【課題】複数の金属酸化物からなる不均一なマトリックスに対して微量の対象金属が担持されてなる対象試料中の、対象金属の濃度分布をEPMAによって精度高く検出する。
【解決手段】マトリックス中の金属の組成割合とバックグラウンド強度との関係式を予め求めておき、測定点のマトリックス組成を関係式に代入して演算されたバックグラウンドを対象金属の特定Ｘ線強度から減算する。
測定点毎にバックグラウンドが演算できるので、測定精度が格段に向上する。 （もっと読む）

【課題】固液界面の注目対象である特定元素(イオン)の構造もしくはその周辺の局所構造を容易に解析することができる評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】注目対象が含有される液体試料Sに対して、注目対象（Ｘ線の吸収原子）とは異なる材料からなる電極4を接触させる。この電極界面の液体試料SにＸ線エネルギーを変えながらＸ線を照射し、電極4近傍の注目対象にＸ線を吸収させて注目対象から電子を放出させ、その電子の放出に伴って電極4に生じる電気量を測定する。このＸ線エネルギーと電気量との関係から電極界面における注目対象またはその周囲の構造情報を解析する。 （もっと読む）

【課題】小角Ｘ線散乱曲線の始点から終点までの散乱角度についての積分値であるＸ線散乱積分強度と、被測定物の比表面積とがほぼ比例関係にあることに基づき、被測定物のＸ線散乱積分強度から比表面積を測定する比表面積測定装置において、散乱角度が０．１°未満の領域における超小角Ｘ線散乱曲線を容易に計測でき、被測定物の比表面積を０．２ｍ²／ｇから３０ｍ²／ｇの範囲においても高精度で測定することができるようにする。
【解決手段】第一分光結晶２ａと第二分光結晶２ｂとの間隔が１００ｍｍ以上である二結晶型分光器２と、二結晶型分光器２で分光されたＸ線から目的とする入射Ｘ線を取り出すためのスリット３と、被測定試料４にて散乱したＸ線を再度単色化し、しかも散乱Ｘ線の方向を入射Ｘ線の方向からずらす分光結晶５と、散乱Ｘ線の散乱角度を測定する散乱角度測定器１４と、前記分光結晶５を経た散乱Ｘ線の散乱強度を測定するＸ線検出器６とを備えた小角Ｘ線散乱装置Ａを用いて小角Ｘ線散乱曲線を測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線又は中性子線の反射率曲線の測定時間を大幅に短縮することができ、外的刺激により物性などが時間的に変化していく様子を実時間で追跡すること。
【解決手段】白色Ｘ線または中性子線を透過型ポリクロメータ１に背面から入射させて扇型に収束後発散し進行方向に依存してＸ線または中性子線の波長がその下限値から当該下限値の３倍から１０倍の範囲で連続的に変化するＸ線束または中性子線束を作成する。Ｘ線束または中性子線束の収束点に試料Ｓを配置して当該Ｘ線束を一定の照射角で試料表面に照射し、前記試料表面で反射した反射Ｘ線または中性子線の強度分布を一次元検出器２で測定し、その一次元強度分布から試料表面に垂直な方向の散乱ベクトルの関数として変化するＸ線または中性子線反射率曲線を求める。 （もっと読む）

【課題】 電子プローブマイクロアナライザを用いる地質年代測定と年代マップの表示を効率よく行う。
【解決手段】 （ａ）の分析領域Ｒに設定されているグリッド状の分析点（白丸で示す）と（ｂ）の分析領域に対応した反射電子像（原子番号の高い部分を黒く表示）の位置を対応させた状態が（ｃ）である。（ｄ）の棒グラフは、（ｃ）の直線Ｌ上に位置する分析点Ｌ１〜Ｌ１２における反射電子強度を表す。閾値Ｈ以上の反射電子強度を持つ分析点のみを測定対象とすると、（ｅ）中のＲ１〜Ｒ３は反射電子強度が閾値Ｈ以上の条件を満たす測定対象領域である。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査により浸炭後の鋼の炭素濃度分布を簡便に求めることができる炭素濃度分布測定方法およびこれを用いた浸炭部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】浸炭後の鋼の表面からの深さとその深さにおける炭素濃度との関係を無次元化して表した回帰曲線を仮定し、この回帰曲線の炭素濃度軸方向を（Ｑ−Ｐ）倍してＰを加えるとともに、この回帰曲線の深さ軸方向を（Ｂ−Ａ）／｛ρ×Ｓ×（Ｑ−Ｐ）｝倍して、浸炭後の鋼の炭素濃度分布を求める測定方法とする。但し、Ｑ：浸炭後の鋼の表面炭素濃度（ｗｔ％）、Ｐ：浸炭前の鋼の表面炭素濃度（ｗｔ％）、Ｂ：浸炭後の鋼の重量（ｇ）、Ａ：浸炭前の鋼の重量（ｇ）、ρ：鋼の密度（ｇ／ｍ^３）、Ｓ：鋼の表面積（ｍ^２）。また、前記測定方法を用いて、一定炭素濃度となる表面からの深さを求め、浸炭部材を非破壊検査する検査工程を有する製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 ＡＥＳを用いて異なる化学状態の混在する試料を分析する方法を提供する。
【解決手段】 ＦｅＯ（２価）とＦｅ_２Ｏ_３（３価）を標準試料、Ｆｅ_３Ｏ_４を被験試料として、ＦｅＯとＦｅ_２Ｏ_３の標準スペクトルを用いて、Ｆｅ_３Ｏ_４からのスペクトルに対して最小二乗法のフィッティング計算による波形分離計算を行う。convolution曲線は、最もよいフィッティング結果を与えるときの、ＦｅＯとＦｅ_２Ｏ_３の標準スペクトルに各々係数を乗じて合成されたスペクトルである。このときのＦｅＯとＦｅ_２Ｏ_３の係数に基づいて、Ｆｅ_３Ｏ_４中の２価と３価の鉄原子の存在比率を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】コークスケーキの押出し性を推定するに当たり、その推定精度をさらに向上することができるコークスケーキ押出し性の推定方法を提供する。
【解決手段】室炉式コークス炉で配合炭を乾留して得られるコークスケーキの炉外への押出し性を、試験コークス炉を用いて推定するに当たり、該試験コークス炉で前記配合炭を乾留して得られるコークスケーキ３の内部に発生する、前記試験コークス炉の壁面に平行な向きの亀裂成分の量に基づいて、前記室炉式コークス炉におけるコークスケーキの押出し性を推定する。 （もっと読む）

【課題】判定閾値をより精度の高い値に自動的に更新することにより、食品等に混入した異物の有無を、高精度で効率よく合否判定することができ、誤判定が生じないＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を曝射し透過したＸ線の強度に対応したＸ線強度信号を出力するＸ線強度信号出力手段と、Ｘ線強度信号出力手段から出力されるＸ線強度信号から濃度データを生成する濃度データ生成手段と、濃度データ生成手段により生成された濃度データと閾値とを比較して被検査物の合否を判定する合否判定手段とを有するＸ線異物検出装置において、合否判定手段に用いられた所定個数の濃度データに基づいて濃度データの統計値を算出する統計値算出手段と、初期設定した初期閾値を越えない範囲内で統計値算出手段により算出した統計値に基づいて閾値を更新する閾値更新手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ｘ線光電子分光の帯電現象の解析により評価対象の材料中の電荷欠陥を定量的な計測を可能とする。
【解決手段】１ 試料にあたっているｘ線の照射面積を可変とするため複数の異なった孔径を有する稼動しぼりを試料の前面に設ける。 ２ 試料に当たっているｘ線の強度分布が均一であるように上記１の稼動絞りを用いて計測する手法。 ３ ｘ線の試料への照射開始、終了は、定常状態のｘ線源から放射されているｘ線を、ｘ線源と試料の間に設けた高速シャッターで行う。 （もっと読む）

【課題】 試料に対しゴニオメータの本体を駆動させることなく残留応力測定が実施できるようにする。
【解決手段】 試料を面内回転させるφ回転機構１１と、試料面Ｓａと直交する仮想平面に沿ってＸ線源２０を回転させて、入射Ｘ線の試料面Ｓａに対する角度ωを設定するθｓ回転アーム４２と、仮想平面と同一又は平行な仮想平面に沿ってＸ線検出器３０を回転させるθｄ回転アーム４３と、θｄ回転アーム４３によるＸ線検出器３０の回転軌道面と直交する仮想平面に沿ってＸ線検出器３０を回転させる２θχ回転アーム４５とを備える。これらφ回転機構１１、θｓ回転アーム４２、θｄ回転アーム４３、及び２θχ回転アーム４５の各回転角度は、残留応力測定法で用いられるあおり角（α）、試料の面内回転角度（β）、及び回折線の検出角度（２θ_Ｂ）の設定に基づいて制御される。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな光学系で高分解能なＸ線分光器を備えた電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子（１２）が配置されるとともに、端部にＸ線検出器（１４）が取り付けられた分光室を有するＸ線分光器（１０）をゲートバルブ（４）を介して電子顕微鏡の側壁に取り付けたものであって、電子線が照射された試料から放出される特性Ｘ線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線をＸ線検出器で検出するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】高精細なＸ線画像を得る。
【解決手段】Ｘ線源２２、Ｘ線検出器２０は、検体２８のまわりを螺旋状にスキャン可能である。さらに、Ｘ線源２２は波長を変更することができる。そこで、信号処理器３４は、各種の条件のＸ線像を得ることができ、条件の異なった画像について除算や積分を行うことができる。そこで、コントラストを向上でき、半影補正器３６では、検体との距離ｄが異なった画像から半影を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】ＥＢＳＰ法を用いて評価対象物の表面組織の変化を検査することで破壊寿命を評価する場合において、寿命予測精度及び実用性を向上する。
【解決手段】評価対象物の試料に対して電子線を走査しながら照射する電子線照射手段と、試料に照射された電子線が後方散乱することで形成された電子後方散乱解析像を撮影する撮影手段と、電子後方散乱解析像を画像処理することにより試料の所定領域における結晶粒界分布を生成する画像処理手段と、結晶粒界分布に基づいて平均結晶粒径を算出する平均結晶粒径算出手段と、平均結晶粒径と評価対象物の破壊寿命との関係を示す特性曲線と、平均結晶粒径算出手段にて算出された平均結晶粒径とに基づいて、評価対象物の破壊寿命を判定する破壊寿命判定手段と、破壊寿命の判定結果を出力する出力手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ピーク判定精度を維持したまま、なだらかな形状のスペクトルピークに対してピークと判定するスペクトルのピーク位置判定方法および分析装置を実現する。
【解決手段】ピーク位置判定手段５７により、２次微分値情報５３の極小値の絶対値が閾値Ｔ₂を越えないで誤差範囲に含まれると判定される際にも、さらに一次微分値の隣接する極大値および極小値の差分の大きさが閾値Ｔ₁を越えるかどうかを判定し、越える際には２次微分値情報５３のこの極小値を、スペクトルピークと判定するので、急峻なピークと共になだらかなピーク形状を有するスペクトルピークも、判定精度を維持したまま検出することを実現させる。 （もっと読む）

【課題】検量線作成治具の構造上の性能に依存せず、より高精度の水量測定が可能な、また正確な検量線の作成も可能な水量測定装置を提供する。
【解決手段】燃料電池セル等の試料に放射線を照射したときの放射線透過量を計測し、放射線透過量と水量との検量線に基づいて試料内の水量を演算する演算・制御装置を備え、反応に伴い、生成する水の測定試料内での水量を測定する水量測定装置において、演算・制御装置は、試料につき、反応開始後の放射線透過量を反応開始前の放射線透過量で除算し（ステップＳ３）、その除算結果値に基づいて試料内の水量を演算して放射線検出系の感度ムラを低減し、検量線作成治具の構造上の性能に依存せずに高精度の水量測定を可能とした。放射線透過量は複数回の計測の平均値とし（ステップＳ１）、また、計測を試料内の水量や放射線強度の安定化後に実行して更に高精度の水量測定を可能とした。試料の計測時に計測されたデータに基づいて検量線を作成し（ステップＳ４）、高精度の水量測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】複数の種類が既知である元素及び／又は化合物から成る被測定物中の、各元素及び／又は各化合物の厚さ、又は含有量及び密度を短時間で且つ正確に求める。
【解決手段】Ｘ線２を被測定物３に透過させ透過Ｘ線をエネルギー弁別可能な検出器４で検出し、その検出信号により所定のエネルギーにおける実測Ｘ線強度を求めてデータ処理部６に与える。被測定物３の含有元素の吸収端波長が利用できる場合、吸収端前後の波長における質量吸収係数から求まる理論的な透過Ｘ線強度比と実測の透過Ｘ線強度比等を既知とし、元素の厚さを未知の値とする連立方程式を解くことで定量する。吸収端波長が利用できない場合には直接Ｘ線の測定結果も利用し、複数の波長における質量吸収係数から求まる理論的な透過Ｘ線と直接Ｘ線との強度比、及び実測の透過Ｘ線と直接Ｘ線との強度比を既知とし、各元素及び／又は各化合物の厚さを未知の値とする連立方程式を解くことで定量する。 （もっと読む）

【課題】高スループットでしかも高い信頼性で試料の検査、評価が可能な、基板検査方法、検査装置、検査用電子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線を発生する荷電粒子線発生手段７１と、前記一次荷電粒子線を複数本走査させて前記基板に照射する一次光学系７２と、前記荷電粒子線の照射により前記基板から放出された二次荷電粒子線が投入される二次光学系７４と、前記二次光学系に投入された二次荷電粒子線を検出して電気信号に変換する検出器を有する検出系７６と、前記電気信号に基づいて基板の評価を行う処理制御系７７と、を備え、前記パターン形成面を複数の領域に分割して、領域毎にパターンを形成することにより全体のパターン形成が行われるパターン形成面の評価において、上記分割した領域のつなぎの領域を選択して上記評価を行う。 （もっと読む）

【課題】 鉄鋼中のカーボン分析において、定性分析で得られるスペクトルに基づく簡易的な定量分析の精度を向上させることの可能な定量分析方法を提供する。
【解決手段】 試料10に電子線を照射し、該試料10の表面より放出される特性Ｘ線を検出して試料10の定量分析を行う定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出Ｘ線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】ＥＲＣＳ法により得られたＥＲＣＳスペクトルから、試料中に見出される水素の質量面密度、水素質量密度や、試料中に見出される包有物の大きさおよび密度を得る方法、さらには、ＥＲＣＳスペクトル歪みを補正する方法を提供する。
【解決手段】高エネルギーの陽子ビームを試料に照射して、前記試料の組成を分析する陽子−陽子弾性散乱同時計数法において、前記試料に入射した前記陽子ビームの入射陽子が、前記試料中で弾性散乱されることにより生じる、散乱陽子と反跳陽子とを、測定して得られる、前記散乱陽子と前記反跳陽子とのエネルギー値の和であるサムエネルギーを示すＥＲＣＳスペクトルであって、該ＥＲＣＳスペクトルの前記サムエネルギーを示すエネルギー単位を、下記式１により、質量面密度の単位に関連づけることを特徴とする、ＥＲＣＳスペクトルの単位変換方法である。
【数１】
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