【課題】焦点位置を高速に移動させることなく、測定対象物の表面に形成されるレーザ光の照射スポットを小さく保つことができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】
レーザ光を出射するレーザ光源１０と前記レーザ光を反射して走査するミラー３０を設ける。レーザ光源１０とミラー３０の間にスポット形成器２０を設ける。スポット形成器２０は、前記レーザ光を平行光に変換するコリメートレンズ２２、前記平行光をリング状の輪帯光に変換するフィルタ２３、前記輪帯光を集光する第１リレーレンズ２４及び第２リレーレンズ２５を備える。さらに、測定した測定対象物までの距離の平均値を算出して、前記算出した平均値に応じてスポット形成器２０を前記レーザ光の光軸方向に移動させる移動装置２０ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】高精度に膜厚を測定することを可能にした膜厚測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】分光スペクトル情報を信号処理して膜厚を推定する膜厚測定方法において、
検量線作成用分光スペクトル情報を基底分解し、その基底に掛かる第１の係数を分光スペクトル情報の代表値として求め、第１の係数と分光スペクトル情報に対応した膜厚データとから重回帰係数を求める工程と、測定対象物の分光スペクトル情報と基底とに基づいて基底に掛かる第２の係数を求め、第２の係数と重回帰係数とに基づいて測定対象物の膜厚を推定する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。検出用光源１２Ａ〜１２Ｄにおいて、第１発光素子１２Ａ₁〜１２Ｄ₁と第２発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂とは、互いに異なる帯域にピークを有する第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁、および第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂を異なるタイミングで出射する。そして、光検出器３０での第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁の検出強度と第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】検出用光源から出射された検出光の一部が対象物体で反射せずに光検出器に入射
することに起因する検出誤差を解消することのできる光学式位置検出装置を提供すること
。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出光Ｌ２を出射する複数の検出用光源１２、
および対象物体Ｏｂで反射した検出光を受光する光検出器３０に加えて、検出空間１０Ｒ
を経由せずに光検出器３０に入射する参照光Ｌｒを出射する参照用光源１２Ｒを有する。
検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在する状態で、複数の検出用光源１２の一部を点灯さ
せる第１検出用光源点灯動作、他の一部を点灯させる第２検出用光源点灯動作、および参
照用光源点灯動作を行うとともに、検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在しない状態でも
第１検出用光源点灯動作、第２検出用光源点灯動作および参照用光源点灯動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてパターンの照射範囲を容易に設定可能で、高精度で距離計測が可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測面を撮像する撮像部１１と、撮像部からのタイミング信号にて動作制御され、投光パターン１５を形状計測面に投影する照射部７と、投光パターンの設定を行う投光パターン設定部５１と、投光パターン及び撮像画像により、投光パターンの照射範囲を設定する照射範囲設定部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】少ない数の検出用光源部によって、対象物体の２次元座標を広い範囲にわたって
検出することのできる光学式位置検出装置および当該光学式位置検出装置を備えた位置検
出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光
源部１２ＢがＹ方向の一方側Ｙ１から他方側Ｙ２に向けて検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂを出射し
、検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂが出射される検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂで反射した
検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂの一部を光検出部３０で受光する。第１検出用光源部１２Ａおよび
第２検出用光源部１２Ｂは、Ｘ軸方向で離間し、Ｙ軸方向で同一位置にある。このため、
第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光源部１２Ｂを順次点灯させた際の結果、およ
び第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光源部１２Ｂを同時点灯させた際の結果から
対象物体ＯｂのＸＹ座標を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】広い範囲での対象物のセンシングが可能な光学式検出装置、表示装置及び電子機器等の提供。
【解決手段】光学式検出装置は、光源光を出射する光源部と、光源部からの光源光を曲線状の導光経路に沿って導光する曲線形状のライトガイドと、ライトガイドの外周側から出射される光源光を受け、曲線形状のライトガイドの内周側から外周側へと向かう方向に照射光の照射方向を設定する照射方向設定部と、照射光が対象物に反射されることによる反射光を受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵでの受光結果に基づいて、少なくとも対象物が位置する方向を検出する検出部５０を含む。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で測定する装置で格子縞の位置調整が容易に行えるようにする。
【解決手段】格子縞スリットを、平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、駆動部で原点位置から移動させる。そして、それぞれの移動位置で撮影した複数枚の格子縞の画像と、原点位置で撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断する。その判断に基づいて、被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を設定する。 （もっと読む）

【課題】計測点の位置の違いによる法線算出の誤差を可及的に小さくし、計測対象物の３次元形状を精度良く算出するための技術を提供する。
【解決手段】形状計測装置は、カメラ１で撮像を行うことにより得られた画像から、計測対象物４の表面上の複数の注目点について特徴量を算出し、記憶装置６２に予め記憶されているデータを参照して特徴量の値から法線の向きを算出し、その算出結果から計測対象物４の表面の３次元形状を復元する。ここで、記憶装置６２は、カメラ１の視野内に設定された複数の基準位置のそれぞれについて作成された複数のデータを記憶しており、注目点の位置に応じて参照するデータが切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に投光する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する照明装置１２０を制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】投射光領域の輪郭が不明瞭な場合でも、移動体の正確な位置を検出する。
【解決手段】移動体の位置を検出する位置検出システムであって、天井面を撮影した画像から前記移動体に装着されかつ鉛直制御された光源から該天井面へ投射された投射光の画像領域を抽出する抽出手段と、前記投射光の画像領域の重心位置を算出する算出手段と、前記重心位置を床面の前記移動体の位置へと変換する位置変換手段とにより達成される。 （もっと読む）

【課題】 正確な距離測定が可能であって測定可能な距離の範囲が広く、又機構の調整を容易に行える距離測定装置と、該距離測定装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 プロジェクタは、光源装置と、当該光源装置からの光を表示素子に導光する光源側光学系と、表示素子と、該表示素子から射出された画像をスクリーンに投影する投影側光学系と、距離測定装置1とを備え、光源装置や表示素子を制御するプロジェクタ制御手段を有しているものである。そして、この距離測定装置1は、レーザー光を測距対象に照射するレーザー発光器2と、測距対象からの反射光を集光する受光レンズ4と、この受光レンズ4を透過した測距対象からの反射光を受光する受光素子3と、を有し、レーザー発光器2からの射出レーザー光の光軸位置に受光レンズ4の受光領域を位置させているものである。 （もっと読む）

【課題】撮像素子を用いなくても、検出空間全体にわたって対象物体の位置を正確に検出
することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出
機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、ピーク波長が８４０ｎｍから１０００ｎｍの帯
域の赤外光からなる検出光Ｌ２を検出空間１０Ｒに向かって出射する位置検出用光源装置
１１を設け、対象物体により反射した検出光Ｌ３を光検出器３０によって検出する。位置
検出用光源装置１１では、位置検出用光源１２から出射された検出光Ｌ２の光強度分布を
、光強度分布変換用液晶パネル１６０を備えた光強度分布変換用液晶装置１６によって変
換し、出射する。 （もっと読む）

【課題】測定対象に投影されたターゲットが検出し難い場合に、投影用ターゲット画像を補正して、再度投影できるターゲット投影装置を提供する。
【解決手段】ターゲットＴが表示された投影用ターゲット画像Ｆ１を測定対象２に投影する投影部３、投影部３から投影用ターゲット画像Ｆ１を投影して測定対象２に映されたターゲット映像Ｆ２を撮影して撮影画像Ｆ３を得る撮影部４、撮影部４で撮影された撮影画像Ｆ３からターゲットＴの特徴を検出するターゲット特徴検出部６２、撮影画像Ｆ３におけるターゲットＴの特徴に関する所定の許容条件を記憶する許容条件記憶部５４、撮影画像Ｆ３が所定の許容条件を満たすか否かを判定する許容条件判定部７、許容条件判定部７が所定の許容条件を満たさないと判定した場合には、所定の許容条件を満たすようにターゲットＴの特徴を変更して投影用ターゲット画像Ｆ１を補正する画像処理部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象に投影されたターゲットが検出し難い場合に、投影用ターゲット画像を補正して、再度投影できるターゲット投影装置を提供する。
【解決手段】カラーコードターゲットＣＴが表示された投影用ターゲット画像Ｆ１を測定対象２に投影する投影部３と、投影部３から投影用ターゲット画像Ｆ１を投影して測定対象２に映されたターゲット映像Ｆ２を撮影して第１の撮影画像Ｆ３Ｂを得、照明された測定対象２を撮影して第２の撮影画像Ｆ３Ａを得る撮影部４と、第２の撮影画像Ｆ３Ａに対する補色関係にある補色画像又は第２の撮影画像Ｆ３Ａに対するネガ画像を形成し、形成された補色画像又はネガ画像を投影用ターゲット画像Ｆ１に合成して投影用ターゲット画像Ｆ１を補正する第１の画像処理部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】金属試料の検査面をエッチング処理して欠陥を現出させ、撮像装置によって検査面を撮像することにより欠陥を検出するに際し、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくすることにより、欠陥部を明瞭に検出することのできる金属の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】金属試料１の検査面２を一方向に研磨し、金属試料１にエッチング処理を行って金属試料中の欠陥を現出させ、照射光源として線状に連続した光源又は複数の点光源を線状に配置した光源（線状光源４）を用い、線状光源４の線状方向１７と研磨方向１１とを同一の方向とし、線状光源４によって研磨方向１１と直角の方向から検査面２を照射し、撮像装置３によって検査面２を撮像する。これにより、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくし、欠陥部６を明瞭に検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】モードロックレーザを用い高速で波長を掃引しても高コヒーレンス性を保つ光源を用いて光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させること。
【解決手段】波長走査型レーザ光源１０に一対の回折格子３２，３３を対向して配置し、これを分散素子として用いる。この分散素子に半導体光増幅器３５を接続し、モードロック信号発生部３８よりクロック信号を与えて光信号を増幅する。このクロック信号のクロック周波数を変化させることによってクロック周波数に応じて発振波長を走査することで、高速で波長を可変でき、この光源を用いることで光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸方向において、投射光学系の小型化を図り得る情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置は、所定波長帯域のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光源から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメータレンズ１１２と、目標領域から反射された反射光を受光して信号を出力するＣＭＯＳイメージセンサ１２５と、ＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される信号に基づいて目標領域に存在する物体の３次元情報を取得するＣＰＵとを備える。コリメータレンズ１１２の出射面１１２ｂに、レーザ光を回折によりドットパターンを持つレーザ光に変換する光回折部１１２ｃが一体的に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）