【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）

【課題】より小型で簡素な３チャネルエンコーダの提供
【解決手段】
光エンコーダが開示される。特に、３つのチャネルの全てに関して単一のトラックを利用する３チャネルエンコーダが開示される。インデックスチャネルは、増分的角度位置を求めるために使用される第１及び第２のチャネルと同じ光トラックで提供される。かくして、より小型で簡素な３チャネルエンコーダが提供される。 （もっと読む）

【課題】光検出器からの発生する熱を良好に放熱する光学式エンコーダーを提供する。
【解決手段】反射型光学式エンコーダー１００は光源１１０とスケール１２０と光検出器１３０と支持基板１４０と光源スリット１５０とを備えている。光源１１０はスケール１２０に向けて光ビームを射出し、スケール１２０は光源１１０に対して移動する。スケール１２０は周期的な光学パターン１２４を有し、照射される光ビームを反射・変調する。光検出器１３０はフォトディテクターアレイ１３２を有し、スケール１２０によって反射・変調された光ビームによる結像イメージを検出する。光源１１０と光検出器１３０は共に支持基板１４０に取り付けられている。光源スリット１５０はスリットパターン１５４を有し、スリットパターン１５４が光源１１０の上にひさし状に張り出すように、フォトディテクターアレイ１３２が形成された光検出器１３０の面に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】測定精度の悪化や安定性・再現性の悪化を招くことなく、空間分解能の向上及びコストの低減を図ることができる光ファイバ特性測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ特性測定装置１は、所定の変調周波数で変調したレーザ光を射出する光源１１と、光源１１からのレーザ光をプローブ光Ｌ１及びポンプ光Ｌ２として光ファイバ１４の一端及び他端からそれぞれ入射させる入射手段（光分岐器１２、光変調器１３、パルス変調器１５、方向性結合器１６）と、光ファイバ１４から射出される光を検出する光検出器１７と、光検出器１７から出力される検出信号Ｄ１のうち、光ファイバ１４に設定された測定点近傍の光を検出して得られた検出信号を通過させることによって切り出しを行うタイミング調整器１８ａと、タイミング調整器１８ａを通過した検出信号Ｄ２を同期検波するロックインアンプ１８ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】ピストンロッドの伸縮量をロータリーエンコーダやポテンショメータのような機械的接触を伴うことなく非接触で計測する。
【解決手段】本発明に係る変位計測装置１は、ピストンロッド３のシリンダ本体２に対する進退量を運動体の並進移動量として計測するものであって、短冊状をなす計測用ターゲット５を、その長手方向がピストンロッド３の並進方向と平行になるように該ピストンロッドの周面に貼付してあるとともに、同じく短冊状をなす補正用ターゲット６を、その長手方向がピストンロッド３の並進方向と平行になるようにかつ計測用ターゲット５と近接するようにピストンロッド３の周面に貼付してあり、計測用ターゲット５近傍の固定部位には計測用カラーセンサー７を、補正用ターゲット６近傍の固定部位には補正用カラーセンサー８をそれぞれ取り付けてある。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を維持しつつ、小型で、製造コストの低いエンコーダ等を提供する。
【解決手段】エンコーダユニット４０は、主動歯車５０と、主動歯車５０に噛み合っている従動歯車６０、７０とに形成された光学トラック５４，６４，７４それぞれからの光に基づいて、シャフト３０の回転数を検出する。したがって、いずれの従動歯車６０、７０も主動歯車５０に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による信頼性の低下を防ぐことができるとともに、エンコーダユニット４０及びモータユニット１０を小型にできる。 （もっと読む）

【課題】 回転検出機能部の外径寸法を小さく抑えることができ、回転検出精度を向上させることができる回転検出機能付き滑り軸受装置を提供する。
【解決手段】 内周面が軸５に対して接する滑り軸受部６、および軸５の回転を検出する回転センサ部１５を軸方向に並べて一体に設ける。軸５と一体に、その外周面に被検出部４を設け、この被検出部４を回転センサ部１５のセンサ１２で検出する。被検出部４は、例えば、多極着磁されたゴム磁石またはプラスチック磁石からなる環状の磁気エンコーダとされる。 （もっと読む）

【課題】インロー構造を不要とすることでモータに対する取り付け、或いは取付作業を簡略化できるエンコーダ、エンコーダの取り付け方法、及び該エンコーダを備えるモータ装置を提供する。
【解決手段】所定のパターンが形成された回転符号板および測定対象の回転軸に固定するための固定孔を有し、回転軸に固定可能な円板部と、所定のパターンを検出する検出部を含む基板部と、基板部を保持するとともに、円板部の一部と嵌合して円板部を収容する本体部と、回転符号板および検出部が固定孔に対して同心が取れた状態で円板部を基板部に対して一体に保持する保持部材と、を備えるエンコーダに関する。 （もっと読む）

【課題】経済的で頑丈であるとともに設置しやすく高分解能な光学式エンコーダおよびその読取ヘッドを提供すること。
【解決手段】２つの部材間の相対位置を測定する光学式エンコーダは、スケール格子と、この格子を照らす第１波長光源を備える読取ヘッドとを備える。格子はスケール光を出力し、変位する周期的強度パターンを第１波長で形成する。読取ヘッドは複数の空間位相検出器を備え、空間位相検出器は、周期的な空間フィルタと、第１波長周期的強度パターンから生じる光を受光し、第２波長光を出力する蛍光体層と、この第２波長光を受光・感知する光検出素子とを備える。光検出素子は、第１波長周期的強度パターンの空間フィルタ処理後のパターンに対応する第２波長光を受光し、当該空間位相検出器に対する空間位相を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】格子プレートの位置測定システムに干渉する汚染物により誤った測定が行われる可能性が低減された液浸リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、バリア１００が使用され、汚染物（例えば、液滴及び／又は微粒子）は格子５０又はセンサ２０に接触することが防止される。バリア１００に付着するいかなる汚染物も放射源からの放射ビームが格子５０上で合焦する焦点面から十分に遠いように配置されているので、汚染物は測定に干渉しない。ある実施形態では、表面弾性波を用いて格子５０又はセンサ２０の表面から汚染物が除去される。 （もっと読む）

【課題】マークが円筒面に形成されたアブソリュートロータリーエンコーダで計測精度の点で有利なものを提供する。
【解決手段】円筒面に複数のマークが一定の周期で周方向に沿って配列された回転する円筒体、前記円筒面に光を射出する光源、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって前記複数のマークの中の所定の数のマークを検出する検出器、前記検出器の出力に基づいて前記検出器の位置における前記円筒体の絶対回転角度を算出する算出部、前記検出器は前記光源と前記円筒面と前記検出器との幾何学的配置に起因して前記円筒面における前記所定の数のマークの領域が前記検出器に歪んで投影されることによって周期が不均一にされた前記所定の数のマークの信号を出力する。前記算出部は補正データを用いて前記所定の数のマークの信号を補正し前記補正された前記所定の数のマークの信号を用いて前記円筒体の絶対回転角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定目盛面に対して直角な軸を中心にして、測定目盛を備えた基準尺体に対して相対的な走査検知ユニットの傾斜に対して鈍感な高分解能の光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】光源２１により発せられた光束が測定目盛１１に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われる。走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が、第一走査検知目盛２４を介してリフレクタ要素２５に当たり、そして測定目盛１１の方向への反射を受け、そのとき測定目盛１１へ向かう経路で第一走査検知目盛２４を通過する。再び測定目盛１１に当たった後に、走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素２２を介して検知ユニット２６方向へ方向転換される。そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】複数本の線状材を円筒部材の内壁に規則的に並べることで、ロータリーエンコーダとして小型化が可能となる。
【解決手段】ロータリーエンコーダ１００で用いられる円筒型スケール１０２の作製方法であって、屈曲可能な基材１０８の上に、Ｙ軸の方向に伸びる線材１０５（線状材）を複数本規則的に設けるパターン形成工程と、基材１０８を、Ｙ軸を中心に円筒部材１０４の内壁の曲率に合わせて屈曲させ、線材１０５を内壁に貼り付ける貼付工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】施工ブロック毎に分割して構築されるコンクリート構造物のひずみを効率の良い作業で精度良く計測する。
【解決手段】施工ブロック毎に順次コンクリートを打設して構造物を構築するものとし、一つの施工ブロックのコンクリートを打設した後、隣接する施工ブロックのコンクリートを打設するための型枠内には、先の施工ブロックに埋設された可撓管に接合して連続する可撓管を配置する。複数の施工ブロックのコンクリートの打設が終了すると可撓管１６内に光ファイバケーブル１８を挿入するとともにグラウト１７を注入し、光ファイバケーブルとコンクリート１ａとを一体化する。その後、光ファイバケーブルの一端にひずみ測定器を接続し、光パルスを入射して後方散乱光を検知する。後方散乱光の周波数の変化及び後方散乱光を検知した時間から橋桁の各位置に生じたひずみの大きさを計測する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内周面にひずみ検出部を簡単に接着してこの管状部材のひずみを容易に測定することができるひずみ測定装置とその製造方法及び載荷試験装置を提供する。
【解決手段】ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌは、模型鏡ボルトＢの各検出位置Ｐ_A〜Ｐ_Lに発生するひずみを検出する光ファイバ式のひずみゲージである。挿入部材１０は、模型鏡ボルトＢの内周面にひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着するために、このひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着剤層１１によって外周面に保持した状態で、この模型鏡ボルトＢに挿入される。挿入部材１０は、ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを模型鏡ボルトＢ内に案内し検出位置Ｐ_G〜Ｐ_Lに位置決めするための治具として機能する。接着剤層１１は、挿入部材１０の外周面に装着された多孔質材に流動性接着剤を含浸させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】交差する二つの基準尺を備えた光学式位置測定装置を、二つの基準尺間の走査検知間隔を追加して測定できるようにする。
【解決手段】走査検知尺が二つの方向Ｘ，Ｙの第一または第二方向で、基準尺が両方向のそれぞれ別の方向で延伸しており、基準尺が第一および第二方向に対して直角な第三方向Ｚで、走査検知尺に対し走査検知間隔ｄだけオフセットして配設され、さらに光源ＬＱを備え、その光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの交点で走査検知尺Ａを通過し基準尺Ｍに当たって、走査検知尺Ａに向かって戻りディテクタに到達し、光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの光学的機能構造において回折により異なった分光に分割されて再び一緒にされ、第一方向Ｘで走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間が移動する時に、分光の干渉によりディテクタで周期的な信号を発生する。そこで、走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間の走査検知間隔ｄが変化する時に同じく、ディテクタで周期的な信号が発生する。 （もっと読む）

【課題】受光素子ごとの受光光量を均一することで検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】反射型エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、インクリメンタルパターンＩＰ、及び、第１及び第２シリアルアブソリュートパターンＡＰ１、ＡＰ２が円周方向に沿って形成された回転ディスク１１０と、光源１３０、複数のインクレ用受光素子１４１を含むインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒ、及び、複数の第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２を含む第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを備え、回転ディスク１１０と対向して配置された基板１２０とを有し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕは、基板１２０において、光源１３０を中心とする同心円状の光量分布の等高線ＣＬに沿って各アブソ用受光素子１５１，１５２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 走査方向の依存性が小さくＡ相もしくはＢ相信号に同期した原点検出を安定して行うことができ、変位検出に用いられるエンコーダを提供する。
【解決手段】 発光部２１、３１から出射された光をスケール４に投影し、その反射光の回折パターンを検出する検出部２２、３２と、当該検出部の信号をエンコーダ信号として処理する信号処理回路とを備え、エンコーダ信号は、移動方向を示すために互いに９０度位相のずれた位置信号であるＡ相信号及びＢ相信号と電源をオフ後、再度電源をオンした時などに原点位置を検出するＺ相信号からなる。スケール４の内、Ｚ相信号を形成するＺ相スケール４１には光反射領域及び光透過領域の２領域からなるベタパターンを用い、Ｚ相信号はＺ相スケール４１から形成されたＺ相出力信号をデジタル化して得られるパルス状信号であり、スケール４との間の相対移動量から対象物の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）