【課題】長い距離にわたって温度に依存することなく高いリニアリティを比較的小さな機構体積で確保すること。
【解決手段】３個のホール素子のうち中心位置にある第２のホール素子８１ｂと、この第２のホール素子に対して等間隔に配置された第１及び第３のホール素子８１ａ，８１ｃとを備え、比較判定回路８３は、第２のホール素子８１ｂからの出力信号の第２の差分信号の正負を判定して、この第２の差分信号が正（０を含む）ならば、第１のホール素子８１ａからの出力信号の第１の差分信号を出力し、第２の差分信号が負ならば、第３のホール素子８１ｃからの出力信号の第３の差分信号を出力する。除算器８４は、第２の差分信号を第１の差分信号で除算、もしくは第２の差分信号を第３の差分信号で除算する。 （もっと読む）

【課題】温度条件に変化があって、励磁信号に対してレゾルバ出力信号の遅延量が変動しても、角度検出誤差の発生を少なくできる角度検出装置を提供すること。
【解決手段】１相励磁２出力型のレゾルバ１１を備え、レゾルバ１１から出力される出力信号（ａ−ｓ）、（ａ−ｃ）と、同期検波を行う検波信号に基づいて角度を検出する角度検出装置において、ＳＩＮ検出コイル７の出力信号（ａ−ｓ）と、ＣＯＳ検出コイル８の出力信号（ａ−ｃ）の自乗和出力を用いて、同期検波信号（ｆ）を生成すること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させ、高精度を有するエンコーダを提供すること。
【解決手段】パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、パターンを検出する第一パターン検出部と、当該第一パターン検出部とは別にパターンを検出する第二パターン検出部と、第一パターン検出部又は第二パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】正弦波発振出力を用いて検出器を励磁する検出器励磁回路において、検出器を励磁する電圧の変動を抑制し、所定の温度範囲で安定した測定を可能とする。
【解決手段】実施形態の検出器励磁回路の発振回路は、所定の周波数を有する発振出力信号を生成し増幅回路に出力し、増幅回路は、入力された発振出力信号を増幅して増幅発振出力信号を出力するとともに、発振回路の周囲温度に基づいて、発振回路における周囲温度に起因する発振出力信号の振幅の変動をキャンセルすべく増幅率を変更可能となっている。これにより、励磁電流供給回路は、増幅発振出力信号に基づいて、電流増幅を行い、検出回路に励磁電流を供給する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、広い区間において位置検出が可能で、さらに簡単な構成でありながら、広い温度範囲で物体の位置を正確に検出できる位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の位置検出装置は、第１、第２の磁気検出素子を有する磁気検出部２１と、磁石５１とを備え、前記第１の磁気検出素子の出力と前記第２の磁気検出素子の出力との比から、磁束密度がＸ軸となす角度θを求めることによって、前記磁石のＸ軸方向の相対的な移動距離を検出したものである。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上することの可能な回転角センサを提供する。
【解決手段】第１、第２センシングＩＣ２０、３０は、スロットル弁の回転により変化する磁界に応じた信号を出力する磁気検出素子２１、３１、この磁気検出素子２１、３１を覆うモールド体２２、３２、並びに、一端が磁気検出素子２１、３１に接続され他端がモールド体２２、３２から突出して回路基板１２に電気的に接続される第１リード２３、３３及び第２リード２４、３４を有する。樹脂体６０は、磁気検出素子２１、３１が埋め込まれた位置に対応する正面２２１、３２１及び背面２２２、３２２を除くモールド体２２、３２、第１リード２３、３３、第２リード２４、３４、及び回路基板１２を封止する。これにより、第１、第２センシングＩＣ２０、３０と回路基板１２が設けられたハウジングカバー１０とが樹脂体６０により固定される。 （もっと読む）

【課題】回路コストを低減するため差動増幅回路やアナログ・デジタル変換回路が必要のない回路構成を有する回転角度計測装置を提供する。
【解決手段】回転軸と同期して回転する磁界発生手段が発生する磁界方向を少なくとも２以上の位相の異なる電気信号として出力するセンサ素子部２１１，２１２，２２１，２２２，２３１，２３２，２４１，２４２を有する回転角度センサ２と、センサ素子部を駆動させる周期波形を回転角度センサに出力する信号発生回路３５と、センサ素子部から得られた出力が入力されるコンパレータ３１，３２，３３，３４と、コンパレータからの出力が入力される演算回路４０と、を有し、演算回路は、コンパレータから出力されるパルス波形をデジタル値として取り込むパルス入力端子を有し、パルス入力端子で取り込まれた値に基づき回転軸の回転角度と等価である磁界方向を演算し出力する構成とした。 （もっと読む）

【課題】温度変化による影響を受ける要因を演算により除去し、正確な角度測定を実施する。
【解決手段】シャフト１２のＶ字溝１４の両斜辺は中線Ｎを中心にその両側に角度±φだけ傾斜し、両斜辺にホール素子のセンサ１５ａ、１５ｂを取り付ける。一様な磁束密度Ｂの磁界内において、シャフト１２を角度θ回転させると、センサ１５ａ、１５ｂの出力Ｖａ、Ｖｂは、Ｋａ、Ｋｂをホール係数、ｄａ、ｄｂを厚み、供給電流をＩとすると、Ｖａ＝(Ｋａ／ｄａ)・Ｉ・Ｂ・sin（φ＋θ）、Ｖｂ＝(Ｋｂ／ｄｂ)・Ｉ・Ｂ・sin（φ−θ）、（Ｖａ−Ｖｂ）／（Ｖａ＋Ｖｂ）＝（cosφ・sinθ）／（sinφ・cosθ）＝tanθ／tanφとなり、tanθ＝tanφ・（Ｖａ−Ｖｂ）／（Ｖａ＋Ｖｂ）となり、tanθはＫａ、Ｋｂ、ｄａ、ｄｂ、Ｉ、Ｂに無関係に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】単一のコイルでインダクタンスの変化を効果的に検出し、小型でありながら高精度な変位センサを実現するためのインダクタンス変化検出回路と、これを用いる変位検出装置及び金属検出装置を提供する。
【解決手段】矩形波交流電圧源にコイルを接続し、コイルに流れる交流電流を電圧信号に変換した後、ヒステリシス特性を有するコンパレータを通すことで、コイルのインダクタンス変化をパルスの立ち上がりの位相変化として検出する。従来技術のように二つのコイルを設ける必要がなく、部品点数が少なくなるので、低コストで高精度な変位センサを実現できる。 （もっと読む）

【課題】２軸に傾動可能な光偏向装置において、それぞれの軸の周りの傾動角度を正確に検出することが可能が技術を提供する。
【解決手段】本出願の光偏向装置は、基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動可能な傾動部と、前記傾動部に固定されているミラーと、前記傾動部を前記基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動させるアクチュエータを備えている。その光偏向装置は、前記傾動部に固定されている磁束源と、前記基板に固定されており、前記磁束源が発生させる磁束密度を検出する第１、第２、第３および第４磁気センサを備えている。その光偏向装置では、前記第１、第２、第３および第４磁気センサが、傾動部の第１傾動軸周りの傾動および第２傾動軸周りの傾動に対して、それぞれ異なる増減特性となる位置関係で配置されている。 （もっと読む）

【課題】ホール素子に発生するオフセット電圧値を周囲温度に従って除去し、微小角度の測定精度を向上させる。
【解決手段】ホール素子から成る角度検出用センサ１５は磁束密度検出面であるチップ面Ｔが、磁束方向と平行になる場合をθ＝０となるように配置されている。センサ１５の出力Ｖには、定電流Ｉを供給することで、角度変位θと無関係で内部抵抗に起因するオフセット電圧値Ｏ１が発生し、出力Ｖに重畳している。
オフセット電圧値Ｏ１を得るためには、オフラインにおいてセンサ１５に無磁界状態で定電流Ｉを供給しながら温度Δｔを変化させて、出力Ｖのデータを求める。データから温度Δｔに対するオフセット電圧値Ｏ１のテーブルを作成する。
角度測定中では、周囲温度を測定し、オフセット電圧値Ｏ１を記憶したテーブルから求め出力Ｖから差し引けば、オフセット電圧値Ｏ１が除去される。 （もっと読む）

【課題】 ストローク量の検出範囲に対して磁気回路の体格を小さくし、ロバスト性に強いストローク量検出装置を提供する。
【解決手段】 第１磁石２１と第２磁石２２とは、磁気的特性が同一であり、形状および着磁方向が基準点Ｏに対して対称に設けられる。第１ヨーク３１と第２ヨーク３２とは、磁気的特性が同一であり、形状が基準点Ｏに対して対称に設けられる。ヨーク３１、３２は、磁石２１、２２と接続し、磁石２１、２２が発生する磁束を伝達する。第２ヨーク３２は第１磁石２１と対向し、第１ヨーク３１は第２磁石２２と対向する。ホール素子５は、基準点Ｏを通る直進軸ｘ上を相対移動し、感磁面５ａが検出する磁束変化により検出対象のストローク量を検出する。これにより、２つの磁石で効率的にストローク量の検出範囲を確保することができる。また、ホール素子５の位置ずれに対するロバスト性に強くなる。 （もっと読む）

【課題】温度特性のバラツキを解消し、縦方向のガタツキによる誤差をなくすようにした位置検出装置及び位置検出方法を提供すること。
【解決手段】ホール素子（２２ａ）のホール電圧Ｖｈｅ１は、Ａ・Ｋ・Ｂｈｅ１（Ａはプレアンプ（３２）の増幅率、Ｋは定数、Ｂｈｅ１はホール素子が受ける磁束密度）になったとすると、ＰＩレギュレータ（４１）はフィードバック制御によってＡ・Ｋ・Ｂｈｅ１＋Ｖｒｅｆ＝ＡＧＮＤ（＝０）になるように、ＰＩ出力のバイアス点を自動的に変化させる。増幅後のホール素子（２２ｂ）のホール電圧Ｖｈｅ２はＡ・Ｋ・Ｂｈｅ２となる。Ｋ＝−Ｖｒｅｆ／Ａ・Ｂｈｅ１であるから、ホール素子のホール電圧Ｖｈｅ２は、−Ｖｒｅｆ・Ｂｈｅ２／Ｂｈｅ１となる。ホール電圧は、磁束密度と比例するので、ホール素子（２２ａ）とホール素子（２２ｂ）の出力電圧を割り算していることと等価である。 （もっと読む）

【課題】磁気センサの調整が煩雑となることが抑制された磁気センサ調整方法、及び、磁気センサ調整装置を提供する。
【解決手段】磁電変換素子（２０）、磁石（３０）、及び、磁電変換素子（２０）の出力信号を閾値電圧に基づいて二値化する信号処理部（４３）を有する磁気センサ（１０）の出力特性を調整する磁気センサ調整方法であって、磁性体（７０）と磁気センサ（１０）との距離が第１距離の時の磁電変換素子（２０）の第１出力信号の電圧値Ｖａ、及び、磁性体（７０）と磁気センサ（１０）との距離が第２距離の時に出力される磁電変換素子（２０）の第２出力信号の電圧値Ｖｂを計測し、磁電変換素子（２０）の出力特性に関わる係数をａ，ｂ、閾値電圧をＶｔｈとすると、Ｖｔｈ＝ａ×ｌｎ（Ｖｂ−Ｖａ）＋ｂ＋Ｖａが成立するように磁電変換素子（２０）の出力信号の電圧レベルを調整する。 （もっと読む）

【課題】回転センサの温度上昇に伴い検出角度に誤差が生じても、安価で簡単な方法で、検出角度を補正して正常な運転を継続する。
【解決手段】制御装置１５は、同期電動機の通電時間を時間積分する時間積分部４２と、この電流積分値から同期電動機の発熱に伴う回転センサの温度上昇度を算出する温度算出部４３と、温度上昇度に基づいて回転センサの検出角度のずれ量を求め、そのずれ量を補正して同期電動機の駆動系に与える補正部４６とを備える。 （もっと読む）

【課題】周囲の気体の屈折率変動の影響を低減させて、ステージの位置決め精度等を向上できる露光装置である。
【解決手段】投影光学系（ＰＬ）を介してウエハステージ（ＷＳＴ）上のウエハ（Ｗ）に露光用の照明光を照射して、ウエハ（Ｗ）に所定のパターンを形成する露光装置であって、ウエハステージ（ＷＳＴ）に設けられたスケールと、このスケールの位置情報を検出する複数のＸヘッド（６６）と、複数のＸヘッド（６６）を一体的に支持し、線膨張率がウエハステージ（ＷＳＴ）の本体部よりも小さい計測フレーム（２１）と、複数のＸヘッド（６４）の検出結果からウエハステージ（ＷＳＴ）の変位情報を求める制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】レゾルバを用いて検出する回転位相の温度ドリフトを抑制する。
【解決手段】回転位相検出装置１は、励磁巻線１３，１４に対する励磁受信巻線１５の回転位相θに応じた電圧波形信号を、出力巻線１７から出力するレゾルバ６と、出力巻線１７に接続され、出力巻線１７とは逆の温度特性の抵抗を有する補償抵抗回路２１と、出力巻線１７および補償抵抗回路２１が直列に接続され、出力巻線１７から出力された電圧波形信号が補償抵抗回路２１を通じて入力され、入力される信号の電圧波形に基づいて回転位相を検出する検出部７とを有する。補償抵抗回路２１は、レゾルバ６に設けられる。検出部７は、補償抵抗回路２１を通じて入力される信号の電圧の大きさからレゾルバ６の温度を推定し、推定した温度に応じた補償量で、電圧波形信号に基づいて検出した回転位相θ（ＤＴＣＴ）に含まれる温度誤差Δθを補償する。 （もっと読む）

【課題】高速回転する回転軸であっても、回転バランスの崩れを懸念することなく静止時の絶対的な角度又は角度範囲を高精度に検出する。
【解決手段】回転軸２の静止時の絶対的な角度又は角度範囲を検出する磁気式の回転角検出装置１であって、回転角に応じて磁気的な特性が変化するように回転軸２の表面に周方向に沿って成膜される薄膜パターン３と、薄膜パターン３の対向位置に配置され、薄膜パターン３の磁気的な特性をインダクタンスの変化として検出する検出コイルＬと、検出コイルＬを交流励磁しつつ、検出コイルＬのインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路４と、交流励磁回路４から出力される交流励磁波の位相ズレを検出し、該位相ズレにもとづいて、回転軸２の静止時の絶対的な角度又は角度範囲を検出する検出回路５とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上できる磁気式エンコーダを提供する。
【解決手段】磁気式エンコーダが、磁石を有する回転子と、磁石を検出する位置に配置されている複数の磁気検出素子と、複数の磁気検出素子により検出された複数の検出信号に基づいて回転子の回転位置に対応する第１相の信号および第２相の信号をそれぞれ合成する合成部に対して、複数の磁気検出素子の中から、予め定められている順序パターンに基づいて順に選択された磁気検出素子により検出された検出信号を出力する出力部と、を備え、出力部は、合成部により複数の検出信号に基づいて第１相の信号および第２相の信号がそれぞれ合成される場合、第１相の信号と第２相の信号との間の位相差が小さくなるような順序パターンに基づいて順に選択された磁気検出素子により検出された検出信号を出力する。 （もっと読む）