【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも検出可能な範囲を拡大する。
【解決手段】検出体50の回転角度が０°のときは検出コイル30の右端と検出体50の最大寸法の端部の左端とが隣接し、検出コイル30と検出体50の対向面積がゼロとなるので、検出コイル30のインダクタンスが最大値をとる。ここから検出体50が反時計回りに回転すると、回転角度が大きくなるに従って対向面積が増加するので、検出コイル30のインダクタンスが単調減少する。そして、検出体50の回転角度が約340°のときに検出コイル30全体が検出体50に被われることで対向面積が最大となり、検出コイル30のインダクタンスが最小値をとる。故に、対象物の回転角度を０°から約340°の範囲まで連続して検出することが可能であり、従来よりも検出可能な範囲を拡大することができる。 （もっと読む）

【課題】 外部磁界に影響されず検出精度への影響を抑えることが可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】 ハンドルバー２に回動可能に設けた操作部３の回動操作に応じて回動する回動部材４と、回動部材４に固定された被検出部５と、被検出部５を検出する検出部６と、被検出部５と検出部６とを収納するハウジング８と、を備えた位置検出装置１において、被検出部５は、軟磁性体の金属からなる複数の被検出体５ａが円弧状に設けられた基板５ｂからなり、検出部６は、基板５ｂに対向配置され基板５ｂの回動を検出するものである。 （もっと読む）

【課題】回転検出器の構成部品の一部を省略して回転検出器付きモータの全体構成の部品点数と工数を削減すること。
【解決手段】回転検出器付きモータ１は、回転軸５と、回転軸５の周りに配置され、軸方向に延びる複数の貫通孔６ａが設けられる鉄心部６と、複数の貫通孔６ａにそれぞれ収容される複数の永久磁石７と、複数の貫通孔６ａの開口を塞ぐように鉄心部６の両端に設けられる一対の端板８Ａ，８Ｂと、コイル３ａを含むモータステータ３とを備える。両端板８Ａ，８Ｂは、非磁性体で構成され、一方の端板８Ａの軸方向外面に、周方向に交互に配置された角度検出用の凹凸が設けられる。モータロータ４の端板８Ａの軸方向外面に設けられた凹凸に対向する位置には、高周波信号が入力される励磁コイルを備えたセンサステータ１３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】高温領域内で渦電流を感知することができるインダクタおよびインダクタを含む渦電流センサの提供。
【解決手段】インダクタ１００は絶縁基板１０６上に配置されたパターン化金属層１０２を含む。パターン化金属層１０２は、金属材料に限定されず、任意の好適な誘導材料を含む。パターン化金属層１０２に好適な材料には、限定はしないが、白金、モリブデン、タングステン、タンタル、ニッケル、チタン、銅、クロム、金、アルミニウム、銀、または動作温度に適合する他の導電性材料が含まれる。インダクタ１００は、約５００℃（９３２°Ｆ）までの温度である領域の渦電流を感知することができる。 （もっと読む）

【課題】単一のコイルでインダクタンスの変化を効果的に検出し、小型でありながら高精度な変位センサを実現するためのインダクタンス変化検出回路と、これを用いる変位検出装置及び金属検出装置を提供する。
【解決手段】矩形波交流電圧源にコイルを接続し、コイルに流れる交流電流を電圧信号に変換した後、ヒステリシス特性を有するコンパレータを通すことで、コイルのインダクタンス変化をパルスの立ち上がりの位相変化として検出する。従来技術のように二つのコイルを設ける必要がなく、部品点数が少なくなるので、低コストで高精度な変位センサを実現できる。 （もっと読む）

【課題】変位センサの電気的失陥と機構的失陥とを、故障検知方法やシステムを複雑化することなく簡便且つ正確に検出すること。
【解決手段】センサ軸２４は連結部３４によるペダル１０との機械的な連結を解かれた状態ではセンサ本体２２に対して正常時の相対変位レンジを超える位置に変位する設定になっており、センサ出力値が前記相対変位レンジにおける最大値より大きい所定の上限設定値を上回った場合、あるいは前記出力値が前記相対変位レンジにおける最小値より小さい所定の下限設定値を下回った場合には異常判定を行う電気的異常判定手段と、センサ出力値が前記相対変位レンジにおける最大値より所定量大きい設定値を上回った場合、あるいは前記出力値が前記相対変位レンジにおける最小値より所定量小さい設定値を下回るった場合には異常判定を行う機構的失陥異常判定手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】変位検出装置において、全長を短縮する。
【解決手段】変位検出装置１は、検出コイル２と、検出コイル２に対して変位可能に設けられた変形可能な変位体３と、外部からの作用を受けて変位することにより、変位体３を変位させる変位取り出し部５と、変位体３が変位取り出し部５により変位させられるときに、変位体３の少なくとも一部を変形させて曲線軌道で変位させる巻取り部４ａ、４ｂとを備える。巻取り部４ａ、４ｂは、変位体３が変位取り出し部５により変位させられるときに、変位体３の少なくとも一部を巻取ることによって、変位体３の少なくとも一部を変形させて曲線軌道で変位させる。変位体３は、変位取り出し部５により変位させられるとき、巻取り部４ａに巻取られると共に巻取り部４ｂから繰り出され、又は、巻取り部４ｂに巻取られると共に巻取り部４ａから繰り出される。これにより、変位検出装置１の全長を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】検出コイルを金属製の外殻で覆っても、渦電流損失を小さく抑え、必要十分な位置検出感度を得ることができる近接センサを提供する。
【解決手段】二つのコイルに矩形波電圧を印加して、各々のコイルに流れる電流を独立して検出してから差動回路等で差を演算するのではなく、直接電流の差の値を検出することにより、Ｓ／Ｎ比が良好であり高感度な近接センサを実現できる。また、各々のコイルは同じ磁気特性と電気特性を備えるため、温度変化でこれらの特性が変化したとしても夫々同じように変化するので、温度変化に起因するばらつきが生じ難い。 （もっと読む）

【課題】 検出コイルの位置の誤差が出力に与える影響を抑えられ、且つ、検出コイルが被検出体の両側に設けられる場合に比べて製造コストの低減が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 検出コイル３と被検出体４との位置関係の変化に伴う検出コイル３のインダクタンスの変化に基いて変位量が検出される。検出コイル３に対する被検出体４の変位方向に直交する方向から検出コイル３を挟むように２個の被検出体４を配置した。被検出体４間の隙間の大きさを一定とすれば、検出コイル３において上記直交する方向の位置ずれが生じたとしても、検出コイル３が一方側において被検出体４に近くなった分だけ他方側において被検出体４から離れることで、出力の変動が相殺され抑えられる。また、上記とは逆に被検出体４が検出コイル３に挟まれる配置とする場合に比べ、製造コストの低減が可能である。 （もっと読む）

【課題】距離を計測する場合に長い検出距離で精度が高く、導電性膜の厚さを計測する場合に出力電圧が高い小型の磁界反射型センサを提供する。
【解決手段】磁界反射型センサ１は、交番磁界である一次磁界を発信し導電性の被対象物に渦電流を生じさせる励磁器１０と、渦電流によって発生した二次磁界を検出して受信信号を生成する受信器２０と、励磁器１０と受信器２０とを保持する非導電性材製のケース４０とを備え、励磁器１０は、第１脚部１１１と第２脚部１１２とこの二つの脚部を連結する梁部１１３とからなる門型の励磁コア１１と、梁部１１３に巻装した励磁コイル１６とで構成するとともに、二つの脚部の端面側を検出方向に向けて配置し、受信器２０は、棒状の受信コア２１と、受信コア２１に巻き回した受信コイル２６とで構成するとともに、第１脚部１１１の近傍で励磁器１０が発信した一次磁界をほとんど検出しない位置および角度に配置した。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎ比の高い位置センサを提供すること。
【解決手段】（ａ）ロータ１０のステータ９に対向する位置に形成されたロータパターン１３が、非磁性導電体部１２が周期的に形成されたものであること、（ｂ）ステータコイルが、励磁コイル１７，１８と検出コイル１６を有すること、（ｃ）励磁コイル１７，１８と検出コイル１６が共に同じ方向に巻回されており、励磁コイル１７，１８と検出コイル１６の幅が共に、ロータパターン１３の１周期と同じ幅であること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】モータの外装部に設置される、感度の高い回転センサの取り付け又は取り外しを容易にすること。
【解決手段】ロータポジションセンサ付のモータ１０は、正弦波関数によって外周パターンの形状が変化するセンサロータ５と、外周パターンの形状に沿って異なる箇所で発生する渦電流を検出して、センサロータ５の回転角を求める回転センサ４と、回転センサ４がはめ込まれる貫通孔を有するサイドカバー１ｂと、を備える。この貫通孔は、原動機のシャフト９に接続されるセンサロータ５の外周パターンの形状を検出可能とする位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】変位方向に取付位置を微調整できる変位計の取付構造を提供する。
【解決手段】測定対象１を覆うケーシング２に、測定対象１に向かって貫通する取付穴３を形成し、取付穴３に、測定対象１の変位を検出する変位計４を保持するホルダ５を挿入した変位計取付構造であって、取付穴３は、測定対象１と反対側の内周に、雌ねじ１４が形成され、ホルダ５は、先端に変位計４を受け入れる保持穴８が形成され、後端から保持穴８まで延伸する連絡穴１０が形成され、且つ、先端から離れた位置の外周に雌ねじ１４に螺合する雄ねじ１２が形成され、雄ねじ１２にケーシング２の測定対象１と反対側の面に密接するロックナット１７が螺合し、ホルダ５の先端側の外周、および、取付穴３の測定対象１側の内周の少なくともいずれかに、ホルダ５とケーシング２との間を封止する環状のシール部材１５を受け入れるシール溝１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】渦電流型変位センサが故障した場合に、そのセンサ特性を的確に推定することにより適切な保守部品を選択可能として、迅速な故障対応を行う。
【解決手段】特性推定対象となる渦電流型変位センサについて、その励磁周波数を掃引して、Ｑ値の最大値及びその最大値における励磁周波数（Ｑ値特性）を測定するステップ（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）と、特性推定対象となる渦電流型変位センサのＱ値特性と、予め測定した既知の渦電流型変位センサのＱ値特性とを比較するステップ（Ｓ４）と、比較結果に基づいて、特性推定対象となる渦電流型変位センサの種類及び特性を推定するステップ（Ｓ５）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】励磁コイルを多重に形成して、渦電流を生じさせる領域を変化させることで、２つの溝間における回転体の回転角度を精度良く検出することを可能とした回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】円盤状の回転体２０と、回転体２０の円盤面に交番磁界を付与することにより渦電流を発生させる励磁コイルと、回転体２０の円盤面に発生した渦電流に起因して生じる磁界を検出する検出コイルとを備え、回転体２０の円盤面には、その回転方向に角度間隔をおいて複数の溝Ｄを設け、検出コイルを通じて検出される磁界の変化に基づいて溝Ｄの有無を検知することにより、回転体２０の２つの溝Ｄ間における回転角度を求める回転角度検出装置であって、励磁コイルは、回転体２０に生じさせる渦電流の領域を可変するために、個別に通電される径の異なる複数のコイルが同心円上に配設されてなる回転角度検出装置。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位に対する検出コイルのインピーダンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】対象物の変位と連動して円周軌道上を変位する検出体３０ａ，３０ｂと対向して配置されるとともに、各誘電体基板１，２の表面に印刷形成された検出コイルＣｏと、検出体３０ａ，３０ｂの変位に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンス（インピーダンス）に基づいて対象物の変位を検出する検出部とを備え、各誘電体基板１，２の各検出コイルを、各検出体３０ａ，３０ｂの変位方向に沿った所定の長さ寸法の空隙ｇを囲むように巻き回される複数の第１のターンａ０，ｂ０と、空隙ｇを横切るように折り返して巻き回される２つの第２のターンａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２とから構成した。 （もっと読む）

【課題】軸回りに回転する測定対象物の軸方向位置を適用かつ容易にコストをかけずに検出することが可能なセンサを提供すること。
【解決手段】回転軸回りに回転しつつ軸方向へ変位する測定対象物２の軸方向位置を検出するセンサ１において、第１の要素６と、磁気部材７を有する検出部５とを設け、位置信号の発出のために、線状の相対変位時に第１の要素６と協働しつつ該第１の要素６に対して所定の線状の変位を行う第２の要素８を磁気部材７によって形成し、位置信号の発出のために、特に測定対象物２による線状の相対変位によって第２の要素８を非接触に連行するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】各誘電体基板１，２の表面に印刷形成された検出コイルＣｏと、検出コイルＣｏと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して検出コイルＣｏに対して円周軌道上を変位する検出体３０ａ，３０ｂと、検出体３０ａ，３０ｂの変位に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部とを備え、検出コイルＣｏ又は検出体３０ａ，３０ｂのうち少なくとも何れか一方を、検出体３０ａ，３０ｂの変位に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成した。 （もっと読む）

高周波電流源によって通電される送信コイルを備えたロータリポジションセンサを提供する。第１の受信コイルは偶数のＮ個のループを含み、第１の受信コイルの有する隣接するループは逆方向に巻かれている。第２の受信コイルはまた、Ｎ個のループを含み、隣接するループは逆方向に巻かれている。さらに、第２の受信コイルは、第１の受信コイルから１８０／Ｎ度だけ角度を付けてオフセットされる。導電性材料からなる非円形カプラは、カプラ要素が第１および第２の受信コイルの少なくとも一部上に重なるように、コイルに対して回転可能に装着される。回路は、第１および第２の受信コイルからの出力信号を処理し、カプラの回転位置を表わす出力信号を生成する。
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