【課題】磁性多層膜中の磁気特性を乱すことなくＸ線磁気円２色性を測定し、層界面近傍の磁気特性又は膜厚方向の磁気特性分布を観測する。
【解決手段】磁性多層膜１の積層構造に基づく干渉により反射Ｘ線強度が強くなる入射角θで入射したＸ線５により、磁性多層膜１中に励起される定在波の電界強度Ｅ（イ）、Ｅ（ロ）が、磁性多層膜１中の層１ａ、１ｂの界面で最大強度を有するように入射角θを制御し、入射Ｘ線５を進行方向に対して右廻り円偏光及び左廻り円偏光に切換え、切換え前後のＸ線吸収の差分を測定して、磁性多層膜１のＸ線磁気円２色性を測定する。定在波の腹及び節の位置を入射角θにより制御し、最大電界強度の位置を測定すべき界面に合わせることで、界面近傍の磁気特性が選択的に測定される。 （もっと読む）

【課題】ピーク判定精度を維持したまま、なだらかな形状のスペクトルピークに対してピークと判定するスペクトルのピーク位置判定方法および分析装置を実現する。
【解決手段】ピーク位置判定手段５７により、２次微分値情報５３の極小値の絶対値が閾値Ｔ₂を越えないで誤差範囲に含まれると判定される際にも、さらに一次微分値の隣接する極大値および極小値の差分の大きさが閾値Ｔ₁を越えるかどうかを判定し、越える際には２次微分値情報５３のこの極小値を、スペクトルピークと判定するので、急峻なピークと共になだらかなピーク形状を有するスペクトルピークも、判定精度を維持したまま検出することを実現させる。 （もっと読む）

【課題】固体表面の化学状態を分析するオージェ電子分光分析装置のオージェ電子分光分析法の感度係数測定方法に関する。
【解決手段】
電子線を走査し、試料表面から放出されるオージェ電子を検出するオージェ電子分光分析装置で、試料表面から検出される複数の元素の強度から該試料表面の元素濃度を得るための各元素間の感度係数を求める感度係数測定方法であって、以下の工程からなることを特徴とするオージェ電子分光分析法の感度係数測定方法である。
１）前記電子線の走査範囲に単元素からなる固体材料を２種以上配置する工程、
２）該走査範囲におけるスペクトル測定し、前記固体材料を構成する元素の強度を得る工程、
３）走査範囲における前記固体材料の面積比を得る工程、
４）前記スペクトル測定から得た元素の強度と前記固体材料の面積比から、前記各元素間の感度因子を求める工程。 （もっと読む）

【課題】 高分解能の電子顕微鏡の特徴であるノイズ成分を多く含む画像に対し、ノイズの低減と画像の輪郭の強調という、従来技術では相反する画像処理を同時に行うことのできる電子顕微鏡の画像処理システムを提供する。
【解決手段】 走査電子顕微鏡１０は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。パーソナルコンピュータ２０は電子顕微鏡１０によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す。パーソナルコンピュータ２０は、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量の電子顕微鏡画像と、最大エントロピー法を用いた画像との比較に対する評価結果に基づいて前記画像処理のためのフィルタリング条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光電子観察画像を得るために、試料上で、オージェ電子分光分析による分析部位と光電子観測部位との位置合わせが容易な光電子顕微鏡装置を得る。
【解決手段】紫外光またはＸ線を試料（１４）の表面に照射することにより発生する光電子を電子レンズ系（９、１０）により結像して試料表面を観察する光電子顕微鏡装置において、オージェ電子励起用の電子線源（１４）と電子検出器（７）とを有し、電子線源（１４）で生成された電子線を電子レンズ系（９、１０）にて集光し、試料（１４）の表面に照射する。 （もっと読む）

【課題】高い感度で二次荷電粒子のスペクトル観測を行い、高品質の試料光学画像を生成できる荷電粒子分光装置を提供する。
【解決手段】一次粒子による分光装置（１０）は、試料表面に対してほぼ垂直な試料観測と二次荷電粒子捕集を実現する。捕集チャンバ（２２）は、放出された粒子を、第一の垂直軸（２４）に沿って下流方向に集束させ、これによって荷電粒子の光学クロスオーバ地点（２５）を画定する二次荷電粒子レンズ装置（２０）と、レンズ装置の下流にあり、結像光（４１）を受け取り、これを第二の垂直軸（４２）から遠ざけるように反射して、表面の観測可能な画像を提供するよう構成された光反射光学素子（５０）をクロスオーバ地点（２５）またはその付近に配置し、貫通する穴（５２）を有し、集束した粒子が、光学素子によってほぼ遮ぎられることなく、下流での分光分析を受けるために開口部を通過するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 簡便な分析方法であって元の試料形状を反映した結果が得られる試料分析方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る試料分析方法は、絶縁物試料１を試料固定用樹脂２に埋め込み、前記試料固定用樹脂２を研削して前記絶縁物試料１の断面を露出させ、前記絶縁物試料１の断面を含む前記試料固定用樹脂２の表面にカーボン膜３を形成し、前記試料固定用樹脂２をオージェ電子分光分析装置の導電性試料台４上に保持し、前記絶縁物試料１の断面上のカーボン膜３を加工して試料の元素が検出可能な膜厚まで薄くし、前記絶縁物試料１の断面に対してオージェ電子分光分析を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 例えば、バイオアッセイに用いる核酸プライマー分子の固定化に利用される微細な粒子状の基体等、微小な物体に対しても、必要に応じて多数種の標識を付す際に有効な物体の標識方法、ならびに該方法により標識が付された物体の提供。
【解決手段】 微小な物体に対しても、それを構成する材料の一部として、予め選択される複数種の原子の種類数（ｎ）と、前記選択された原子個々の含有量の有無、あるいは、含有量の水準とを利用して、少なくとも二進法ｎ桁の数値情報に相当する、含有原子の組成条件に従って調製される標識用材料を用いることで、必要に応じて多数種の標識を付すが可能となる。さらには、該標識方法によって標識を付された物体を基体に利用することで、該基体に固定化されている核酸プライマー分子の特定が容易となる。 （もっと読む）

【課題】試料最表面に存在する極めて薄い薄膜や極めて急峻な傾きを持つ不純物分布であっても正しい深さ方向分布に解析する。
【解決手段】スパッタリング初期における深さ方向へのスパッタ率変化に基づいて補正するとともに（Ｓ４）、補正された深さ方向分布の深さ軸を伸張させ（Ｓ５）、深さ軸を伸張させられた深さ方向分布に対し、深さ方向分布を２ⁿ個のデータ点で構成し、かつ、各データ間の距離を等間隔にデータ補間し（Ｓ６）、データ補間した深さ方向分布のデータ点間距離およびデータ数に合わせて、Ｓ３で抽出した深さ方向分解能関数パラメータを用いて深さ方向分解能関数の分布データを作成し（Ｓ７）、作成された深さ方向分解能関数分布データと補間により求めた深さ方向分布とに基づいてデコンボリューション解析し（Ｓ８）、デコンボリューション解析されたデータの伸張されている深さ軸を実際の深さ軸に戻す（Ｓ９）。 （もっと読む）

本発明の１つの実施形態によれば、計器からのデータを分析するための方法が開示される。計器によって生成された生データは、ユーザによって生成された構成データと共に、コーリング・モデル内にパッケージングされる。生データは、たとえば、光電子分光法データを分析した場合の特定の運動エネルギーを有するカウントを含むことができる。構成データは、測定されている構造体の組成及び構成に基づいてユーザによって選択される幾つかのパラメータを含むことができる。コーリング・モデルは、計器と、所望の結果をユーザに戻すためのアルゴリズムを生成するためのエンジンとの間のインターフェースとして役立つことができる。エンジンは、次に、アルゴリズム、並びにユーザによって指定された結果を生成し、コーリング・モデルはその結果をユーザに戻す。これは、既知のアルゴリズム及び関数を用いて、特定の被測定試料及び構造体に対して特定のアルゴリズム及び結果を生成することを可能にする。 （もっと読む）

本発明の一実施形態に従えば、基板上の単層もしくは多層構造体における１以上の層の厚さを決定するために、光電子分光法が使用される。この厚さは、光子が衝突したときに当該構造体により放出される二つの光電子種、または他の原子特異的な特徴的電子種の強度を測定することによって決定されてよい。層の厚さに依存する予測強度関数が、各光電子種について決定される。二つの予測強度関数の比が定式化され、構造体の層の厚さを決定するために、この比が反復される。一実施形態に従えば、当該層の厚さを決定するために、一つの層からの二つの光電子種が測定されてよい。もう一つの実施形態に従えば、層の厚さを決定するために、異なる層または基板からの二つの光電子種が測定されてよい。 （もっと読む）

【課題】
同心円筒鏡型のエネルギー分光器を有するオージェ電子分光分析装置を用いた固体表面の化学状態を分析法において、運動エネルギーの高い成分の検出する分解能を向上させる装置及び方法を提供することである。より具体的には、ＣＭＡ型のＡＥＳ装置を用いて、運動エネルギーの高いオージェ電子を測定する際に、運動エネルギーの低いオージェ電子を測定したときと同程度の分解能を備えた分析方法及び分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
測定中の試料に、グランドに対して正のバイアス電圧を印加したところ、試料から検出されたオージェ電子の運動エネルギーが、負の方向に平行移動したように減少した。このため、従来運動エネルギーの高いオージェ電子を検出する成分においても、運動エネルギーの低い領域でオージェ電子が検出することができた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、粉末試料が真空装置内で飛散しないようにし、チャージアップが軽減され、標準データ位置にピークが検出されることを課題とする。
また、これによりオージェ電子分光法において、鮮明な二次電子像の画像が観察されることを目的とする。
【解決手段】オージェ電子分光法において、複数の微細椀状凹部を形成した金属部材を分析対象の上面に直接載せ、チャージアップを軽減し、適確なエネルギー位置にピークを生じさせるオージェ電子分光法。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、観測されるスペクトルにエネルギーシフトが発生しているため速い掃引はできなかったという点である。
【解決手段】１次ビーム源と、前記１次ビーム源より照射された１次ビームにより試料から発生した２次ビームを分光するための静電型エネルギーアナライザと、掃引信号を発生する掃引信号発生手段と、前記掃引信号に基づいて前記静電型エネルギーアナライザに掃引電圧を印加する掃引電圧発生手段と、を備えた表面分析装置において、前記掃引電圧のエネルギーシフト成分を打ち消すように、前記掃引信号に補正信号を加算することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）

【課題】 表面分析方法及び表面分析装置に関し、補正用の荷電粒子に起因する熱的ダメージを緩和させて本来の試料の素性を反映する分析結果を得る。
【解決手段】 絶縁性或いは半導電性の試料１に一次エネルギー粒子２を照射するとともに、一次エネルギー粒子２の照射或いは二次荷電粒子３の発生に伴う試料１の帯電を、帯電の極性と反対の極性の荷電粒子を照射して補正する際に、試料１が所定温度以下になるように補正用の荷電粒子４の量、エネルギー、或いは、収束度の少なくとも一つを制御する。 （もっと読む）

【課題】短い作用距離、コンパクトなデザインで、試料の高速かつ高品質な撮像を可能にすると同時に、画像コントラストの増強をもたらす分析システム及び荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの荷電粒子を偏向及びエネルギー選択する荷電粒子ユニットに関する。荷電粒子ビームを偏向及び焦点合わせするための二重焦点セクターユニット４２５，４４５及び電位を形成するためのエネルギーフィルタ４６０が設けられ、これにより荷電粒子ビームの荷電粒子は、荷電粒子のエネルギーに応じて電位鞍点において方向を転換される。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、光電子分析装置で分析した位置が、位置読み取り機能付き光学顕微鏡で得た像のどこに位置するかを示すことが困難であったという点である。
【解決手段】試料を置載し、試料座標の基準点を有する試料ホルダと、前記試料の第１の像を読み取り、その座標を設定する第１の測定手段と、前記試料の第２の像を読み取り、その座標を設定する第２の測定手段と、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段とに接続し、試料の像及び座標情報を処理する情報処理手段と、を備えた試料分析装置において、前記試料ホルダを前記第１の測定手段と第２の測定手段との間で付け替えて分析し、前記第２の測定手段で得た試料部位の位置を前記第１の測定手段で得た像に追加記録する試料分析装置。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＡ検出器と低速アルゴンイオン銃とを備えたオージェ電子分光装置を用いた元素分析方法において、従来より定量誤差が少ない元素分析方法を提供する。
【解決手段】電子銃と同軸に配置されたＣＭＡ検出器と低速アルゴンイオン銃とを備えたオージェ電子分光装置において、低速アルゴンイオン銃を用いてイオンエッチングを行った後、電子を照射してＣＭＡ検出器を用いて単結晶含有試料のオージェ電子を検出するにあたり、電子銃の軸の延長線と試料設置面との交点を通る試料設置面の法線と前記電子銃の軸の延長線とのなす交角および／または試料設置面の法線回りの試料設置面の回転角を変化させたときのシグナルの強度の変化が少なくなるように、前記交角および／または前記回転角を調整し、検出したオージェ電子から該試料に含有される元素の定量を行う元素分析方法。 （もっと読む）

【課題】 ２または３成分系の元素濃度の二次元分布データから作られる散布図を用いて相分析を行う際に、２または３成分系の状態図を簡単に参照できるようにする。
【解決手段】 公開されている状態図を画像ファイルとして取り込む手段と、画像ファイルとして取り込まれた状態図の濃度軸／温度軸、液相線／固相線などの線上の点をデジタル的に指定できるようにグラフ化する手段を備える。散布図と状態図を同時に表示し、状態図の濃度軸上である値をクロスカーソルで指示すると、散布図上の対応する濃度の位置にマーカーが表示される。また散布図上のマーカーが表す濃度位置が変わると、それに対応した状態図上のクロスカーソルの位置も移動する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面分析方法を提供する。
【解決手段】（イ）Ｎ個の相異なる元素を含む試料表面のＭ個の相異なるデータポイントを設定し、各データポイントでの元素成分比を測定するステップと、（ロ）測定された元素成分比からデータポイント間の濃度距離値を計算するステップと、（ハ）計算されたデータポイント間の濃度距離値を利用し、試片表面の相分布を決定するステップとを含む試料表面での構成元素の成分比を利用した相分布を決定する試料表面の分析方法である。 （もっと読む）