【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】リサージュ信号の検出を停止した場合にも、測定精度の低下を抑制可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダは、スケールと、前記スケールに光を照射すると共に供給される電流に応じて光量を変化させる光源と、前記スケールにより反射された光を受光すると共に位相のずれた２相正弦波状信号を出力する受光部とを備えるエンコーダであって、前記２相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれる理想的リサージュ波形からの振幅誤差を含む誤差を検出し、検出された誤差を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に前記補正値を更新する誤差検出部と、前記振幅誤差に基づく補正値に応じて前記光源に供給する電流を調整する光源駆動処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価に光学系の歪みをキャンセルしてスケールの位置情報の検出精度を向上させる。
【解決手段】光電式エンコーダは、発光素子１１と、スケール１２と、レンズ１３と、ＰＤＡ１４と、信号処理演算回路２０とを備える。信号処理演算回路２０は、歪みテーブル２１と、歪み補償回路２２と、信号解析回路２３とを備える。歪みテーブル２１は、例えば予めレンズ１３等の光学系の設計値から歪みシミュレーションによって得られた歪み情報Δｅ_ｉに基づき算出されている。歪み補償回路２２は、歪みテーブル２１を参照すると共に、ＰＤＡ１４の各ＰＤ４１の位置情報に基づいて、各ＰＤ４１の位置ｘ_ｉを仮想的にｘ_ｉ−Δｅ_ｉの位置に配置変更して光学系の歪みを除去し、ＰＤＡ１４からの明暗信号を補正する。位置解析回路２３は、この補正された明暗信号に基づいて、スケール１２の位置を解析する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の周期パターンに対する検出部による検出周期を切り替えるエンコーダにおいて、位置検出の遅れを回避する。
【解決手段】エンコーダは、第１の周期パターン１１および第２の周期パターン１２が設けられたスケール１０と、該スケールとの相対移動が可能な検出部２２とを有する。検出部２２は、第１の検出状態と第２の検出状態との切り替えが可能であり、第１の検出状態にて第１の周期パターンに応じた第１の信号を出力し、第２の検出状態にて第２の周期パターンに応じた第２の信号を出力する。処理部３０，４０は、検出部から取り込んだ第１および第２の信号の双方を用いて第１の絶対位置を算出する第１の処理を行った後、該検出部から取り込んだ一方の信号を用いて相対移動量を算出する。処理部は、第１の処理において最後に設定した検出状態と同じ検出状態の検出部から一方の信号を取り込む。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターンから、簡単な処理回路を用いて高速でアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号を分離する。
【解決手段】アブソリュートパターン１２Ａとインクリメンタルパターン１２Ｂを統合したＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃを有する絶対測長型エンコーダにおいて、前記アブソリュートパターン１２Ａ由来の明暗信号と前記インクリメンタルパターン１２Ｂ由来の明暗信号とに振幅差が生じるように設計された撮像光学系（レンズ１４）と、前記ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃからの受光信号を、前記振幅差を利用してアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号に分離する信号処理系（比較器２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】符号板の回転数が高くなった場合でも適切に誤動作を検出することができるエンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法を提供すること。
【解決手段】パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、パターンを検出する第一パターン検出部と、当該第一パターン検出部とは別にパターンを検出する第二パターン検出部と、第一パターン検出部又は第二パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】迷光／ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源２０８に対して光検出器２１２を上方に配置し、光源２０８と光検出器２１２との相対的な高さの差により、反射迷光２３２の影響を阻止し、光学エンコーダ２０４が、光源２０８と光検出器２１２との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器２１２におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能することができる。
【解決手段】 発光素子チップ４３および受光素子チップ４４を、発光素子形成面および受光素子形成面を基板４２に対向させてフリップチップ実装する。基板４２は、全体を不透明に構成すると共に、出射光用の第１光透過部４２aと入射光用の第２光透過部４２bとを有する。基板４２のチップ４３,４４が実装されていない裏面側に、反射型移動体４７を配置する。また、基板４２のチップ４３,４４が実装されている表面側に、透過型移動体４９を配置する。こうして、発光素子チップ４３からの斜め成分光の反射型移動体４７による反射光を、受光素子チップ４４で受光する一方、発光素子チップ４３からの横成分光の透過型移動体４９の透過光を、受光素子チップ４４で受光することによって、透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能させることができる。 （もっと読む）

【課題】９０度位相差の２つの正弦波信号を内挿演算することによって高分解能で回転位置を検出する光学式エンコーダにおいて、部品を追加することなく容易な手段で光学系の異常を検出することが可能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】９０度位相差の２つの正弦波信号をそれぞれ２乗して加算する２乗和演算器と、信号の異常レベルを記録する異常信号メモリと、信号の異常を判定する異常判定器からなり、前記２乗和演算器で求めた演算結果が、前記異常信号メモリに記録した値より下回った場合に前記異常判定器が異常信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】高い回折効率を示し、精度良く位置検出を行える変位検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】台形または矩形のレリーフ形状をした回折格子を用いる。また、可干渉光を出射する光源部と、光源部から出射された光束を二つの光束に分割する光束分割部と、を含み、二つの光束をＰ偏光として回折格子上に照射させる照射光学系と、二つの光束が回折格子により回折されることによって生じる二つの第１回折光をそれぞれ反射し、回折格子上にＰ偏光として再入射させる反射光学系を備える。また、回折格子に再入射した二つの第１回折光が回折されて生じる二つの第２回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉光学系により干渉した光を受光する受光部と、受光部において取得した干渉信号に基づいて、回折格子の位置情報を検出する位置検出部を備えるものとする。そして、回折格子のレリーフの周期を、回折格子に入射する可干渉光の波長の１．５倍以下とする。 （もっと読む）

【課題】調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】撮像素子が受光した全体領域から第１および第２部分領域を抽出し、抽出された第１および第２各部分領域で受光した干渉光の強度を複数の時刻で取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれX座標値およびY座標値としたときのY座標値の最大値と最小値との差分を第１差分Aとして算出し、X座標値およびY座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きαを算出し、この傾きがゼロとなるようにXY座標系を回転し、回転後のXY座標系におけるY座標値の最大値と最小値との差分を第２差分B’として算出し、δ＝asin{(B’/cosα)/A}で表される角度δを算出し、当該角度δを干渉光の位相分布の均一性を示す指標として決定する。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転数制御の精度の低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部を有する第１軸部と第２軸部とがユニバーサルジョイントで互いに接続された第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安定して高調波歪を抑え、位置を高精度に検出することが可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】光源１２と、受光素子１７と、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導くパターン２４Ａを含む複数の単位ブロックパターンＫＡを含むスケール２０と、を備えるエンコーダを提供する。複数の単位ブロックパターンは、Ｘ方向に沿って、ピッチＰの周期で配置されており、パターンは、中心線Ｘｃに関して対称な形状であり、各単位ブロックパターンはＹ方向に複数の分割領域を含み、パターンの面積比は隣接する二つの分割領域の間で異なり、各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる２つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる２つの平行な直線によって規定される矩形形状を有する。 （もっと読む）

【課題】大型化を招かずに広範囲で絶対位置信号を高精度に取得可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターンは、｜(ｍ・Ｐ１−ｎ・Ｐ２)｜＜｜(Ｐ１−Ｐ２)｜を満たすように移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。エンコーダの信号処理手段３０は、第１の変調周期Ｐ１の位相である第１の位相Φ１を取得する第１の位相取得手段３２と、第２の変調周期Ｐ２の位相である第２の位相Φ２を取得する第２の位相取得手段３３と、整数ｍ、ｎに対し、Ａ／Ｂ＝ｎ／ｍの関係を満たす２つの係数Ａ、Ｂを用いてＳｖ＝Ａ・Φ１−Ｂ・Φ２を満たすＳｖを前記スケールの位置を表す位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターン列はＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向にそれぞれ異なるピッチを有する複数の領域２３Ａ、２５Ａを有し、領域２５Ａのエネルギー分布の振幅がスケールのＸ方向の位置に従って変化するように構成されている。エンコーダは、受光素子アレイ１６Ａの出力信号からそれぞれ対応する領域の振幅を取得する第１、第２の振幅取得手段３７、３８と、第１、第２の振幅取得手段３７、３８が取得した複数の領域の２つの振幅の比で表される振幅信号Ｓ＿ａｍｐをスケールの絶対位置を表す絶対位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）