【課題】表面に酸化膜を有する溶融亜鉛系めっき鋼板、電気亜鉛系めっき鋼板及び冷延鋼板について、表面の酸化物厚さを、既存手法より簡便・迅速、かつ正確に評価できる品質管理方法及び前記鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】溶融亜鉛系めっき鋼板の表面に０．１〜５ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子ビームを照射し、表面から発生する２次電子量に対応した信号強度を測定して信号強度数値として数値化する数値化ステップと、得られた信号強度数値が所定範囲に入るか否かにより、前記溶融亜鉛系めっき鋼板がその表面に所定性状の酸化膜を有しているか否かを判定する判定ステップとを有することを特徴とする、表面に酸化膜を有する溶融亜鉛系めっき鋼板の品質管理方法。 （もっと読む）

イオン顕微鏡およびシステムを開示する。一般に、本発明システムおよび方法は比較的軽い同位体、少数同位体、またはその両方を用いる。いくつかの実施形態においては、Ｈｅ−３を用いる。 （もっと読む）

本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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１つ又は複数のサンプルからの電子を検出するシステム及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、本システム及び方法は、サンプル表面からの二次電子を偏向させるための１つ又は複数の磁場源を含む。
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サンプルの方向に向けられた電子ビームを発生させる、電子ビーム発生器を備える分光計。電子ビームポジショナーは、電子ビームをサンプルの位置に向けることにより、サンプルから二次放出電子流を生じ、二次放出電子流は、電子およびX線のうち少なくとも１つを含む。二次放出流ポジショナーは、二次放出流を検出器アレイの位置に合わせ、検出器アレイは、二次放出流を受信し、二次放出流の量および受信位置の両方を検出する。変調器は、サンプルの方向に向けられた電子ビームを変調し、その結果、電子ビームを、サンプル上の第１位置と第２位置との間で走査する。抽出器は、変調器および検出器アレイの両方と信号を通信する。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡を用いた欠陥のレビュー方法、および欠陥のレビュー装置において、電子ビームの自動焦点合わせの設定に要するユーザの工数を低減し、試料の観察を容易化する。
【解決手段】
観察対象の座標上に予め登録された複数個の座標位置について焦点合わせを行い、座標位置における各焦点位置に基づいて焦点合わせの基準を作成し、該基準と前記焦点位置との間のずれ量に基づいて焦点探索範囲を設定し、観察対象の欠陥検出の自動焦点合わせの範囲を、設定された焦点探索範囲に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】電子収量法及び吸収法によるＸ線吸収スペクトルの測定を、複数試料に対して同時に行なう。
【解決手段】検出器５０の前端に接続部３を設け、この接続部３を介して複数検出器５０を入射Ｘ線が通過するように直列に接続する。接続部３に、試料等で気密に閉塞可能なＸ線が通過する貫通孔が設けられる。また、接続部３は、前後の検出器５０を外気から気密に保持して接続する。検出器５０内にはＸ線強度測定用の電極１５ａ、１５ｂとオージェ電子収集用電極１６が設けられ、何れかの電極が選択されて動作する。試料の前後のＸ線強度の測定による吸収法、及び、試料直後の検出器による電子収量法による測定が同時になされる。 （もっと読む）

【課題】極薄のフィルム状試料をサンプリングする際に、測定する箇所を破壊することなく、その両面を測定できる状態でサンプリングすることが出来るサンプルホルダー及びそれを用いたフィルム状試料の表面分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上部保持板１１と下部保持板２１とで構成されており、開口部を１個設けた事例で、上部保持板１１には、中央部に開口部１１ａを、周辺部に粘着部３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄを、下部保持板２１には、中央部に開口部２１ａを、周辺部に粘着部３２ａ、３２ｂ、３２ｃ及び３２ｄを、それぞれ設けたものである。本発明のサンプリング用板を用いてフィルム状試料の前処理を行うことにより、フィルム状サンプルの両面を、汚染無く、表面分析装置で測定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスク上の単体では組成分析不可能な微細な異物の組成分析方法を提供する。
【解決手段】 異物除去探針3に組成分析可能な量まで付着蓄積した異物1または異物の削り滓2をレーザーマイクロプローブ質量分析法で組成分析する。導電性の異物除去探針の場合にはオージェ電子分光法または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。異物除去探針3で異物1または異物の削り滓2を移動させ組成分析可能な量まで寄せ集めたものにレーザーマイクロプローブ質量分析法で組成分析する。異物除去探針で導電性のパターン上に集めた場合にはオージェ電子分光または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 （もっと読む）

【課題】作業効率を悪化させることなく、試料を精度よく分析することが可能な試料ホルダ、試料ホルダに試料を固定する固定方法、及び試料ホルダに固定された試料の分析方法を提供する。
【解決手段】
試料ホルダ２０を、試料１０が載置される試料台３と、この試料台の試料が載置される側に設けられた導電性を有する網目状の電極ネット６と、この電極ネットを試料台に接離可能とする接離手段１，４と、を有する構成とし、この試料ホルダ２０を用いて、接離手段１，４によって電極ネットを試料台に接近させて電極ネットと試料台とで試料を挟持して固定する。
また、上記挟持された試料を電極ネット６の網目開口部を介して分析を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＡＥＳによる断面加工試料の測定において、断面のエッチングによるクリーニング操作から断面の観察、測定操作までにかかる複雑なステージ操作工程や、さらにＣＭＡを搭載したＡＥＳにおける複数試料観察の際の角度微調節といった工程の削減を可能とする試料台の提供を目的とする。
【解決手段】試料台（１）に傾斜角度５０°〜６０°の傾斜面２面からなる傾斜部分（２）を設けることにより、エッチング後、試料ステージの反転操作を行なわずに観察、測定操作を可能とし、また、傾斜部分（２）に並列に試料（５）を固定できる構造により、観察断面の方向をそろえることを可能とすることで位置調整に要する操作を削減することが出来る。 （もっと読む）

【課題】複数の成分領域を有する試料において、その成分間の境界領域を自動的に判別することができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】二次エネルギ線検出部４により検出された二次エネルギ線Ｌのスペクトル波形を示すデータであるスペクトルデータを各ポイント毎に生成するスペクトルデータ生成部５１と、類似するスペクトルデータを集めてグループ化するスペクトルデータ分類部５２と、互いに異なるグループに属するスペクトルデータの合成である合成スペクトルから得られる合成情報と、その合成情報に係るグループ以外のグループに属するスペクトルデータから得られる情報とを比較して、類似する場合には、前記合成情報に係るグループ以外のグループのスペクトルデータを生じる領域を、前記合成情報に係るグループのスペクトルデータを生じる領域間の境界領域であると判別する境界領域判別部５５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、異なる検出器からの映像信号の画像データを遅滞なく表示部に転送することのできるデータ処理装置を提供することことを目的としている。
【解決手段】複数チャネルの信号を検出する検出器１と、これら検出器１のそれぞれの出力を信号処理する信号処理部３と、これら信号処理部３の出力を受けて有効データのみを抽出する有効データ抽出部１０と、該有効データ抽出部１０の出力を受けて多重化する多重部１１と、該多重部１１の出力を受けてメモリへの書き込み制御を行なうメモリ制御部１６と、該メモリ制御部１６の出力を受けて検出データを記憶するメモリ４と、該メモリ４に記憶されている検出データを読み出して出力するデータ出力部５と、該データ出力部５の出力を受けて所定のデータ処理を行なう処理装置１７と、該処理装置１７の出力を受けて検出データを出力するモニタ８とから構成される。 （もっと読む）

【課題】面分析における定量分析の精度を向上させる方法を提供する。
【解決手段】試料表面上に点分析位置と点分析位置を含むように面分析領域を指定し、点分析位置に一次エネルギー線を照射して発生した二次エネルギー線に基づいて点分析におけるピーク強度とバックグランド強度を取得し、面分析領域内を一次エネルギーで走査して発生した二次エネルギー線に基づいて面分析におけるピーク強度とバックグランド強度を取得し、次に、点分析におけるピーク強度とバックグランド強度から原子濃度を求め、面分析におけるピーク強度とバックグランド強度の内で点分析位置に対応した位置に存在する元素に対応したピーク強度とバックグランド強度と、求めた原子濃度から元素に対応した相対感度係数値を求め、この相対感度係数と面分析におけるピーク強度とバックグランド強度とに基づいて面分析領域の定量計算を行う。 （もっと読む）

【課題】被評価水の水質評価を精度よく行うことが可能な水質評価方法と、この水質評価方法に用いられる基板接触器具とを提供する。
【解決手段】基板接触器具１０は、内部を真空度−０．０９４ＭＰａ以下に維持することが可能な密閉性能を有している。基板接触器具１０内に基板Ｗを収容して被評価水を通水し、通水停止後、基板接触器具１０内部を密閉し、この基板接触器具１０内に基板Ｗを収容したまま分析設備に搬送する。 （もっと読む）

【課題】ラインスキャン方式において、電子ビームの位置ずれを補正して正確な二次元マッピング画像を得る。
【解決手段】ビーム走査部により電子ビームで試料表面の所定の領域を走査して得られた二次元画像の１つを参照画像として記憶しておき、予め設定された本数のラインスキャンごとにビーム走査部を駆動させて二次元画像を得、参照画像記憶部に記憶されている参照画像と比較して電子ビームのズレ量を算出する。その算出されたズレ量に基づいて偏向レンズにより電子ビームの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】 ＡＥＳを用いて異なる化学状態の混在する試料を分析する方法を提供する。
【解決手段】 ＦｅＯ（２価）とＦｅ_２Ｏ_３（３価）を標準試料、Ｆｅ_３Ｏ_４を被験試料として、ＦｅＯとＦｅ_２Ｏ_３の標準スペクトルを用いて、Ｆｅ_３Ｏ_４からのスペクトルに対して最小二乗法のフィッティング計算による波形分離計算を行う。convolution曲線は、最もよいフィッティング結果を与えるときの、ＦｅＯとＦｅ_２Ｏ_３の標準スペクトルに各々係数を乗じて合成されたスペクトルである。このときのＦｅＯとＦｅ_２Ｏ_３の係数に基づいて、Ｆｅ_３Ｏ_４中の２価と３価の鉄原子の存在比率を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】製造されたデバイスの内部構造をテストするために薄いサンプルを準備して像形成する。
【解決手段】物体のサンプルを形成し、物体からサンプルを抽出し、真空チャンバーにおいて表面分析及び電子透過度分析を含むマイクロ分析をこのサンプルに受けさせるための方法及び装置が開示される。ある実施形態では、抽出されたサンプルの物体断面表面を像形成するための方法が提供される。任意であるが、サンプルは、真空チャンバー内で繰り返し薄くされて像形成される。ある実施形態では、サンプルは、任意のアパーチャーを含むサンプル支持体に位置される。任意であるが、サンプルは、物体断面表面がサンプル支持体の表面に実質的に平行となるようにサンプル支持体の表面に位置される。サンプル支持体に装着されると、サンプルは、真空チャンバー内でマイクロ分析を受けるか、又はロードステーションにロードされる。 （もっと読む）

【課題】試料の保存の際に場所を広く占有せず、形状、性質の異なる試料であっても対応することのできるオージェ分光分析用試料ホルダを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、少なくとも、中空ホルダと、試料固定部位とを備え、試料を保持し試料を所定の測定位置に設置するオージェ分光分析用試料ホルダであって、試料固定部位が中空ホルダから独立し、交換可能であることを特徴とするオージェ分光分析用試料ホルダであり、試料ホルダの不足による作業の遅延を防ぎ、より効率的な測定を可能とすることが出来る。 （もっと読む）