【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】短時間のうちに非破壊でチューブの内径を測定できるチューブの測定方法及びそれを用いた流体輸送装置の製造方法並びに流体輸送装置を提供する。
【解決手段】チューブの測定方法は、チューブ５０の長手方向の長さＬを測定すること、第１の物質ａを充填した状態でのチューブ５０の第１の重量を測定すること、第２の物質ｗを充填した状態でのチューブ５０の第２の重量Ｍwaterを測定すること、第１の重量Ｍairと第２の重量Ｍwaterとの差分からチューブ５０の内容積Ｖを算出すること、内容積Ｖと長さＬとにより、チューブ５０の平均断面積Ｓを算出すること、及び、平均断面積Ｓより、チューブ５０の内径ＩＤを算出すること、を含む。 （もっと読む）

【課題】円形ワーク等を含む種々のワークの形状を短時間で簡易かつ正確に測定できるワーク寸法測定装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを挟んで両側に位置させられ、ワークＷに向けて一定長の線状レーザ光Ｌを照射する一対のレーザ変位計４Ａ，４Ｂと、これらレーザ変位計４Ａ，４Ｂを互いに対向する方向で離間ないし接近方向へ移動させるスライダ機構２Ａ，２Ｂと、ワークＷに照射された線状レーザ光ＬがワークＷの表面に線像を生じさせた際の移動距離に基づいてワークＷの外形寸法を算出するパソコン６とを備える。ワークＷは円形であり、その外周面に生じる線像は頂点を有する円弧状をなし、パソコン６は上記移動距離と頂点の位置に基づいてワークＷの外径を算出する。 （もっと読む）

【課題】配管周りのスペースが狭くても、安価な構成で、配管の軸方向に直交する断面の外径を好適に計測することができる計測治具および配管の断面形状計測方法を提供する。
【解決手段】エルボ１の軸方向に直交する断面の外径を計測する計測治具５であって、エルボ１に取付可能に構成され、エルボ１の外径よりも大径となる円形の計測枠１１と、計測枠１１に形成され、ダイヤルゲージ３０を挿入可能に、計測枠１１の径方向に貫通形成した計測穴１２と、を備え、計測枠１１は、真円との誤差が予め計測され、計測穴１２は、計測枠１１の周方向に複数設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】筒状体の軸方向及び周方向の全面の外径と肉厚を同時に測定し、その内径および内外径中心線のずれである位置度を測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】筒状体形状測定装置１０は、筒状体１の外面を軸方向および周方向に三次元座標を測定するための三次元測定用プローブと、この三次元測定用プローブと所定の距離を隔てて配置され、筒状体１の厚さを測定するための探触子と、この三次元測定用プローブおよび探触子を搭載したプローブユニット１２を走査させる走査手段１３，１４と、走査手段１３，１４を制御して前記筒状体の軸方向および周方向にわたる外面を走査し、前記筒状体の周方向および軸方向の外径と肉厚とを計測し、この計測結果に基づいて前記筒状体の周方向および軸方向の内径と、前記筒状体の内外径中心線のずれである位置度を算出する三次元・厚さ測定器１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】消費電力が低く、且つ混信の発生を防ぐことのできる測定データ無線転送システムを提供する。
【解決手段】複数の子機１０と、各子機１０から送信された測定データを受信する親機２０とを備えた測定データ無線転送システム１００において、子機１０の各々は、初期設定時に親機２０に対して、所定の基準時点から測定データを送信するまでの待ち時間を設定する待ち時間情報を含む設定データを要求する設定要求信号を出力し、親機２０からの設定データに基づいて測定データの送信タイミングを制御し、測定データの送信タイミングには親機２０との通信を行う通信部１１を起動状態とさせ、当該測定データの送信後には通信部１１を停止させ、親機２０は、子機１０の各々が互いに異なる送信タイミングで測定データを送信するよう待ち時間情報を決定し、設定要求信号に応じ、複数の子機１０に対して待ち時間情報を含む設定データを送信する。 （もっと読む）

【課題】ロータの機械加工と非接触検査システムを一体化する。
【解決手段】非接触検査システム１１０は、制動表面を指す非接触センサ（１１２−１、１１２−２）の１つ以上の対及びディスクの外径を指す非接触センサを有する。非接触センサは、誘導性センサ、容量性プローブ及び／又はレーザ・センサである。システムは、制動表面１０２、１０４厚さ変動、横振れ、平坦さ、平行性及び直径等の種々の特徴及び特性を測定する。ディスクが指定速度で回転する間に又はディスクが停止している間に測定を行う。非接触センサ（１１２−１、１１２−２）の対は、センサ又は校正された表面から、その指した表面までの距離を連続的に測定する。他の２つのセンサ（１１５及び／又は１１７）は、センサ又は校正された表面から、その指した面までの距離を連続的に測定する。 （もっと読む）

【課題】管路内走行時に管の正確な内径を測定できる内径測定装置及びその内径測定装置を用いた管路内径測定システムを提供する。
【解決手段】本体部及び本体部を既設管路の内部で走行可能に支持する本体支持部、本体部に配設されて既設管路の内径を計測する内径測定部を備える内径測定装置において、内径測定装置の重心位置を、内径測定装置の既設管路への導入状態における中央位置に対して下方へ偏位させる。これにより、既設管路内を走行中の内径測定装置に振動等が付与されることに起因する内径測定装置の内壁に沿った旋回しながらの走行が抑制される。その結果、内径測定部による計測の軌跡が管路の軸線に平行するので、既設管路の正確かつ精密な内径測定が達成される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術を提供する。
【解決方法】内径測定装置１０は、距離センサ１２と、回転機構３８と、コンピュータ２０を備えている。距離センサ１２は、円形孔３４の内部に配置され、円形孔３４の内壁までの距離を測定する。回転機構３８は、円形孔３４の軸３６に対して角度θを成す基準軸３２を中心に距離センサ１２と測定対象物１６を相対回転させる。コンピュータ２０は、距離センサ１２によって各方向で測定された距離データから、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置１０は、算出された楕円形状の短径を円形孔３４の内径とする。 （もっと読む）

【課題】光学素子の波面収差を好適に維持できる光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子位置調整装置は、ミラー３３，３５を保持し、且つ鏡筒２９に対してミラー３３，３５を６自由度方向に移動させるべく駆動する駆動部を有するミラー保持装置と、第６ミラー３５のＺ軸方向における位置を計測するための第６軸方向計測器６１Ｆと、第４ミラー３３のＹ軸方向における位置を計測するための鏡筒半径計測器６２及び間隔計測器６３と、各計測器６１Ｆ，６２，６３からの計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する技術を提供する。
【解決方法】断面形状測定装置１０は、移動機構２６と、回転機構３８と、距離センサ１２と、コンピュータ２０によって測定手段を構成しており、下限位置Ａ２において基準軸３２の回りの断面形状（測定形状）を測定する。コンピュータ２０は演算手段を構成しており、測定手段によって測定された楕円形状となる測定形状の長径と短径の長さ及び長径方向に基づいて、測定対象物１６に形成された円形孔３４の軸に垂直な断面形状を測定する。下限位置Ａ２における測定形状のみをもちいて、円形孔３４の軸に垂直な断面形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度でワークを加工できる非真円形穴加工方法を提供すること。
【解決手段】非真円形穴加工方法は、シリンダブロックに既に形成された断面非真円形状のボアと同一形状のボアを、シリンダブロックに形成する。すなわち、既に形成されたボア軸線上に複数の測定点を設定し、これら複数の測定点それぞれでのボアの内径形状を測定して、内径形状データとして取得する内径形状データ取得工程と、内径形状データを周波数解析し、０次からｎ次（ｎは自然数）までの周波数成分の振幅値および位相値を分析内径形状パラメータとして算出する分析内径形状パラメータ算出工程と、前記内径形状パラメータを、加工装置の電子記憶媒体に記憶させる分析内径形状パラメータ記憶工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】管路の内部撮影と内径測定を可能にすることによって、管路の導通測定時に正確性及び迅速性を向上させ、工事期間及び費用を減少できるようにした導通測定機及びこれを用いた導通測定方法を提供する。
【解決手段】管路内部に投入されるボディーと、前記ボディーの一端に連結され、前記管路内部を撮影してその情報を伝達するカメラと、前記ボディーに複数の支持バーを介して連結され、展開及び縮小可能に設けられる蓋部と、前記蓋部の展開及び縮小によって管路内部の直径を測定してその情報を伝達するために、前記ボディーの側面に設けられるセンサー部と、前記カメラとセンサー部からの情報を保存する保存部と、を備えた導通測定機を提供する。 （もっと読む）

【課題】往復動内燃機関のシリンダ直径を精度良く、かつ、容易に計測できる往復動内燃機関のシリンダ直径計測器。
【解決手段】往復動内燃機関のシリンダ１０１の軸芯Ｏ₁ 上に設けたガイド２と、該ガイド２を保持する支持体３と、前記ガイド２に摺動自在に挿入した支持棒４と、前記シリンダ１０１の軸芯Ｏ₁ と交差するように前記支持棒４に取り付けた測長器５より成り、且つ前記測長器５を、棒状の測長器本体６と、該測長器本体６の先端部に設けた接触又は非接触式でかつ測定距離を電気信号に変換して出力する変位変換器７により形成する。 （もっと読む）

【課題】ばね等の検査部品に要求される複数の検査部品の検査を一連の検査の流れで行うと共に、検査の都度不良品はその段階で検査の流れから外し、最終的に良品のみを検査の流れから取り出すことにより、効率よく検査を行うことにある。
【解決手段】ばね等検査部品の複数の検査項目を自動的に測定して良品、不良品を判別するばね等検査部品の自動測定判別機であって、回転盤２０と、検査部品供給経路装置１４と、検査部品搬出経路装置１６と、複数の測定ユニットと、不良品排出装置１２２とからなり、検査部品供給経路装置１４から回転盤２０に供給された検査部品をその公転移動中に複数の測定ユニットにより複数の検査項目の測定を行い、不良品は検査の都度、不良品排出装置１２２により排出し、最終的に良品の検査部品のみ検査部品搬出経路装置１６から搬出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コストを低減できる測定システムを提供すること。
【解決手段】測定システムは、搬送コンベア２上を搬送されるエンジンブロック１０のボアＡ０〜Ａ３の寸法を測定する。測定システムは、搬送コンベア２上に設けられたＣＣＤカメラと、寸法を測定するエアマイクロメータと、ＣＣＤカメラおよびエアマイクロメータを搬送コンベアに対して相対移動させる移動機構と、これらを制御する制御装置と、を備える。制御装置は、搬送コンベア２上を搬送されるエンジンブロック１０のボアＡ０および側面ＡをＣＣＤカメラで撮影し、この撮影画像に基づいてエンジンブロック１０の残るボアＡ１〜Ａ３の位置を特定して、これらボアＡ０〜Ａ３にマイクロメータを接近させて寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】 摺動穴部品と摺動軸部品との摺動抵抗から摺動部品の加工精度を計測する加工精度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 摺動穴部品１と該摺動穴部品１の中に摺動自在に嵌装される摺動軸部品２の加工時における加工精度計測装置において、摺動穴部品１と摺動軸部品２のいずれか一方を駆動して互いを摺動させる駆動手段（電動機３、動力伝達手段４および電源５）と、駆動手段が供給する動力を計測する動力計測手段６と、摺動穴部品１と摺動軸部品２の相対位置を計測する位置計測手段とを備え、動力計測手段６により得られる動力計測値から摺動穴部品と摺動軸部品とが摺動するときの摺動抵抗値を算出し、摺動抵抗値と位置計測手段による相対位置計測値とから加工精度を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

プラグゲージ（１）は、チェックされるべき寸法を表わす電気信号の無線送信のための電子デバイスを含むキャップ（１３）によって閉じられるハンドル（２）と、電気信号を生成するためのトランスデューサと結合される測定アームセットを含むプローブ（６）とを有する、長手方向軸を規定する支持・保護システムを含む。プローブは、ハンドルに対する長手方向軸を中心とするプローブの回転を防止するために機械的基準を含むインタフェース要素（８）によって、ハンドルのキャップに対して接続される。
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【課題】真に軸受保持穴の修理が必要かどうかを正しく判定できるようにする。
【解決手段】軸受１５の外径寸法を測定して当該軸受１５の外径基準寸法に対する差分値である外径寸法誤差を求め、軸受１５を嵌め合いで保持する軸受ブラケット９の軸受保持穴１７の内径寸法を測定して当該軸受保持穴１７の内径基準寸法に対する差分値である内径寸法誤差を求め、軸受保持穴１７の内径の最大許容寸法と軸受１５の外径の最小許容寸法との差を基準値として、内径寸法誤差と外径寸法誤差との差が基準値よりも小さいことをもって許容範囲内であり大きいことをもって許容範囲外であるとの価値評価を与えるようにした。 （もっと読む）