【課題】確実な原点検出と高精度な相対位置検出の両立が可能なエンコーダを用いる位置検出装置及び方法を提供することである。
【解決手段】位置検出装置は、エンコーダ１０１と補正手段１０３と相対位置検出手段１０５と原点検出手段１０４と絶対位置決定手段１０６を備える。エンコーダは、スケール１３と受信部１２を有し、スケールは、不連続部分を持つ周期的パターンを有し、受信部は、相対移動時に、周期的パターンからの信号を受信して位置検出用の信号を生成する。補正手段は、受信部の出力信号の不連続部分に由来する部分を補正する。相対位置検出手段は、補正信号に対してエンコード処理を施し相対位置を検出する。原点検出手段は、不連続部分に由来する信号部分を含む受信部の出力信号に基づいて原点位置を検出する。絶対位置決定手段は、相対位置の検出結果と原点位置の検出結果から絶対位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥のない反射膜を有する光学スケールを製造する。
【解決手段】少なくともベース基材３と、ベース基材３上に形成された回折格子４を有する回折格子膜５と、この回折格子膜５上に形成された反射膜６とを有する光学スケール１の製造方法において、ベース基材３に成膜した回折格子膜５上に、スパッタ法により第１の反射膜６ａを成膜し、この第１の反射膜６ａに対して欠陥除去手段１１で第１の反射膜６ａの欠陥部分１０を除去した後、第１の反射膜６ａ上にスパッタ法により第２の反射膜６ｂを成膜する （もっと読む）

【課題】ひとつのセンシングシステムで、多様な物理量のセンサがサポートでき、且つ、複数地点での多様な物理量が同時に観測できるシステムを提供すること。
【解決手段】本発明では、ＰＮ符号で変調された出射光を、光源部から異なる光路長の地点にそれぞれ配設された複数の光ファイバセンサから構成されたセンサ群に出射し、反射応答光とＰＮ符号との相互相関処理によって複数の光ファイバセンサ毎の反射応答信号を得るように構成される光ファイバセンシングシステムにおいて、センサ群は、異なる物理量を検出し得る少なくとも１つ以上の方式に対応した光ファイバセンサを含み、光源部は、異なる遅延時間の遅延ＰＮ符号で変調され、光ファイバセンサに適合した複数種類の出射光を送出する複数の光源を備え、処理部は、センサ群からの反射応答光のデジタル信号と遅延ＰＮ符号との相互相関処理によってセンサ群の反射応答信号を得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】小型であり、且つ回折格子で反射回折された回折光の光量の利用効率が従来よりも高いエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド２０は、光源部から照明光がスケール５（回折格子）に照射されてスケール５で反射回折された＋１次回折光を反射させて当該＋１次回折光の回折角と等しい角度で再びスケール５に入射させる第１コーナーキューブ２１と、スケール５で反射回折された−１次回折光を反射させて当該−１次回折光の回折角と等しい角度で再びスケール５に入射させる第２コーナーキューブ２３とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】受光素子に十分な光量を確保させることができ、小型化することができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダ１は、格子状の目盛り２１を有するスケール２と、スケール２に光を出射する光源３１、スケール２と平行に配設され、スケール２にて反射される光を受光する受光素子３２、スケール２にて反射される光を受光素子３２に伝達するスケール側レンズ３３、及びスケール２にて反射される光を導光するスケール用プリズム３４を有するヘッド３とを備える。光源３１から出射される光の光軸Ｌｓｒｃは、目盛り２１の直交方向では、スケール側レンズ３３の光軸Ｌｓに対して傾斜している。スケール用プリズム３４は、目盛り２１の直交方向では、スケール２にて反射される光の光軸をスケール側レンズ３３の光軸Ｌｓと一致させる。 （もっと読む）

【課題】 回折効率の調整がより容易となる構成の回折格子を提供する。
【解決手段】 本発明の回折格子１０を、基材１と、基材１上に形成された複数の凸部２と、凸部２上に形成された反射膜３とを備える構成とする。そして、凸部２の反射膜３側の表面２ａを平坦面とし、凸部２の側面２ｂに凹凸を形成する。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストで高精度なアブソリュートエンコーダを提供する。
【解決手段】アブソリュートエンコーダは、第１スリットを有する第１トラック及び第２スリットを有する第２トラックを備えたスケール部と、第１及び第２スリットに光を照射する光源と、第１スリットで反射した光から得られた第１信号を検出する第１検出手段と、第２スリットで反射した光から得られた第２信号を検出する第２検出手段とを有し、第２スリットは、スケール部の移動方向における位置に応じて光源から照射された光の反射光量が異なるように形成され、演算手段は、第２検出手段で得られた光電流の電圧値又は第２信号の振幅値に基づいて上位信号を取得し、第１及び第２信号を用いてバーニア演算を行い中位信号を取得し、第１信号を用いてアークタンジェント演算を行い下位信号を取得し、上位信号、中位信号、及び、下位信号に基づいて被計測物の絶対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】小型であり、かつ構成部材の位置合せが容易なエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド２０は、光源部からの計測光をスケール５（回折格子）に向けて反射させる第１プリズム２１と、第１プリズム２１により反射された計測光を二つの直線偏光に分割する偏光ビームスプリッタ膜２２と、偏光ビームスプリッタ膜２２を透過した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の一方の位置に照射させる第１波長板２３と、偏光ビームスプリッタ膜２２で反射した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の他方の位置に照射させる第２波長板２４と、スケール５で反射回折した±１次回折光を干渉させて光検出器に向けて反射させる第２プリズム２５とを有し、偏光ビームスプリッタ膜２２が第１プリズム２１と第２プリズム２５に挟まれて設けられ第１プリズム２１、第２プリズム２５および偏光ビームスプリッタ膜２２が一体に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ２次以上の回折光および迷光の発生を抑え、位置検出信号のＳ／Ｎ比を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】 屈折率ｎの保護層１２で格子面１１ａが覆われた回折格子１１のピッチをｄ、照射される可干渉光の真空中の波長をλ_０とした時、ｄ＜２λ_０／ｎ とし、上記回折格子１１への可干渉光の入射角θ_０を
｜ｓｉｎθ_０｜＜（２λ_０／ｄｎ）−１
なる式を満たす角度に設定し、１次回折光を位置検出に使用する。 （もっと読む）

【課題】位置情報の検出精度を高めることができる。
【解決手段】所定の固有周波数で振動する振動子（４０）と、前記振動子に設けられ、位置を示す符号が付されている符号板（１０）と、前記符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する検出部（３０）と、前記検出部から出力された検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて、前記位置情報の内挿誤差を計測する計測部（６０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子２と、格子干渉計４，５と、相対位置情報出力手段６，７とを備えている。格子干渉計４，５は、光源３と、反射手段１２，１３と、ビームスプリッタ１７と、受光手段１８，１９とを有している。反射手段１２，１３は、回折格子２によって回折された１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を反射させて、光源３からの光Ｌが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段１２，１３は、光源３から複合回折格子２への入射角度及び、１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２が回折格子２を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子２に１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を入射させている。 （もっと読む）

【課題】高精度で、小型かつローコストなロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】ロータリーエンコーダ１００は、螺旋状パターン５０１及び放射状パターン５０２を有して回転軸を中心に回転可能なスケール２０１と、螺旋状パターン５０１を透過した光束を検出して第１検出信号を出力する第１センサユニット３０１と、放射状パターン５０２を透過した光束を検出して第２検出信号を出力する第２センサユニット３０２と、第１検出信号に基づいて偏芯補正信号を生成し、偏芯補正信号に基づいて第２検出信号を補正する信号処理回路４０１とを有し、螺旋状パターン５０１は、所定値より大きい回転角変位を検出し、放射状パターン５０２は、螺旋状パターン５０１で検出される回転角変位よりも小さい回転角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】物体間の相対位置の変化を同じ測定点で多次元的に計測する。
【解決手段】エンコーダ１は、光分岐面３０上の互いに交差する２方向のそれぞれで照明光Ｌ０を分岐させる分岐部３と、光分岐面３０上で上記の２方向のいずれとも交差する方向に照明光Ｌ０を走査させる照明系２と、分岐部３に対して相対移動するスケール５と、上記の２方向のうちの第１方向にて分岐した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２と第２方向にて分岐した第２の光Ｌ２１、Ｌ２２とをスケール５に導くとともに、スケール５上で第１の光Ｌ１１、Ｌ１２のスポットＳ１１、Ｓ１２を第２の光Ｌ２１、Ｌ２２のスポットＳ２１、Ｓ２２と重ねる光学系４と、スケール５を経由した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２及び第２の光Ｌ２１、Ｌ２２を検出する検出部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して分解能を向上させつつ、製造等を容易にすることが可能な、エンコーダ、サーボモータ、サーボユニット及びエンコーダの製造方法を提供する。
【解決手段】
回転格子が形成されたリング状の第１トラックＴＡ及び第２トラックＴＢを有するディスク１１０と、第１トラック及び第２トラックに対向して固定配置され、固定格子を有して回折干渉光を検出する第１検出部１３０Ａ及び第２検出部１３０Ｂと、を有し、第１トラックの複数のスリットは、湾曲スリットとして形成され、第１トラックに対向する第１検出部は、第２検出部が対向する位置におけるスリットの接線ＬＩＮＥＢに対して、第１トラックの回折格子に含まれるスリットの接線ＬＩＮＥＡが平行となる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】測定作業の容易化およびコストダウンを図る上で有利な操舵角検出装置および操舵角検出方法を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール２の回転部２Ｄの外周に沿って被検出部１２を設ける。被検出部１２は、回転部２Ｄの外周に沿って設けられ、外周の延在方向に沿った一定の長さの領域の光の反射量が回転部２Ｄの外周に沿って単調に増加または減少する。操舵角検出装置１０は、予め定められた測定箇所において被検出部１２を撮像して濃淡画像を生成すると共に、濃淡画像のうち回転部２Ｄの外周方向に沿った一定幅の濃淡画像の領域である検出領域２４に該当する画像の輝度を検出し、操舵角θと輝度Ｌとを対応付けたデータテーブルから操舵角θを特定し該操舵角θを示す操舵角データを出力し、操舵角θの特定は、検出された輝度Ｌと、直近の操舵角θ_０とに基づいて行う。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、光学メイン格子Ｌがそれぞれ全長に亘って形成された帯状の１のトラックＴＣと一部に形成された1以上のトラックＴＡ，ＴＢとを測定軸方向Ｘが長手となるように有するメインスケール１１０と、メイン格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール１１０に対向して測定軸方向Ｘで相対移動可能に配置され、光学的な２以上のインデックス格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたインデックススケール１２０と、を備え、少なくとも１のトラックＴのメイン格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬは、そのピッチｐ_Ｌが１以上の他のトラックＴにおけるスリットＳＬのピッチＰ_Ｌと等しくなるように、測定軸方向Ｘに垂直な方向Ｙから所定の傾斜角度θ_Ａ，θ_Ｂで傾斜して形成される。 （もっと読む）

【課題】所謂インモールド成型により、射出成形で基材を形作るのと同時に、反射板の反射パターンを転写する工程を有することで、低コストで生産効率を高くすることができる光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供する。
【解決手段】反射領域と非反射領域でパターンが形成され反射面部１２を備えた光学式エンコーダ用反射板１０の製造方法において、パターンの反射領域を形成する反射材１３を有するシート３０と、反射面部を形作ると共にシートを係止可能な反射面部形成部２２を備えた一の型２１を含む、２以上の型２１，２５を有する射出成形用金型２０とを用い、反射面部形成部にシートを係止させて金型の型締めを行う工程と、当該型締めを行った金型の内部２０ａに樹脂を射出して、基材１１を形成すると共に、反射面部形成部で反射面部となる部分を形作り、かつ、反射面部となる部分にシートから反射材を転写させて反射面部を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 Ｚ相信号をより安定させ、確実に原点出しを行うことができ、信頼性が高く、コンパクト、且つ、低コストが容易になるように工夫したリニアエンコーダとそのようなリニアエンコーダを使用したアクチュエータを提供することである。
【解決手段】 原点用スケールパターンの符号系列が狭帯域化のための変調が掛かったパターンであることを特徴とするものであり、例えば、低コスト化容易なＰＥＴフィルム基材を用い、印刷により製作した反射面の平滑性が若干劣るリニアスケールを用いても、狭帯域化変調を施したスケールパターンを用いることにより、本来孤立ビットとなるＺ相原点信号でも、信号振幅を確保することができる。又、差動検出により信号出力の増大やスレショルドレベルの安定化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子アレイから出力される信号に異常が生じた場合であっても適切な測定をすることができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダは、スケールと、光源と、光源から出射され、スケールを介した光を受光する複数の受光素子アレイ５１〜５３と、測定手段５４とを備える。受光素子アレイ５１，５３は、それぞれ２つの領域５１１，５１２，５３１，５３２に分割されている。測定手段５４は、領域５１１，５１２，５３１，５３２から出力される信号に基づいて、領域５１１，５１２，５３１，５３２に異常が生じているか否かを判定する異常判定部５４１と、異常判定部５４１にて異常が生じていないと判定された領域５１１，５１２，５３１，５３２、及び受光素子アレイ５２から出力される信号に基づいて、スケールの位置を測定する位置測定部５４２とを備える。 （もっと読む）