精度で行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、多様な走査パターンの測定用光によって測定対象を走査して測定できるようにすること。
【解決手段】対向配設された円柱型ウエッジプリズム６、７は、光軸３０に沿って設けられた貫通穴１１、１４を有し、光源２からの測定用光３１を貫通穴１１、１４を通して基準測定用光３２として測定対象２０側に出力すると共に貫通穴１１、１４以外の部分を通して走査測定用光３３として測定対象２０側に出力する。円柱型ウエッジプリズム６、７の少なくとも一方を、光軸３０を中心に相対的に回転したり、光軸３０に沿って移動させて相対距離を変えることによって、測定対象２０を多様な走査パターンの走査測定用光３３によって走査し、光検出素子１８によって検出した基準測定用光３４と走査測定用光３５に基づいて測定対象２０の形状等を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の受光手段の受光感度にバラツキがある場合であっても、発光強度の切り替えを制御する回路を別途設けることなく、各受光手段に最適な強度の光を受光させることができる検出装置及び検出方法を提供する。
【解決手段】デューティ比を各受光部ごとに記憶する記憶部１１と、記憶部１１が記憶しているデューティ比を所定時刻ごとに読み出す読出部１２−２と、読出部１２−２が読み出したデューティ比の電圧を出力する電圧出力部１２−１を備える。また、電圧出力部１２−１が出力した電圧を平滑化する平滑化部１３と、平滑化部１３が平滑化した電圧に応じた電流を出力する電流出力部１４と、電流出力部１４が出力する電流を利用して発光する複数の発光部１６−１〜１６−４とを備える。複数の受光部１７−１〜１７−４は、それぞれ複数の発光部１６−１〜１６−４が発光する光を受光する。 （もっと読む）

【課題】特徴点のイメージ座標をより正確に算出できる特徴点座標算出装置を提供すること。
【解決手段】特徴点座標算出装置１は、横帯パターン画像、縦帯パターン画像および斜め帯パターン画像などのように、重ね合わせると特徴点を表す複数のマーカ画像を切り替えて表示装置４に表示させる動的マーカ表示手段２と、表示装置４に表示された複数のマーカ画像がカメラ５によってそれぞれ撮像されたカメラ画像を重ね合わせることにより、カメラ画像における特徴点の座標を算出する特徴点座標算出手段とを備える。 （もっと読む）

光学式タッチパネルであって、当該パネルは、支持体を備え、該支持体の外周縁の少なくとも一部分に沿っておよびその上に配置されて検出領域を定める光ファイバー照明アセンブリを備え、該アセンブリは、少なくとも１つの光ファイバーを備え、かつ、該少なくとも１つの光ファイバーに沿って光を送るために配置された光源を備え、当該パネルは、少なくとも１つの光検出器を備え、該光検出器は、検出領域における物体の存在によって生成される、光ファイバー照明アセンブリから受け取った光の変化を検出するように構成され、かつ、当該パネルは、検出回路を備え、該検出回路は、少なくとも１つの光検出器からの少なくとも１つの出力を受け取り、かつ、検出領域における物体の侵入の２次元位置の出力表示を提供する。 （もっと読む）

【課題】対象物の浮き沈みと水平方向へのズレとを同時に検査することができる取付状態検査方法を提供する。
【解決手段】シート溝１３を含んだ検査箇所２１に光切断用のスリット光をライン状に照射する第１レーザー装置２２及び第２レーザー装置２３を備え、検査箇所２１の左右斜め上方からライン状の第１及び第２スリット光３１，３２を照射する。取付状態検査装置１は、検査箇所２１の全域を照らすリング照明４１と、検査箇所２１の画像を真上から取得するカメラ５１とを備えており、カメラ５１は、検査箇所２１の画像をリング照明４１中央の開口部５２を介して撮像するとともに、この撮像した画像を制御部５３で解析することによって、シート溝１３へのバルブシート２の取付状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】装置に組み込んだ時にレイアウトの自由度が高い光源装置を提供すること。
【解決手段】光源側から順に、発光光源、レンズ系の順に並んでおり、レンズ系は発光光源から出射される光に、収束作用を与えるように、発光光源の近傍に配置され、レンズ系のうち、少なくとも１枚のレンズの面は、片面あるいは両面が回転非対称な自由曲面とする。 （もっと読む）