本発明は、自動利得制御ループを使用した力平衡制御システム及び制御方法に関するもので、質量体の速度信号を制御する自動利得制御ループを使用して振動型角速度計の力平衡フィードバック制御を遂行するように構成され、複雑で雑音に敏感な従来のデジタル回路を簡単なアナログ回路で具現することができ、マイクロ角速度計に適用可能であるのみならず、汎用振動型角速度計または慣性センサー、圧力センサー、温度センサーなどの多様なセンサーに拡張可能な効果がある。
さらに、本発明の自動利得制御ループを使用した力平衡制御システムを多様なセンサーに適用することで、センサーの動的領域、帯域幅、線形性などの性能向上をはかることができる。
（もっと読む）

ジャイロスコープシステムには、少なくとも１個の振動ジャイロスコープが含まれる。第１の角度測定手段は、測定軸に沿う第１の角度値を与えるように設計されており、第２の角度測定手段は、上記測定軸に沿う第２の角度値を与えるように設計されている。第１の角度値は、現在の振動位置で振動する第１の角度測定手段によって与えられる。同時に、第２の角度値は、第２の角度測定手段によって与えられる。そこから、第１及び第２の角度値の比較に基づいて、修正された第２の角度値が推論される。次に、第１の角度測定手段の振動位置が、現在の位置から他の位置に変化される。その後、第１の角度値が、第１の角度測定手段によって与えられ、同時に、第２の角度値が、第２の角度測定手段によって与えられる。そして、そこから、第１及び第２の角度値の比較に基づいて、修正された第１の角度値が推論される。
（もっと読む）

【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板上に第１の電極膜３４ａが形成され、この第１の電極膜３４ａ上にＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電素子１３９が形成される。ＰＺＴ薄膜３３は、化学式Ｐｂ_１＋Ｘ（Ｚｒ_ＹＴｉ_１−Ｙ）Ｏ_３＋Ｘで表された場合に、ＰｂＯ過剰組成比Ｘが０以上０．３以下であり、Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５５以下である。このようにＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、膜厚が４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下とされることで、さらに圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板上に第１の電極膜３４ａが形成され、この第１の電極膜３４ａ上にＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電素子１３９が形成される。ＰＺＴ薄膜３３は、化学式Ｐｂ_１＋Ｘ（Ｚｒ_ＹＴｉ_１−Ｙ）Ｏ_３＋Ｘで表された場合に、ＰｂＯ過剰組成比Ｘが０以上０．３以下であり、Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５５以下である。このようにＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、ＰＺＴ薄膜３３が引張応力を有することで、さらに耐熱性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバコイル組立体とそれを巻回する方法を提供すること。
【解決手段】光ファイバコイル組立体とそれを巻回する方法は、従来の光ファイバコイル組立体の中に見られコイルを脆弱にする傾向があるジョグゾーンを除去するように構成された光ファイバコイルを含む。光ファイバコイル組立体はコイルの少なくとも２つの層を含む。第１層は、第１回転方向に且つ第１直線方向に円筒状に巻回され、互いに実質的に平行に配置され且つ第１直線方向にわたって延在するコイル直径を含む。第１リード部分は、第１層の端部から、巻回された第１層によって画定された開口を通って延在する。第２層は、それが反対の回転方向に巻回されることを除いて第１層と同様な方法で形成される。第１または第２層の巻回工程にそれぞれ一致するさらなる層が含まれてもよい。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ等の被エッチング体を高い精度で加速度センサおよび角速度センサをドライエッチングするためのマスクパターンの補正方法を提供する。
【解決手段】補正前のマスクパターンを用いて、該被エッチング体面内に発生するテーパーの拡がり寸法の分布を測定し、該分布を二次曲線（Ｙ＝ＡＸ²＋Ｂ）として表してＡとＢを特定し、シリコン基板の中央から距離ｒの位置でのマスクパターンの開口幅のテーパー補正量ｔを行うとともに、チルト寸法の分布を測定して、該分布を直線（Ｙ＝ｋＸ）として表してｋ（ｋ＞０）を特定し、ＳＯＩウェーハの中央から位置ベクトルｒ（座標（ｘ，ｙ））でのマスクパターンの開口幅のＸ軸方向の補正量Ｃ_x、Ｙ軸方向の補正量Ｃ_yをチルト補正を行う。 （もっと読む）

【課題】積分回路を用いて微小な振幅の交流電流信号を大きな振幅の電圧信号に変換する回路装置の高性能化
【解決手段】入力交流電流信号の周期の第１位相にて積分回路オペアンプの出力電圧を第１キャパシタ６に記憶させ、第１位相と１８０度位相が異なる第２位相にて積分回路オペアンプの出力電圧を第２キャパシタ８に記憶させ、第３位相にて第１キャパシタ６の記憶電圧と第２キャパシタ８の記憶電圧を読み出して加算するとともに、当該加算電圧から第３キャパシタ１０の記憶電圧を減算し、当該減算結果の電圧を第３キャパシタ１０に記憶させ、第３キャパシタ１０の記憶電圧に基づいて積分回路オペアンプの反転入力に補正電流を与える。 （もっと読む）

【課題】低速回転時でも精度よく回転角速度を求めることができるジャイロを提供する。
【解決手段】本発明のレーザジャイロは、周回している光ファイバ１１と、光ファイバ１１内を互いに逆方向に進行する第１および第２のレーザ光を発生させる半導体光増幅器１２と、第１および第２のレーザ光によって発生するビート信号を検出するフォトダイオード１６とを備え、光ファイバ１１の周回数ｍ（ｍは整数）が以下の式（１）で表される。


［式中、ｃは、光速度（ｍ／秒）を示す。λは、第１および第２のレーザ光の波長（ｍ）を示す。γは、共振器内の反射率を示す。Ｂ₀は、所定の形状の面積（ｍ²）を示す。Ω₀は、検出すべき最小回転角速度（度／秒）を示す。］ （もっと読む）

【課題】低速回転時でも精度よく回転角速度を求めることができる光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】本発明のジャイロは、環状の光ファイバ１１と、光ファイバ１１内を互いに逆方向に進行するレーザ光Ｌ₁およびＬ₂を発生させる半導体光増幅器１２と、光ファイバ１１からレーザ光Ｌ₁およびＬ₂を引き出す結合器１３と、レーザ光Ｌ₁をレーザ光Ｌ₁₁とＬ₁₂とに分岐する分岐器２１と、レーザ光Ｌ₂をレーザ光Ｌ₂₁とＬ₂₂とに分岐する分岐器２２と、レーザ光Ｌ₁₁とＬ₂₁とを結合する結合器２４と、レーザ光Ｌ₁₂とＬ₂₂とを結合する結合器２５と、結合されたレーザ光Ｌ₁₁およびＬ₂₁とを検波するフォトダイオード２６と、結合されたレーザ光Ｌ₁₂およびＬ₂₂を検波するフォトダイオード２７とを備える。フォトダイオード２６で検出される信号の位相と、フォトダイオード２７で検出される信号の位相との差が、１０°〜１７０°または−１０°〜−１７０°の範囲にある。 （もっと読む）

本発明は、基材（５、２２、２４、２６）と、少なくとも２つの個体構造体（６１、６２、６３、６４、５００、６００、７００、８００）と、ばね要素（例えば１、２、３、２１、２３、２５）とから構成され、上記ばね要素（例えば１、２、３、２１、２３、２５）によって、上記個体構造体（６１、６２、６３、６４、５００、６００、７００、８００）は上記基材（５、２２、２４、２６）に連結すると共に互いにも連結しており、さらに、力伝播体（例えば５１４、６１４、７１４、８１４）とタップ（例えば５３４、６３４、７３４、８３４）とを備え、上記構成は、上記力伝播体（例えば５１４、６１４、７１４、８１４）によって励起できる少なくとも１つの励起モード（７）と、上記タップ（例えば５３４、６３４、７３４、８３４）によって測定できる少なくとも１つの検知モード（８）とを含むコリオリジャイロであって、上記励起モード（７）及び上記検知モード（８）は閉鎖型であり、これによって、製作公差を考慮する必要がない場合、加速度及び／または振動によって上記励起モード及び上記検知モードにおける外乱励起が引き起こされることがないコリオリジャイロに関する。
（もっと読む）

【課題】高性能の角速度検出装置を提供する。
【解決手段】励振素子１３、コリオリ素子１４を含む駆動部を、固定端を共有している少なくとも２本の振動方向と直交する方向に延びる固定梁１２ａによって浮揚し、振動させている。実装または、熱の変動によって基板が変形したとしても、固定梁と支持梁に発生する内部応力は小さく、共振周波数や振動振幅などの振動状態を一定に保つことができる。そのため、実装環境の変化にロバストな高性能角速度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】支持構造を容易にでき、周波数温度特性が良好で、精度の良い角速度検出が可能
な角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、回転Ｙカット水晶基板の主表面上にＹ’軸方向に突出され
Ｘ軸方向に延出された突起部を備え、この突起部の近傍の主表面上に駆動電極および検出
電極が形成されている。この駆動電極により水晶基板にＸ軸方向の厚みすべり振動を励振
させて突起部に振動を励起させる。そして、Ｙ’軸回りの回転に対応して突起部の振動に
対して直交する方向に作用するコリオリ力により突起部が屈曲させられ変位する。この突
起部の変位が応力となって水晶基板に加えられ、この応力の変化が検出電極にて検出され
て角速度センサに加わる角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】干渉縞を用いることなく回転の角速度を求めることが可能な半導体レーザジャイロを提供する。
【解決手段】本発明の半導体レーザジャイロは、レーザ光Ｌを出射する半導体レーザ１０と、レーザ光Ｌをモニタする光検出器５０とを備える。半導体レーザ１０は、活性層を含む層で構成されたキャビティーと、活性層にキャリアを注入するための第１および第２の電極とを備える。キャビティーは、活性層内の仮想の多角形の経路を周回するように光を反射することが可能な端面を備える。光検出器５０で検出されたレーザ光Ｌの、ＲＦ帯域におけるスペクトルのピーク強度および／またはピーク周波数に基づいて回転角速度が求められる。 （もっと読む）

【課題】
正確に角速度を検出することができる角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器を提供する。
【解決手段】
第１のアーム２と第２のアーム３と第３のアーム４とが同一平面（ＸＹ平面）に配置されており、この平面に対して垂直方向（Ｚ方向）に振動させるためにレーザー加工された陥没部３０を第１のアーム２が備えている。このため、第１のアーム２をこの平面に対して垂直方向に振動させることができる。例えば、角速度センサ１に回転力が働いたときに、コリオリ力により第１のアーム２がこのＸＹ平面に対して平行な方向（Ｘ方向）に振動するようにでき、圧電薄膜１２の歪を正確に検出し、角速度を正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】振動子を支持する梁が基板からの熱応力により発生する引張り力を受け、振動子の共振周波数が変化することを抑制し、角速度の検出精度が向上した角速度センサを提供することにある。
【解決手段】角速度センサの検出素子１は、第１及至第４静電気力発生手段６〜９と、第１及び第２振動子１０，１１と、第１及び第２振動子１０、１１を弾性的に連結する弾性連結梁１２と、第１〜第４静電容量検出手段１３〜１６とを有する。さらに、第１〜第４支持梁１７，１８，１９，２０は、第１及び第２振動子１９，１１の一方から片持ち梁構造で、第１及び第２振動子１０，１１をそれぞれＸ軸方向に変位し易く、Ｙ軸及びＺ軸方向に変位し難く支持する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子を傾けて固定することなく、角速度センサの検出軸と、実際の回転が加わる軸との角度が大きくても精度の良い角速度を検出可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】圧電振動片の振動を利用した角速度センサにおいて、角速度を検出する第１軸および該第１軸と直交する方向に設定された第２軸とを有し、第１軸の検出感度に対して第２軸の検出感度を１５〜５５％とした。このことで、本発明の角速度センサを取付角度が大きなナビゲーション装置に備えた場合、角速度センサの検出軸と、実際の回転が加わる軸との角度が４０°までの取り付けにおいて、±１５％以下の感度補正ですみ、この取付角度に起因する出力感度をソフトウェアに基づいた演算処理により補正をすることができる。 （もっと読む）

【課題】センサ素子としての音叉状水晶片の配置精度を確実にして、角速度の検出精度を高めた角速度センサを提供すること。
【解決手段】少なくとも一対の音叉腕６が音叉基部５から長手方向に延出した音叉状水晶片１を有し、前記音叉腕には音叉振動を励振する駆動電極とコリオリの力に基づいた電荷を検出するセンサ電極とを有し、前記音叉基部の一主面には前記駆動電極及び前記センサ電極から延出した引出端子を有するセンサ素子１を備え、前記音叉基部を平面視矩形状とした容器本体の長手方向の一端側の音叉用台座７に固着して、前記引出端子をワイヤーボンディングによって導出してなる角速度センサにおいて、前記音叉基部には第１嵌合部１０を設けて前記音叉用台座には第２嵌合部１１を設け、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部とを嵌合して、前記音叉状水晶片と前記容器本体との長手方向を一致させた構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特に、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高めることを目的とする。
【解決手段】慣性力センサを構成する駆動回路２を、センス素子１から出力されるモニタ信号１１を１ビットデジタル信号にシグマ・デルタ変換して振幅情報を形成し、この振幅情報を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基にモニタ信号１１を演算処理し、マルチビット信号に変換し、このマルチビット信号を所定の出力信号に変換し、駆動入力に出力するとともに、演算処理は、モニタ信号１１より形成される矩形波信号と比較情報とを演算させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】時間変動再平衡電圧を使用して、レートバイアス誤差およびスケールファクタ誤差を低減するためのデバイスおよび方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ慣性センサは、１つまたは複数のプルーフマス、各プルーフマスに隣接して配置される少なくとも１つのセンス電極、プルーフマスの直角位相に関連した運動およびコリオリに関連した運動を静電的に相殺するための複数のトルク電極、およびプルーフマス上にポンピング力を生成するための複数のトルク電極を含むことができる。デバイスのセンス軸に沿ったプルーフマスの直角位相に関連した運動および／またはコリオリに関連した運動を静電的に相殺するために、いくつかのトルク電極に力再平衡電圧が印加できる。スケールファクタを向上するために、プルーフマスのモータ駆動周波数の約２倍の周波数にあるポンピング電圧が使用でき、センス軸に沿ってプルーフマスをポンピングする。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動方向特定に要する時間を短縮する。
【解決手段】移動体２の角速度を検出する角速度検出部４が出力するデジタル検出信号Ｄｘ、Ｄｙ、Ｄｚに基づいて前記移動体２の移動方向を特定する場合に、所定の計測期間Ｔｋの間、前記角速度検出部４が出力するデジタル検出信号Ｄｘ、Ｄｙ、Ｄｚを取得し、取得した前記デジタル検出信号Ｄｘ、Ｄｙ、Ｄｚに基づいて、前記所定の計測期間Ｔｋにおける角度データθｘ、θｙ、θｚを求め、当該角度データθｘ、θｙ、θｚに基づいて前記移動体２の移動方向を特定するようにした。 （もっと読む）