【課題】従来必要であった各工程に合わせたデータ変換を不要とし、また保有データを一括管理して、各工程に利用することが有効なデータを保有データから容易に選択することができ、また、形成パターンの形状に時間変動があった場合にも、時系列データをもとに撮像レシピの修正を行い、安定な計測が可能な撮像レシピを生成することができる半導体製造技術を提供する。
【解決手段】測長ＳＥＭを用いた半導体パターンの形状評価装置において、データベース３０１に記憶された多種データを一括管理するために、多種データ間の座標系を対応付けし、多種データの一部あるいは全てを任意に選択し、選択されたデータを利用して測長ＳＥＭにおいて半導体パターンを観察するための撮像レシピを生成する。また、前記多種データを時系列で管理し、パターン形状の変動があった場合に撮像レシピを修正する。 （もっと読む）

【課題】再検査と通常検査を並行して行いながら、かつ、確実に異物の混入した商品を排除し得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数個の内容物ｑを包材で包装した商品Ｍを搬送しながら、商品ＭにＸ線Ｌを照射して商品Ｍの検査を行う通常検査部２と、前記通常検査部２と並行に設けられ、前記通常検査にて不良と判断された商品Ｍの内容物ｑを再検査する再検査部３とを備えたＸ線検査装置であって、前記再検査部３は前記通常検査部２よりも合否の基準となる閾値が小さな値に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノチューブ中の不純物を定量分析する方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）熱重量分析によって、チューブ間積層黒鉛とカーボンナノチューブの総量及び巨大結晶体黒鉛と触媒表面積層黒鉛の総量を定量する工程、（ｂ）透過型電子顕微鏡の格子像から、チューブ間積層黒鉛とカーボンナノチューブの量比を求め、これに補正係数をかけることによってそれらの実際の炭素数比を算出する工程、（ｃ）Ｘ線回折によって巨大結晶体黒鉛と触媒表面積層黒鉛の含有量比を求める工程、（ｄ）工程（ａ）〜（ｃ）よりチューブ間積層黒鉛、巨大結晶体黒鉛及び触媒表面積層黒鉛の含有量を決定する工程、並びに（ｅ）カーボンナノチューブ試料中の触媒量を定量分析する工程を含むことを特徴とする、方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 水質の評価において、被測定水中に含まれる含有物が通水量や時間に対して、評価基板への付着依存性があっても、付着成分や量を正確に評価できる評価方法を提供することを目的としたものである。
【解決手段】 複数の評価基板に被測定水をそれぞれ所定の量、所定の時間接触させて、上記評価基板に付着した付着物を分析することにより、上記被測定水中の含有物の評価基板への付着依存性があっても、精度よく被測定水の水質を評価できるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを用いたウェハ上パターンを検査する技術において、高分解能で、か
つ検査速度の高速化を実現する欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハに電子線を照射し、ウェハの極近傍で反射した電子を検出する
。反射電子により得られる電位コントラスト像のうち、回路パターンのサイズや繰り返し
周期より長い周期で変化する成分のみを、レンズ８、１２、１３により結像し、画像信号
をあらかじめ設定した値と比較することにより、欠陥の有無および位置を計測する。
【効果】微細なパターン像の比較により欠陥を検出するのではなく、表面電位歪みの回路
パターンのサイズや繰り返し周期より長い周期で変化する成分のみを、パターンそのもの
の観察に必要な解像度に比べて低い解像度で観察するため、従来のＳＥＭ式検査に比べ検
査のスループットを飛躍的に高速化することができる。 （もっと読む）

【課題】 基準片を用意してそれを撮影することなく、正確に撮影倍率を求めることのできるＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】 任意の第１の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_A の寸法情報ａと、第１の状態から試料ステージ３をＸ線光軸方向に既知量ΔＺ１だけ移動させた第２の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_B の寸法情報ｂと、ΔＺ１とからＳＯＤを算出するとともに、第１の状態からＸ線検出器２をＸ線光軸方向に既知量ΔＺ２だけ移動させた第３の状態で取り込んだ試料ＷのＸ線透視像Ｗ_C の寸法情報ｃと上記第１の状態でのＸ線透視像Ｗ_A の寸法情報ａ並びにΔＺ２からＳＩＤを算出し、これらを用いて第１の状態における撮影倍率を求めることにより、基準片の撮影を行うことなく正確な撮影倍率の算出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】双晶の実空間単位格子，逆格子空間基本格子及び逆格子点群を立体的に表示することにより，双晶成分間の３次元的な相互関係を容易に理解できるようにして，双晶試料のＸ線構造解析の成功率を高める。
【解決手段】単結晶Ｘ線構造解析装置４２を用いて，複数の双晶成分の各結晶方位行列を得る。第１演算手段３４は，結晶方位行列に基づいて，複数の双晶成分の実空間単位格子を求めて，それを回転，拡大・縮小，平行移動の各操作が可能なように立体的に表示するための表示データを作成する。第２演算手段３６は，結晶方位行列に基づいて，複数の双晶成分の逆格子空間基本格子を求めて，それを同様に立体的に表示するための表示データを作成する。第３演算手段３８は，結晶方位行列に基づいて，Ｘ線回折が生じる逆格子点群を，双晶成分ごとに区別して，それを同様に立体的に表示するための表示データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 試料から微小サンプルを切り出す作業を迅速に且つ正確に行うことができ、また、微小サンプルを試料台に配置させる作業を迅速に且つ正確に行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 プローブに負の電圧を印加し、試料の輝度を計測する。プローブによって試料から微小サンプルを切り出す場合には、輝度が減少したときに、プローブが試料に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブが試料に接触したと判定する。プローブに接続された微小サンプルを試料台に配置する場合には、輝度が減少したときに、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接触したと判定する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク厚さに対する直線性の良好な等価厚画像濃度データが得られる濃度データ変換方法および装置を実現し、体積や質量等の測定精度が高いＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷのＸ線透過量に対応するＸ線画像濃度データＰからワークＷの厚さに対応する等価厚画像濃度データＱ（Ｐ）への変換処理を施す方法であって、Ｘ線画像における背景の濃度値Ｐ_０と、Ｘ線画像における前景の代表濃度Ｐ_１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとをそれぞれ設定し、変換処理を、次式〔１〕により実行し、
Ｑ（Ｐ）＝［｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ）｝／｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ_１）｝］^γ・Ｑmax ・・・〔１〕
等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）の直線性を確保するよう式〔１〕中の補正指数値γを調整する。 （もっと読む）

【課題】 基板上に組込まれた状態の電解コンデンサについて、その劣化状態を容易に判定できる劣化診断装置および劣化診断方法を提供する。
【解決手段】 透過画像取得部８は、基板２０に対して一方からＸ線を照射し、基板２０を介して対向する他方において、透過したＸ線に応じた透過画像を取得する。画像処理部２は、ＣＣＤ部１６から電気信号を受けて、基板２０の透過画像を生成し、透過画像の中から画像の濃淡の程度に応じてＸ線が透過した領域（透過領域）と透過しなかった領域（不透過領域）とに２値化する。演算部４は、２値化された透過画像に基づいて、診断対象の電解コンデンサにおいて電解液が存在する領域を設定し、その設定した領域に含まれる不透過領域の面積、すなわち電解液の残存量を算出する。そして、演算部４は、電解液の残存量が所定の基準値以上であるか否かに応じて、劣化状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることが抑えられるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置１０であって、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、制御コンピュータ２０とを備える。Ｘ線照射器１３は、Ｘ線を照射する。Ｘ線ラインセンサ１４は、Ｘ線照射器１３からのＸ線を検知する。制御コンピュータ２０は、Ｘ線ラインセンサ１４の検出レベルに基づきＸ線ラインセンサ１４の使用が不可であると判断した場合に、Ｘ線ラインセンサ１４の使用が不可である旨を報知する。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、観測されるスペクトルにエネルギーシフトが発生しているため速い掃引はできなかったという点である。
【解決手段】１次ビーム源と、前記１次ビーム源より照射された１次ビームにより試料から発生した２次ビームを分光するための静電型エネルギーアナライザと、掃引信号を発生する掃引信号発生手段と、前記掃引信号に基づいて前記静電型エネルギーアナライザに掃引電圧を印加する掃引電圧発生手段と、を備えた表面分析装置において、前記掃引電圧のエネルギーシフト成分を打ち消すように、前記掃引信号に補正信号を加算することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）

【課題】 高解像度の格子歪み評価方法及びその評価装置を提供する。
【解決手段】 結晶材料に電子線を照射し，その透過波強度と回折波強度とのコントラストから前記結晶材料の格子歪みを評価する結晶材料の格子歪み評価方法において，（１）前記結晶材料の複数の結晶面に対して，格子歪みのない領域の基準コントラストに対する格子歪みのある領域のコントラストの比が極大値になる電子線入射方位を，前記結晶材料の表面に垂直な方向の軸から所定の角度範囲内で求める第１の工程と，（２）前記求めた複数の結晶面に対する前記コントラストの比から，最適な結晶面と，前記電子線入射方位とを選択する第２の工程と，（３）前記選択した結晶面と電子線入射方位に前記電子線照射を設定し，前記結晶材料に当該電子線を照射して得られた透過波像または回折波像の強度に応じて，前記格子歪みの程度を評価する第３の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ電子源のエミッション変動や、エミッション特性の個体差による試料表面の帯電不均一を解消する。帯電制御の処理中に試料表面の帯電をリアルタイムで計測する。
【解決手段】電子照射密度の不均一に起因した帯電不均一を解消する手段として、照射する電子と試料とを相対的に移動させ、電子照射密度の平均化を行う。また、試料表面の帯電をリアルタイムでモニタする手段として、試料に流れ込む吸収電流や試料より放出される２次電子及び反射電子の数を計測する。 （もっと読む）

【課題】成形、塗装後の圧延方向に沿った線状の模様（ルーパーライン）を防止し、成形後外観に優れるアルミニウム板材を得る。
【解決手段】飲料用ＤＩ缶成形後の缶側面を、圧延方向に対して垂直な直線上にて、炭素の面分析を行ったとき、Ｃのカウント数が全５０カ所の平均の１．５倍以上の面積が、５％以上である部分が、１０カ所以下とする。 また、板表面近傍断面において、平均結晶粒径が表面からの距離が１０μｍを超えて２０μｍ以下部分にある結晶の平均粒径の１／５以下である部分（異常部）の厚さを１０μｍ以下とする。 異常部の線密度や表面粗度を一定の範囲におさめるとより好ましい。 （もっと読む）

【課題】 欠陥ピクセルのデータを正しく抽出し、正常なピクセルを欠陥ピクセルとして誤って検出する誤検を防ぐ。
【解決手段】 ＴＦＴアレイ検査装置１は、二次元の測定データから欠陥データを抽出するＴＦＴアレイ検査装置であり、二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索手段６と、探索結果を記憶する記憶手段７と、探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け手段８とを備えた構成とする。割り付け手段８は、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築して割り付けデータを構成し、割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出する。 （もっと読む）

【解決課題】 充填剤とゴムとが吸着している高密度のポリマー層の形態を可視化する。
【解決手段】 コンピュータ１２は、ゴム材料の複数のスライス画像データをケーブル２０を介して外部Ｉ／Ｏ制御部６０から取得し、キーボード１５によってスライス画像における画像濃度のしきい値ｈが調整され、ＣＰＵ４０において、３次元モデル生成処理が実行されると、スライス画像の各画素の濃度値としいき値ｈとに基づいて各スライス画像を２値化画像に変換し、変換した複数の２値化画像を各スライス画像のスライス位置の順序でかつ所定間隔で積層し、各２値化画像間で同一値の画素の領域を統合した３次元モデルを生成し、ディスプレイ１４において、生成した前記３次元モデルの高密度のポリマー層領域と高密度のポリマー層以外の領域との濃度値を異なるものとした画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線吸収量が被検査物の部位により異なったり被検査物毎にそれが変化しても動的に対処可能なＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗを搬送しながらこれにＸ線を照射し、そのＸ線透過量に基づいて異物の有無を判定するＸ線異物検出装置において、Ｘ線透過量の濃度データに応じて設定される複数の切り出し領域について、それぞれの領域に適した変換特性で前記Ｘ線透過量の濃度データを前記被検査物のＸ線吸収量に対応する変換濃度データに濃度変換するデータ変換部２３Ａ〜２３Ｃと、これらで変換した複数の切り出し領域についての変換濃度データに基づいて異物の有無を判定する異物有無判定部３０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】エネルギー分散型Ｘ線分析装置において検出器で検出されたＸ線に対し、高いエネルギー分解能を保ちつつ計数効率を上げることで感度や精度を向上させる。
【解決手段】入力データが閾値を越えるとＲＳフリップフロップはセットされ、入力データの正ピークＰ２の最大値データを検出・保持した後、その最大値データと入力データとの差分が設定値を越えたならば（時刻ｔ４）ＲＳフリップフロップはリセットされる。次に、負ピークｐ２を過ぎた後、その最小値データと入力データとの差分が設定値を越えたならば（時刻ｔ５）ＲＳフリップフロップは再びセットされる。したがって、ＲＳフリップフロップの正転出力が「１」である期間中の最大値データをラッチすることで、隣接する２つのピークの間の谷が閾値以上であっても、２つのピークの最大値データを適切に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、平面的に並べられた複数の検査対象品を上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に移動させ、上記検査対象品の位置の変更を行いながら、上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸に対して傾斜した検出面を持つ検出器であって、上記立体角に含まれる複数の位置に配設された複数の検出器でＸ線画像を取得し、取得した複数のＸ線画像から、異なる検出器で取得したＸ線画像であって同一の検査対象品を含む複数のＸ線画像を抽出し、これらのＸ線画像に基づいて当該検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）