【課題】 ウェーハ表面を全体的に欠陥検査する。
【解決手段】 欠陥レビューＳＥＭを用いた欠陥検出に際し、製品ウェーハ２０の全面（Ｒ端面を除く。）にＸＹ座標系を設定し、製品ウェーハ２０表面を全体的に検査できるようにする。これにより、有効チップ領域外の領域についても欠陥検出が行える。また、その検査結果をそれが得られた位置の座標と関連付けて記憶することにより、検査結果を解析等に効率的に利用することができ、より高精度に不良原因を究明し、チップ２１ａの品質向上、歩留まり向上を図れる。 （もっと読む）

【課題】 実用的な寸法形状で、十分に強度の大きい軟Ｘ線を取り出せる横型Ｘ線管などを提供する。
【解決手段】 筒状の筐体4 内にその軸方向Y に並ぶフィラメント2 とターゲット3 を有し、陰極であるフィラメント2 から放射した熱電子e_tを陽極であるターゲット3 に衝突させて、そのターゲット3 から筐体の側壁4aに向かうＸ線B を窓7 を介して出射する横型のＸ線管1 であって、筐体の側壁4aから外方向X に突出する筒状で非磁性体の突出部8 を有し、その突出部8 の先端部に前記窓7 が設けられており、突出部の側壁8aを外側から挟むように磁石10A,10B を有することにより、突出部8 を含む空間に磁場を形成して、ターゲット3 からの散乱電子e を窓7 へ到達しないように偏向させる。 （もっと読む）

本発明は、放射線撮影装置に関するものである。この装置は、重水素−重水素間のまたは重水素−三重水素間の核融合反応によって生成された実質的に単一エネルギーの高速中性子を生成するための中性子線源であるとともに、シールされたチューブ状のまたは同様の態様の中性子線源を具備している。装置は、さらに、撮影対象をなす対象物を実質的に透過し得る程度に十分なエネルギーを有したＸ線源またはガンマ線源と、中性子線源とＸ線源とガンマ線源とを包囲するコリメート用ブロックであるとともに、実質的に扇型形状でもって放射させるための１つまたは複数のスロットが形成されているような、ブロックと、を具備している。さらに、線源から放射された放射エネルギーを受領しさらにその受領したエネルギーを光パルスへと変換する複数のシンチレータ画素を備えた検出器アレイを具備している。
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【課題】 複雑な空孔／粒子構造の薄膜中の空孔／粒子サイズの分布評価を高い信頼性で実現する。
【解決手段】 試料に対して所定の入射角αで照射線を入射し、前記試料からの照射線の強度を、前記試料に対して垂直な測定面から所定の角度χだけ傾けた面内で取得する。所定の角度χは、５°〜９０°の範囲で設定される。角度χの範囲は、５°〜６０°の第１領域と、６０°〜９０°の第２領域を含み、前記第１領域で、小角散乱成分を取得し、第２領域で、試料の横方向の干渉情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】タングステンを減速材として用いた場合と同等又はそれ以上のビーム強度を有し、かつエネルギー分布の幅が狭い低速陽電子ビームを発生することができるタングステンに替わる減速材を用いた陽電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】結晶化されたニッケルメッシュを減速材２として用いる。ニッケルメッシュは、直径１μｍ以上１００μｍニッケル単線からなることが好ましく、ニッケル単線は、酸溶液によるエッチングで線径を細くしたものであることが更に好ましい。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷時における製品の状態を、高い信憑性のもとに証明することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物品Ｗを特定できる特徴部分もしくは全体像を撮影する光学撮影手段５を設け、この光学撮影手段５により撮影した検査対象物品Ｗの光学像と、検査対象物品ＷにＸ線を照射して得たＸ線透視像とを相互に関連づけて記憶する記憶手段１３を備えることにより、製品出荷時におけるＸ線透視像と実際の製品とを高い客観性および信憑性のもとに関連づけることを可能とし、公正なトレーサビリティを実現する。 （もっと読む）

【課題】 分析中や分析後でも、分析結果の信頼性を損なう試料の帯電が生じていることを簡単に知ることができる電子プローブＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 試料に帯電が生ずると、照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合が急激に低下する現象を利用して帯電の有無を判定する。図の照射電流検出器１８によって分析開始前に照射電流値Ipが検出され、分析中は試料１１から取り出される試料吸収電流Iaを電流測定回路１９で測定する。制御／演算装置１４は照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合Ia/Ipを求め、データベース１５の予め定めておいた帯電の判定条件データと比較して帯電の有無を監視する。帯電が生じていると判定した場合、分析経過中に表示装置１６に表示し再測定を促したり、分析終了後に分析結果とともに帯電の有無の判定結果を表示したりすることにより、信頼性の高い分析結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
包埋材料に包埋する前の試料の状態を正確に分析することができる被検査物の断面分析方法を提供する。
【解決手段】
下記の（１）〜（３）の工程を含む被検査物の断面分析方法。
（１）試料表面に不活性層を形成する工程
（２）不活性層を形成した試料を包埋材料に包埋して被検査物を作製する工程
（３）被検査物を切断して断面を形成し、該断面を分析する工程 （もっと読む）

【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で軽元素を含む絶縁体材料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な絶縁体中の軽元素分析・評価装置を提供する。
【解決手段】 この出願の発明による絶縁体試料中の軽元素分析・評価装置は、２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオン２を、軽元素を含む絶縁体試料３に照射するイオン発生源１と、正イオンの照射により絶縁体試料３中に含まれる軽元素から発生する特性Ｘ線を検出するＸ線検出器５と、絶縁体試料３を配置するチャンバー４を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 全ての欠陥種を検出できる最適の欠陥検査レシピを作成者の熟練度に依存することなく作成する方法を提供する。
【解決手段】 模擬正常パターンに対して高さ方向での変化と平面形状での変化とを有する模擬欠陥パターンＤＦ１〜ＤＦ３を備える模擬欠陥ウェーハ１を用いて暫定検査レシピを作成し、模擬欠陥ウェーハ１について欠陥検査を行ない、検出された欠陥データと、予め得られた模擬欠陥ウェーハ１の模擬欠陥データとを照合して欠陥検出感度を定量化し、所望の欠陥検出率が得られるまでレシピパラメータを変更して暫定検査レシピを作成する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜の表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に適した試料を、容易に作製することの可能な方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１０Ｚに対してＦＩＢ１５Ａ，１５Ｂを照射することにより、可溶膜１２に達するエッチング溝１６を、解析対象領域１０Ｒを取り囲むように形成したのち、ウェハ１１、可溶膜１２および中間膜１３Ｚのうち、可溶膜１２のみを溶解可能な酸性溶液を用いて中間膜パターン１３と接する部分である底部１２Ｂを溶解除去することにより、解析用試料１０を形成する。得られた解析用試料１０を、その側面１０Ｗを把持することにより取り出す。これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 電子銃の制約を受けず、高い集光効率の光学系を設計することが可能なカソードルミネッセンス専用測定装置を提供する。
【解決手段】 試料（２）に電子線を照射するための電子線照射部（３）と、試料（２）から発光するカソードルミネッセンスを測定する発光測定部（４）と、カソードルミネッセンスを発光測定部（４）に集光する、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせとを備えたカソードルミネッセンス専用測定装置（１）であって、電子線照射部（３）、発光測定部（４）および楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせが同一のフランジ（７）に固定されて一体化され、それらが真空装置に接続されており、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせにより、照射する電子線の軸と試料（２）からのカソードルミネッセンスの軸とを別にして、電子線照射と集光を反平行で行うカソードルミネッセンス専用測定装置（１）とする。 （もっと読む）

目標物体の領域の高分解能画像を構成するために使用することができる画像データを提供する方法及び装置が開示される。本方法は、放射源からの入射放射を目標物体に供給するステップと、少なくとも１つの検出器により、目標物体により散乱された放射の強度を検出するステップと、入射放射又は目標物体後方の開口を目標物体に対して高分解能で位置合わせすることなく、検出された強度に応じて画像データを提供するステップとを含む。
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本発明は、核燃料棒上のクラッドの分析を遂行する方法及び道具を提供する。該方法は、核燃料棒の外面上にクラッドの層を有する核燃料棒を用意し、この燃料棒から該クラッドをクラッド掻取り道具で掻き取り、そしてこのクラッド掻取り道具からクラッドフレークを採集すると述べられる。該方法はまた、該クラッドフレークを粒子画分に分別し、そして走査電子顕微鏡で該クラッドを分析することを備え、しかも該掻取り道具は、クラッド付着物の予想剪断強さに合っている剛性を備えたブレードを有する。 （もっと読む）

本発明は生体体積(14)中のX線蛍光(XRF)マーカー(16)分布の決定方法及び装置に関する。生体体積(14)はX線源からのビーム放射線(12)によって照射される。X線源はK端よりもやや上の準位にある量子化エネルギーを有する第1放射線成分、K端よりもやや下の準位にある量子化エネルギーを有する第2放射線成分を有する。生体体積(14)から放出される二次放射線が検出器(30)によって位置分解法で検出される。バックグラウンド放射線から二次放射線中のX線蛍光成分を分離するには、生体体積は第1放射線成分がXRFマーカーの材料で構成されるフィルタ(22)によって実質的に除去された放射線ビームによって2回照射される。
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イオン検出器から電子検出器へと切り換え可能な粒子検出器はイオン−電子変換器およびシンチレータ検出器を有する。構成部品への１セットの電圧で、変換器は電子の軌道上で最小限の衝突を有し、それゆえに電子がシンチレータ検出器によって効率的に検出される。構成部品への異なった電圧設定で、大部分のＦＩＢ応用について充分な効率で陽イオンを収集するように検出器が陽イオンのモードで動作することが可能である。このイオン−電子変換器は円筒の形状であるか、または複数の平行プレートを有することが好ましい。 （もっと読む）