【課題】安定して高調波歪を抑え、位置を高精度に検出することが可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】光源１２と、受光素子１７と、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導くパターン２４Ａを含む複数の単位ブロックパターンＫＡを含むスケール２０と、を備えるエンコーダを提供する。複数の単位ブロックパターンは、Ｘ方向に沿って、ピッチＰの周期で配置されており、パターンは、中心線Ｘｃに関して対称な形状であり、各単位ブロックパターンはＹ方向に複数の分割領域を含み、パターンの面積比は隣接する二つの分割領域の間で異なり、各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる２つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる２つの平行な直線によって規定される矩形形状を有する。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】センサ全体を大型化することなく、簡単な構成で温度補償を行うことを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＦＢＧひずみセンサ１は、ＦＢＧ３が形成された光ファイバ２と、光ファイバ２を被測定部Ｗに固定するための温度補償部材１１とを備えている。光ファイバ２と温度補償部材１１とは、これらが当接する全面において接着剤１２によって固定されている。一方、温度補償部材１１と被測定部Ｗとは、温度補償部材１１の両端部において接着剤１３によって固定されている。温度補償部材１１は、熱膨張係数がゼロである材料から形成されており、ＦＢＧ３の伸縮が温度補償部材１１によって拘束されている。したがって、雰囲気温度に応じたＦＢＧ３の熱膨張は温度補償部材１１によって抑制された状態となっており、被測定部Ｗに生じるひずみのみがＦＢＧ３に印加される。 （もっと読む）

【課題】光学長さ測定機構を提供する。
【解決手段】２つの物体の一方と接続され、測定方向に延びる反射測定区域を含む実量器と、他方の物体に接続された、測定区域を光学的に走査するための走査ユニットが、光学的実効点光源と、少なくとも１つの光学的実効検出器アレイとを含み、光学的実効光源から発散して放出された光束が、測定区域の方向に伝播し、測定区域で走査ユニットの方向に反射して戻され、少なくとも１つの光学的実効検出器アレイに当たり、変位に応じて変わるパターンが光学的実効検出器アレイに現れ、このパターンは、光学的実効検出器アレイによって、位置に応じた１つまたは複数の走査信号に変換可能である。走査ユニットは、測定方向で長手方向で案内され、結合点で連結棒と関節結合され、連結棒は他方の物体と接続される。結合点の位置は、結合点周りでの走査ユニットの前後傾が起こっても誤差のある走査信号が生じないように選択される。 （もっと読む）

【課題】パターンが経年劣化等の変化することにより、位置検知用のセンサからの出力信号が変化したとしても、行程位置を把握することができるアクチュエータの行程位置検知装置を提供する。
【解決手段】油圧シリンダ１（アクチュエータ）のロッド４に、ストローク方向の範囲内において変化がない基準部とストローク位置を特定できるように変化させる符号化部とを有するパターンＸを描画して、基準部を検知する基準センサ（基準検知部）が出力する基準信号に基づき位置検知センサ（位置検知部）が出力する位置信号を判断して、ストローク位置を把握する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】大型化を招かずに広範囲で絶対位置信号を高精度に取得可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターンは、｜(ｍ・Ｐ１−ｎ・Ｐ２)｜＜｜(Ｐ１−Ｐ２)｜を満たすように移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。エンコーダの信号処理手段３０は、第１の変調周期Ｐ１の位相である第１の位相Φ１を取得する第１の位相取得手段３２と、第２の変調周期Ｐ２の位相である第２の位相Φ２を取得する第２の位相取得手段３３と、整数ｍ、ｎに対し、Ａ／Ｂ＝ｎ／ｍの関係を満たす２つの係数Ａ、Ｂを用いてＳｖ＝Ａ・Φ１−Ｂ・Φ２を満たすＳｖを前記スケールの位置を表す位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターン列はＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向にそれぞれ異なるピッチを有する複数の領域２３Ａ、２５Ａを有し、領域２５Ａのエネルギー分布の振幅がスケールのＸ方向の位置に従って変化するように構成されている。エンコーダは、受光素子アレイ１６Ａの出力信号からそれぞれ対応する領域の振幅を取得する第１、第２の振幅取得手段３７、３８と、第１、第２の振幅取得手段３７、３８が取得した複数の領域の２つの振幅の比で表される振幅信号Ｓ＿ａｍｐをスケールの絶対位置を表す絶対位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】投光部とスケールと受光部の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、スケール１１０と、スケール１１０に向けて光を投光する投光部１４２と、投光部１４２から投光されスケール１１０を経由した光を受光する受光部１７２を有している。スケール１１０は、受光部１７２に対して移動可能である。スケール１１０はまた、投光部１４２に対向した光入射部１１８から入射した光を受光部１７２に対向した光出射部１２０へ導光する導光部を有している。光出射部１２０には、スケール１１０の移動方向に沿って光学的特性が周期的に変化しているスケールスリット１２４が設けられている。光入射部１１８には、スケール１１０の移動方向に垂直な平面に対して、平行成分の光に対する斜め成分の光の相対強度を低減する働きをする斜め光低減スリット１２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】紫外光より長波長の光を照射した場合にも、結露制御機能部材あるいはクリーニング機能部材として機能させる信頼性保持機能部材を提供する。
【解決手段】ＰＤ１３およびＶＣＳＥＬ１２のうちの少なくとも一方の機能を含む光機能素子を内部に収納すると共に、外部と光機能素子（ＰＤ１３、ＶＣＳＥＬ１２）との間で光を透過可能とするための光透過構造（ガラス部材１４）を有するセラミックパッケージ１１と、このパッケージの光透過構造の表面に薄膜状に形成され、可視光の波長以上の波長を吸収する材料からなる、結露防止機能部材および清浄化機能部材の少なくともいずれか一方の機能を含む透過性の信頼性保持機能部材１５を有し、この信頼性保持機能部材１５は、ＴｉＯ２にＣｕもしくはＦｅのいずれかを担持してもの、あるいは、Ｎ２ドープを行ったＴｉＯ２、あるいは、Ｗ０３にＣｕもしくはＰｄのいずれかを担持してもの、を構成成分として有する。 （もっと読む）

【課題】 簡易でかつ安定した目盛担持体の組立てを可能にする、角度測定装置のための組立体を提供することである。
【解決手段】−前記目盛担持体（１）に位置決め部材（３）が第一の材料一体的結合部を用いて固定されていること、
−目盛担持体（１）を担持している位置決め部材（３）が、支持体（２）の凹部（２１）内に配置されており、位置決め部材（３）が半径方向で遊びがなく位置決めされるように凹部（２１）が採寸されていること、そして
−目盛担持体（１）と支持体（２）の間に第二の材料一体的結合部が設けられていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】回転体の駆動計測または計測に基づいた駆動制御を行い、かつ、ロータリエンコーダの取り付け偏心も検出または補正制御可能とするロータリエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】先ず（１５０）では、ロータリエンコーダからのアナログ出力を（１５１）でＡ／Ｄ変換し、（１５２）でＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂等のパターンごとに出力される（１５３）回転パルス信号成分抽出と、（１５４）偏心信号成分抽出を行っており、具体的には、偏心による『当該ロータリエンコーダにおいて、回転角度に対するＨとＬレベルパルス幅の比率に応じて回転軸芯に対するロータリエンコーダの取り付け偏心量と、偏心位相を検出する偏心量位相検出手段』のロータリエンコーダ１周分（Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂）のパターンから得られるＨ／（Ｈ＋Ｌ）のＳｉｎ関数の周期変動の振幅と位相を求め、その変動成分を分離（フィルタリング）する事により求められる。 （もっと読む）

【課題】検出分解能切り替えにより、位置検出信号生成において未使用となるフォトダイオードが存在する場合に、光源光量の変動を回避する。
【解決手段】
変位を検出するための第１の初段増幅器と、変位を検出するために使用されない受光素子の出力を入力とする第２の初段増幅手段、との和信号出力により光源光量の変動を制御する。 （もっと読む）

【課題】移動体の曲面からの信号に関してデフォーカスによる信号振幅減少を低減し、移動情報の検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】光源と、移動方向に曲面を備える移動体と、前記曲面からの集光された反射光または透過光を受講する受光素子と、を有する移動情報測定装置において、前記曲面が移動方向に複数種の曲率を備える。 （もっと読む）

【課題】周囲の気体の屈折率変動の影響を低減させて、ステージの位置決め精度等を向上できる露光装置である。
【解決手段】投影光学系（ＰＬ）を介してウエハステージ（ＷＳＴ）上のウエハ（Ｗ）に露光用の照明光を照射して、ウエハ（Ｗ）に所定のパターンを形成する露光装置であって、ウエハステージ（ＷＳＴ）に設けられたスケールと、このスケールの位置情報を検出する複数のＸヘッド（６６）と、複数のＸヘッド（６６）を一体的に支持し、線膨張率がウエハステージ（ＷＳＴ）の本体部よりも小さい計測フレーム（２１）と、複数のＸヘッド（６４）の検出結果からウエハステージ（ＷＳＴ）の変位情報を求める制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出波形の誤差成分を低減し、高精度な位置検出を可能とする。
【解決手段】スケールの透過率分布または反射率分布を、測位方向に垂直な方向の積分値が測位方向に均一な変調振幅となる細周期パターンに対応した変調成分と、測位方向に均一な変調振幅となる粗周期パターンに対応した変調成分と、の加算された値となる分布とする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上する。
【解決手段】エンコーダ２７は、起動時等にスライダが停止した状態で、独立して点灯される複数の光源を用いて複数の絶対位置を検出し、この複数の絶対位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラーの判定を行うことで、高い信頼性を確保する。これとともに、エンコーダ２７は、起動後は、インクリメンタルスケール５１を用いインクリメンタルエンコーダとして用いられることで、低コスト、及びコンパクトな構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッドのアライメント調整が容易な光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して２相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、２相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）