【課題】宇宙線ミュオンを利用して高炉炉底の耐火レンガの損耗量の計測には改良すべき点があった。
【解決手段】ミュオンを計測する計測装置により高炉炉底を透過して飛来する炉底透過のミュオン強度と、該炉底透過のミュオンの飛来方向の判別情報と、高炉を非透過の非透過ミュオン強度とを一定時間蓄積し、該実測による蓄積データに基づいて炉底の状態を密度として炉底透過のミュオン強度と非透過ミュオン強度との強度比で表し、炉底耐火物の密度に対応する該強度比と、炉内の物質の密度に対応する強度比との相違に基づいて高炉炉底耐火物と炉内の境界位置を判定し、また前記強度比と炉底耐火物の損耗量との関係を推定し、この推定した関係から境界位置の判定に供された強度比に対応する損耗量を求め、これを実測値による炉底耐火物の損耗量と推定する。 （もっと読む）

【課題】熱電対を利用して高炉炉底の耐火レンガの残厚を推定する方法において、耐火レンガ残存厚を一層高精度に推定できる高炉炉底管理方法を提供する。
【解決手段】宇宙線ミュオンを利用して耐火物と炉内との境界位置を判定する。境界位置の判定は、宇宙線ミュオンを計測する計測部１２により高炉炉底２を透過して飛来する炉底透過の宇宙線ミュオン強度と、該炉底透過の宇宙線ミュオンの飛来方向の判別情報と、高炉を非透過の非透過宇宙線ミュオン強度とを一定時間蓄積し、該蓄積データに基づいて炉底の状態を炉底透過の宇宙線ミュオン強度と非透過宇宙線ミュオン強度との強度比で表し、該強度比に基づいて行う。この判定基準として高炉炉底耐火物内に配置された温度計測手段９ａ、９ｂにより計測した計測温度の変動から耐火物への付着物厚みの増減を推定し、短期的な炉内状況変動も管理する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の塗工シートの塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】Ｘ線源１１とＸ線検出器１２を用いて未乾燥状態の塗工シート１０の走行状態において塗工シートの乾燥後における塗工膜を測定する際、塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータを演算部３０で処理して塗工シート１０の塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。この際、未乾燥状態における塗工膜中の溶剤の含有率が一定であれば、未乾燥状態の塗工膜の溶質と溶剤のＸ線吸収量の比率は一定になる。この関係から、未乾燥時のＸ線吸収量と乾燥時のＸ線吸収量との間に一定の関係式が生じる。この関係式を用いて、未乾燥時の単位面積当り重量の測定値から乾燥後の単位面積当り重量を求めることが可能になる。溶剤の含有率が変化した場合は、含有率の変化に応じて関係式を補正すればよい。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面の電位分布を均一にし、撮像した画像のコントラストを向上させる。
【解決手段】電子銃から放出された電子ビームを対象に照射し、対象から放出された電子を検出器を用いて検出し、前記対象の画像情報の収集、対象の欠陥の検査等を行う撮像装置において、前記対象に帯電した電荷を均一化若しくは低減化する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程途中のウエハ検査で、高分解能を維持して浅い凹凸、微小異物のレビュー、分類を高精度に行う目的で、二次電子を検出系の中心軸を合わせると共に、検出系の穴による損失を避けて高収率な検出を実現する。
【解決手段】高分解能化可能な電磁界重畳型対物レンズにおいて、試料２０から発生する二次電子３８を加速して対物レンズ１０による回転作用の二次電子エネルギー依存性を抑制し、電子源８と対物レンズ１０の間に設けた環状検出器で二次電子の発生箇所から見た仰角の低角成分と、高角成分を選別、さらに方位角成分も選別して検出する際、加速によって細く収束された二次電子の中心軸を低仰角信号検出系の中心軸に合わせると共に、高仰角信号検出系の穴を避けるようにＥｘＢで二次電子を調整・偏向する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク厚さに対する直線性の良好な等価厚画像濃度データが得られる濃度データ変換方法および装置を実現し、体積や質量等の測定精度が高いＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷのＸ線透過量に対応するＸ線画像濃度データＰからワークＷの厚さに対応する等価厚画像濃度データＱ（Ｐ）への変換処理を施す方法であって、Ｘ線画像における背景の濃度値Ｐ_０と、Ｘ線画像における前景の代表濃度Ｐ_１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとをそれぞれ設定し、変換処理を、次式〔１〕により実行し、
Ｑ（Ｐ）＝［｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ）｝／｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ_１）｝］^γ・Ｑmax ・・・〔１〕
等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）の直線性を確保するよう式〔１〕中の補正指数値γを調整する。 （もっと読む）

【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像に基づいてワークの体積を測定するＸ線検査装置であって、その処理ユニット６が、各透過領域のＸ線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部６２と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部６３と、Ｘ線透過量相当のデータを処理して、ワークにＸ線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようＸ線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部６１とを含み、ゼロ点補正部６１が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】強度としては弱いものの、物質透過性が高い水平ミュオンを用いて精度よく大型構造物の内部構造情報を得る方法を提供する。
【解決手段】大型構造物の測定対象部に対向する側方の有限間隔位置に位置敏感検出手段を配置し、位置敏感検出手段は、第１検出板と第２検出板とをもつ位置敏感検出器複合体を２基有し、前記位置敏感検出器複合体の間に鉄部材を配設し、前記測定対象部を貫通して第１位置敏感検出器複合体に到達する前方水平ミュオンが第２位置敏感検出器複合体に到達する際に、それぞれの到達位置をつないだ直線を逆にたどることで、前方水平ミュオンが貫通する前記測定対象部内の経路が特定され、前方水平ミュオンの強度と、第２位置敏感検出器複合体および金属部材を順次貫通して第１位置敏感検出器複合体に到達する後方水平ミュオンの強度の双方を同じ位置敏感検出手段で測定し、前方および後方水平ミュオンの強度比から大型構造物の内部構造情報を得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 研磨における加工終点を十分に検出することができる方法及びかかる方法を適用することが可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【構成】 基板２００を研磨する研磨パッド２３０、ターンテーブル２２０や、トップリング２１０等から構成される研磨部と、前記基板２００の表面側と裏面側とのうち、いずれか一方に配置され、前記研磨部が前記基板を研磨する間、複数の陽電子１１２を放出する陽電子線源１１０と、前記基板２００を挟んで前記陽電子線源１１０と対向して配置され、放出された前記複数の陽電子１１２の寿命を測定する、シンチレータ１２２，１２４、ＣＦＤ１４２，１４４、ＴＡＣ１５０や、ＭＣＡ１６０等から構成される測定部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 シートの厚さをシートの幅方向に順次測定する形態の厚さ測定装置において、シートの走行方向に直交する一直線上の厚さを測定することのできる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、所定速度で走行するシートＳに照射するＸ線を発生するＸ線源１と、シートＳを透過したＸ線量を検知し、かつシートＳの幅方向に配列される複数のＸ線検知素子と、複数のＸ線検知素子で検知したＸ線量に基づいて、かつ複数のＸ線検知素子について順次シートＳの厚さを計測する制御部６と、を備え、複数のＸ線検知素子は、所定速度及び複数のＸ線検知素子についての全計測時間に応じて、シートＳの走行方向に垂直な方向に対して所定角度傾斜したライン上に配列されることを特徴とするシート厚さ測定装置１０によって、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 大気の変動を考慮した厚さの測定を行うことにより、高い精度でシートの厚さ測定を可能にする。
【解決手段】 測定対象であるシートＳに照射するＸ線を発生するＸ線源１と、シートＳを透過したＸ線量を検知するＸ線センサ２と、Ｘ線源１とシートＳの間に配置され、かつシートＳに到達する前のＸ線量を検知する補正用センサ３と、Ｘ線センサセンサ２で検知されたＸ線量及び補正用センサ３で検知されたＸ線量に基づいてシートＳの厚さを算出する演算部６と、を備えるシート厚さ測定装置１０。演算部６は、補正用センサ３で検知されたＸ線量に基づいて求められた大気の密度と、Ｘ線センサ２で検知されたＸ線量に基づいてシートＳの厚さを算出する。 （もっと読む）

対象物の画像を記録する為の走査方式の放射線検知装置であって、対象物と相互作用をした後、扇形イオン化放射線ビームに暴露される一次元検知器ユニット（４１）と、前記対象物の二次元画像を作成する為に反復して検知している間、対象物に対して一次元検知器ユニット（４１）及び扇形ビームを相対移動させるデバイス（８７，８８，８９，９１）と、反復検知を制御する為の制御装置を備える。一次元検知器ユニット（４１）は、イオン化放射線感応厚さｄｔを有し、厚さｄｔは、一次元検知器ユニットを照射する時には、扇形ビームの厚さよりも大きい。各々の一次元画像の暴露時間を短くし、且つ二次元画像の空間分解能を高くする為に、扇形ビームの一次元画像は、前記移動のｎ番目の長さ単位毎に記録される。ここで、ｎは、この長さ単位において扇形ビームの厚さのほぼ半分よりも小さくはなく、この長さ単位において一次元検知器ユニット（４１）のイオン化放射線感応厚さ（ｄｔ）より小さい。
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【課題】 既知情報及び実測データに基づく特定サテライトピークのフィッティングにより、十分な精度のプロファイル解析が行えるＸ線回折測定解析方法及びプログラムを実現し、また、一致状態を一般性を失うことなく大局的に見通しよく２次元表示する。
【解決手段】 実測プロファイルから周期Ｌと平均格子定数ａを求め、交互に積層された一方の薄膜の膜厚Ｌ１及び格子定数ａ１の初期値を設定する設定段階と、Ｌ、ａ並びにＬ１及びａ１の初期値から、他方の薄膜の膜厚Ｌ２及び格子定数ａ２の値を算出する変数算出段階と、Ｌ、ａ、Ｌ１及びａ１の初期値並びにＬ２、ａ２の計算値に基づいて解析プロファイルを得る解析プロファイル作成段階と、両プロファイルを比較して一致の度合いを調べる比較段階と、一致の度合いが一致基準を満たすか否かを判定し、満たすときはＬ１、ａ１、Ｌ２及びａ２の値を測定値とし、満たさないときは、Ｌ１及びａ１の初期値のいずれかを変更して再び変数算出段階に戻る判定段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】 低加速電圧を用いた高精度な三次元解析を行える走査型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 二次電子検出器１２よりも電子源側に、４分割された変換電極２１ａ〜２１ｄが配置されている。変換電極２１ａは対物レンズの下面（試料側）より上方に配置されており、その変換電極２１ａに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、変換電極２１ａの近傍の二次電子検出器１２ａに捕集される。同様にして、変換電極２１ｂに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換されて二次電子検出器１２ｂにより捕獲され、変換電極２１ｃに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換されて二次電子検出器１２ｃにより捕獲され、変換電極２１ｄに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、二次電子検出器１２ｄに捕集される。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安価な装置により、石英ガラス製ランプ用バルブを高精度に計測できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管の管電圧を４０ｋｖ〜１００ｋｖとしたＸ線発生装置と、Ｘ線シンチレータ付きファイバオプティクプレート３ａ，３ｂとＣＣＤ３ｃとをダイレクトカップリングしてなるエリアセンサとを設けるとともに、エリアセンサの受像面側に石英ガラス製ランプ用バルブ（被計測物）２を３０ｍｍ以下の離間距離で配置し、エリアセンサで得た石英ガラス製ランプ用バルブの可視像を処理する制御部を設け、制御部は、積算フレーム数設定部と、積算フレーム数設定部で設定された数に達した各フレームの画像を積算処理する画像処理部と、該画像処理部で処理された画像から石英ガラス製ランプ用バルブを計測する画像計測部とを有する構成にする。 （もっと読む）

【課題】 シート状部材の厚さ測定精度を向上させると共に，放射線源を含む測定構成機器の耐圧防爆構造を実現すること，及び，成形されたシート状部材の形状にかかわらずシート成形直後におけるシート厚さの測定を可能とし，ダイの間隙の早期調整を実現すること。
【解決手段】 Ｘ線源１（放射線源）と，Ｘ線検出器２（放射線検出器）と，Ｘ線が照射された際に固有のエネルギーを持つ特性Ｘ線を発生するＴｉ板６（特性Ｘ線発生物質）とが適宜配置されてなり，上記Ｘ線源１から出射されたＸ線が上記Ｔｉ板６に照射され，該照射により上記Ｔｉ板６で発生しシートＳ（被測定部材）を透過して上記Ｘ線検出器２に入射した特性Ｘ線の強度の減衰量に基づいて上記シートＳの厚さを演算，算出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の被測定シートの単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】被測定シート１０の走行パスの両側に配置されたＸ線源１１とＸ線検出器１２の相対位置を維持し、走行パスの幅方向に幅方向外側を含む範囲内で往復走査させ、走行状態の被測定シートの単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に測定する際、Ｘ線源のＸ線照射位置が走行パスの外側にずれた状態の時にＸ線ビームを直接にＸ線検出器で検出した照射Ｘ線量のデータと、シートがＸ線源およびＸ線検出器の対向間隔部を走行する時にＸ線ビームがシートを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器で検出した透過Ｘ線量のデータおよび規定値データを演算部３０で処理する。この際、演算部は、Ｘ線源およびＸ線検出器の１回の片道走査毎に得られた照射Ｘ線量のデータにより照射Ｘ線量のデータを自動的に更新する。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の塗工シートの塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】Ｘ線源１１とＸ線検出器１２を用いて塗工シート１０の走行状態において塗工シートの塗工膜を測定する際、塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータと、未塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータとを演算部３０で処理して塗工シート１０の塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。 （もっと読む）

【課題】 潜像担持体の表面に形成された潜像を正確に測定できる静電潜像測定装置並びにこれを用いた潜像担持体の評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】 感光体試料５０を帯電させる試料設置部３０と、帯電した感光体試料５０の試料面に光を照射して静電潜像を形成する露光部２０と、静電潜像が形成された光導電性試料の試料面に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子照射部１０と、荷電粒子ビームが照射されることによって感光体試料５０の試料面から放出された二次荷電粒子を検出する二次電子検出部４０と、二次電子検出部の検出結果に基づいて感光体試料５０の試料面における電荷の分布状態を測定する電荷分布状態測定手段と、感光体試料５０の試料面の電界強度のバイアス成分を変える試料バイアス成分変更手段とを有する静電潜像測定装置であって、試料バイアス成分変更手段は、感光体試料の試料面上に配置された透明導電性部材６０を含む。 （もっと読む）