【課題】副次的に発生し検出されるＸ線を低減させて、検出下限を改善した蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１は、一次Ｘ線Ａを照射するＸ線源２と、中央部に貫通孔７を有したコリメータ６が前面に置かれた検出器３とを備え、試料Ｓに一次Ｘ線Ａを照射して、試料Ｓから発生し、コリメータ６の貫通孔７を通過する一次蛍光Ｘ線Ｂを検出器３で検出するものである。Ｘ線源２及び検出器３は、試料Ｓに近接して配置され、一次Ｘ線Ａが試料Ｓで散乱した一次散乱線Ｃ、及び試料Ｓから発生した一次蛍光Ｘ線Ｂが照射されるＸ線源２または検出器３の被照射面９は、一次散乱線Ｃ及び一次蛍光Ｘ線Ｂの照射により発生する二次散乱線や二次蛍光Ｘ線を低減する二次Ｘ線低減層１０、１１、１２によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】試料に含有する硫黄を分析する蛍光Ｘ線分析装置において、Ｘ線管からの連続Ｘ線による試料からの散乱Ｘ線および比例計数管のアルゴンガスによるエスケープピークを大幅に減少させることにより、極微量の硫黄の分析精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】Ｘ線管からの一次Ｘ線を試料Ｓに照射し、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線を分光素子で分光しＸ線検出器で検出することにより、試料Ｓを分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、クロムを含むターゲットを有するＸ線管１１と、Ｘ線管１１と試料Ｓとの間のＸ線通路に配置され、Ｘ線管１１からのＣｒ−Ｋα線に対し所定の透過率を有し、Ｓ−Ｋα線とＣｒ−Ｋα線のエネルギ間に吸収端が存在しない元素の材質によるＸ線フィルタ１３と、ネオンガスまたはヘリウムガスを含む検出器ガスを有する比例計数管１８とを備え、試料Ｓに含まれる硫黄を分析する蛍光Ｘ線分析装置１。 （もっと読む）

【課題】各種材料、製品、部品よりなる被検体に、ＲｏＨＳ指令で規制対象となっている六価クロムが検出される可能性があるクロメート膜が存在する可能性の有無を、非破壊で迅速に検査・判定することが可能となる有害材料判定方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線で励起した特性Ｘ線を用いてクロムの有無を検査し、クロムを検出した場合に、クロムがある特性値以下であり、アルミニウムがある特性値以上、銅がある特性値以上、亜鉛がある特性値以上、およびニッケルがある特性値以上の少なくともいずれか一つの条件が充足された場合に、クロメート膜が存在する可能性があると判定する。 （もっと読む）

【課題】検出下限を改善し、重元素を主成分とする試料のみならず、軽元素を主成分とした試料に含有された微量な着目元素を定量することが可能である蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料Ｓを支持する試料台３と、所定の照射位置Ｐ１を中心として一次Ｘ線Ｐを照射するＸ線源４と、照射位置Ｐ１に向って配置され、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｑを検出する検出器５とを備えている。試料台３は、試料ＳをＸ線源４及び検出器５に近接させて固定する着脱自在の試料保持具１０を有し、被照射面Ｓ１を照射位置Ｐ１に一致させる第一の検査位置Ａ、または、試料Ｓを試料保持具１０に固定し、被照射面Ｓ２をＸ線源４に近接させるとともに、被検出面Ｓ３を検出器５に近接させる第二の検査位置Ｂのいずれか一方に、試料Ｓを選択的に配置して測定可能である。 （もっと読む）

【課題】 一般の電子顕微鏡像が試料の形状や材質を反映したものであるのに対して、ミラー電子から得られる画像はミラー電子が反射する等電位面の形状を反映したものとなり、像解釈が複雑になっていた。
【解決手段】 測定するパターンの構造あるいは興味ある欠陥の対象に応じて、以下のミラー電子の反射面を制御する手段を設ける。
1)電子源の種類、動作条件および測定する試料７上のパターンの種類に応じて、ミラー電子線の反射面の高さに相当する電子源１と試料７の間の電位差を制御する手段を設ける。
２）照射系にエネルギーフィルタ９を配置させて、照射電子線のエネルギー分布を制御する手段を設ける。
【効果】 パターンの大きさや電位を区別して検査することが可能となる。絶縁物試料を高分解能で観察することができる。 （もっと読む）

多色性エネルギー分布を持つ第一のＸ線ビームを用いて対象物の画像を検知するシステムと方法を開示する。一つの観点によれば、この方法は対象物の画像を検知する段階を含んでもよい。この方法は、多色性エネルギー分布を持つ第一のＸ線ビームを生成する段階を含んでもよい。更に、この方法は該第一のＸ線ビームを直接遮るように、モノクロメーター単結晶を、予め決めた位置に置き、予め決めたエネルギーレベルを持つ第二のＸ線ビームを生成する段階を含んでもよい。更に、この方法は、この対象物をこの第二のＸ線ビームが透過して、この対象物から透過したＸ線ビームが放射されるように、この第二のＸ線ビームの経路上に対象物を置くことができる。この透過したＸ線ビームを、アナライザー結晶上の入射角に向けることができる。更に、このアナライザー結晶から回折したビームにより、対象物の画像を検知することができる。
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【課題】 プラスチック中の微量カドミウムの量を正確に測定できるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 Ｒｈターゲットを有するＸ線管５と、プラスチック試料４間に、Ｘ線フィルタ６が配置されている。第１Ｘ線フィルタ６ａはジルコニウムからなり、第２Ｘ線フィルタ６ｂは銅からなり、第３Ｘ線フィルタ６ｃはモリブデンからなる。第１フィルタ６ａの厚さは１００μｍ程度、第２フィルタ６ｂの厚さは２００μｍ程度、第３フィルタ６ｃの厚さは４０μｍ程度である。 （もっと読む）

【課題】搬送状態にある被検体内部の異物を検出するのに好適な装置を提供する。
【解決手段】被検体１２を搬送するコンベア１１と、コンベア１１で搬送される被検体１２にＸ線を照射するＸ線源１と、Ｘ線源１から照射されたＸ線の被検体１２を透過する透過量を検出し、かつ互いに異なる検出感度を有する第１検出部及び第２検出部を備えるＸ線検出器４と、Ｘ線検出器４の第１検出部で検出されたＸ線の透過量に基づく第１画像、及びＸ線検出器４の第２検出部で検出されたＸ線の透過量に基づく第２画像を、同一の被検体１２について取得するＸ線画像取得制御装置３と、第１画像及び第２画像を記憶する第１、第２画像記憶装置６、７と、第１画像及び第２画像について減算処理を行う演算処理装置８と、を備える異物検出装置１００。 （もっと読む）

【課題】高速中性子及び連続エネルギー・スペクトルX線による材料識別の方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、（a）高速中性子源及び連続エネルギー・スペクトルX線源でそれぞれ産生された高速中性子ビーム及び連続エネルギー・スペクトルX線ビームを被検対象に照射する；（b）X線検出器アレー及び中性子検出器アレーにて、透過したX線ビーム及び高速中性子ビームの強度を直接計測する；（c）被検対象の異なる材料を透過した中性子ビームとX線ビームの減衰差によって形成された曲線により、被検対象の材料に対して材料識別を行う；ステップを含む。 高速中性子と連続エネルギー・スペクトルX線との透過減衰強度が異なるように構成され、被検対象の厚さと無関係に被検対象の等効原子番号Zとのみ関係するn-X曲線を利用して材料識別を行う。 （もっと読む）

【課題】生体環境下で電子顕微鏡により生体環境内の生体ユニットを観察可能である電子顕微鏡による生体ユニットの観察法を提供する。
【解決手段】ステップＡ）は、電子顕微鏡９０内の試料腔室９１において生体環境１１を提供し、生体環境１１内に生体ユニット１８と所定の環境条件を整え、環境条件を生体ユニットが基本的な生理機能を維持可能に設定し、生体環境１１の上下方に向かい合う観察窓１２を設け、生体ユニット１８を異なる臨界電荷密度に耐えられる二種以上の物件を有するように設定する。ステップＢ）は、所定区域において、所定の時間で観察窓１２から生体ユニット１８に対し所定の強度の粒子束を照射し、電子顕微鏡９０の結像装置に結像する。所定の電荷密度は粒子束の所定の強度と所定の時間との相乗であり、所定の電荷密度は生体ユニット１８の照射された区域中の観察対象物の臨界電荷密度より小さいか或いはそれに等しい。 （もっと読む）

対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための撮像方法は、エネルギービーム源（１０）によりエネルギー入力ビーム（３）を生成する工程と、エネルギー入力ビームの複数のエネルギー入力ビーム成分（４）を用いて複数の投射方向に沿って検査領域を照射する工程とを備え、複数のエネルギー入力ビーム成分はフレームマスク（４０）を用いて形成され、このフレームマスクは、エネルギー入力ビーム（１０）と対象物との間に配置され、複数のフレームマスク窓（４１）を有している。上記方法はさらに、フレームマスクの外側に配置された外部検出器デバイス（２１）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第１積分減衰値を測定する工程と、フレームマスクの内面に配置されたフレームマスク検出器デバイス（２４）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第２積分減衰値を測定する工程と、第１および第２積分減衰値に基づいて検査領域の画像を再構築する工程とを備えている。さらに、対象物の検査領域を撮像する撮像装置（１００）が開示される。
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【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側であって基底板３１の外周側面の周りに設けられた非晶質部材３０とを有するＸ線回折定量装置である。非晶質部材３０からは強いピーク波形を持った回折線が出ないので、基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の強度を低下させることなく試料の微小領域に集光させることができるようにする。
【解決手段】試料１を載置する試料台１３と、１次Ｘ線を試料１の表面に対し全反射を起こす入射角で入射させる１次Ｘ線照射部２と、試料１の表面に対向して配置され、試料１から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器１１とを備えている。１次Ｘ線照射部２は１次Ｘ線を発生するＸ線源３、及びその１次Ｘ線を集光して試料１に照射するポリキャピラリーＸ線レンズ５を備え、さらに好ましくはポリキャピラリーＸ線レンズ５から出射した１次Ｘ線のうち試料表面に対して全反射条件を満たさない入射角をもつ１次Ｘ線を遮蔽するスリット７を備えている。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ線分析を実施する装置に関する。
【解決手段】装置１は、Ｘ線管２と、被分析サンプルが設置された位置５のミクロ領域に、X線を焦点化する少なくとも１つのキャピラリレンズ４と、を有する。さらに装置１は、サンプルからの蛍光X線を検出する検出器6を有する。また装置１は、X線管２とキャピラリレンズ４との間の光路に設置された、少なくとも一つのエネルギー依存性フィルタ３を有する。このフィルタ３は、所定の閾値よりも小さなエネルギーを有するX線を実質的に遮蔽するように適合されている。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は物品のラベル付け、検出、および管理するための方法、およびその装置を提供する。本発明の方法は物品のラベルを定義する工程を含む。前記ラベルは、前記物品の少なくとも１つの固有の化学元素および／または付加的化学元素を有し、ラベル付けされたデータを含有するデータベースを提供する工程と、物品により送信される信号を検出して検出データを生成し、前記データを前記データベース内のデータと比較する工程と、前記比較テストにしたがって、検出される物品が前記ラベル付けされた物品であるか否かを決定する工程と、前記データベース内の前記物品の少なくとも１つのメッセージを読み込む工程とを有する。本発明の物品ラベル付けおよび検出ソリューションは、識別、物品ラベル付け、別の物品との交換の防止、ロジスティック管理、統計分析、資産の保護、および責任所在の追跡など様々な分野の社会経済的管理および経営管理に使用可能なものである。 （もっと読む）

【課題】２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を真空雰囲気内で行うことができるＸ線画像記録読取り装置を提供する。
【解決手段】２次元Ｘ線検出器１３ａの第１端辺２６ａが外周面に固定されるドラム２１ａと、ドラム２１ａを回転させるモータ２２ａとを有するＸ線画像記録読取り装置である。モータ２２ａは、検出器１３ａの全面がドラム２１ａに巻き付く第１角度位置と、検出器１３ａの第２端辺２６ｂ側の所定領域をＸ線露光位置Ｅに配置させる第２角度位置との間で、ドラム２１ａを回転させる。ドラム２１ａに巻き付いた検出器１３ａの第２端辺２６ｂは爪２８によって固定される。検出器１３ａ、ドラム２１ａ及び爪２８は気密チャンバ３４によって気密に包囲される。気密チャンバ３４に設けられた石英ガラス窓３７ａに対向して読取り装置４１ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 Ｐｂ、Ｈｇ、Ｂｒ等の有害元素の検出下限を下げて分析感度を向上させる。
【解決手段】 Ｘ線源１と試料３との間の励起Ｘ線の光路上に挿入する一次Ｘ線フィルタ２としてＡｇ箔又はＰｄ箔を用いる。これらの箔は５〜１３ｋｅＶ付近と２５ｋｅＶ付近以上のＸ線を同時に吸収するから、これらの範囲のＸ線強度が減衰した励起Ｘ線が試料３に照射される。そのため、Ｐｂ、Ｈｇ、Ｂｒ等の元素の蛍光Ｘ線が現れる９〜１３ｋｅＶの範囲では散乱Ｘ線によるバックグラウンドが低減され、また、２５ｋｅＶ以上の高エネルギー範囲の散乱Ｘ線も減ってＸ線検出器４において９〜１３ｋｅＶの範囲のＸ線の検出効率が相対的に向上する。これにより、９〜１３ｋｅＶに蛍光Ｘ線を持つＰｂ、Ｈｇ、Ｂｒ等の元素の検出下限が下がる。 （もっと読む）

【課題】 分析時間が短い蛍光Ｘ線分析方法および装置を提供する。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析方法は、試料にＸ線を照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を検出することで複数の元素の含有量を測定する蛍光Ｘ線分析方法であって、以下のステップを備えたことを特徴とする。
◎特定の元素を測定するためのＸ線照射ステップ（Ｓ６）
◎Ｘ線照射ステップ同士の間に、検出器に蛍光Ｘ線が検出されていない状態にして複数のＸ線照射条件を変更するステップ（Ｓ３，Ｓ４） （もっと読む）

【課題】
Ｘ線検出で所望の測定感度を維持しつつ、Ｘ線ＣＴ装置による撮影画像の品質向上を可能とする。
【解決手段】
本発明のＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線を被試験体に出射するＸ線発生手段と、被試験体を透過したＸ線を検出する複数のＸ線センサと、複数のＸ線センサの出力信号を処理するＸ線センサ信号処理回路とを備え、Ｘ線センサを分極効果を有する半導体センサとし、エネルギー分布が硬質化されたＸ線が半導体センサに入射するよう構成する。或いは、Ｘ線を被試験体に出射し、被試験体を透過したＸ線を分極効果を有する半導体センサで検出する方法で、エネルギー分布が硬質化されたＸ線を用い、Ｘ線を半導体センサで検出する。 （もっと読む）