Ｘ線画像記録読取り装置及びＸ線分析装置
【課題】２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を真空雰囲気内で行うことができるＸ線画像記録読取り装置を提供する。
【解決手段】２次元Ｘ線検出器１３ａの第１端辺２６ａが外周面に固定されるドラム２１ａと、ドラム２１ａを回転させるモータ２２ａとを有するＸ線画像記録読取り装置である。モータ２２ａは、検出器１３ａの全面がドラム２１ａに巻き付く第１角度位置と、検出器１３ａの第２端辺２６ｂ側の所定領域をＸ線露光位置Ｅに配置させる第２角度位置との間で、ドラム２１ａを回転させる。ドラム２１ａに巻き付いた検出器１３ａの第２端辺２６ｂは爪２８によって固定される。検出器１３ａ、ドラム２１ａ及び爪２８は気密チャンバ３４によって気密に包囲される。気密チャンバ３４に設けられた石英ガラス窓３７ａに対向して読取り装置４１ａが設けられる。
【解決手段】２次元Ｘ線検出器１３ａの第１端辺２６ａが外周面に固定されるドラム２１ａと、ドラム２１ａを回転させるモータ２２ａとを有するＸ線画像記録読取り装置である。モータ２２ａは、検出器１３ａの全面がドラム２１ａに巻き付く第１角度位置と、検出器１３ａの第２端辺２６ｂ側の所定領域をＸ線露光位置Ｅに配置させる第２角度位置との間で、ドラム２１ａを回転させる。ドラム２１ａに巻き付いた検出器１３ａの第２端辺２６ｂは爪２８によって固定される。検出器１３ａ、ドラム２１ａ及び爪２８は気密チャンバ３４によって気密に包囲される。気密チャンバ３４に設けられた石英ガラス窓３７ａに対向して読取り装置４１ａが設けられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線によって画像を記録すると共にその記録した画像を光によって読取るようにしたＸ線画像記録読取り装置に関する。また、本発明は、そのＸ線画像記録読取り装置を用いて構成されるＸ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回折、反射、散乱等によって試料から出るＸ線を蓄積性蛍光体を用いた２次元Ｘ線検出器によって検出するようにしたＸ線分析装置が知られている。ここで、２次元Ｘ線検出器とは、Ｘ線を平面内で受け取ることができるＸ線検出器である。また、蓄積性蛍光体とは、Ｘ線が当たった部分にエネルギ潜像を蓄積でき、潜像が蓄積されたその部分に光（例えば、レーザ光）を照射するとエネルギ潜像が光となって外部へ放出される、という特性を持った物質である。
【０００３】
蓄積性蛍光体をＸ線受光面とする２次元Ｘ線検出器のそのＸ線受光面をＸ線で露光してそのＸ線受光面内に像を記録し、さらに記録したその像を光を用いて読取る装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この装置では、２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至るまでの一連の処理を、平板状の支持部材と円筒形状の回転ドラムとを用いて自動的に行うようになっている。
【０００４】
また、従来、試料を真空雰囲気内に置き、その試料から出た回折線等を真空雰囲気内で２次元Ｘ線検出器のＸ線受光面に照射して像を記録するという構成のＸ線分析装置が知られている。真空雰囲気内でＸ線受光面をＸ線で露光するようにすれば、Ｘ線が空気散乱によって減衰することを抑制できるので、試料から出るＸ線が弱い場合であっても、その弱いＸ線を２次元Ｘ線検出器によって捕らえることができる。このＸ線分析装置において、２次元Ｘ線検出器に蓄積されたエネルギ潜像を読取る際には、２次元Ｘ線検出器を真空雰囲気から取り出し、その２次元Ｘ線検出器を読取り装置内の所定の読取り位置に装着し、その装着状態で読取り処理を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−３１３２６５号公報（第２〜３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来のＸ線分析装置、Ｘ線記録装置、又はＸ線読取り装置において、２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光する処理を真空雰囲気内で行うことは既に行われていた。しかし、２次元Ｘ線検出手段に対する像読取り処理を真空雰囲気内で行うことは、未だに行われていない。これは、特許文献１に開示された従来の装置では２次元Ｘ線検出器を平板状の支持部材や円筒形状の回転ドラムによって支持する際に真空吸着手法を用いているため、それらの支持部材や回転ドラムを真空雰囲気内に配置することができないからである。
【０００７】
しかしながら、２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光処理を真空雰囲気内で行い、処理後の２次元Ｘ線検出器を真空雰囲気の外部へ取り出して読取り処理を行うという従来の処理方法の場合には、２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至る処理を自動的に連続して行うことが非常に困難であった。
【０００８】
本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を、外部とは異なった特殊雰囲気、例えば真空雰囲気内で行うことのできるＸ線画像記録読取り装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るＸ線画像記録読取り装置は、Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置であって、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、（ａ）前記検出手段処理手段は、（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲することを特徴とする。
【００１０】
本明細書において、「２次元Ｘ線検出手段」は、例えば、蓄積性蛍光体によってＸ線受光面が平面的に形成されたシート状のＸ線検出部材によって形成できる。蓄積性蛍光体はイメージングプレート（登録商標）等と呼ばれる感光性部材によって形成できる。「検出手段支持手段」は、例えば、円筒形状、すなわちドラム形状の部材によって形成できる。「支持手段回転手段」は、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等といった回転数を制御できる回転機を動力源として、その動力を適宜の動力伝達手段を介して検出手段支持手段へ伝達する機構によって形成できる。
【００１１】
また、「端辺固定手段」は、例えば、回転ドラム等といった検出手段支持手段と一体になって回転できる１つ又は複数の開閉可能な爪部材によって構成できる。爪部材を複数用いる場合には、それらの爪部材は回転ドラム等の回転軸線と平行に並べて配置されることが望ましい。開状態にある爪部材と回転ドラム等の表面との間に２次元Ｘ線検出器の端辺を挿入した後、それらの爪部材を閉状態にすれば、２次元Ｘ線検出手器を回転ドラム等の表面に押し付けることができる。
【００１２】
「気密チャンバ」は、例えば、ステンレス等といった構造用鋼や、硬質のプラスチック等によって形成できる。気密チャンバの形状は、その中に収容される機械的構成要素及び電気的構成要素の形状に応じて自由に設定できる。「第１光透過部」は、例えば、気密チャンバの一部にはめ込まれた石英ガラスによって形成できる。
【００１３】
また、「読取り手段」は、例えば、２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面に励起用の光（すなわち、１次光）を照射する手段と、その１次光を受けることによってＸ線受光面から発生した光（すなわち、２次光）を受光して電気信号に変換する光電変換手段（例えば、フォトマルチプライヤ）とを有する電気光学装置によって構成できる。「消去用光照射手段」は、例えば、白色光を放射する蛍光灯によって形成できる。
【００１４】
本発明に係る上記構成のＸ線画像記録読取り装置によれば、２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバの中に収納した状態のままで、その２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらに２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバから取出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置によれば、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ内の雰囲気状態、例えば真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取りに至る処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【００１５】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は、前記検出手段支持手段に対向する位置であって前記第１光透過部と異なる位置の前記気密チャンバに設けられた第２光透過部と、前記気密チャンバの外側であって前記第２光透過部に対向して設けられた消去用光照射手段とを有することが望ましい。消去用光照射手段によって２次元Ｘ線検出手段に光を照射すれば、２次元Ｘ線検出手段に残存するエネルギ潜像を消去して２次元Ｘ線検出手段を再使用可能な初期状態に設定できる。
【００１６】
消去用光照射手段は気密チャンバの外側ではなくて、気密チャンバの内側に設けることもできる。しかしながら、消去用光照射手段を交換する場合を考慮するならば、その消去用光照射手段は気密チャンバの外側にあることが便利である。
【００１７】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は、前記Ｘ線露光位置の片側に１組だけ設けても良いし、あるいは、前記Ｘ線露光位置の両側にそれぞれ１組ずつ、合計で２組設けても良い。そして、検出器処理手段等をＸ線露光位置の両側に設ける場合には、前記支持手段回転手段は、前記Ｘ線露光位置の両側に設けられた前記検出手段支持手段を個別に回転させることが望ましい。
【００１８】
検出手段支持手段と支持手段回転手段との組み合わせは、２次元Ｘ線検出手段をＸ線露光位置へ向けて出したり、引き込めたりするためのものであるが、支持手段回転手段が検出手段支持手段を個別に回転させるということは、一対の検出手段支持手段から独自のタイミングで２次元Ｘ線検出手段を出したり、引き込めたりできるということである。この構成によれば、一対の２次元Ｘ線検出手段を有効に使って、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線の露光処理から像の読取り処理に至る一連の処理を非常に効率的に行うことができる。
【００１９】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置は、前記検出手段支持手段から張り出した前記２次元Ｘ線検出手段をＸ線露光位置に固定配置させる検出手段固定配置手段をさらに有することが望ましい。そしてその場合には、前記気密チャンバは前記検出手段固定配置手段を包囲することが望ましい。この場合、その検出手段固定配置手段は、例えば、前記Ｘ線露光位置に配置された面板と、Ｘ線進行方向に関して前記面板よりも上流側に配置されていてＸ線を通過させるための開口を備えたクランプ板と、該クランプ板を前記面板へ向けて平行移動させるクランプ移動手段とを有することが望ましい。
【００２０】
ここに挙げた発明の態様のように、検出手段固定配置手段を設ければ、検出手段支持手段から張り出した２次元Ｘ線検出手段にＸ線を露光する際にその２次元Ｘ線検出手段をＸ線露光位置に振動や位置ずれしないようにしっかりと固定できるので、２次元Ｘ線検出手段の中に信頼性の高いＸ線画像データを得ることができる。
【００２１】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置は、前記検出手段支持手段に巻き付く前記２次元Ｘ線検出手段を前記検出手段支持手段へ押し付ける検出手段押付け手段を有することが望ましい。この検出手段押付け手段は、例えば、検出手段支持手段の表面に適宜の圧力状態で当接する回転ローラによって構成できる。
【００２２】
本発明では、２次元Ｘ線検出手段に対して像読取り処理を行う際には、その２次元Ｘ線検出手段の全体を検出手段支持手段に巻き付けた後に、その読取り処理を実行する。この際、２次元Ｘ線検出手段が検出手段支持手段に単に巻き付けるだけでは、読取り処理の最中に２次元Ｘ線検出手段が検出手段支持手段から剥がれたり、位置ずれしたりするおそれがある。こうなると、２次元Ｘ線検出手段の中に信頼性の高いＸ線画像データを得ることができなくなる。これに対し、ここに挙げた発明の態様のように、検出手段押付け手段を検出手段支持手段に装備すれば、読取り処理の最中に２次元Ｘ線検出手段が検出手段支持手段から剥がれたり、位置ずれしたりすることを防止でき、それ故、信頼性の高いＸ線画像データを確実に得ることができる。
【００２３】
次に、本発明に係るＸ線分析装置は、試料にＸ線を照射して該試料から２次Ｘ線を発生させるＸ線光学系と、該Ｘ線光学系を気密に包囲する光学系用気密チャンバと、該光学系用気密チャンバの内部の空気を吸引して該内部を減圧する減圧手段と、Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面を前記Ｘ線光学系からの前記２次Ｘ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置と、を有するＸ線分析装置であって、（Ａ）前記Ｘ線画像記録読取り装置は、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、（ａ）前記検出手段処理手段は、（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲し、（ｃ）前記気密チャンバは前記光学系用気密チャンバと気密に連結されることを特徴とする。
【００２４】
本発明に係る上記構成のＸ線分析装置によれば、２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバの中に収納した状態のままで、その２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらに２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバから取り出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本発明に係るＸ線分析装置によれば、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ内の雰囲気状態、例えば真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取り処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（第１実施形態）
以下、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置及びＸ線分析装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。
【００２６】
図１は本発明に係るＸ線分析装置及びＸ線画像記録読取り装置の一実施形態を示している。図２は図１の要部であるＸ線画像記録読取り装置の内部構造を示している。また、図３は図２のＡ−Ａ線に従ってＸ線露光位置の断面構造を示している。
【００２７】
図１において、本実施形態に係るＸ線分析装置１は、Ｘ線測定装置２と、Ｘ線画像記録読取り装置３とを有する。Ｘ線測定装置２は、Ｘ線光学系４と、そのＸ線光学系４を包囲する光学系用気密チャンバ６と、光学系用気密チャンバ６の内部を減圧状態、例えば真空状態に減圧する減圧手段としての減圧ポンプ８とを有する。図１では光学系用気密チャンバ６の一部分だけが図示されているが、光学系用気密チャンバ６はＸ線光学系４の全体を気密に包囲する。光学系用気密チャンバ６は、例えば、ステンレス等といった構造用鋼や、硬質のプラスチック等によって形成できる。
【００２８】
Ｘ線光学系４はＸ線を発生するＸ線源Ｆと、試料Ｓを支持する試料ホルダ７とを有する。Ｘ線源Ｆは、例えば、通電によって発熱して熱電子を放出するフィラメントと、そのフィラメントに対向して配置されるターゲットとによって構成できる。ターゲットは、要望に応じた金属、例えばＣｕ（銅）によって形成される。ターゲットをＣｕによって形成すれば、ＣｕＫα線を含むＸ線を発生することができる。試料ホルダ７は試料Ｓを固定状態で支持するものであっても良いし、試料Ｓに所定の動きを与えるものであっても良い。
【００２９】
このような所定の動きとしては、例えば、試料Ｓへ入射するＸ線の入射角度を変化させるためのω回転移動や、試料Ｓを平面内で回転させる面内回転移動や、試料Ｓを円弧状に揺動させるあおり移動や、その他の種々の動きが考えられる。なお、Ｘ線光学系４は、放射光を線源とする光学系とすることもできる。
【００３０】
Ｘ線光学系４は、試料Ｓに１次Ｘ線Ｒ１を照射してその試料Ｓから２次Ｘ線Ｒ２、例えば回折線、反射線、散乱線等を発生させるものである。また、光学系用気密チャンバ６は、Ｘ線光学系４の全体を真空状態等といった減圧状態に保持する。このようにＸ線光学系４を減圧状態に保持するのは、Ｘ線源Ｆから出て試料Ｓへ入射するＸ線や、試料Ｓから出た２次Ｘ線等が空気によって減衰することを防止するためである。
【００３１】
Ｘ線画像記録読取り装置３は、筐体ケース１１を有し、その筐体ケース１１の中に図２に示す構造が収容されている。図２において、２次Ｘ線Ｒ２によって露光が行われる位置Ｅ（すなわち、Ｘ線露光位置）に検出器固定配置装置１２が設けられている。この検出器固定配置装置１２は、図３に示すように、２次Ｘ線Ｒ２によって露光される２次元Ｘ線検出手段としての板状検出器１３ａ，１３ｂをその背面から支持する面板１４と、Ｘ線Ｒ２の進行方向に関して面板１４の上流位置に配置されたクランプ板１６と、スペース部材１７を介してクランプ板１６に結合された可動板１８と、可動板１８の背面に接続されたロータリーソレノイド１９とを有する。スペース部材１７、可動板１８、及びロータリーソレノイド１９の組合せは、クランプ板１６を面板１４に対して平行移動させるクランプ移動手段として機能する。
【００３２】
面板１４は、板状検出器１３ａ，１３ｂの幅Ｗ０よりも大きい高さを有する長方形状又は正方形状で金属製又はプラスチック製の１枚の板である。この面板１４は位置が動かないように固定されている。クランプ板１６は図２に示すように、板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面をＸ線で露光させるための開口Ｑを有する金属製又はプラスチック製の枠状の部材である。
【００３３】
ロータリーソレノイド１９は本実施形態では、可動板１８の対角線に対応して２個、設けられている。図３において、これらのロータリーソレノイド１９の出力軸１９ａが可動板１８の背面に固定されている。ロータリーソレノイド１９は周知の通り、その内部に回転子を有し、その回転子の正反時計方向の往復回転をネジ嵌合によって出力軸１９ａの往復直進移動に変換する機器である。
【００３４】
出力軸１９ａが往復直進移動すると、可動板１８が平行移動し、それに応じてクランプ板１６が平行移動する。出力軸１９ａが伸張位置まで伸びたときクランプ板１６と面板１４との間に大きな間隔が形成され、その大きな間隔の中に板状検出器１３ａ，１３ｂが入り込むことができる。また、クランプ板１６と面板１８との間に板状検出器１３ａ，１３ｂがあるときに出力軸１９ａが収縮位置まで引き込むと、クランプ板１６は板状検出器１３ａ，１３ｂを面板１８へ押し付け、これにより、板状検出器１３ａ，１３ｂはＸ線露光位置Ｅに固定状態で配置される。
【００３５】
図２において、Ｘ線露光位置Ｅの左右の両側にそれぞれ１組ずつ、検出手段処理手段としての検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂが設けられている。個々の検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂは、板状検出器１３ａ，１３ｂと、それらを支持する検出手段支持手段としてのドラム２１ａ，２１ｂと、支持手段回転手段としてのモータ２２ａ，２２ｂと、端辺固定手段としての複数の爪部材２８と、第１光透過部としての石英ガラス窓３７ａ，３７ｂと、その石英ガラス窓３７ａ，３７ｂに対向して設けられた読取り装置４１ａ，４１ｂとを有する。
【００３６】
ドラム２１ａ，２１ｂと、モータ２２ａ，２２ｂと、複数の爪部材２８とを有する装置は、板状検出器１３ａ，１３ｂをＸ線露光位置Ｅへ繰り出したり、Ｘ線露光位置Ｅから巻き取ったりするための装置である。図２では、右側の検出器処理ユニット２０ａが板状検出器１３ａをＸ線露光位置Ｅへ繰り出しており、左側の検出器処理ユニット２０ｂが板状検出器１３ｂを巻き取っている状態を示している。
【００３７】
ドラム２１ａ及び２１ｂはＸ線露光位置Ｅに関して互いに対称の位置に設けられている。これらのドラム２１ａ，２１ｂは、例えば金属又はプラスチックによって円筒形状に形成されている。これらのドラム２１ａ，２１ｂから延びる軸２４ａ，２４ｂは、それぞれ、モータ２２ａ，２２ｂの出力軸に連結されている。これらのモータ２２ａ，２２ｂは回転制御装置２３からの指令に従って制御された回転数及び回転角度で、それぞれ、出力軸２４ａ，２４ｂを回転させる。回転制御装置２３は、モータ２２ａ及びモータ２２ｂの動作を個別に制御する。
【００３８】
板状検出器１３ａ，１３ｂのそれぞれの第１端辺２６ａは、ネジその他の締結要素によって、それぞれ、ドラム２１ａ及びドラム２１ｂに固定されている。第１端辺２６ａに対向する板状検出器１３ａ，１３ｂの第２端辺２６ｂはドラム２１ａ，２１ｂに固定されない辺、すなわち自由辺となっている。ドラム２１ａ，２１ｂの外周面のうち板状検出器１３ａ，１３ｂが固定された部分の近傍の外周面上に、ドラム２１ａ，２１ｂの中心軸線Ｘ０に対して平行に延びる軸部材２７が設けられている。これらの軸部材２７はそれぞれが独自に自らの軸線を中心として回転できるようにドラム２１ａ，２１ｂに取り付けられている。
【００３９】
各軸部材２７には、端辺固定手段としての複数の爪部材２８が固定されている。これらの爪部材２８は軸部材２７と一体になって回転する。軸部材２７はバネ等といった弾性付勢部材によって付勢されて板状検出器１３ａ，１３ｂの第１端辺２６ａと反対方向へ回転するような回転習性を与えられている。それ故、軸部材２７と一体に回転する爪部材２８は、通常、ドラム２１ａ，２１ｂの外周面を弾性力によって押し付けている。
【００４０】
軸部材２７の上部には爪側係合片２９が固定されている。一方、ドラム２１ａ，２１ｂの上端の近傍にある機枠には固定係合片３１が設けられている。爪側係合片２９はドラム２１ａ，２１ｂの回転に従って移動する。これに対し、固定係合片３１はドラム２１ａ，２１ｂから独立して常に一定の位置にある。ドラム２１ａ，２１ｂのそれぞれの近傍であってＸ線露光位置Ｅから所定距離離れた位置に検出手段押付け手段としての複数、本実施形態では４個の押えローラ３２が設けられている。
【００４１】
これらの押えローラ３２はローラ軸３３上にそれぞれ回転自在に設けられている。これらの押えローラ３２は、ドラム２１ａ．２１ｂの外周面に適宜の圧力で接触している。ドラム２１ａ，２１ｂが回転すると爪部材２８も一体になって回転する。回転移動するこれらの爪部材２８はドラム２１ａ，２１ｂの回転に従って押えローラ３２が設けられている所を通過する。回転移動する爪部材２８が押えローラ３２にぶつかることを回避するため、複数の爪部材２８と複数の押えローラ３２は軸線Ｘ０に沿って互いに交互の位置に配置される。
【００４２】
図２においてＸ線露光位置Ｅの右側に示されている板状検出器１３ａはその第２端辺２６ｂがドラム２１ａから離れて外方へ張り出している。そして、その張り出した部分のうちの所定領域が検出器固定配置装置１２によってＸ線露光位置Ｅに固定されている。一方、左側の板状検出器１３ｂはその全体がドラム２１ｂの外周面に巻き付いている。そして、板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂは爪部材２８によってドラム２１ｂの外周面に押し付けられている。
【００４３】
検出器固定配置装置１２による板状検出器１３ａのクランプを解除した状態で、右側のドラム２１ａを図示の状態から矢印Ａで示す方向、すなわち板状検出器１３ａを巻き取る方向へ回転すると、板状検出器１３ａは次第にドラム２１ａに巻き取られて行く。この巻き取り動作の際、押えローラ３２は板状検出器１３ａをドラム２１ａの外周表面へ押し付ける。これにより、板状検出器１３ａはドラム２１ａの外周面にきれいに面接触する状態で巻き取られて行く。
【００４４】
こうして巻き取られる板状検出器１３ａの第２端辺２６ｂがドラム２１ａの近傍に到来すると、爪部材２８を支持する軸部材２７の上端に固定した爪側係合片２９が固定係合片３１に当たる。すると、爪側係合片２９が軸部材２７を伴って回転して、それまで閉じていた軸部材２７上の爪部材２８が開き回転する。ドラム２１ａに到来した板状検出器１３ａの第２端辺２６ａは、上記のように開いた爪部材２８とドラム２１ａの外周面との間に入り込む。
【００４５】
ドラム２１ａが巻き取りのための所定の最終角度位置まで回転すると、爪側係合片２９と固定係合片３１との係合が外れ、爪部材２８はバネ力によって瞬時に閉じ回転する。こうして閉じる爪部材２８により、板状検出器１３ａの第２端辺２６ｂがドラム２１ａの外周面に押し付けられて固定される。これにより、板状検出器１３ａはドラム１ａの外周面から容易には剥がれない状態に支持される。以上のように、本実施形態では、爪部材２８と押えローラ３２との協働により、板状検出器１３ａをドラム２１ａへ密着状態で巻きつけることができる。
【００４６】
図２のＸ線露光位置Ｅの左側に位置する板状検出器１３ｂは、その全面が上記のようにしてドラム２１ｂの外周面に巻き付いた状態を示している。ドラム２１ｂがこの状態から矢印Ｂ方向へ回転すると、直ぐに爪側係合片２９が固定係合片３１に当たって開き回転し、これにより爪部材２８が開き回転移動して、板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂを開放する。開放された第２端辺２６ｂはドラム２１ｂから離れ、さらに、ドラム２１ｂの矢印Ｂ方向への回転に従って、そのドラム２１ｂの外周面の接線方向へ張り出して行く。
【００４７】
張り出し移動する板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂは、クランプ板１６と面板１４との間の隙間に入り込む。その後、ドラム２１ｂが巻き出しのための所定の最終角度位置まで回転すると、板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂ側の所定領域がクランプ板１６の開口Ｑから外部へ露出する状態となる。この状態で図３においてクランプ板１６がソレノイド１９によって引かれれば、板状検出器１３ｂがクランプ板１６によって面板１４へ押し付けられて固定される。
【００４８】
板状検出器１３ａ，１３ｂは長方形状で板状の要素であり、長方形状の基材の表面の全域に一様な厚さの蓄積性蛍光体を積層することによって形成されている。そしてこの蓄積性蛍光体の層がＸ線受光面を構成する。図３において、Ｘ線Ｒ２が照射される面が蓄積性蛍光体の層の面、すなわちＸ線受光面である。蓄積性蛍光体は周知の光学的物質であり、例えば、次のような特性を有する要素である。
【００４９】
すなわち、その蓄積性蛍光体に放射光やＸ線が当たると、その当たった部分にエネルギ潜像が蓄積される。そして、そのようにして潜像が蓄積された部分に１次光（例えば、レーザ光）が照射されると、その潜像が光に変換されて２次光として外部へ放出される。このような蓄積性蛍光体をＸ線受光面とする板状検出器は、例えば、イメージングプレート（登録商標）等として知られている。
【００５０】
図２において、板状検出器１３ａ，１３ｂを巻き出したり、巻き取ったりするための構成、すなわちドラム２１ａ，２１ｂ、押えローラ３２、爪部材２８等から成る構成と、検出器固定配置装置１２とは、気密チャンバ３４によって覆われている。気密チャンバ３４を形成する複数の面のうちの１つにはＸ線を取り込むための開口３６が形成されている。気密チャンバ３４はその開口３６以外の部分で内部を気密に覆っている。気密チャンバ３４は、例えば、ステンレス等といった構造用鋼や、プラスチック等によって形成される。ドラム２１ａ，２１ｂを回転駆動するための既述のモータ２２ａ，２２ｂは、気密チャンバ３４の外部に設けられている。
【００５１】
気密チャンバ３４を形成する背面側の隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの右側に配置されたドラム２１ａに対向する部分に、第１光透過部としての石英ガラス窓３７ａが設けられている。また、背面側隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの左側に配置されたドラム２１ｂに対向する部分に他の第１光透過部としての石英ガラス窓３７ｂが設けられている。さらに、気密チャンバ３４を形成する右側の隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの右側に配置されたドラム２１ａに対向する部分に、第２光透過部としての石英ガラス窓３８ａが設けられている。また、気密チャンバ３４を形成する左側の隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの左側に配置されたドラム２１ｂに対向する部分に他の第２光透過部としての石英ガラス窓３８ｂが設けられている。
【００５２】
そして、第１光透過部としての石英ガラス窓３７ａの外部位置に読取り装置４１ａが設けられ、他の第１光透過部としての石英ガラス窓３７ｂの外部位置に他の読取り装置４１ｂが設けられている。また、第２光透過部としての石英ガラス窓３８ａの外部位置に消去用光照射手段としての蛍光灯４２ａが設けられ、他の第２光透過部としての石英ガラス窓３８ｂの外部位置に消去用光照射手段としての蛍光灯４２ｂが設けられている。蛍光灯４２ａ，４２ｂは、板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面に蓄積されたエネルギ潜像を消去できる波長の光を放出する。
【００５３】
石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂを形成する石英ガラスには、光の反射を抑制するための処理、例えばコーティング処理が施されている。このコーティング処理は石英ガラス等の表裏片面又は表裏両面に材料層を積層する処理であるが、反射を抑制する機能は、材料層を構成する材料自体の特性によって実現しても良いし、コーティングの仕方によってその機能を実現しても良い。また、コーティング処理に限らず、石英ガラスあるいはその他の窓形成材料の表面に加工を加えることによって反射抑制機能を実現できるのであれば、そのような加工を石英ガラス等に加えることでも良い。本実施形態では、反射を抑制できる材料の単層を６５０ｎｍの厚さで石英ガラスの表裏両面にコーティングすることにより、石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂの反射率を２．２％に設定した。
【００５４】
図４は、図２の矢印Ｃ方向から読取り装置４１ａ，４１ｂを見た場合のそれらの読取り装置４１ａ，４１ｂの構造を示している。図４において、読取り装置４１ａ，４１ｂは、ドラム２１ａ，２１ｂの中心軸線Ｘ０と平行に延びる送りネジ軸４３と、その送りネジ軸４３にネジ嵌合する走査移動体４４とを有する。走査移動体４４の中には、１次光としてのレーザ光Ｌ１を発生する１次光発生手段としてのレーザ光発生装置４６と、レーザ光を反射するプリズム４７と、光を屈折するレンズ４８と、レーザ光Ｌ１の通過を抑制するブルーフィルタ４９と、板状検出器１３ａ，１３ｂで発生してレンズ４８で集光された２次光Ｌ２を受光する光電変換手段としてのフォトマルチプライヤ（すなわち、光電子増倍管）５１とが設けられている。フォトマルチプライヤ５１の出力端子にはＸ線強度演算回路５８が電気的に接続されている。レンズ４８の表面には、石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂと同様に光の反射を抑制するためのコーティング処理が施されている。
【００５５】
ブルーフィルタ４９は、レーザ光Ｌ１の通過を抑制すると共に板状検出器１３ａ，１３ｂで発生する２次光Ｌ２の通過は許容する性質を有する。また、ブルーフィルタ４９のうちレンズ４８を通過したレーザ光Ｌ１が通過する部分には、図５（ａ）に示すように、レーザ光Ｌ１を通過させるための領域５３が設けられている。このレーザ光通過領域５３は、例えば、ブルーフィルタ４９に貫通穴を開けることによって形成できる。また、ブルーフィルタ４９を透明なベース材の上にブルーフィルタ材料をコーティングして形成する場合には、レーザ光通過領域５３は、当該部分にはブルーフィルタ材料をコーティングしないことによって形成できる。なお、ブルーフィルタ４９の表裏両面には石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂに施したものと同様の光反射抑制用のコーティング処理が施されている。
【００５６】
レーザ光通過領域５３は矢印Ｄ方向から見て円形状に形成されている。この円形の径はレーザ光Ｌ１を通過させることができる範囲内でできるだけ小さいことが望ましい。本実施形態では、レーザ光通過領域５３の径を直径で２ｍｍとした。レーザ光通過領域５３の前位置には開口部材５４が設けられている。この開口部材５４は金属製又はプラスチック製の矢印Ｄ方向から見て円板又は四角板の中央に円形状の貫通穴を設けることによって形成されている。この貫通穴は、例えば、直径０．８ｍｍの大きさに形成されている。また、レーザ発生装置４６のレーザ光出射口の前位置にも開口部材５６が設けられている。この開口部材５６は、例えば、金属製又はプラスチック製の円板又は四角板の中央に円形状の貫通穴を設けることによって形成されている。この貫通穴は、例えば、直径１．５ｍｍの大きさに形成されている。
【００５７】
図４において、ドラム２１ａ，２１ｂはモータ２ａ，２２ｂに駆動されて自身の中心軸線Ｘ０を中心として回転する。このとき、ドラム２１ａ，２１ｂの外周面上に巻かれた板状検出器１３ａ，１３ｂも一体になって回転する。このとき、走査移動体４４から板状検出器１３ａ，１３ｂへレーザ光Ｌ１が照射されれば、そのレーザ光Ｌ１は板状検出器１３ａ，１３ｂを横方向（すなわち、図４の紙面垂直方向）に走査する。このようなレーザ光Ｌ１の板状検出器１３ａ，１３ｂに対する横方向の走査が主走査である。
【００５８】
次に、送りネジ軸４３は、回転数を制御可能なモータ５２（例えば、パルスモータ、サーボモータ等）の出力軸に連結されている。モータ５２が例えば出力軸を正時計方向へ回転させれば送りネジ軸４３が同じ方向へ自身の軸線を中心として回転し、それにネジ嵌合している走査移動体４４が矢印Ｚ方向へ平行移動する。一方、モータ５２が自身の出力軸を反時計方向へ回転させれば、走査移動体４４は反対方向であるＺ'方向へ平行移動する。
【００５９】
走査移動体４４がＺ方向へ移動するとき、その走査移動体４４から出射するレーザ光Ｌ１は板状検出器１３ａ，１３ｂを縦方向（すなわち、図４の上下方向）に走査する。このようなレーザ光Ｌ１の板状検出器１３ａ，１３ｂに対する縦方向の走査が副走査である。走査移動体４４のＺ'方向への移動はホーム位置へ戻るための移動である。以上のように、レーザ光Ｌ１が板状検出器１３ａ，１３ｂを主走査及び副走査することにより、その板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面の全面をレーザ光Ｌ１によって走査できる。
【００６０】
図５（ａ）において、レーザ光発生装置４６から出射したレーザ光Ｌ１は開口部材５６の開口を通ってプリズム４７で反射してレンズ４８へ入射する。レーザ光Ｌ１のレンズ４８への入射点Ａは、図５（ｂ）に示すように、レンズ４８の中心軸、すなわちレンズ４８の光軸Ｘ１からずれている。具体的には、レーザ光Ｌ１の板状検出器１３ａ，１３ｂに対する主走査方向及び副走査方向の両方に関してずれている。より具体的には、入射点Ａは、レンズ光軸Ｘ１に対して主走査方向の前方側（すなわち、下流側）にずれると共に副走査方向の前方側（すなわち、下流側）にずれている。さらに具体的には、入射点Ａは、主走査方向に対して角度θ０＝４５°且つ副走査方向に対して角度θ１＝４５°の位置に設定されている。
【００６１】
以下、上記構成より成るＸ線分析装置に関してその動作を説明する。
図１において、Ｘ線測定装置２を構成する光学系用気密チャンバ６の先端と、Ｘ線画像記録読取り装置３内の気密チャンバ３４に設けられた開口３６（図２参照）とを、カップリング装置５７によって気密に連結する。これにより、Ｘ線測定装置２とＸ線画像記録読取り装置３との全体が外部から完全に気密に遮蔽される。なお、筐体ケース１１は気密チャンバ３４を気密に覆う必要はない。
【００６２】
次に、Ｘ線測定装置２に付設した減圧ポンプ８を作動させてＸ線測定装置２の光学系用気密チャンバ６内を真空又はそれに近い減圧状態（以下、これらの状態を単に真空状態と言う）に減圧する。このとき、Ｘ線画像記録読取り装置３内の気密チャンバ３４の内部も開口３６を通して排気されて真空又はそれに近い減圧状態に設定される。
【００６３】
次に、Ｘ線画像記録読取り装置３内の気密チャンバ３４内において、図２に示すように、ドラム２１ａ及び板状検出器１３ａを備えた右側の検出器処理ユニット２０ａ、又はドラム２１ｂ及び板状検出器１３ｂを備えた左側の検出器処理ユニット２０ｂのいずれかから板状検出器１３ａ又は１３ｂを張り出させて、その板状検出器１３ａ又は１３ｂをＸ線露光位置Ｅに置き、その板状検出器１３ａ又は１３ｂを検出器固定配置装置１２によって固定する。以下の説明では、図２に示す通りに右側の板状検出器１３ａがＸ線露光位置Ｅに張り出されたものとする。
【００６４】
その後、図１において、Ｘ線源ＦからＸ線を放射して試料ＳへＸ線を入射する。試料Ｓへ入射するＸ線と試料Ｓ内の結晶との間で所定の回折条件が満足されると、その試料Ｓから２次Ｘ線Ｒ２としての回折線が出る。また、測定の種類によっては、２次Ｘ線Ｒ２として散乱線や蛍光Ｘ線が出る。この２次Ｘ線Ｒ２は図２においてＸ線露光位置Ｅに置かれている板状検出器１３ａのＸ線受光面を露光する。このＸ線露光により、板状検出器１３ａのＸ線が当たった所にエネルギ潜像が形成され保存される。図１の光学系用気密チャンバ６及び気密チャンバ３４の両方のチャンバ内は真空状態になっているので、Ｘ線源Ｆから出てＸ線露光位置Ｅに到達するＸ線は空気散乱によって減衰することが無く、それ故、試料Ｓから出る２次Ｘ線Ｒ２の強度が弱い場合でも、板状検出器１３ａに鮮明なエネルギ潜像を形成できる。
【００６５】
以上のようにして、試料Ｓの内部の結晶構造に対応して発生した２次Ｘ線Ｒ２に対応するエネルギ潜像が板状検出器１３ａの内部に蓄積される。そして、その潜像が以下のようにして読取られる。すなわち、図２において、右側の検出器処理ユニット２０ａ内のドラム２１ａがモータ２２ａによって駆動されて矢印Ａ方向へ回転する。すると、板状検出器１３ａはそのドラム２１ａの回転に従ってドラム２１ａへ巻き取られる。このとき、板状検出器１３ａは押えローラ３２によってドラム２１ａの外周表面に押し付けられるので、板状検出器１３ａはドラム２１ａの外周面に密着する。
【００６６】
ドラム２１ａがほぼ１回転すると、板状検出器１３ａの第２端辺２６ｂがドラム２１ａの外周面に近づき、また、爪部材２８が固定されている軸部材２７の上端に固定された爪側係合片２９が固定係合片３１に近づく。ドラム２１ａの回転がさらに続くと、爪側係合片２９が固定係合片３１に当たってその爪側係合片２９が開き移動を行い、爪部材２８がバネ等といった弾性部材の弾性力に抗してドラム２１ａの外周面から離れて開く。そして、開いた爪部材２８とドラム２１ａの外周面との間に板状検出器１３ａの第２端片２６ｂが入り込む。
【００６７】
さらにドラム２１ａの回転が続くと、爪側係合片２９が固定係合片３１から外れ、爪部材２８はバネ等といった弾性部材の弾性力によってドラム２１ａの外周面上へ戻り移動する。これにより、板状検出器１３ａの第２端片２６ｂがドラム２１ａの外周面に押し付けられ、板状検出器１３ａの全面がドラム２１ａの外周面に密着状態で保持される。図４では、板状検出器１３ａの全面がドラム２１ａの外周面に保持されている状態が示されている。
【００６８】
その後、Ｘ線検出器１３ａのＸ線受光面の内部に蓄積されたエネルギ潜像を読取るための処理が行われる。読取り処理にあたって、図４の走査移動体４４は、当初、板状検出器１３ａの上端に対応する位置であるホームポジションに置かれている。読取り処理が開始されると、ドラム２１ａがモータ２２ａによって駆動されて所定の回転速度で回転する。そして同時に、走査移動体４４がモータ５２及び送りネジ軸４３によって駆動されて所定の速度で矢印Ｚ方向へ平行移動する。
【００６９】
さらに同時に、レーザ光発生装置４６からレーザ光Ｌ１が出射され、そのレーザ光Ｌ１がプリズム４７で反射してレンズ４８へ入射し、さらにそのレーザ光Ｌ１がレンズ４８で屈折した後、ブルーフィルタ４９及び石英ガラス窓３７ａを通過してドラム２１ａ上の板状検出器１３ａへ照射される。本実施形態では、隔壁としての石英ガラス窓３７ａを介して板状検出器１３ａへレーザ光Ｌ１を照射するようにしたので、板状検出器１３ａを真空雰囲気に置いた状態のままでレーザ光Ｌ１をその板状検出器１３ａへ照射できるようになっている。
【００７０】
板状検出器１３ａを照射するレーザ光Ｌ１は、ドラム２１ａの回転に従って板状検出器１３ａを主走査し、さらに、走査移動体４４のＺ方向への平行移動に従って板状検出器１３ａを副走査する。これらの主走査及び副走査により、レーザ光Ｌ１は板状検出器１３ａのＸ線受光面の全面を走査する。この走査が行われている間、板状検出器１３ａのＸ線受光面の内部であってエネルギ潜像を保有している部分にレーザ光Ｌ１が照射されると、図５（ａ）に示すように、エネルギ潜像から光が励起されて２次光Ｌ２となって放出される。
【００７１】
放出された２次光Ｌ２は石英ガラス窓３７ａ及びブルーフィルタ４９を通過し、さらにレンズ４８で屈折してフォトマルチプライヤ５１へ向けられる。フォトマルチプライヤ５１は受光した２次光Ｌ２の量に対応した信号を出力し、この出力信号は図４のＸ線強度演算回路５８へ伝送される。Ｘ線強度演算回路５８は受け取ったその信号に基づいてＸ線強度を演算によって求める。
【００７２】
板状検出器１３ａのＸ線受光面を平面視した場合において２次光Ｌ２を放出した位置は、主走査方向の位置と副走査方向の位置とによって特定できる。そして、このようにして特定されたＸ線受光面内の位置は、図２において試料Ｓで回折等したＸ線の回折角度に対応している。具体的に言えば、Ｘ線光軸Ｘ２と交差する原点が回折角度２θ＝０°の位置であり、原点から離れるに従って回折角度２θが大きくなり、原点を中心とする１つの円上の点は同じ回折角度にあることを表している。原点を中心とする１つの円の上に複数のエネルギ潜像が記録された場合、図４のＸ線強度演算回路５８はそれらの潜像に起因する信号を積算して１つの回折角度２θにおけるＸ線強度として演算する。このようにして試料Ｓから出る２次Ｘ線の回折角度２θとその２次Ｘ線の強度Ｉとが求められ、適宜の記憶媒体内に（２θ，Ｉ）のデータとして記憶される。記憶された測定データは必要に応じて画像表示装置の画面上に画像として表示されたり、プリンタによって用紙上に印刷されたりする。
【００７３】
以上により板状検出器１３ａに対する像の読取り処理が終了すると、板状検出器１３ａのＸ線受光面に残存するエネルギを消去してエネルギ状態を平面内で均一な初期状態に設定する処理が行われる。具体的には、図２において、ドラム２１ａの外周面に板状検出器１３ａを巻き付けたままの状態でドラム２１ａをモータ２２ａによって高速で回転させながら、蛍光灯４２ａを点灯する。蛍光灯４２ａから放出された光は、石英ガラス窓３８ａを通過して、高速で回転する板状検出器１３ａに照射される。これにより、板状検出器１３ａのＸ線受光面内の不要なエネルギが消去されて、板状検出器１３ａが再び使用できる状態に設定される。このＸ線消去処理も気密チャンバ３４の外側から石英ガラス窓３８ａを介して行われるので、板状検出器１３ａは気密チャンバ３４の中で真空雰囲気に置かれたままの状態で行われる。
【００７４】
板状検出器１３ａに対するＸ線消去処理が以上のようにして終了したとき、板状検出器１３ａはその全面がドラム２１ａに巻き付いた状態にある。この状態は、Ｘ線露光位置Ｅの左側に描かれている板状検出器１３ｂと同じ状態である。板状検出器１３ａを再びＸ線露光位置Ｅへ張り出させてＸ線画像の記録に供する場合には、ドラム２１ａをモータ２２ａによって駆動して矢印Ｂ方向へ回転させる。すると、回転の当初に爪側係合片２９が固定係合片３１に当たって開き、板状検出器１３ａの第２端片２６ｂの固定が解除される。
【００７５】
そして、ドラム２１ａの回転がさらに続くと、板状検出器１３ａがドラム２１ａの外周面の接線方向へ繰り出される。このとき、板状検出器１３ａは図３に示すように、検出器固定配置装置１２のクランプ板１６と面板１４との間の空間に入り込んで図２のＸ線露光位置Ｅへ張り出して行く。板状検出器１３ａのＸ線受光面の所定領域がＸ線露光位置Ｅへ張り出すと、ドラム２１ａの回転が停止する。この状態で、板状検出器１３ａが再度のＸ線露光処理を受け得る状態に設定される。
【００７６】
以上の説明から明らかな通り、本実施形態によれば、板状検出器１３ａに対するＸ線露光処理、像の読取り処理、そして像の消去処理という一連の処理を、その板状検出器１３ａを気密チャンバ３４の外部へ持ち出すことなく、すなわち板状検出器１３ａを真空雰囲気の中に置いたままの状態で、繰り返して連続して自動的に行うことができる。
【００７７】
また、以上に説明したのは、専ら、Ｘ線露光位置Ｅの右側に配設されたドラム２１ａ及び板状検出器１３ａに関する動作であるが、Ｘ線露光位置Ｅの左側に配設されたドラム２１ｂ及び板状検出器１３ｂを含む検出器処理ユニット２０ｂも同じ動作を行うことができる。従って、Ｘ線露光位置Ｅの左側に置かれた検出器処理ユニット２０ｂとその右側に置かれた検出器処理ユニット２０ａとの両方を用いてＸ線露光処理、像読取り処理、及び像消去処理の一連の処理を行えば、非常の効率の高い測定を行うことができる。
【００７８】
より具体的に説明すれば、図２において、Ｘ線露光位置Ｅの右側の検出器処理ユニット２０ａから板状検出器１３ａを繰り出してＸ線露光処理を行っている間に、左側の検出器処理ユニット２０ｂ内の板状検出器１３ｂに対して、読取り装置４１ｂを用いた像読取り処理及び蛍光灯４２ｂを用いた像消去処理を行うことが効率的である。また、Ｘ線露光位置Ｅの左側の検出器処理ユニット２０ｂから板状検出器１３ｂを繰り出してＸ線露光処理を行っている間に、右側の検出器処理ユニット２０ａ内の板状検出器１３ａに対して、読取り装置４１ａを用いた像読取り処理及び蛍光灯４２ａを用いた像消去処理を行うことが効率的である。このようにＸ線露光位置Ｅの両側に設けた検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂを交互に使用することも、本実施形態によれば、気密チャンバ３４の中において真空状態を解除することなく、繰り返して連続して行うことができる。
【００７９】
以上のように、本実施形態によれば、板状検出器１３ａ，１３ｂを気密チャンバ３４の中に収納した状態のままで、それらの板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらにそれらの板状検出器１３ａ，１３ｂを気密チャンバ３４から取出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本実施形態によれば、板状検出器１３ａ，１３ｂに対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ３４内の真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取り処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【００８０】
また、本実施形態によれば、ドラム２１ａ，２１ｂから張り出した板状検出器１３ａ，１３ｂをＸ線によって露光する際、その板状検出器１３ａ，１３ｂを検出器固定配置装置１２によってＸ線露光位置Ｅに振動や位置ずれしないようにしっかりと固定できる。そのため、板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面の中に信頼性の高いＸ線画像データを得ることができる。
【００８１】
また、本実施形態では、ドラム２１ａ，２１ｂの外周面に巻き付けられる板状検出器１３ａ，１３ｂを、ドラム２１ａ，２１ｂの軸方向に並べられた複数の押えローラ３２によってドラム２１ａ，２１ｂの外周面へ押し付けるようにしたので、板状検出器１３ａ，１３ｂをドラム２１ａ，２１ｂの外周面に密着させることができ、また、読取り装置４１ａ，４１ｂを用いた像の読取り処理の最中に板状検出器１３ａ，１３ｂがドラム２１ａ，２１ｂから剥がれたり、位置ずれしたりすることを防止できる。それらの結果、（２θ，Ｉ）の測定データを正確に測定できる。
【００８２】
（先読み及び後読みの解消）
本実施形態では、図５（ａ）及び図５（ｂ）において、（１）石英ガラス窓３７ａ，３７ｂとレンズ４８との間にブルーフィルタ４９を設けた。また、（２）レンズ４８へ入射するレーザ光Ｌ１の入射点Ａをレンズ４８の中心光軸Ｘ１からずれた位置に設定した。また、（３）レーザ光発生装置４６におけるレーザ光Ｌ１の出射口の近傍に開口部材５６を設けた。また、（４）ブルーフィルタ４９へのレーザ光Ｌ１の入射点の近傍に開口部材５４を設けた。以上の（１）〜（４）の構成は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示した読取り系においてそれらの構成を用いない場合に発生すると考えられる、いわゆる先読み現象及び後読み現象を解消するために採用した構成である。以下、先読み現象、後読み現象、及びそれらの現象と上記の（１）〜（４）の構成との関係について説明する。
【００８３】
今、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す読取り系であって、（Ａ）ブルーフィルタ４９を取り除き、（Ｂ）レンズ４８へ入射するレーザ光の入射点Ａをレンズ４８の中心光軸Ｘ１に一致させ、（Ｃ）レーザ光発生装置４６におけるレーザ光Ｌ１の出射口の近傍から開口部材５６を取り除き、（Ｄ）ブルーフィルタ４９へのレーザ光Ｌ１の入射点の近傍から開口部材５４を取り除いた構成の読取り系を考える。この読取り系は、例えば、図６に示す構成である。
【００８４】
そして、図６に示すこの読取り系を用いて、図７に示す板状検出器１３ａ，１３ｂに形成された真像６１を読取るものとする。図７において矢印で示す主走査方向は、板状検出器１３ａ，１３ｂの回転に対してレーザ光が板状検出器１３ａ，１３ｂの横方向へ相対的に移動する方向を示している。また、矢印で示す副走査方向は、図４の走査移動体４４がＺ方向へ平行移動する際にレーザ光が板状検出器１３ａ，１３ｂの縦方向へ相対的に移動する方向を示している。
【００８５】
図６に示す読取り系は、本来であれば、図７の真像６１だけを読取るべきものであるが、実際には、符号６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄで示す位置に像があるものと読取ってしまう。像６２Ａ及び像６２Ｃは真像６１の影のように現れた。つまり、真像６１よりも薄い像として現れた。また、像６２Ｂは斑点状に現れた。また、像６２Ｄは真像６１の上を覆う帽子状に現れた。
【００８６】
像６２Ａは、図６において、レーザ光Ｌ１が板状検出器１３ａ，１３ｂとレンズ４８との間で反射することに起因して先読み現象が生じたことが原因となって生じたものと考えられる。また、像６２Ｂ及び像６２Ｃは、図６において、レンズ４８からの反射が、さらに石英ガラス窓３７ａ，３７ｂで反射したことに起因して先読み現象及び後読み現象が生じたことが原因となって生じたものと考えられる。
【００８７】
ここで、先読み及び後読みについて図８を用いて説明する。図８において、レーザ光Ｌ３がレンズ４８を通過して板状検出器１３ａ，１３ｂを照射する際、そのレーザ光Ｌ３は板状検出器１３ａ，１３ｂで反射する。反射するレーザ光は読取り点Ｂの先方に進むものＬ３０もあるし、読取り点Ｂの後方に進むものＬ３１もある。先方に反射したレーザ光Ｌ３０が図７の真像６１を読取ってしまうのが先読み現象であり、後方へ反射したレーザ光が真像６１を読取ってしまうのが後読み現象である。
【００８８】
図７の像６２Ｄは、図８で示したレンズ４８からのレーザ光の反射ではなく、図６の石英ガラス窓３７ａ，３７ｂでの反射に起因して生じたものであると思われる。この場合、レーザ光は読取り前の強度の方が読取り後の強度よりも強いので、先読み現象による影響の方が強いと思われる。また、レーザ光の裾の広がりや、読取り点Ｂでの検出器１３ａ，１３ｂのニジミによって像がボケて読み出されることも原因になると思われる。
【００８９】
以上のような不要な読取り像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄに関し、図５（ａ）に示すように、レーザ光通過領域５３を備えたブルーフィルタ４９を石英ガラス窓７ａ，３７ｂとレンズ４８との間に配置すると、それらの不要な像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄを読取ってしまうことを実用上差し支えのない程度まで抑制できた。これは、レンズ４８、石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ、及び板状検出器１３ａ，１３ｂとの間で発生していたレーザ光Ｌ１の反射をブルーフィルタ４９によって抑制できたからであると考えられる。
【００９０】
また、図５（ｂ）に示すように、レンズ４８へのレーザ光の入射点Ａをレンズ光軸Ｘ１に対して主走査方向の下流側に設定することと、その入射点Ａをレンズ光軸Ｘ１に対して副走査方向の下流側に設定することの、いずれか一方又は両方を行ったところ、不要な像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄを読取ってしまうことをより一層抑制できた。これは次の理由によるものと考えられる。
【００９１】
すなわち、レンズ４８の光軸Ｘ１以外の点に入射したレーザ光は、一般に、レンズ４８の下流側において光軸Ｘ１へ向けて屈折する。従って、レンズ４８へのレーザ光の入射点Ａを光軸Ｘ１よりも走査方向の下流側へずらせば、レーザ光はレンズ４８で屈折して走査方向の上流側（すなわち、走査方向の後方）へ屈折する。つまり、レーザ光はレンズ４８の後方へ向かって進むことになる。このようにしてレーザ光がレンズ４８の後方へ向かって進むように規制すれば、先読み現象の発生を抑制できる。図７に示した不要な読取り像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄは、後読み現象よりも先読み現象に起因して発生する割合の方が大きいので、上記のように先読み現象の発生を抑制したことにより、それらの不要な像の発生を効果的に抑制できたものと思われる。
【００９２】
なお、図５（ｂ）において、レーザ光のレンズ４８への入射点Ａを走査方向の下流側へずらして設定することは、主走査方向又は副走査方向のいずれか一方であっても良いし、あるいはそれらの両方であっても良い。但し、レーザ光照射点Ａを主走査方向又は副走査方向のいずれか一方だけへずらす場合よりも、それを両方向へずらす場合の方が、不要な像の読取りを抑制することに関してより一層効果的であった。
【００９３】
レーザ光のレンズ４８への入射点Ａを主走査方向及び副走査方向の両方に関してレンズ光軸からずらすことは、レーザ光のレンズ４８への入射点Ａを、図５（ｂ）に示すように、主走査方向軸線又は副走査方向軸線に対して４５°の角度だけずらすことによって実現できる。この場合には、入射点Ａはレンズ光軸に対して主走査方向及び副走査方向へ等距離だけずれることになる。
【００９４】
また、レーザ光のレンズ４８への入射点Ａをレンズ光軸からずらすことに関して、主走査方向軸線又は副走査方向軸線に対して４５°の角度だけずらすことに替えて、図９に示すように、主走査方向軸線に対する角度θ０を大きくとり、副走査方向軸線に対する角度θ１を小さくとるようにしても良い。一般に、先読み現象及び後読み現象は主走査方向に関してよりも副走査方向に関して大きく影響を及ぼすので、副走査方向に関するレーザ光入射点のレンズ光軸からの距離的なずれ量を大きくとった方が不要な像の読取りをより効果的に押えることができるからである。図９では、副走査方向に関する距離的なずれ量を大きくとるために、主走査方向軸線に対する角度θ０を６０°とし、副走査方向軸線に対する角度θ１を３０°としている。
【００９５】
また、図５（ａ）に示すように、ブルーフィルタ４９のレーザ光通過領域５３の前方位置に開口部材５４を設けるか、又はレーザ光発生装置４６のレーザ出射口の前方に開口部材５６を設けるか、又は開口部材５４と開口部材５６の両方を設けたことにより、不要な像の読取りを抑制することができた。これは、開口要素５４，５６を設けることにより、板状検出器１３ａ，１３４ｂのＸ線受光面を照射するレーザ光Ｌ１のスポットの周囲部分がボケることを防止できたからであると思われる。また、レーザ光が読取り光学系の内部で不要な方向へ進んで不要な読取りを行うことを防止できたためとも考えられる。
【００９６】
また、本実施形態では、図２の石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂを形成する石英ガラスの表面や、図５（ａ）のレンズ４８の表面に、光の反射を抑制するためのコーティング処理を施した。これにより、読取り時に不要な像を読取ってしまうことを抑制できた。これは、レーザ光が石英ガラス窓やレンズで反射することが防止できたからであると思われる。
【００９７】
（第２実施形態）
図１０及び図１１は本発明に係るＸ線分析装置及びＸ線画像記録読取り装置の他の実施形態を示している。先に説明した実施形態は、図１及び図２に示したように、Ｘ線露光位置Ｅの両側に検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂを設けた。これに対し、図１０及び図１１に示す本実施形態では、Ｘ線露光位置Ｅの片側だけに１つの検出器処理ユニット２０ａを設けている。特に、図１０及び図１１では、Ｘ線露光位置Ｅの右側に検出器処理ユニット２０ａを設けている。なお、検出器処理ユニット２０ａは、Ｘ線露光位置Ｅの右側に限らず、左側、上側、又は下側のいずれか１つに設けることもできる。
【００９８】
本実施形態においても、図２に示した先の実施形態の場合と同様に、板状検出器１３ａを気密チャンバ３４の中に収納した状態のままで、その板状検出器１３ａのＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらに板状検出器１３ａを気密チャンバ３４から取り出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本実施形態においても、板状検出器１３ａに対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ３４内の雰囲気状態、例えば真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取りに至る処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【００９９】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【０１００】
例えば、図２に示した実施形態では、ドラム２１ａ及び板状検出器１３ａを含む検出器処理ユニット２０ａと、ドラム２１ｂ及び板状検出器１３ｂを含む検出器処理ユニット２０ｂとの一対のユニットをＸ線露光位置Ｅの左右の両側に設けたが、この構成に代えて、検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂをＸ線露光位置Ｅの上下の両側に設けても良い。
【０１０１】
また、図２の実施形態では、蛍光灯４２ａ，４２ｂを気密チャンバ３４の外側に設けたが、これらは、気密チャンバ３４の内側に設けても良い。
【０１０２】
また、ドラム２１ａ，２１ｂから張り出した板状検出器１３ａ，１３ｂが自然な状態でＸ線露光位置Ｅに安定状態で静止できるのであれば、検出器固定配置装置１２は必ずしも設ける必要はない。また、図３の面板１４だけを設ける構成とすることもできる。また、ドラム２１ａ，２１ｂからＸ線露光位置Ｅに至るまでの間に板状検出器１３ａ，１３ｂを案内するためのガイド板を設けても良い。
【０１０３】
また、図１に示した実施形態では、フィラメントとターゲットとによって構成されるＸ線源Ｆから放射されるＸ線を用いて測定を行うものとしたが、Ｘ線に替えて放射光を用いるＸ線測定の場合にも本発明を適用できる。放射光は、一般に、強度が弱いので、全ての処理を真空雰囲気内で行うことができる本発明のＸ線分析装置を、放射光を用いる場合に適用すれば非常に有効である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明に係るＸ線分析装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線分析装置の主要部であるＸ線画像記録読取り装置の内部構成を示す斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に従ってＸ線露光位置の断面構造を示す断面図である。
【図４】図２に示すＸ線画像記録読取り装置の主要部である読取り装置の構成を示す断面図である。
【図５】（ａ）は図４に示す読取り装置の主要部を拡大して示す図であり、（ｂ）は（ａ）の矢印Ｄに従ったレンズの正面図である。
【図６】比較のために図５の構成から主要な光学要素を取り除いた状態の読取り系を示す図である。
【図７】読取り不良を具体的に示す図である。
【図８】図７の読取り不良の原因の１つである先読み現象及び後読み現象を説明するための図である。
【図９】本発明に係るＸ線画像記録読取り装置の他の実施形態の要部を示す図である。
【図１０】本発明に係るＸ線分析装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図１１】図１０に示すＸ線分析装置の主要部であるＸ線画像記録読取り装置の内部構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１．Ｘ線分析装置、 ２．Ｘ線測定装置、 ３．Ｘ線画像記録読取り装置、
４．Ｘ線光学系、 ６．光学系用気密チャンバ、 ７．試料ホルダ、
１１．筐体ケース、 １２．検出器固定配置装置、
１３ａ，１３ｂ．板状検出器（２次元Ｘ線検出手段）、 １４．面板、
１６．クランプ板、 １７．スペース部材、 １８．可動板、
１９．ロータリーソレノイド、 ２１．ドラム（検出手段支持手段）、
２０ａ，２０ｂ．検出器処理ユニット（検出手段処理手段）、
２２ａ，２２ｂ．モータ（支持手段回転手段）、 ２４ａ，２４ｂ．軸、
２６ａ．第１端辺、 ２６ｂ．第２端辺、 ２７．軸部材、
２８．爪部材（端辺固定手段）、 ２９．爪側係合片、 ３１．固定係合片、
３２．押えローラ（検出手段押付け手段）、 ３３．ローラ軸、 ３４．気密チャンバ、
３６．開口、 ３７ａ，３７ｂ．石英ガラス窓（第１光透過部）、
３８ａ，３８ｂ．石英ガラス窓（第２光透過部）、 ４１ａ，４１ｂ．読取り装置、
４２ａ，４２ｂ．蛍光灯（消去用光照射手段）、 ４３．送りネジ軸、
４４．走査移動体、 ４６．レーザ光発生装置（１次光発生手段）、 ４７．プリズム、
４８．レンズ、 ９．ブルーフィルタ、
５１．フォトマルチプライヤ（光電変換手段）、 ５２．モータ、
５３．レーサ光通過領域、 ５４．開口部材、 ５６．開口部材、
５７．カップリング装置、 ６１．真像、
６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄ．読取り不良の像、 Ａ．レーザ光の入射点、
Ｂ．読取り点、 Ｅ．Ｘ線露光位置、 Ｆ．Ｘ線源、 Ｌ１．レーザ光（１次光）、
Ｌ２．２次光、 Ｌ３，Ｌ３０，Ｌ３１．レーザ光、 Ｑ．開口、 Ｒ１．１次Ｘ線、
Ｒ２，２次Ｘ線、 Ｓ．試料、 Ｗ０．２次元Ｘ線検出器の幅、
Ｘ０．ドラム中心軸線、 Ｘ１．レンズ光軸、 Ｘ２．Ｘ線光軸
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線によって画像を記録すると共にその記録した画像を光によって読取るようにしたＸ線画像記録読取り装置に関する。また、本発明は、そのＸ線画像記録読取り装置を用いて構成されるＸ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回折、反射、散乱等によって試料から出るＸ線を蓄積性蛍光体を用いた２次元Ｘ線検出器によって検出するようにしたＸ線分析装置が知られている。ここで、２次元Ｘ線検出器とは、Ｘ線を平面内で受け取ることができるＸ線検出器である。また、蓄積性蛍光体とは、Ｘ線が当たった部分にエネルギ潜像を蓄積でき、潜像が蓄積されたその部分に光（例えば、レーザ光）を照射するとエネルギ潜像が光となって外部へ放出される、という特性を持った物質である。
【０００３】
蓄積性蛍光体をＸ線受光面とする２次元Ｘ線検出器のそのＸ線受光面をＸ線で露光してそのＸ線受光面内に像を記録し、さらに記録したその像を光を用いて読取る装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この装置では、２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至るまでの一連の処理を、平板状の支持部材と円筒形状の回転ドラムとを用いて自動的に行うようになっている。
【０００４】
また、従来、試料を真空雰囲気内に置き、その試料から出た回折線等を真空雰囲気内で２次元Ｘ線検出器のＸ線受光面に照射して像を記録するという構成のＸ線分析装置が知られている。真空雰囲気内でＸ線受光面をＸ線で露光するようにすれば、Ｘ線が空気散乱によって減衰することを抑制できるので、試料から出るＸ線が弱い場合であっても、その弱いＸ線を２次元Ｘ線検出器によって捕らえることができる。このＸ線分析装置において、２次元Ｘ線検出器に蓄積されたエネルギ潜像を読取る際には、２次元Ｘ線検出器を真空雰囲気から取り出し、その２次元Ｘ線検出器を読取り装置内の所定の読取り位置に装着し、その装着状態で読取り処理を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−３１３２６５号公報（第２〜３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来のＸ線分析装置、Ｘ線記録装置、又はＸ線読取り装置において、２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光する処理を真空雰囲気内で行うことは既に行われていた。しかし、２次元Ｘ線検出手段に対する像読取り処理を真空雰囲気内で行うことは、未だに行われていない。これは、特許文献１に開示された従来の装置では２次元Ｘ線検出器を平板状の支持部材や円筒形状の回転ドラムによって支持する際に真空吸着手法を用いているため、それらの支持部材や回転ドラムを真空雰囲気内に配置することができないからである。
【０００７】
しかしながら、２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光処理を真空雰囲気内で行い、処理後の２次元Ｘ線検出器を真空雰囲気の外部へ取り出して読取り処理を行うという従来の処理方法の場合には、２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至る処理を自動的に連続して行うことが非常に困難であった。
【０００８】
本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を、外部とは異なった特殊雰囲気、例えば真空雰囲気内で行うことのできるＸ線画像記録読取り装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るＸ線画像記録読取り装置は、Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置であって、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、（ａ）前記検出手段処理手段は、（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲することを特徴とする。
【００１０】
本明細書において、「２次元Ｘ線検出手段」は、例えば、蓄積性蛍光体によってＸ線受光面が平面的に形成されたシート状のＸ線検出部材によって形成できる。蓄積性蛍光体はイメージングプレート（登録商標）等と呼ばれる感光性部材によって形成できる。「検出手段支持手段」は、例えば、円筒形状、すなわちドラム形状の部材によって形成できる。「支持手段回転手段」は、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等といった回転数を制御できる回転機を動力源として、その動力を適宜の動力伝達手段を介して検出手段支持手段へ伝達する機構によって形成できる。
【００１１】
また、「端辺固定手段」は、例えば、回転ドラム等といった検出手段支持手段と一体になって回転できる１つ又は複数の開閉可能な爪部材によって構成できる。爪部材を複数用いる場合には、それらの爪部材は回転ドラム等の回転軸線と平行に並べて配置されることが望ましい。開状態にある爪部材と回転ドラム等の表面との間に２次元Ｘ線検出器の端辺を挿入した後、それらの爪部材を閉状態にすれば、２次元Ｘ線検出手器を回転ドラム等の表面に押し付けることができる。
【００１２】
「気密チャンバ」は、例えば、ステンレス等といった構造用鋼や、硬質のプラスチック等によって形成できる。気密チャンバの形状は、その中に収容される機械的構成要素及び電気的構成要素の形状に応じて自由に設定できる。「第１光透過部」は、例えば、気密チャンバの一部にはめ込まれた石英ガラスによって形成できる。
【００１３】
また、「読取り手段」は、例えば、２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面に励起用の光（すなわち、１次光）を照射する手段と、その１次光を受けることによってＸ線受光面から発生した光（すなわち、２次光）を受光して電気信号に変換する光電変換手段（例えば、フォトマルチプライヤ）とを有する電気光学装置によって構成できる。「消去用光照射手段」は、例えば、白色光を放射する蛍光灯によって形成できる。
【００１４】
本発明に係る上記構成のＸ線画像記録読取り装置によれば、２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバの中に収納した状態のままで、その２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらに２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバから取出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置によれば、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ内の雰囲気状態、例えば真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取りに至る処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【００１５】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は、前記検出手段支持手段に対向する位置であって前記第１光透過部と異なる位置の前記気密チャンバに設けられた第２光透過部と、前記気密チャンバの外側であって前記第２光透過部に対向して設けられた消去用光照射手段とを有することが望ましい。消去用光照射手段によって２次元Ｘ線検出手段に光を照射すれば、２次元Ｘ線検出手段に残存するエネルギ潜像を消去して２次元Ｘ線検出手段を再使用可能な初期状態に設定できる。
【００１６】
消去用光照射手段は気密チャンバの外側ではなくて、気密チャンバの内側に設けることもできる。しかしながら、消去用光照射手段を交換する場合を考慮するならば、その消去用光照射手段は気密チャンバの外側にあることが便利である。
【００１７】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は、前記Ｘ線露光位置の片側に１組だけ設けても良いし、あるいは、前記Ｘ線露光位置の両側にそれぞれ１組ずつ、合計で２組設けても良い。そして、検出器処理手段等をＸ線露光位置の両側に設ける場合には、前記支持手段回転手段は、前記Ｘ線露光位置の両側に設けられた前記検出手段支持手段を個別に回転させることが望ましい。
【００１８】
検出手段支持手段と支持手段回転手段との組み合わせは、２次元Ｘ線検出手段をＸ線露光位置へ向けて出したり、引き込めたりするためのものであるが、支持手段回転手段が検出手段支持手段を個別に回転させるということは、一対の検出手段支持手段から独自のタイミングで２次元Ｘ線検出手段を出したり、引き込めたりできるということである。この構成によれば、一対の２次元Ｘ線検出手段を有効に使って、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線の露光処理から像の読取り処理に至る一連の処理を非常に効率的に行うことができる。
【００１９】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置は、前記検出手段支持手段から張り出した前記２次元Ｘ線検出手段をＸ線露光位置に固定配置させる検出手段固定配置手段をさらに有することが望ましい。そしてその場合には、前記気密チャンバは前記検出手段固定配置手段を包囲することが望ましい。この場合、その検出手段固定配置手段は、例えば、前記Ｘ線露光位置に配置された面板と、Ｘ線進行方向に関して前記面板よりも上流側に配置されていてＸ線を通過させるための開口を備えたクランプ板と、該クランプ板を前記面板へ向けて平行移動させるクランプ移動手段とを有することが望ましい。
【００２０】
ここに挙げた発明の態様のように、検出手段固定配置手段を設ければ、検出手段支持手段から張り出した２次元Ｘ線検出手段にＸ線を露光する際にその２次元Ｘ線検出手段をＸ線露光位置に振動や位置ずれしないようにしっかりと固定できるので、２次元Ｘ線検出手段の中に信頼性の高いＸ線画像データを得ることができる。
【００２１】
次に、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置は、前記検出手段支持手段に巻き付く前記２次元Ｘ線検出手段を前記検出手段支持手段へ押し付ける検出手段押付け手段を有することが望ましい。この検出手段押付け手段は、例えば、検出手段支持手段の表面に適宜の圧力状態で当接する回転ローラによって構成できる。
【００２２】
本発明では、２次元Ｘ線検出手段に対して像読取り処理を行う際には、その２次元Ｘ線検出手段の全体を検出手段支持手段に巻き付けた後に、その読取り処理を実行する。この際、２次元Ｘ線検出手段が検出手段支持手段に単に巻き付けるだけでは、読取り処理の最中に２次元Ｘ線検出手段が検出手段支持手段から剥がれたり、位置ずれしたりするおそれがある。こうなると、２次元Ｘ線検出手段の中に信頼性の高いＸ線画像データを得ることができなくなる。これに対し、ここに挙げた発明の態様のように、検出手段押付け手段を検出手段支持手段に装備すれば、読取り処理の最中に２次元Ｘ線検出手段が検出手段支持手段から剥がれたり、位置ずれしたりすることを防止でき、それ故、信頼性の高いＸ線画像データを確実に得ることができる。
【００２３】
次に、本発明に係るＸ線分析装置は、試料にＸ線を照射して該試料から２次Ｘ線を発生させるＸ線光学系と、該Ｘ線光学系を気密に包囲する光学系用気密チャンバと、該光学系用気密チャンバの内部の空気を吸引して該内部を減圧する減圧手段と、Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面を前記Ｘ線光学系からの前記２次Ｘ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置と、を有するＸ線分析装置であって、（Ａ）前記Ｘ線画像記録読取り装置は、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、（ａ）前記検出手段処理手段は、（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲し、（ｃ）前記気密チャンバは前記光学系用気密チャンバと気密に連結されることを特徴とする。
【００２４】
本発明に係る上記構成のＸ線分析装置によれば、２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバの中に収納した状態のままで、その２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらに２次元Ｘ線検出手段を気密チャンバから取り出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本発明に係るＸ線分析装置によれば、２次元Ｘ線検出手段に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ内の雰囲気状態、例えば真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取り処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（第１実施形態）
以下、本発明に係るＸ線画像記録読取り装置及びＸ線分析装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。
【００２６】
図１は本発明に係るＸ線分析装置及びＸ線画像記録読取り装置の一実施形態を示している。図２は図１の要部であるＸ線画像記録読取り装置の内部構造を示している。また、図３は図２のＡ−Ａ線に従ってＸ線露光位置の断面構造を示している。
【００２７】
図１において、本実施形態に係るＸ線分析装置１は、Ｘ線測定装置２と、Ｘ線画像記録読取り装置３とを有する。Ｘ線測定装置２は、Ｘ線光学系４と、そのＸ線光学系４を包囲する光学系用気密チャンバ６と、光学系用気密チャンバ６の内部を減圧状態、例えば真空状態に減圧する減圧手段としての減圧ポンプ８とを有する。図１では光学系用気密チャンバ６の一部分だけが図示されているが、光学系用気密チャンバ６はＸ線光学系４の全体を気密に包囲する。光学系用気密チャンバ６は、例えば、ステンレス等といった構造用鋼や、硬質のプラスチック等によって形成できる。
【００２８】
Ｘ線光学系４はＸ線を発生するＸ線源Ｆと、試料Ｓを支持する試料ホルダ７とを有する。Ｘ線源Ｆは、例えば、通電によって発熱して熱電子を放出するフィラメントと、そのフィラメントに対向して配置されるターゲットとによって構成できる。ターゲットは、要望に応じた金属、例えばＣｕ（銅）によって形成される。ターゲットをＣｕによって形成すれば、ＣｕＫα線を含むＸ線を発生することができる。試料ホルダ７は試料Ｓを固定状態で支持するものであっても良いし、試料Ｓに所定の動きを与えるものであっても良い。
【００２９】
このような所定の動きとしては、例えば、試料Ｓへ入射するＸ線の入射角度を変化させるためのω回転移動や、試料Ｓを平面内で回転させる面内回転移動や、試料Ｓを円弧状に揺動させるあおり移動や、その他の種々の動きが考えられる。なお、Ｘ線光学系４は、放射光を線源とする光学系とすることもできる。
【００３０】
Ｘ線光学系４は、試料Ｓに１次Ｘ線Ｒ１を照射してその試料Ｓから２次Ｘ線Ｒ２、例えば回折線、反射線、散乱線等を発生させるものである。また、光学系用気密チャンバ６は、Ｘ線光学系４の全体を真空状態等といった減圧状態に保持する。このようにＸ線光学系４を減圧状態に保持するのは、Ｘ線源Ｆから出て試料Ｓへ入射するＸ線や、試料Ｓから出た２次Ｘ線等が空気によって減衰することを防止するためである。
【００３１】
Ｘ線画像記録読取り装置３は、筐体ケース１１を有し、その筐体ケース１１の中に図２に示す構造が収容されている。図２において、２次Ｘ線Ｒ２によって露光が行われる位置Ｅ（すなわち、Ｘ線露光位置）に検出器固定配置装置１２が設けられている。この検出器固定配置装置１２は、図３に示すように、２次Ｘ線Ｒ２によって露光される２次元Ｘ線検出手段としての板状検出器１３ａ，１３ｂをその背面から支持する面板１４と、Ｘ線Ｒ２の進行方向に関して面板１４の上流位置に配置されたクランプ板１６と、スペース部材１７を介してクランプ板１６に結合された可動板１８と、可動板１８の背面に接続されたロータリーソレノイド１９とを有する。スペース部材１７、可動板１８、及びロータリーソレノイド１９の組合せは、クランプ板１６を面板１４に対して平行移動させるクランプ移動手段として機能する。
【００３２】
面板１４は、板状検出器１３ａ，１３ｂの幅Ｗ０よりも大きい高さを有する長方形状又は正方形状で金属製又はプラスチック製の１枚の板である。この面板１４は位置が動かないように固定されている。クランプ板１６は図２に示すように、板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面をＸ線で露光させるための開口Ｑを有する金属製又はプラスチック製の枠状の部材である。
【００３３】
ロータリーソレノイド１９は本実施形態では、可動板１８の対角線に対応して２個、設けられている。図３において、これらのロータリーソレノイド１９の出力軸１９ａが可動板１８の背面に固定されている。ロータリーソレノイド１９は周知の通り、その内部に回転子を有し、その回転子の正反時計方向の往復回転をネジ嵌合によって出力軸１９ａの往復直進移動に変換する機器である。
【００３４】
出力軸１９ａが往復直進移動すると、可動板１８が平行移動し、それに応じてクランプ板１６が平行移動する。出力軸１９ａが伸張位置まで伸びたときクランプ板１６と面板１４との間に大きな間隔が形成され、その大きな間隔の中に板状検出器１３ａ，１３ｂが入り込むことができる。また、クランプ板１６と面板１８との間に板状検出器１３ａ，１３ｂがあるときに出力軸１９ａが収縮位置まで引き込むと、クランプ板１６は板状検出器１３ａ，１３ｂを面板１８へ押し付け、これにより、板状検出器１３ａ，１３ｂはＸ線露光位置Ｅに固定状態で配置される。
【００３５】
図２において、Ｘ線露光位置Ｅの左右の両側にそれぞれ１組ずつ、検出手段処理手段としての検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂが設けられている。個々の検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂは、板状検出器１３ａ，１３ｂと、それらを支持する検出手段支持手段としてのドラム２１ａ，２１ｂと、支持手段回転手段としてのモータ２２ａ，２２ｂと、端辺固定手段としての複数の爪部材２８と、第１光透過部としての石英ガラス窓３７ａ，３７ｂと、その石英ガラス窓３７ａ，３７ｂに対向して設けられた読取り装置４１ａ，４１ｂとを有する。
【００３６】
ドラム２１ａ，２１ｂと、モータ２２ａ，２２ｂと、複数の爪部材２８とを有する装置は、板状検出器１３ａ，１３ｂをＸ線露光位置Ｅへ繰り出したり、Ｘ線露光位置Ｅから巻き取ったりするための装置である。図２では、右側の検出器処理ユニット２０ａが板状検出器１３ａをＸ線露光位置Ｅへ繰り出しており、左側の検出器処理ユニット２０ｂが板状検出器１３ｂを巻き取っている状態を示している。
【００３７】
ドラム２１ａ及び２１ｂはＸ線露光位置Ｅに関して互いに対称の位置に設けられている。これらのドラム２１ａ，２１ｂは、例えば金属又はプラスチックによって円筒形状に形成されている。これらのドラム２１ａ，２１ｂから延びる軸２４ａ，２４ｂは、それぞれ、モータ２２ａ，２２ｂの出力軸に連結されている。これらのモータ２２ａ，２２ｂは回転制御装置２３からの指令に従って制御された回転数及び回転角度で、それぞれ、出力軸２４ａ，２４ｂを回転させる。回転制御装置２３は、モータ２２ａ及びモータ２２ｂの動作を個別に制御する。
【００３８】
板状検出器１３ａ，１３ｂのそれぞれの第１端辺２６ａは、ネジその他の締結要素によって、それぞれ、ドラム２１ａ及びドラム２１ｂに固定されている。第１端辺２６ａに対向する板状検出器１３ａ，１３ｂの第２端辺２６ｂはドラム２１ａ，２１ｂに固定されない辺、すなわち自由辺となっている。ドラム２１ａ，２１ｂの外周面のうち板状検出器１３ａ，１３ｂが固定された部分の近傍の外周面上に、ドラム２１ａ，２１ｂの中心軸線Ｘ０に対して平行に延びる軸部材２７が設けられている。これらの軸部材２７はそれぞれが独自に自らの軸線を中心として回転できるようにドラム２１ａ，２１ｂに取り付けられている。
【００３９】
各軸部材２７には、端辺固定手段としての複数の爪部材２８が固定されている。これらの爪部材２８は軸部材２７と一体になって回転する。軸部材２７はバネ等といった弾性付勢部材によって付勢されて板状検出器１３ａ，１３ｂの第１端辺２６ａと反対方向へ回転するような回転習性を与えられている。それ故、軸部材２７と一体に回転する爪部材２８は、通常、ドラム２１ａ，２１ｂの外周面を弾性力によって押し付けている。
【００４０】
軸部材２７の上部には爪側係合片２９が固定されている。一方、ドラム２１ａ，２１ｂの上端の近傍にある機枠には固定係合片３１が設けられている。爪側係合片２９はドラム２１ａ，２１ｂの回転に従って移動する。これに対し、固定係合片３１はドラム２１ａ，２１ｂから独立して常に一定の位置にある。ドラム２１ａ，２１ｂのそれぞれの近傍であってＸ線露光位置Ｅから所定距離離れた位置に検出手段押付け手段としての複数、本実施形態では４個の押えローラ３２が設けられている。
【００４１】
これらの押えローラ３２はローラ軸３３上にそれぞれ回転自在に設けられている。これらの押えローラ３２は、ドラム２１ａ．２１ｂの外周面に適宜の圧力で接触している。ドラム２１ａ，２１ｂが回転すると爪部材２８も一体になって回転する。回転移動するこれらの爪部材２８はドラム２１ａ，２１ｂの回転に従って押えローラ３２が設けられている所を通過する。回転移動する爪部材２８が押えローラ３２にぶつかることを回避するため、複数の爪部材２８と複数の押えローラ３２は軸線Ｘ０に沿って互いに交互の位置に配置される。
【００４２】
図２においてＸ線露光位置Ｅの右側に示されている板状検出器１３ａはその第２端辺２６ｂがドラム２１ａから離れて外方へ張り出している。そして、その張り出した部分のうちの所定領域が検出器固定配置装置１２によってＸ線露光位置Ｅに固定されている。一方、左側の板状検出器１３ｂはその全体がドラム２１ｂの外周面に巻き付いている。そして、板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂは爪部材２８によってドラム２１ｂの外周面に押し付けられている。
【００４３】
検出器固定配置装置１２による板状検出器１３ａのクランプを解除した状態で、右側のドラム２１ａを図示の状態から矢印Ａで示す方向、すなわち板状検出器１３ａを巻き取る方向へ回転すると、板状検出器１３ａは次第にドラム２１ａに巻き取られて行く。この巻き取り動作の際、押えローラ３２は板状検出器１３ａをドラム２１ａの外周表面へ押し付ける。これにより、板状検出器１３ａはドラム２１ａの外周面にきれいに面接触する状態で巻き取られて行く。
【００４４】
こうして巻き取られる板状検出器１３ａの第２端辺２６ｂがドラム２１ａの近傍に到来すると、爪部材２８を支持する軸部材２７の上端に固定した爪側係合片２９が固定係合片３１に当たる。すると、爪側係合片２９が軸部材２７を伴って回転して、それまで閉じていた軸部材２７上の爪部材２８が開き回転する。ドラム２１ａに到来した板状検出器１３ａの第２端辺２６ａは、上記のように開いた爪部材２８とドラム２１ａの外周面との間に入り込む。
【００４５】
ドラム２１ａが巻き取りのための所定の最終角度位置まで回転すると、爪側係合片２９と固定係合片３１との係合が外れ、爪部材２８はバネ力によって瞬時に閉じ回転する。こうして閉じる爪部材２８により、板状検出器１３ａの第２端辺２６ｂがドラム２１ａの外周面に押し付けられて固定される。これにより、板状検出器１３ａはドラム１ａの外周面から容易には剥がれない状態に支持される。以上のように、本実施形態では、爪部材２８と押えローラ３２との協働により、板状検出器１３ａをドラム２１ａへ密着状態で巻きつけることができる。
【００４６】
図２のＸ線露光位置Ｅの左側に位置する板状検出器１３ｂは、その全面が上記のようにしてドラム２１ｂの外周面に巻き付いた状態を示している。ドラム２１ｂがこの状態から矢印Ｂ方向へ回転すると、直ぐに爪側係合片２９が固定係合片３１に当たって開き回転し、これにより爪部材２８が開き回転移動して、板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂを開放する。開放された第２端辺２６ｂはドラム２１ｂから離れ、さらに、ドラム２１ｂの矢印Ｂ方向への回転に従って、そのドラム２１ｂの外周面の接線方向へ張り出して行く。
【００４７】
張り出し移動する板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂは、クランプ板１６と面板１４との間の隙間に入り込む。その後、ドラム２１ｂが巻き出しのための所定の最終角度位置まで回転すると、板状検出器１３ｂの第２端辺２６ｂ側の所定領域がクランプ板１６の開口Ｑから外部へ露出する状態となる。この状態で図３においてクランプ板１６がソレノイド１９によって引かれれば、板状検出器１３ｂがクランプ板１６によって面板１４へ押し付けられて固定される。
【００４８】
板状検出器１３ａ，１３ｂは長方形状で板状の要素であり、長方形状の基材の表面の全域に一様な厚さの蓄積性蛍光体を積層することによって形成されている。そしてこの蓄積性蛍光体の層がＸ線受光面を構成する。図３において、Ｘ線Ｒ２が照射される面が蓄積性蛍光体の層の面、すなわちＸ線受光面である。蓄積性蛍光体は周知の光学的物質であり、例えば、次のような特性を有する要素である。
【００４９】
すなわち、その蓄積性蛍光体に放射光やＸ線が当たると、その当たった部分にエネルギ潜像が蓄積される。そして、そのようにして潜像が蓄積された部分に１次光（例えば、レーザ光）が照射されると、その潜像が光に変換されて２次光として外部へ放出される。このような蓄積性蛍光体をＸ線受光面とする板状検出器は、例えば、イメージングプレート（登録商標）等として知られている。
【００５０】
図２において、板状検出器１３ａ，１３ｂを巻き出したり、巻き取ったりするための構成、すなわちドラム２１ａ，２１ｂ、押えローラ３２、爪部材２８等から成る構成と、検出器固定配置装置１２とは、気密チャンバ３４によって覆われている。気密チャンバ３４を形成する複数の面のうちの１つにはＸ線を取り込むための開口３６が形成されている。気密チャンバ３４はその開口３６以外の部分で内部を気密に覆っている。気密チャンバ３４は、例えば、ステンレス等といった構造用鋼や、プラスチック等によって形成される。ドラム２１ａ，２１ｂを回転駆動するための既述のモータ２２ａ，２２ｂは、気密チャンバ３４の外部に設けられている。
【００５１】
気密チャンバ３４を形成する背面側の隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの右側に配置されたドラム２１ａに対向する部分に、第１光透過部としての石英ガラス窓３７ａが設けられている。また、背面側隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの左側に配置されたドラム２１ｂに対向する部分に他の第１光透過部としての石英ガラス窓３７ｂが設けられている。さらに、気密チャンバ３４を形成する右側の隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの右側に配置されたドラム２１ａに対向する部分に、第２光透過部としての石英ガラス窓３８ａが設けられている。また、気密チャンバ３４を形成する左側の隔壁のうちのＸ線露光位置Ｅの左側に配置されたドラム２１ｂに対向する部分に他の第２光透過部としての石英ガラス窓３８ｂが設けられている。
【００５２】
そして、第１光透過部としての石英ガラス窓３７ａの外部位置に読取り装置４１ａが設けられ、他の第１光透過部としての石英ガラス窓３７ｂの外部位置に他の読取り装置４１ｂが設けられている。また、第２光透過部としての石英ガラス窓３８ａの外部位置に消去用光照射手段としての蛍光灯４２ａが設けられ、他の第２光透過部としての石英ガラス窓３８ｂの外部位置に消去用光照射手段としての蛍光灯４２ｂが設けられている。蛍光灯４２ａ，４２ｂは、板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面に蓄積されたエネルギ潜像を消去できる波長の光を放出する。
【００５３】
石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂを形成する石英ガラスには、光の反射を抑制するための処理、例えばコーティング処理が施されている。このコーティング処理は石英ガラス等の表裏片面又は表裏両面に材料層を積層する処理であるが、反射を抑制する機能は、材料層を構成する材料自体の特性によって実現しても良いし、コーティングの仕方によってその機能を実現しても良い。また、コーティング処理に限らず、石英ガラスあるいはその他の窓形成材料の表面に加工を加えることによって反射抑制機能を実現できるのであれば、そのような加工を石英ガラス等に加えることでも良い。本実施形態では、反射を抑制できる材料の単層を６５０ｎｍの厚さで石英ガラスの表裏両面にコーティングすることにより、石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂの反射率を２．２％に設定した。
【００５４】
図４は、図２の矢印Ｃ方向から読取り装置４１ａ，４１ｂを見た場合のそれらの読取り装置４１ａ，４１ｂの構造を示している。図４において、読取り装置４１ａ，４１ｂは、ドラム２１ａ，２１ｂの中心軸線Ｘ０と平行に延びる送りネジ軸４３と、その送りネジ軸４３にネジ嵌合する走査移動体４４とを有する。走査移動体４４の中には、１次光としてのレーザ光Ｌ１を発生する１次光発生手段としてのレーザ光発生装置４６と、レーザ光を反射するプリズム４７と、光を屈折するレンズ４８と、レーザ光Ｌ１の通過を抑制するブルーフィルタ４９と、板状検出器１３ａ，１３ｂで発生してレンズ４８で集光された２次光Ｌ２を受光する光電変換手段としてのフォトマルチプライヤ（すなわち、光電子増倍管）５１とが設けられている。フォトマルチプライヤ５１の出力端子にはＸ線強度演算回路５８が電気的に接続されている。レンズ４８の表面には、石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂと同様に光の反射を抑制するためのコーティング処理が施されている。
【００５５】
ブルーフィルタ４９は、レーザ光Ｌ１の通過を抑制すると共に板状検出器１３ａ，１３ｂで発生する２次光Ｌ２の通過は許容する性質を有する。また、ブルーフィルタ４９のうちレンズ４８を通過したレーザ光Ｌ１が通過する部分には、図５（ａ）に示すように、レーザ光Ｌ１を通過させるための領域５３が設けられている。このレーザ光通過領域５３は、例えば、ブルーフィルタ４９に貫通穴を開けることによって形成できる。また、ブルーフィルタ４９を透明なベース材の上にブルーフィルタ材料をコーティングして形成する場合には、レーザ光通過領域５３は、当該部分にはブルーフィルタ材料をコーティングしないことによって形成できる。なお、ブルーフィルタ４９の表裏両面には石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂに施したものと同様の光反射抑制用のコーティング処理が施されている。
【００５６】
レーザ光通過領域５３は矢印Ｄ方向から見て円形状に形成されている。この円形の径はレーザ光Ｌ１を通過させることができる範囲内でできるだけ小さいことが望ましい。本実施形態では、レーザ光通過領域５３の径を直径で２ｍｍとした。レーザ光通過領域５３の前位置には開口部材５４が設けられている。この開口部材５４は金属製又はプラスチック製の矢印Ｄ方向から見て円板又は四角板の中央に円形状の貫通穴を設けることによって形成されている。この貫通穴は、例えば、直径０．８ｍｍの大きさに形成されている。また、レーザ発生装置４６のレーザ光出射口の前位置にも開口部材５６が設けられている。この開口部材５６は、例えば、金属製又はプラスチック製の円板又は四角板の中央に円形状の貫通穴を設けることによって形成されている。この貫通穴は、例えば、直径１．５ｍｍの大きさに形成されている。
【００５７】
図４において、ドラム２１ａ，２１ｂはモータ２ａ，２２ｂに駆動されて自身の中心軸線Ｘ０を中心として回転する。このとき、ドラム２１ａ，２１ｂの外周面上に巻かれた板状検出器１３ａ，１３ｂも一体になって回転する。このとき、走査移動体４４から板状検出器１３ａ，１３ｂへレーザ光Ｌ１が照射されれば、そのレーザ光Ｌ１は板状検出器１３ａ，１３ｂを横方向（すなわち、図４の紙面垂直方向）に走査する。このようなレーザ光Ｌ１の板状検出器１３ａ，１３ｂに対する横方向の走査が主走査である。
【００５８】
次に、送りネジ軸４３は、回転数を制御可能なモータ５２（例えば、パルスモータ、サーボモータ等）の出力軸に連結されている。モータ５２が例えば出力軸を正時計方向へ回転させれば送りネジ軸４３が同じ方向へ自身の軸線を中心として回転し、それにネジ嵌合している走査移動体４４が矢印Ｚ方向へ平行移動する。一方、モータ５２が自身の出力軸を反時計方向へ回転させれば、走査移動体４４は反対方向であるＺ'方向へ平行移動する。
【００５９】
走査移動体４４がＺ方向へ移動するとき、その走査移動体４４から出射するレーザ光Ｌ１は板状検出器１３ａ，１３ｂを縦方向（すなわち、図４の上下方向）に走査する。このようなレーザ光Ｌ１の板状検出器１３ａ，１３ｂに対する縦方向の走査が副走査である。走査移動体４４のＺ'方向への移動はホーム位置へ戻るための移動である。以上のように、レーザ光Ｌ１が板状検出器１３ａ，１３ｂを主走査及び副走査することにより、その板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面の全面をレーザ光Ｌ１によって走査できる。
【００６０】
図５（ａ）において、レーザ光発生装置４６から出射したレーザ光Ｌ１は開口部材５６の開口を通ってプリズム４７で反射してレンズ４８へ入射する。レーザ光Ｌ１のレンズ４８への入射点Ａは、図５（ｂ）に示すように、レンズ４８の中心軸、すなわちレンズ４８の光軸Ｘ１からずれている。具体的には、レーザ光Ｌ１の板状検出器１３ａ，１３ｂに対する主走査方向及び副走査方向の両方に関してずれている。より具体的には、入射点Ａは、レンズ光軸Ｘ１に対して主走査方向の前方側（すなわち、下流側）にずれると共に副走査方向の前方側（すなわち、下流側）にずれている。さらに具体的には、入射点Ａは、主走査方向に対して角度θ０＝４５°且つ副走査方向に対して角度θ１＝４５°の位置に設定されている。
【００６１】
以下、上記構成より成るＸ線分析装置に関してその動作を説明する。
図１において、Ｘ線測定装置２を構成する光学系用気密チャンバ６の先端と、Ｘ線画像記録読取り装置３内の気密チャンバ３４に設けられた開口３６（図２参照）とを、カップリング装置５７によって気密に連結する。これにより、Ｘ線測定装置２とＸ線画像記録読取り装置３との全体が外部から完全に気密に遮蔽される。なお、筐体ケース１１は気密チャンバ３４を気密に覆う必要はない。
【００６２】
次に、Ｘ線測定装置２に付設した減圧ポンプ８を作動させてＸ線測定装置２の光学系用気密チャンバ６内を真空又はそれに近い減圧状態（以下、これらの状態を単に真空状態と言う）に減圧する。このとき、Ｘ線画像記録読取り装置３内の気密チャンバ３４の内部も開口３６を通して排気されて真空又はそれに近い減圧状態に設定される。
【００６３】
次に、Ｘ線画像記録読取り装置３内の気密チャンバ３４内において、図２に示すように、ドラム２１ａ及び板状検出器１３ａを備えた右側の検出器処理ユニット２０ａ、又はドラム２１ｂ及び板状検出器１３ｂを備えた左側の検出器処理ユニット２０ｂのいずれかから板状検出器１３ａ又は１３ｂを張り出させて、その板状検出器１３ａ又は１３ｂをＸ線露光位置Ｅに置き、その板状検出器１３ａ又は１３ｂを検出器固定配置装置１２によって固定する。以下の説明では、図２に示す通りに右側の板状検出器１３ａがＸ線露光位置Ｅに張り出されたものとする。
【００６４】
その後、図１において、Ｘ線源ＦからＸ線を放射して試料ＳへＸ線を入射する。試料Ｓへ入射するＸ線と試料Ｓ内の結晶との間で所定の回折条件が満足されると、その試料Ｓから２次Ｘ線Ｒ２としての回折線が出る。また、測定の種類によっては、２次Ｘ線Ｒ２として散乱線や蛍光Ｘ線が出る。この２次Ｘ線Ｒ２は図２においてＸ線露光位置Ｅに置かれている板状検出器１３ａのＸ線受光面を露光する。このＸ線露光により、板状検出器１３ａのＸ線が当たった所にエネルギ潜像が形成され保存される。図１の光学系用気密チャンバ６及び気密チャンバ３４の両方のチャンバ内は真空状態になっているので、Ｘ線源Ｆから出てＸ線露光位置Ｅに到達するＸ線は空気散乱によって減衰することが無く、それ故、試料Ｓから出る２次Ｘ線Ｒ２の強度が弱い場合でも、板状検出器１３ａに鮮明なエネルギ潜像を形成できる。
【００６５】
以上のようにして、試料Ｓの内部の結晶構造に対応して発生した２次Ｘ線Ｒ２に対応するエネルギ潜像が板状検出器１３ａの内部に蓄積される。そして、その潜像が以下のようにして読取られる。すなわち、図２において、右側の検出器処理ユニット２０ａ内のドラム２１ａがモータ２２ａによって駆動されて矢印Ａ方向へ回転する。すると、板状検出器１３ａはそのドラム２１ａの回転に従ってドラム２１ａへ巻き取られる。このとき、板状検出器１３ａは押えローラ３２によってドラム２１ａの外周表面に押し付けられるので、板状検出器１３ａはドラム２１ａの外周面に密着する。
【００６６】
ドラム２１ａがほぼ１回転すると、板状検出器１３ａの第２端辺２６ｂがドラム２１ａの外周面に近づき、また、爪部材２８が固定されている軸部材２７の上端に固定された爪側係合片２９が固定係合片３１に近づく。ドラム２１ａの回転がさらに続くと、爪側係合片２９が固定係合片３１に当たってその爪側係合片２９が開き移動を行い、爪部材２８がバネ等といった弾性部材の弾性力に抗してドラム２１ａの外周面から離れて開く。そして、開いた爪部材２８とドラム２１ａの外周面との間に板状検出器１３ａの第２端片２６ｂが入り込む。
【００６７】
さらにドラム２１ａの回転が続くと、爪側係合片２９が固定係合片３１から外れ、爪部材２８はバネ等といった弾性部材の弾性力によってドラム２１ａの外周面上へ戻り移動する。これにより、板状検出器１３ａの第２端片２６ｂがドラム２１ａの外周面に押し付けられ、板状検出器１３ａの全面がドラム２１ａの外周面に密着状態で保持される。図４では、板状検出器１３ａの全面がドラム２１ａの外周面に保持されている状態が示されている。
【００６８】
その後、Ｘ線検出器１３ａのＸ線受光面の内部に蓄積されたエネルギ潜像を読取るための処理が行われる。読取り処理にあたって、図４の走査移動体４４は、当初、板状検出器１３ａの上端に対応する位置であるホームポジションに置かれている。読取り処理が開始されると、ドラム２１ａがモータ２２ａによって駆動されて所定の回転速度で回転する。そして同時に、走査移動体４４がモータ５２及び送りネジ軸４３によって駆動されて所定の速度で矢印Ｚ方向へ平行移動する。
【００６９】
さらに同時に、レーザ光発生装置４６からレーザ光Ｌ１が出射され、そのレーザ光Ｌ１がプリズム４７で反射してレンズ４８へ入射し、さらにそのレーザ光Ｌ１がレンズ４８で屈折した後、ブルーフィルタ４９及び石英ガラス窓３７ａを通過してドラム２１ａ上の板状検出器１３ａへ照射される。本実施形態では、隔壁としての石英ガラス窓３７ａを介して板状検出器１３ａへレーザ光Ｌ１を照射するようにしたので、板状検出器１３ａを真空雰囲気に置いた状態のままでレーザ光Ｌ１をその板状検出器１３ａへ照射できるようになっている。
【００７０】
板状検出器１３ａを照射するレーザ光Ｌ１は、ドラム２１ａの回転に従って板状検出器１３ａを主走査し、さらに、走査移動体４４のＺ方向への平行移動に従って板状検出器１３ａを副走査する。これらの主走査及び副走査により、レーザ光Ｌ１は板状検出器１３ａのＸ線受光面の全面を走査する。この走査が行われている間、板状検出器１３ａのＸ線受光面の内部であってエネルギ潜像を保有している部分にレーザ光Ｌ１が照射されると、図５（ａ）に示すように、エネルギ潜像から光が励起されて２次光Ｌ２となって放出される。
【００７１】
放出された２次光Ｌ２は石英ガラス窓３７ａ及びブルーフィルタ４９を通過し、さらにレンズ４８で屈折してフォトマルチプライヤ５１へ向けられる。フォトマルチプライヤ５１は受光した２次光Ｌ２の量に対応した信号を出力し、この出力信号は図４のＸ線強度演算回路５８へ伝送される。Ｘ線強度演算回路５８は受け取ったその信号に基づいてＸ線強度を演算によって求める。
【００７２】
板状検出器１３ａのＸ線受光面を平面視した場合において２次光Ｌ２を放出した位置は、主走査方向の位置と副走査方向の位置とによって特定できる。そして、このようにして特定されたＸ線受光面内の位置は、図２において試料Ｓで回折等したＸ線の回折角度に対応している。具体的に言えば、Ｘ線光軸Ｘ２と交差する原点が回折角度２θ＝０°の位置であり、原点から離れるに従って回折角度２θが大きくなり、原点を中心とする１つの円上の点は同じ回折角度にあることを表している。原点を中心とする１つの円の上に複数のエネルギ潜像が記録された場合、図４のＸ線強度演算回路５８はそれらの潜像に起因する信号を積算して１つの回折角度２θにおけるＸ線強度として演算する。このようにして試料Ｓから出る２次Ｘ線の回折角度２θとその２次Ｘ線の強度Ｉとが求められ、適宜の記憶媒体内に（２θ，Ｉ）のデータとして記憶される。記憶された測定データは必要に応じて画像表示装置の画面上に画像として表示されたり、プリンタによって用紙上に印刷されたりする。
【００７３】
以上により板状検出器１３ａに対する像の読取り処理が終了すると、板状検出器１３ａのＸ線受光面に残存するエネルギを消去してエネルギ状態を平面内で均一な初期状態に設定する処理が行われる。具体的には、図２において、ドラム２１ａの外周面に板状検出器１３ａを巻き付けたままの状態でドラム２１ａをモータ２２ａによって高速で回転させながら、蛍光灯４２ａを点灯する。蛍光灯４２ａから放出された光は、石英ガラス窓３８ａを通過して、高速で回転する板状検出器１３ａに照射される。これにより、板状検出器１３ａのＸ線受光面内の不要なエネルギが消去されて、板状検出器１３ａが再び使用できる状態に設定される。このＸ線消去処理も気密チャンバ３４の外側から石英ガラス窓３８ａを介して行われるので、板状検出器１３ａは気密チャンバ３４の中で真空雰囲気に置かれたままの状態で行われる。
【００７４】
板状検出器１３ａに対するＸ線消去処理が以上のようにして終了したとき、板状検出器１３ａはその全面がドラム２１ａに巻き付いた状態にある。この状態は、Ｘ線露光位置Ｅの左側に描かれている板状検出器１３ｂと同じ状態である。板状検出器１３ａを再びＸ線露光位置Ｅへ張り出させてＸ線画像の記録に供する場合には、ドラム２１ａをモータ２２ａによって駆動して矢印Ｂ方向へ回転させる。すると、回転の当初に爪側係合片２９が固定係合片３１に当たって開き、板状検出器１３ａの第２端片２６ｂの固定が解除される。
【００７５】
そして、ドラム２１ａの回転がさらに続くと、板状検出器１３ａがドラム２１ａの外周面の接線方向へ繰り出される。このとき、板状検出器１３ａは図３に示すように、検出器固定配置装置１２のクランプ板１６と面板１４との間の空間に入り込んで図２のＸ線露光位置Ｅへ張り出して行く。板状検出器１３ａのＸ線受光面の所定領域がＸ線露光位置Ｅへ張り出すと、ドラム２１ａの回転が停止する。この状態で、板状検出器１３ａが再度のＸ線露光処理を受け得る状態に設定される。
【００７６】
以上の説明から明らかな通り、本実施形態によれば、板状検出器１３ａに対するＸ線露光処理、像の読取り処理、そして像の消去処理という一連の処理を、その板状検出器１３ａを気密チャンバ３４の外部へ持ち出すことなく、すなわち板状検出器１３ａを真空雰囲気の中に置いたままの状態で、繰り返して連続して自動的に行うことができる。
【００７７】
また、以上に説明したのは、専ら、Ｘ線露光位置Ｅの右側に配設されたドラム２１ａ及び板状検出器１３ａに関する動作であるが、Ｘ線露光位置Ｅの左側に配設されたドラム２１ｂ及び板状検出器１３ｂを含む検出器処理ユニット２０ｂも同じ動作を行うことができる。従って、Ｘ線露光位置Ｅの左側に置かれた検出器処理ユニット２０ｂとその右側に置かれた検出器処理ユニット２０ａとの両方を用いてＸ線露光処理、像読取り処理、及び像消去処理の一連の処理を行えば、非常の効率の高い測定を行うことができる。
【００７８】
より具体的に説明すれば、図２において、Ｘ線露光位置Ｅの右側の検出器処理ユニット２０ａから板状検出器１３ａを繰り出してＸ線露光処理を行っている間に、左側の検出器処理ユニット２０ｂ内の板状検出器１３ｂに対して、読取り装置４１ｂを用いた像読取り処理及び蛍光灯４２ｂを用いた像消去処理を行うことが効率的である。また、Ｘ線露光位置Ｅの左側の検出器処理ユニット２０ｂから板状検出器１３ｂを繰り出してＸ線露光処理を行っている間に、右側の検出器処理ユニット２０ａ内の板状検出器１３ａに対して、読取り装置４１ａを用いた像読取り処理及び蛍光灯４２ａを用いた像消去処理を行うことが効率的である。このようにＸ線露光位置Ｅの両側に設けた検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂを交互に使用することも、本実施形態によれば、気密チャンバ３４の中において真空状態を解除することなく、繰り返して連続して行うことができる。
【００７９】
以上のように、本実施形態によれば、板状検出器１３ａ，１３ｂを気密チャンバ３４の中に収納した状態のままで、それらの板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらにそれらの板状検出器１３ａ，１３ｂを気密チャンバ３４から取出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本実施形態によれば、板状検出器１３ａ，１３ｂに対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ３４内の真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取り処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【００８０】
また、本実施形態によれば、ドラム２１ａ，２１ｂから張り出した板状検出器１３ａ，１３ｂをＸ線によって露光する際、その板状検出器１３ａ，１３ｂを検出器固定配置装置１２によってＸ線露光位置Ｅに振動や位置ずれしないようにしっかりと固定できる。そのため、板状検出器１３ａ，１３ｂのＸ線受光面の中に信頼性の高いＸ線画像データを得ることができる。
【００８１】
また、本実施形態では、ドラム２１ａ，２１ｂの外周面に巻き付けられる板状検出器１３ａ，１３ｂを、ドラム２１ａ，２１ｂの軸方向に並べられた複数の押えローラ３２によってドラム２１ａ，２１ｂの外周面へ押し付けるようにしたので、板状検出器１３ａ，１３ｂをドラム２１ａ，２１ｂの外周面に密着させることができ、また、読取り装置４１ａ，４１ｂを用いた像の読取り処理の最中に板状検出器１３ａ，１３ｂがドラム２１ａ，２１ｂから剥がれたり、位置ずれしたりすることを防止できる。それらの結果、（２θ，Ｉ）の測定データを正確に測定できる。
【００８２】
（先読み及び後読みの解消）
本実施形態では、図５（ａ）及び図５（ｂ）において、（１）石英ガラス窓３７ａ，３７ｂとレンズ４８との間にブルーフィルタ４９を設けた。また、（２）レンズ４８へ入射するレーザ光Ｌ１の入射点Ａをレンズ４８の中心光軸Ｘ１からずれた位置に設定した。また、（３）レーザ光発生装置４６におけるレーザ光Ｌ１の出射口の近傍に開口部材５６を設けた。また、（４）ブルーフィルタ４９へのレーザ光Ｌ１の入射点の近傍に開口部材５４を設けた。以上の（１）〜（４）の構成は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示した読取り系においてそれらの構成を用いない場合に発生すると考えられる、いわゆる先読み現象及び後読み現象を解消するために採用した構成である。以下、先読み現象、後読み現象、及びそれらの現象と上記の（１）〜（４）の構成との関係について説明する。
【００８３】
今、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す読取り系であって、（Ａ）ブルーフィルタ４９を取り除き、（Ｂ）レンズ４８へ入射するレーザ光の入射点Ａをレンズ４８の中心光軸Ｘ１に一致させ、（Ｃ）レーザ光発生装置４６におけるレーザ光Ｌ１の出射口の近傍から開口部材５６を取り除き、（Ｄ）ブルーフィルタ４９へのレーザ光Ｌ１の入射点の近傍から開口部材５４を取り除いた構成の読取り系を考える。この読取り系は、例えば、図６に示す構成である。
【００８４】
そして、図６に示すこの読取り系を用いて、図７に示す板状検出器１３ａ，１３ｂに形成された真像６１を読取るものとする。図７において矢印で示す主走査方向は、板状検出器１３ａ，１３ｂの回転に対してレーザ光が板状検出器１３ａ，１３ｂの横方向へ相対的に移動する方向を示している。また、矢印で示す副走査方向は、図４の走査移動体４４がＺ方向へ平行移動する際にレーザ光が板状検出器１３ａ，１３ｂの縦方向へ相対的に移動する方向を示している。
【００８５】
図６に示す読取り系は、本来であれば、図７の真像６１だけを読取るべきものであるが、実際には、符号６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄで示す位置に像があるものと読取ってしまう。像６２Ａ及び像６２Ｃは真像６１の影のように現れた。つまり、真像６１よりも薄い像として現れた。また、像６２Ｂは斑点状に現れた。また、像６２Ｄは真像６１の上を覆う帽子状に現れた。
【００８６】
像６２Ａは、図６において、レーザ光Ｌ１が板状検出器１３ａ，１３ｂとレンズ４８との間で反射することに起因して先読み現象が生じたことが原因となって生じたものと考えられる。また、像６２Ｂ及び像６２Ｃは、図６において、レンズ４８からの反射が、さらに石英ガラス窓３７ａ，３７ｂで反射したことに起因して先読み現象及び後読み現象が生じたことが原因となって生じたものと考えられる。
【００８７】
ここで、先読み及び後読みについて図８を用いて説明する。図８において、レーザ光Ｌ３がレンズ４８を通過して板状検出器１３ａ，１３ｂを照射する際、そのレーザ光Ｌ３は板状検出器１３ａ，１３ｂで反射する。反射するレーザ光は読取り点Ｂの先方に進むものＬ３０もあるし、読取り点Ｂの後方に進むものＬ３１もある。先方に反射したレーザ光Ｌ３０が図７の真像６１を読取ってしまうのが先読み現象であり、後方へ反射したレーザ光が真像６１を読取ってしまうのが後読み現象である。
【００８８】
図７の像６２Ｄは、図８で示したレンズ４８からのレーザ光の反射ではなく、図６の石英ガラス窓３７ａ，３７ｂでの反射に起因して生じたものであると思われる。この場合、レーザ光は読取り前の強度の方が読取り後の強度よりも強いので、先読み現象による影響の方が強いと思われる。また、レーザ光の裾の広がりや、読取り点Ｂでの検出器１３ａ，１３ｂのニジミによって像がボケて読み出されることも原因になると思われる。
【００８９】
以上のような不要な読取り像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄに関し、図５（ａ）に示すように、レーザ光通過領域５３を備えたブルーフィルタ４９を石英ガラス窓７ａ，３７ｂとレンズ４８との間に配置すると、それらの不要な像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄを読取ってしまうことを実用上差し支えのない程度まで抑制できた。これは、レンズ４８、石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ、及び板状検出器１３ａ，１３ｂとの間で発生していたレーザ光Ｌ１の反射をブルーフィルタ４９によって抑制できたからであると考えられる。
【００９０】
また、図５（ｂ）に示すように、レンズ４８へのレーザ光の入射点Ａをレンズ光軸Ｘ１に対して主走査方向の下流側に設定することと、その入射点Ａをレンズ光軸Ｘ１に対して副走査方向の下流側に設定することの、いずれか一方又は両方を行ったところ、不要な像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄを読取ってしまうことをより一層抑制できた。これは次の理由によるものと考えられる。
【００９１】
すなわち、レンズ４８の光軸Ｘ１以外の点に入射したレーザ光は、一般に、レンズ４８の下流側において光軸Ｘ１へ向けて屈折する。従って、レンズ４８へのレーザ光の入射点Ａを光軸Ｘ１よりも走査方向の下流側へずらせば、レーザ光はレンズ４８で屈折して走査方向の上流側（すなわち、走査方向の後方）へ屈折する。つまり、レーザ光はレンズ４８の後方へ向かって進むことになる。このようにしてレーザ光がレンズ４８の後方へ向かって進むように規制すれば、先読み現象の発生を抑制できる。図７に示した不要な読取り像６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄは、後読み現象よりも先読み現象に起因して発生する割合の方が大きいので、上記のように先読み現象の発生を抑制したことにより、それらの不要な像の発生を効果的に抑制できたものと思われる。
【００９２】
なお、図５（ｂ）において、レーザ光のレンズ４８への入射点Ａを走査方向の下流側へずらして設定することは、主走査方向又は副走査方向のいずれか一方であっても良いし、あるいはそれらの両方であっても良い。但し、レーザ光照射点Ａを主走査方向又は副走査方向のいずれか一方だけへずらす場合よりも、それを両方向へずらす場合の方が、不要な像の読取りを抑制することに関してより一層効果的であった。
【００９３】
レーザ光のレンズ４８への入射点Ａを主走査方向及び副走査方向の両方に関してレンズ光軸からずらすことは、レーザ光のレンズ４８への入射点Ａを、図５（ｂ）に示すように、主走査方向軸線又は副走査方向軸線に対して４５°の角度だけずらすことによって実現できる。この場合には、入射点Ａはレンズ光軸に対して主走査方向及び副走査方向へ等距離だけずれることになる。
【００９４】
また、レーザ光のレンズ４８への入射点Ａをレンズ光軸からずらすことに関して、主走査方向軸線又は副走査方向軸線に対して４５°の角度だけずらすことに替えて、図９に示すように、主走査方向軸線に対する角度θ０を大きくとり、副走査方向軸線に対する角度θ１を小さくとるようにしても良い。一般に、先読み現象及び後読み現象は主走査方向に関してよりも副走査方向に関して大きく影響を及ぼすので、副走査方向に関するレーザ光入射点のレンズ光軸からの距離的なずれ量を大きくとった方が不要な像の読取りをより効果的に押えることができるからである。図９では、副走査方向に関する距離的なずれ量を大きくとるために、主走査方向軸線に対する角度θ０を６０°とし、副走査方向軸線に対する角度θ１を３０°としている。
【００９５】
また、図５（ａ）に示すように、ブルーフィルタ４９のレーザ光通過領域５３の前方位置に開口部材５４を設けるか、又はレーザ光発生装置４６のレーザ出射口の前方に開口部材５６を設けるか、又は開口部材５４と開口部材５６の両方を設けたことにより、不要な像の読取りを抑制することができた。これは、開口要素５４，５６を設けることにより、板状検出器１３ａ，１３４ｂのＸ線受光面を照射するレーザ光Ｌ１のスポットの周囲部分がボケることを防止できたからであると思われる。また、レーザ光が読取り光学系の内部で不要な方向へ進んで不要な読取りを行うことを防止できたためとも考えられる。
【００９６】
また、本実施形態では、図２の石英ガラス窓３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂを形成する石英ガラスの表面や、図５（ａ）のレンズ４８の表面に、光の反射を抑制するためのコーティング処理を施した。これにより、読取り時に不要な像を読取ってしまうことを抑制できた。これは、レーザ光が石英ガラス窓やレンズで反射することが防止できたからであると思われる。
【００９７】
（第２実施形態）
図１０及び図１１は本発明に係るＸ線分析装置及びＸ線画像記録読取り装置の他の実施形態を示している。先に説明した実施形態は、図１及び図２に示したように、Ｘ線露光位置Ｅの両側に検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂを設けた。これに対し、図１０及び図１１に示す本実施形態では、Ｘ線露光位置Ｅの片側だけに１つの検出器処理ユニット２０ａを設けている。特に、図１０及び図１１では、Ｘ線露光位置Ｅの右側に検出器処理ユニット２０ａを設けている。なお、検出器処理ユニット２０ａは、Ｘ線露光位置Ｅの右側に限らず、左側、上側、又は下側のいずれか１つに設けることもできる。
【００９８】
本実施形態においても、図２に示した先の実施形態の場合と同様に、板状検出器１３ａを気密チャンバ３４の中に収納した状態のままで、その板状検出器１３ａのＸ線受光面をＸ線で露光でき、さらに板状検出器１３ａを気密チャンバ３４から取り出すことなく、連続して像の読取り処理を行うことができる。すなわち、本実施形態においても、板状検出器１３ａに対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を気密チャンバ３４内の雰囲気状態、例えば真空雰囲気内で行うことができる。これにより、真空雰囲気下でのＸ線露光から像読取りに至る処理を短時間で、且つ必要に応じて複数回連続して行うことが可能となる。
【００９９】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【０１００】
例えば、図２に示した実施形態では、ドラム２１ａ及び板状検出器１３ａを含む検出器処理ユニット２０ａと、ドラム２１ｂ及び板状検出器１３ｂを含む検出器処理ユニット２０ｂとの一対のユニットをＸ線露光位置Ｅの左右の両側に設けたが、この構成に代えて、検出器処理ユニット２０ａ，２０ｂをＸ線露光位置Ｅの上下の両側に設けても良い。
【０１０１】
また、図２の実施形態では、蛍光灯４２ａ，４２ｂを気密チャンバ３４の外側に設けたが、これらは、気密チャンバ３４の内側に設けても良い。
【０１０２】
また、ドラム２１ａ，２１ｂから張り出した板状検出器１３ａ，１３ｂが自然な状態でＸ線露光位置Ｅに安定状態で静止できるのであれば、検出器固定配置装置１２は必ずしも設ける必要はない。また、図３の面板１４だけを設ける構成とすることもできる。また、ドラム２１ａ，２１ｂからＸ線露光位置Ｅに至るまでの間に板状検出器１３ａ，１３ｂを案内するためのガイド板を設けても良い。
【０１０３】
また、図１に示した実施形態では、フィラメントとターゲットとによって構成されるＸ線源Ｆから放射されるＸ線を用いて測定を行うものとしたが、Ｘ線に替えて放射光を用いるＸ線測定の場合にも本発明を適用できる。放射光は、一般に、強度が弱いので、全ての処理を真空雰囲気内で行うことができる本発明のＸ線分析装置を、放射光を用いる場合に適用すれば非常に有効である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明に係るＸ線分析装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線分析装置の主要部であるＸ線画像記録読取り装置の内部構成を示す斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に従ってＸ線露光位置の断面構造を示す断面図である。
【図４】図２に示すＸ線画像記録読取り装置の主要部である読取り装置の構成を示す断面図である。
【図５】（ａ）は図４に示す読取り装置の主要部を拡大して示す図であり、（ｂ）は（ａ）の矢印Ｄに従ったレンズの正面図である。
【図６】比較のために図５の構成から主要な光学要素を取り除いた状態の読取り系を示す図である。
【図７】読取り不良を具体的に示す図である。
【図８】図７の読取り不良の原因の１つである先読み現象及び後読み現象を説明するための図である。
【図９】本発明に係るＸ線画像記録読取り装置の他の実施形態の要部を示す図である。
【図１０】本発明に係るＸ線分析装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図１１】図１０に示すＸ線分析装置の主要部であるＸ線画像記録読取り装置の内部構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１．Ｘ線分析装置、 ２．Ｘ線測定装置、 ３．Ｘ線画像記録読取り装置、
４．Ｘ線光学系、 ６．光学系用気密チャンバ、 ７．試料ホルダ、
１１．筐体ケース、 １２．検出器固定配置装置、
１３ａ，１３ｂ．板状検出器（２次元Ｘ線検出手段）、 １４．面板、
１６．クランプ板、 １７．スペース部材、 １８．可動板、
１９．ロータリーソレノイド、 ２１．ドラム（検出手段支持手段）、
２０ａ，２０ｂ．検出器処理ユニット（検出手段処理手段）、
２２ａ，２２ｂ．モータ（支持手段回転手段）、 ２４ａ，２４ｂ．軸、
２６ａ．第１端辺、 ２６ｂ．第２端辺、 ２７．軸部材、
２８．爪部材（端辺固定手段）、 ２９．爪側係合片、 ３１．固定係合片、
３２．押えローラ（検出手段押付け手段）、 ３３．ローラ軸、 ３４．気密チャンバ、
３６．開口、 ３７ａ，３７ｂ．石英ガラス窓（第１光透過部）、
３８ａ，３８ｂ．石英ガラス窓（第２光透過部）、 ４１ａ，４１ｂ．読取り装置、
４２ａ，４２ｂ．蛍光灯（消去用光照射手段）、 ４３．送りネジ軸、
４４．走査移動体、 ４６．レーザ光発生装置（１次光発生手段）、 ４７．プリズム、
４８．レンズ、 ９．ブルーフィルタ、
５１．フォトマルチプライヤ（光電変換手段）、 ５２．モータ、
５３．レーサ光通過領域、 ５４．開口部材、 ５６．開口部材、
５７．カップリング装置、 ６１．真像、
６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄ．読取り不良の像、 Ａ．レーザ光の入射点、
Ｂ．読取り点、 Ｅ．Ｘ線露光位置、 Ｆ．Ｘ線源、 Ｌ１．レーザ光（１次光）、
Ｌ２．２次光、 Ｌ３，Ｌ３０，Ｌ３１．レーザ光、 Ｑ．開口、 Ｒ１．１次Ｘ線、
Ｒ２，２次Ｘ線、 Ｓ．試料、 Ｗ０．２次元Ｘ線検出器の幅、
Ｘ０．ドラム中心軸線、 Ｘ１．レンズ光軸、 Ｘ２．Ｘ線光軸
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置であって、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、
（ａ）前記検出手段処理手段は、
（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、
（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、
（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、
（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、
（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、
（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、
（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、
（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲する
ことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項２】
請求項１記載のＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は、
前記検出手段支持手段に対向する位置であって前記第１光透過部と異なる位置の前記気密チャンバに設けられた第２光透過部と、
前記気密チャンバの外側であって前記第２光透過部に対向して設けられた消去用光照射手段と、
を有することを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のＸ線画像記録読取り装置において、
前記検出手段支持手段から張り出した前記２次元Ｘ線検出手段を前記Ｘ線露光位置に固定配置させる検出手段固定配置手段を有し、
前記気密チャンバは前記検出手段固定配置手段を気密に包囲する
ことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項４】
請求項３記載のＸ線画像記録読取り装置において、
前記検出手段固定配置手段は、
前記Ｘ線露光位置に配置された面板と、
Ｘ線進行方向に関して前記面板よりも上流側に配置されていてＸ線を通過させるための開口を備えたクランプ板と、
該クランプ板を前記面板へ向けて平行移動させるクランプ移動手段と
を有することを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つに記載のＸ線画像記録読取り装置において、
前記検出手段支持手段に巻き付く前記２次元Ｘ線検出手段を前記検出手段支持手段へ押し付ける検出手段押付け手段を有する
ことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１つに記載のＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は前記Ｘ線露光位置の両側のそれぞれに配置されることを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項７】
請求項６記載のＸ線画像記録読取り装置において、前記Ｘ線露光位置の両側のそれぞれに配置された検出手段処理手段は、前記２次元Ｘ線検出手段を前記Ｘ線露光位置へ交互に張り出すことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項８】
試料にＸ線を照射して該試料から２次Ｘ線を発生させるＸ線光学系と、
該Ｘ線光学系を気密に包囲する光学系用気密チャンバと、
該光学系用気密チャンバの内部の空気を吸引して該内部を減圧する減圧手段と、
Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面を前記Ｘ線光学系からの前記２次Ｘ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置と、
を有するＸ線分析装置であって、
（Ａ）前記Ｘ線画像記録読取り装置は、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、
（ａ）前記検出手段処理手段は、
（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、
（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、
（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、
（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、
（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、
（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、
（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、
（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲し、
（ｃ）前記気密チャンバは前記光学系用気密チャンバと気密に連結される
ことを特徴とするＸ線分析装置。
【請求項１】
Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面をＸ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置であって、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、
（ａ）前記検出手段処理手段は、
（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、
（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、
（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、
（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、
（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、
（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、
（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、
（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲する
ことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項２】
請求項１記載のＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は、
前記検出手段支持手段に対向する位置であって前記第１光透過部と異なる位置の前記気密チャンバに設けられた第２光透過部と、
前記気密チャンバの外側であって前記第２光透過部に対向して設けられた消去用光照射手段と、
を有することを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のＸ線画像記録読取り装置において、
前記検出手段支持手段から張り出した前記２次元Ｘ線検出手段を前記Ｘ線露光位置に固定配置させる検出手段固定配置手段を有し、
前記気密チャンバは前記検出手段固定配置手段を気密に包囲する
ことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項４】
請求項３記載のＸ線画像記録読取り装置において、
前記検出手段固定配置手段は、
前記Ｘ線露光位置に配置された面板と、
Ｘ線進行方向に関して前記面板よりも上流側に配置されていてＸ線を通過させるための開口を備えたクランプ板と、
該クランプ板を前記面板へ向けて平行移動させるクランプ移動手段と
を有することを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つに記載のＸ線画像記録読取り装置において、
前記検出手段支持手段に巻き付く前記２次元Ｘ線検出手段を前記検出手段支持手段へ押し付ける検出手段押付け手段を有する
ことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１つに記載のＸ線画像記録読取り装置において、前記検出手段処理手段は前記Ｘ線露光位置の両側のそれぞれに配置されることを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項７】
請求項６記載のＸ線画像記録読取り装置において、前記Ｘ線露光位置の両側のそれぞれに配置された検出手段処理手段は、前記２次元Ｘ線検出手段を前記Ｘ線露光位置へ交互に張り出すことを特徴とするＸ線画像記録読取り装置。
【請求項８】
試料にＸ線を照射して該試料から２次Ｘ線を発生させるＸ線光学系と、
該Ｘ線光学系を気密に包囲する光学系用気密チャンバと、
該光学系用気密チャンバの内部の空気を吸引して該内部を減圧する減圧手段と、
Ｘ線露光位置に置かれた２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面を前記Ｘ線光学系からの前記２次Ｘ線で露光して像を記録し、さらにその像を光によって読取るＸ線画像記録読取り装置と、
を有するＸ線分析装置であって、
（Ａ）前記Ｘ線画像記録読取り装置は、検出手段処理手段と、気密チャンバとを有し、
（ａ）前記検出手段処理手段は、
（ア）円筒形状の外周面を有すると共に前記２次元Ｘ線検出手段の第１端辺が前記外周面に固定される検出手段支持手段と、
（イ）該検出手段支持手段を前記円筒形状の中心軸線を中心として回転させる支持手段回転手段と、
（ウ）前記検出手段支持手段と一体になって回転すると共に前記検出手段支持手段に巻き付いた状態の前記２次元Ｘ線検出手段について前記第１端辺に対向する第２端辺を固定する端辺固定手段と、
（エ）前記気密チャンバに設けられた第１光透過部と、
（オ）前記気密チャンバの外側であって前記第１光透過部に対向して設けられた読取り手段とを有し、
（ｉ）前記支持手段回転手段は、前記２次元Ｘ線検出手段の全面が前記検出手段支持手段に巻き付く第１角度位置と、前記２次元Ｘ線検出手段の前記第２端辺が前記検出手段支持手段から離れて張り出して前記２次元Ｘ線検出手段のＸ線受光面の所定領域を前記Ｘ線露光位置に配置させる第２角度位置との間で、前記検出手段支持手段を回転させ、
（ｉｉ）前記第１光透過部は前記検出手段支持手段に対向する位置の前記気密チャンバに設けられ、
（ｂ）前記気密チャンバは、前記２次元Ｘ線検出手段、前記検出手段支持手段、及び前記端辺固定手段を包囲し、
（ｃ）前記気密チャンバは前記光学系用気密チャンバと気密に連結される
ことを特徴とするＸ線分析装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００７−１７９４２（Ｐ２００７−１７９４２Ａ）
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−７０３４３（Ｐ２００６−７０３４３）
【出願日】平成１８年３月１５日（２００６．３．１５）
【出願人】（０００２５０３３９）株式会社リガク (206)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年３月１５日（２００６．３．１５）
【出願人】（０００２５０３３９）株式会社リガク (206)
【Ｆターム（参考）】
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