【課題】精度良く素子を立たせることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイス１００は、樹脂体４０と、一の面４２側に形成された第１リードフレーム１０と、一の面４２と対向する他の面４４側に形成された第２リードフレーム２０と、樹脂体４０によって封止された電気素子であって、第１表面５０は、第１リードフレーム１０の面と、樹脂体４０の一の面４２と、を有し、第２表面５２は、第２リードフレーム２０の面と、樹脂体４０の他の面４４と、を有し、搭載側面５４は、樹脂体４０の第１リードフレーム１０と第２リードフレーム２０との間の面４６を有し、第１表面５０の第１リードフレーム１０の面は、第１表面５０の搭載側面５４に隣接する第１端部に配置され、第２表面５２の第２リードフレーム２０の面は、第２表面５２の搭載側面５４に隣接する第２端部に配置され、第１リードフレーム１０は、電気素子に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】重錘体に薄い板状の部材を形成して重錘体の上面の表面積を増加させ、重錘体と電極間の容量を増加させて素子の感度を上げることができるようにした静電容量型センサを提供すること。
【解決手段】第１の基板１１と第２の基板３１に挟まれた枠体２１と、この枠体２１に支持された変位可能な重錘体２２ａ乃至２２ｅと、この重錘体２２ａ乃至２２ｅに対応して基板１１，３１上に設けられた電極１２ａ乃至１２ｄ，１３，３２ａ乃至３２ｄ，３３とを備えている。重錘体２２ａ乃至２２ｅには、変形可能に設けられた梁部材２３ａｂと２３ｃｄと、この梁部材２３ａｂと２３ｃｄと離間して重錘体２２ａ乃至２２ｅに設けられた鍔部材２２ａａ乃至２２ｄｄとを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、時間情報を測定し、角速度センサ１００と加速度センサ２００に時間情報を付加する時間測定手段３００を設け、角速度センス信号と加速度センス信号とを前記時間情報により対応付けたものである。この構成により、角速度センス信号と加速度センス信号とを前記時間情報により対応付けて出力することができるため、加速度センス信号を用いて角速度センス信号を正しく補正することができ、その結果として、慣性センサの検知精度を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】ジャイロ出力信号に適用される可調整利得（２４）を含む光ファイバジャイロスコープ制御ループ（１３）向けの自動利得制御を提供する。
【解決手段】光ファイバジャイロスコープの制御ループ（１３）に較正信号が導入される。補償ループ（４２）が、較正信号および制御ループ（１３）からの出力信号を受ける。補償ループ（４２）が、較正信号を処理して補償信号を生成し、この補償信号が、制御ループ（１３）からの出力信号と合成されて、補償された光ファイバジャイロスコープ出力信号をもたらす。補償ループ（４２）とＦＯＧの出力信号に適用される可調整利得との間に、自動利得制御ループ（５１）が接続される。自動利得制御ループは、ジャイロ制御ループの利得を安定化するために、補償されたＦＯＧ出力信号と補償信号とを掛けて可調整利得（２４）を制御するための利得誤差信号を生成する利得誤差復調器（５０）を含む。 （もっと読む）

【課題】対称のＭ字（またはＷ字）状の３（または２）鏡構成を有する中空コアファイバＲＦＯＧを提供すること。
【解決手段】これらの対称構成は、望ましくないＥＳＯＰの光が存在するときでも、偏光誤差により引き起こされるＲＦＯＧのバイアスを取り消すのに役立つ。偏光軸間で実質上小さな交差結合角度を形成する光学構成要素、および／または共振器内に挿入された偏光素子、および／または偏光状態の異なる光に対して同一の反射率を有する共振器鏡を有するＲＦＯＧ共振器は、偏光モードにより引き起こされるバイアス誤差を効果的に低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械要素と集積回路との両方の高性能化が可能な微小電気機械デバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械要素であるジャイロセンサと集積回路３とが１つの素子形成基板１に形成されたジャイロセンサ装置であり、素子形成基板１が、シリコン基板（第１の半導体基板）１Ａと、シリコン基板１Ａの厚み方向の一表面側に設けられシリコン基板１Ａよりも抵抗率の大きなシリコン基板（第２の半導体基板）１Ｂとを有した多層基板であり、ジャイロセンサがシリコン基板１Ａとシリコン基板１Ｂとに亙って形成されるとともに、集積回路３がシリコン基板１Ｂに形成されている。シリコン基板１Ａの他表面側に固着された支持基板２を備え、ジャイロセンサの可動部が、シリコン基板Ｂとシリコン基板１Ａの周部と支持基板２とで囲まれた密閉空間内に位置している。 （もっと読む）

【課題】専用トルク要素を必要とせずに複数の軸に沿って駆動するように構成された振動構造ジャイロスコープにおける同調誤差を補正する装置及び／又は方法。
【解決手段】１つ以上の駆動素子の駆動信号に他の駆動素子に対する位相オフセットを導入し、直角位相信号を最小化又は低減することによって補正を行う。同調は、ユーザの裁量で実行される手動調整として、閉ループ能動補正システムとして、又は１回限りの「設定後操作不要な」調整として行うことができる。本手法では、単に誤同調を補償するのではなく、共振器組立体の同調を改善する。それによって、本発明の様々な実施形態では、複数の駆動軸間の有害な干渉が低減される。従って、共振器に存在する振動エネルギの保存が強化され、支持構造へ伝達される振動エネルギが減少する。 （もっと読む）

【課題】ローレンツの相反性及びジャイロスコープの性能の低下を防ぐ光ファイバジャイロスコープを提供する。
【解決手段】光ファイバジャイロスコープを構成する方法は、第１の光ファイバ２１０及び第２の光ファイバ２２０を外面を有する干渉計２００の光路に光学的に結合すること、第１の光ファイバ２１０及び第２の光ファイバ２２０の少なくとも一部を外面に結合すること、並びに第１の光ファイバ２１０及び第２の光ファイバ２２０を集積光学チップ（ＩＯＣ）の光路に光学的に結合することを含む。 （もっと読む）

【課題】分解能が高い光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバジャイロは、周回光路１０を構成する光ファイバであって励起光の入力によって周回光路１０を互いに逆方向に進行するレーザ光Ｌ１およびＬ２を発振させる光アンプ部１１ａを少なくとも一部に含む光ファイバ１１と、励起光を出射する半導体レーザ素子１４と、周回光路１０に配置され励起光を光ファイバ１１に伝播するＷＤＭカプラ１２と、周回光路１０に配置されレーザ光Ｌ１およびＬ２の一部を周回光路１０から取り出す光カプラ１３と、周回光路１０から取り出されたレーザ光Ｌ１およびＬ２の周波数差を検出するためのフォトダイオード１８とを備える。レーザ光Ｌ１およびＬ２の波長λにおけるＷＤＭ１２カプラの挿入損失Ｐ₁（ｄＢ）、および、波長λにおける光カプラ１３の挿入損失Ｐ₂（ｄＢ）のいずれか一方が他方の０．５倍以上で２倍以下である。 （もっと読む）

【課題】バイアスが低減した光ファイバジャイロスコープを提供する。
【解決手段】光ファイバジャイロスコープ２が、光源１１と、光源１１に結合される結合器１２と、結合器１２に結合される光検出器１４と、第１の素子２１５によって結合器１２に結合される光集積回路（ＩＯＣ）１６と、第２の素子２１０及び第３の素子２２０によってＩＯＣ１６に結合される感知ループ１０とを備える。第１の素子、第２の素子、及び第３の素子のうちの少なくとも１つは偏光素子を含む。 （もっと読む）

【課題】ジャイロスコープ・システムにおいて、倍率誤差及びバイアス誤差を最少に抑える。
【解決手段】相互に非平行配列の検知軸１３０ａ〜１３０ｄを有する複数のジャイロスコープ１１０ａ〜１１０ｄを用いる。ジャイロスコープの数は、ナビゲーションに必要な軸の数よりも少なくとも１つ多い。プロセッサが、モード逆転技法を用いて、選択したジャイロスコープについてのバイアス誤差の推定値を得、ランダム閉ループ倍率技法を用いて、選択したジャイロスコープについて倍率誤差の推定値を得る。モード逆転技法では、各ジャイロスコープは較正のために一時的にオフラインとし、その後通常動作に戻す。少なくとも１つの冗長なジャイロスコープが設けられているので、選択したジャイロスコープがオフラインになっているとき、残りの動作中のジャイロスコープからの速度情報を用いれば、オフラインのジャイロスコープの軸を中心とする基準速度を導き出すことができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、小型かつ高性能な光ファイバジャイロを提供することである。
【解決手段】 少なくとも、光源と、光ファイバコイルと、該光源より出射される光を分岐して該光ファイバコイル内に導入し右回り光（ＣＷ光）と左回り光（ＣＣＷ光）として周回させ、周回したＣＷ光とＣＣＷ光を合波し、合波された干渉光を放出する光合分波器と、該干渉光を検出する検出器と、該干渉光を該検出器に導く光学部品とを備える干渉型光ファイバジャイロにおいて、 該光源が、少なくとも、発光部と、該発光部を励起する励起光源とを有し、該光源から出射される光の中心波長が４００ｎｍ〜９００ｎｍの範囲内にあり且つ半値全幅が１ｎｍ以上であることを特徴とする干渉型光ファイバジャイロ。 （もっと読む）

【課題】微小な容量値の差を精度よく検出することができる検出回路を提供する。
【解決手段】センサの第１の容量と第２の容量との容量値の差を検出する検出回路は、該第１の容量に応じた周波数の第１の発振信号を生成する第１の発振器と、該第２の容量に応じた周波数の第２の発振信号を生成する第２の発振器と、該第１の発振器に結合され、該第１の発振信号に応じた第１のカウント値を出力する第１のカウンタと、該第２の発振器に結合され、該第２の発振信号に応じた第２のカウント値を出力する第２のカウンタと、該第１のカウンタと該第２のカウンタとに結合され、該第１のカウント値と該第２のカウント値とに基づいて該容量値の差を示す信号を出力する演算回路を含む。 （もっと読む）

【課題】温度補償なしに高精度な検出が可能であり、しかも製造プロセスが容易な、超小型の慣性センサ及び慣性検出装置を提供する。
【解決手段】基板の主面に対して平行な平面内の第１の方向に延在し、前記基板の前記主面と間隔を空けて保持され、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた第１の圧電膜と、を有する検出部を有し、一端が前記基板の前記主面に接続された梁と、前記梁の他端に接続され、前記基板の前記主面と間隔を空けて保持された重錘部と、前記重錘部の前記基板とは反対の側に、前記重錘部と間隔を空けて設けられた上面ストッパ部と、を備えたことを特徴とする慣性センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】検出素子の検出性能を悪化させることなく、検出軸を所定角度に設定できる慣性センサを提供することを目的とする。
【解決手段】実装基板との電気的接続をする複数のリードと、前記複数のリードによって構成されるリード端子２０の形状に基づいて設置角度が決まり、かつ、検出軸７０に対する動作に応答するセンサを含むジャイロセンサ１０と、ジャイロセンサ１０を固定し、モールドパッケージの底面６１の垂線と検出軸７０とが所定の角を成すモールドと、を有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバジャイロシステムにおいて中空コア光ファイバコイルを接続するための光結合デバイス（２０）を提供すること。
【解決手段】例示的な光ファイバジャイロシステムは、再循環器（１００）または光集積回路チップ（１３０）と、第１および第２の端部を有する中空コア光ファイバのファイバコイル（８３、２２）と、中空コア光ファイバの端部を再循環器または光集積回路チップからある既定の距離で密閉空洞内に保持する結合デバイス（２０）とを含む。結合デバイスは、ファイバ端部を適正な位置に強固に保持するためのハウジング（２４、２６）を含む。このハウジングは、ファイバ端部を受け入れる空洞を含む。 （もっと読む）

【課題】アンチエリアスフィルタの調整を容易にするとともに、センサーシステム全体としての高い検出精度を維持させることができるＡＤ変換装置及び力学量検出装置を提供すること。
【解決手段】本発明のＡＤ変換装置１０は、駆動信号に基づいて振動する振動子によって力学量を検出するセンサーモジュール１０が出力する検出結果のアナログ信号１２をデジタル信号に変換する。ＡＤ変換装置１０は、アナログ信号１２をサンプリングしてフィルタ処理を行う離散時間型フィルタ２００と、離散時間型フィルタ２００によってフィルタ処理されたアナログ信号２０２をデジタル信号に変換するＡＤ変換処理を行うＡＤ変換部３００と、を含む。離散時間型フィルタ２００は、センサーモジュール１０が出力する同期クロック信号１４に基づいて、ＡＤ変換処理に対するアンチエリアスフィルタとしてのフィルタ処理を行う。 （もっと読む）

角速度センサが、Ｘ−Ｙ面内に横方向に配置され間接的にフレームに結合される２つの質量体を有する。２つの質量体は、それらがＺ方向に沿って逆方向に必然的に移動するように、リンクによって連結されている。２つの質量体をＺ方向の逆位相振動に駆動させ、それによってフレームに与えられる角振動の振幅を測定することによって、Ｙ軸を中心とするセンサの角速度を検出し得る。好適な実施例では、角速度センサが、バルクＭＥＭＳジャイロスコープウェハー、キャップウェハー及び基準ウェハーから作製される。さらに好適な実施例では、このようなウェハーのアッセンブリが、質量体と周囲環境との間に気密バリヤを与える。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周波数の増大を抑制しつつ位相調整の精度を向上させる。
【解決手段】シフトレジスタ１００Ｒは、サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックＣＫｘに同期してサンプリング周波数と同一の周波数を有する動作クロックＣＫａを順次シフトさせることにより、複数の遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・を生成する。セレクタ１００Ｓは、遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・の中からいずれか１つを選択し、選択した遅延クロックをサンプリングクロックＣＫｓｐとして出力する。アナログ／デジタル変換回路１０４は、サンプリング位相調整回路１００からのサンプリングクロックＣＫｓｐに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出精度の良い角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 内リング部２と、内リング部２を囲うように、前記内リング部２の径方向外側に配置された外リング部３と、外リング部３を内リング部２と連動させるための、内リング部２と外リング部３とを接続するビーム部４とを備え、内リング部２を１次振動をさせて外リング部３を１次振動させ、外リング部３に生じた２次振動を外リング部に対向配置された２次検出電極１２を用いて検出し、検出した２次振動から角速度を検出することを特徴とする角速度センサ１を提供する。
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