【課題】筺体から引き出されるケーブルを筺体に固定するための固定用部材の長さにかかわらず、固定用部材からのケーブルの抜け強度を高めることが可能な磁気センサ装置を提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子が内部に配置される筺体８には、筺体８の内部からケーブル５を引き出すためのケーブル引出孔８ｅが形成されている。スリーブ１０は、ケーブル引出孔８ｅに配置され、スリーブ１０の内周側には、ケーブル５が配置され、固定用ネジ１１は、その先端がスリーブ１０の外周面に接触するように筺体８に取り付けられている。スリーブ１０の外周面には、固定用ネジ１１が接触可能なネジ接触部１０ｆが形成され、スリーブ１０の内周面の、ネジ接触部１０ｆの内周側には、凸部１０ｇが形成され、スリーブ１０の軸方向において、スリーブ１０のネジ接触部１０ｆの両側には、ネジ接触部１０ｆを挟むように一対のスリット１０ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】使用環境の温度変化の影響を抑え、位置決め対象の正確な位置制御が可能なスケール装置を提供する。
【解決手段】一方向に目盛りが配列されたスケール１１と、スケール１１を取付けるベース部１４と、スケール１１の目盛りを読み取る読取ヘッド１２と、を備えるスケール装置１０であり、スケール１１は、目盛りが付された方向である目盛り方向の一端においてベース部１４に固定される固定部１５と、反対側の端部において直動ガイド１３を介してベース部１４に取付けられるガイド取付け部１８とでベース部１４に取付けられており、直動ガイド１３が動く方向と目盛り方向とが同一であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
長さ測定システムをできるだけ安定して保持することができる、最小の構造サイズの取付け装置を提供する。
【解決手段】
取付け装置（１）が、１つの基体（１）と少なくとも１つのホルダ（４）を備え、ホルダ（４）が、挟持することによって長さ測定システム（２）を基体（１）に保持するために、基体（１）の切欠き（１４）内で移動可能であり、ホルダ（４）が回転不能に縦方向にガイドされるように、ホルダ（４）と切欠き（１４）が形成されていることを特徴とする、長さ測定システム（２）を取り付けるための取付け装置（１）。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び製造コストの低減を図った上で高分解能で高精度な可動レンズの位置検出を行う。
【解決手段】 所定の方向へ動作され連続的に増加又は減少する信号を出力して光軸方向へ移動される可動レンズの絶対位置を検出する第１の検出センサーと、所定の方向へ動作され周期的かつ連続的に変化する信号を出力して前記可動レンズの相対位置を検出する第２の検出センサーとを設け、前記第１の検出センサーと前記第２の検出センサーを異なら動作速度で動作するようにした。
これにより、第２の検出センサーの着磁ピッチを大きくしたり、第１の検出センサーとしてリニアリティー誤差やヒステリシスの小さいものを用いる必要がなく、小型化及び製造コストの低減を図った上で高分解能で高精度な可動レンズの位置検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】起動時において検出対象物を所定の基準位置まで移動させることなく、絶対的な位置を検出することができる位置検出ユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、位置検出ユニットであって、検出対象物(16)の変位に対し、単調に増加又は減少する単調信号を出力する第１センサ(20)と、検出対象物の変位に対して互いに位相がずれた２つの正弦信号を出力する第２センサ(24)と、検出対象物の位置に対する単調信号を記憶する第１記憶部(26)と、各正弦信号の極大値及び極小値を記憶する第２記憶部(26)と、検出された単調信号及び記憶された単調信号データに基づいて、検出対象物が正弦信号の何周期目に位置するかを特定すると共に、検出された正弦信号及び記憶された極大極小データに基づいて、特定された周期内における検出対象物の位置を計算し、絶対的な位置を求める位置演算部(28)と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、少なくとも一部が電気絶縁材料から成るキャリア本体１と金属基板３とを有するエンコーダ用の目盛キャリアに関する。測定目盛１５が、キャリア本体１の第１表面１０ａ上に設けられている。キャリア本体１の第１表面１０ａに対向している第２表面１０ｂが、金属基板３に密接し、且つ、このキャリア本体１が、この金属基板３に不動に接合されている。
【解決手段】
補助本体２が、キャリア本体１に面さなかった基板３の表面３２に接して、このキャリア本体１に対して平行に延在している。この補助本体２は、金属基板３の厚さＤだけキャリア本体１から離れていて且つこの金属基板３に不動に接合されている。 （もっと読む）

【課題】組立・調整作業が容易で良好な出力特性が得られる小型の位置検出装置およびこれを用いたレンズユニットを提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子３を保持するホルダ５は、一端に磁気抵抗素子３の感受面と略平行且つ移動方向と直交する方向に突出した凸部を有し、ベース７は、前記凸部が挿入される凹部と、光軸と平行な方向に配設され、互いに平行な２つの平面部２５を有する２つの突出部２１と、ベース７を鏡筒に取り付ける位置決め手段とを備え、シムは、突出部２１に設けられた平面部２５と前記鏡筒との間に挿入され、ベース７を前記位置決め手段によって前記鏡筒に取り付ける際に、ベース７が突出部２１を基点として湾曲することにより、磁気記録媒体と磁気抵抗素子３の間隔を調整し、前記シムは、その厚みを変更することで前記ベース７の前記鏡筒に対する距離が調整され、磁気抵抗素子３の前記磁気記録媒体に対する倒れが補正される。 （もっと読む）

【課題】位置検出感度を損なうことなく耐摩耗性及び環境遮断特性を高めた実用的な位置検出器用センサーロッドを提供する。
【解決手段】強磁性材料の母材上に導電層をリング状に形成したセンサーロッドである。導電層は、粒子積層構造を有し、ビッカース硬さＨＶが６０以上、固有電気抵抗が１５μΩｃｍ以下、膜厚が０．１ｍｍ以上である導電性皮膜である。さらに、この導電性皮膜を含む母材の表面を導電層よりも高硬度の少なくとも一層以上からなる硬質皮膜で被覆すると共に、前記硬質皮膜の膜厚が０．３ｍｍ以下に調整されている。このような構成によれば、測定誤差が小さく耐久性の大きい位置検出器用センサーロッドが得られる。 （もっと読む）

【課題】周囲の気体の屈折率変動の影響を低減させて、ステージの位置決め精度等を向上できる露光装置である。
【解決手段】投影光学系（ＰＬ）を介してウエハステージ（ＷＳＴ）上のウエハ（Ｗ）に露光用の照明光を照射して、ウエハ（Ｗ）に所定のパターンを形成する露光装置であって、ウエハステージ（ＷＳＴ）に設けられたスケールと、このスケールの位置情報を検出する複数のＸヘッド（６６）と、複数のＸヘッド（６６）を一体的に支持し、線膨張率がウエハステージ（ＷＳＴ）の本体部よりも小さい計測フレーム（２１）と、複数のＸヘッド（６４）の検出結果からウエハステージ（ＷＳＴ）の変位情報を求める制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】リニア方向の絶対位置を特定するスケールを直列に配置して長い距離の絶対位置を正確に検出可能で組立性にも優れたリニアセンサを提供する。
【解決手段】移動体の絶対位置を特定するために複数直列に配置された移動体絶対位置特定スケールからなる長尺スケールと、長尺スケールの何れの移動体絶対位置特定スケールに移動体が存在するかを特定する移動体存在領域識別スケールと、各移動体絶対位置特定スケールにおける移動体の絶対位置を検出する移動体絶対位置検出手段と、何れの移動体存在領域識別スケールに移動体が存在するかを特定する移動体存在領域識別手段と、を備え、長尺スケールと移動体存在領域識別スケールがそれぞれ並列に配置されており、各移動体絶対位置特定スケールの連結部付近において、移動体存在領域識別手段が移動体存在領域識別スケールを読取る位置を所定量だけずらす。 （もっと読む）

【課題】 回転検出機能部の外径寸法を小さく抑えることができ、回転検出精度を向上させることができる回転検出機能付き滑り軸受装置を提供する。
【解決手段】 内周面が軸５に対して接する滑り軸受部６、および軸５の回転を検出する回転センサ部１５を軸方向に並べて一体に設ける。軸５と一体に、その外周面に被検出部４を設け、この被検出部４を回転センサ部１５のセンサ１２で検出する。被検出部４は、例えば、多極着磁されたゴム磁石またはプラスチック磁石からなる環状の磁気エンコーダとされる。 （もっと読む）

【課題】強い磁力を有すると共に柔軟性に富む可撓性マグネット等を提供する。
【解決手段】可撓性マグネットＭは、希土類磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にＮ極とＳ極を着磁した第一シート１と、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シート１の裏面に固着された第二シート２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】磁気式リニアエンコーダのスケールは一定間隔でＮ極、Ｓ極が繰り返し着磁された永久磁石が使用されるのが一般的であるが、長尺になると長い磁石を作る必要があり、磁石の製造が困難となり、さらに磁石と一般金属材料との熱膨張率の差から温度上昇により位置検出精度が劣化する。
【解決手段】移動する検出対象物に検出部と磁石を取り付け、スケールは交互に間隔を開けて設けられた多数の第１のヨーク板と第２のヨーク板よりなり、着磁された移動する磁石により第１のヨーク板および第２のヨーク板が互いに異極に着磁され、検出部が着磁されたヨークの磁場を検出する構成とする。これにより多数のヨークを積層する事により長尺のスケールを構成でき、磁石を長尺とする必要がない。またヨークは軟磁性金属であるため、昇温時の磁性材料と構造用金属の熱膨張率の差による検出精度の低下がない。 （もっと読む）

【課題】回転磁界の方向が基準方向に対してなす角度を検出する回転磁界センサにおいて、検出角度の誤差を低減する。
【解決手段】第１の検出部１０は第１および第２の検出回路１１，１２を有し、第２の検出部２０は第３および第４の検出回路２１，２２を有している。検出回路１２，２２の出力信号の位相は、それぞれ検出回路１１，２１の出力信号の位相に対して、信号周期の１／４の奇数倍だけ異なっている。検出回路２１の出力信号の位相は、検出回路１１の出力信号の位相に対して、信号周期の１／２の整数倍を除く信号周期の１／６の整数倍だけ異なっている。回転磁界センサは、検出回路１１，２１の出力信号に基づいて第１の信号を生成し、検出回路１２，２２の出力信号に基づいて第２の信号を生成し、第１および第２の信号に基づいて角度検出値を算出する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】光学式のアブソリュートエンコーダを用いずに、可動子の絶対位置を検出する。
【解決手段】制御装置は、Ｎ極とＳ極とが交互に等間隔に配列方向に配列されている複数の第１の磁石を備える第１の磁石部と、第１の磁石部に対向して電機子に備えられ第１の磁石が生じさせている磁界を検出し、検出した磁界に応じた信号を出力する第１の磁気センサと、配列方向における可動子の可動範囲を複数に分けた区間それぞれを一意に識別させる複数の第２の磁石であって配列方向に等間隔に配列されている複数の第２の磁石を備える第２の磁石部と、第２の磁石部に対向して電機子に備えられ第２の磁石が生じさせている磁界の磁束密度に応じた信号を出力する第２の磁気センサと、第２の磁気センサが出力する信号から検出された区間と、第１の磁気センサが出力する信号から算出された電気角とに基づいて、可動子の位置を算出する位置算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 位置の検出精度が高い位置検出装置及び直線駆動装置を提供する。
【解決手段】 多磁極列を有する固定子と、前記固定子の多磁極列面に対して平行移動すると共に前記固定子からの磁束の向きを検知する第１及び第２のセンサデバイスとを備える位置検出装置。前記第１及び第２センサデバイスは、複数のスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子のフルブリッジであり、λ／４のピッチ、又はλ／４±ｎλ／２のピッチで配置されている。λは多磁極列の同極性の磁極のピッチ、ｎは整数である。 （もっと読む）

【課題】
センサ部からの位置の出力が重複する区間で、位置が不連続に変化することを防止する。
【構成】
位置を求めるための複数のセンサ部を備えた位置センサを用い、センサ部を切り替えながら移動体の位置を検出する。複数のセンサ部が共に位置を出力する区間では、区間の入口から出口まで、位置センサの出力が連続的に変化するように、各センサ部からの出力を組合せて、位置センサの出力とする。 （もっと読む）