【課題】 既知情報及び実測データに基づく特定サテライトピークのフィッティングにより、十分な精度のプロファイル解析が行えるＸ線回折測定解析方法及びプログラムを実現し、また、一致状態を一般性を失うことなく大局的に見通しよく２次元表示する。
【解決手段】 実測プロファイルから周期Ｌと平均格子定数ａを求め、交互に積層された一方の薄膜の膜厚Ｌ１及び格子定数ａ１の初期値を設定する設定段階と、Ｌ、ａ並びにＬ１及びａ１の初期値から、他方の薄膜の膜厚Ｌ２及び格子定数ａ２の値を算出する変数算出段階と、Ｌ、ａ、Ｌ１及びａ１の初期値並びにＬ２、ａ２の計算値に基づいて解析プロファイルを得る解析プロファイル作成段階と、両プロファイルを比較して一致の度合いを調べる比較段階と、一致の度合いが一致基準を満たすか否かを判定し、満たすときはＬ１、ａ１、Ｌ２及びａ２の値を測定値とし、満たさないときは、Ｌ１及びａ１の初期値のいずれかを変更して再び変数算出段階に戻る判定段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】レシピ作成及び欠陥確認の使い勝手がよく、かつ迅速に行うことのできるパターンの検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥確認画面は、ウェハマップを表示する「マップ表示部」６１、欠陥画像を一覧表示する「画像表示部」６２、欠陥の詳細情報を表示及び設定する「リスト表示部」６３、選択された欠陥項目についてグラフ表示する「グラフ表示部」６４を有する。それぞれの表示部は連動して動作し、選択されたマップ情報に対応して欠陥画像、欠陥情報リスト、欠陥グラフが変化する。これら情報を利用して入力された分類コード及びクラスタリング条件及び表示フィルタはレシピに登録される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡で観察される回折像を用いた各種結晶試料のナノメータ分解能を有する歪み、応力を測定し、２次元分布のための装置、手法方法を実現することを目的とする。
【解決手段】電子線を試料に微小かつ平行に照射し、これにより得られる結晶構造を反映した回折像のスポット間距離を画素検出器もしくは位置検出器で測定し、測定位置情報と合わせて電子顕微鏡拡大像上に応力の２次元分布を重ねて表示する。
【効果】高速かつ高分解能で微小な結晶中の歪み、応力を試料の構造情報に合せて表示できる。 （もっと読む）

【課題】
即発ガンマ線分析法で使用する即発ガンマ線スペクトル中には即発ガンマ線と壊変ガンマ線は同一に記録され、お互いを明白に分離することは困難であった。本発明は即発ガンマ線と壊変ガンマ線を明白に分別して測定することで分析の確度を向上させる技術を提供することを謀題とする。
【解決手段】
パルス中性子ビームを利用し、中性子パルス発生信号をスタート信号として、スタート信号からの時間情報とガンマ線検出事象をリストモードで保存し、これを解析して時間分解即発ガンマ線及び壊変ガンマ線スペクトルの測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線源とＸ線検出器の間を横切るように被検査物を移動させて連続的にＸ線を照射して得られる被検査物のＸ線透過データから、被検査物の検査を行うＸ線検査装置において、Ｘ線検出器に用いられているシンチレータシートの残光特性に基づく動特性に起因する誤判定の発生をなくすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器２の各画素出力に含まれるシンチレータシートの残光の影響を、あらかじめ記憶している係数ｈ［ｍ］（ｍ＝１，２，・・）を用いた下記の式（１）により除去して検査に供することで、Ｘ線検出器の２の動特性に起因する誤判定の発生を解消する。 （もっと読む）

【課題】 サンプルの迅速なＸＲＲ及びＸＲＤに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。
【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってＸ線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したＸ線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したＸ線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも１つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したＸ線を検出器アレイが検知する第１の構造と、サンプルのＢｒａｇｇ角の近傍において、表面から回折したＸ線を検出器アレイが検知する第２の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮影を行なうためのシステムにおいて、多数の部品を同時にスキャンするために使用できるようにすること。
【解決手段】コンピュータ断層撮影を行なうためのシステムは、放射線源２２と、放射線源２２から間隔を開けてあり放射線源２２から受信した放射線の強度を表わす出力信号を生成する少なくとも１個の放射線検出器２４と、放射線源２２と少なくとも１個の検出器２４の間に配置されて複数の部品３２を支持するためのテーブル３０と、少なくとも１個のテーブル３０と放射線源２２とが相対的に又少なくとも１個の検出器２４に対して移動可能にしてあることと、少なくとも１個の検出器２４からの出力信号を入力信号として受信し、プログラム制御下にテーブル上に支持された部品３２の内部構造の少なくとも一部を表わす出力を生成するプロセッサ４０と、を含む。 （もっと読む）

前記データにある複数の信号に対する信号波形を決定し、信号の時間的位置を含む信号に対するパラメータを推定し、前記信号波形と前記推定されたパラメータとから信号のエネルギーを決定することで、検出出力データ内の個別信号を分離する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の二層膜シートの各層の単位面積当たり重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】二層膜シート１０の走行状態において二層膜シートの各層１０ａ，１０ｂを測定する際、高エネルギーのＸ線源１１と低エネルギーのＸ線源１２を用いて二層膜シートのほぼ同一部分の透過Ｘ線量を測定し、各測定出力を演算部３０でデータ処理して各層の単位面積当たり重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。 （もっと読む）

【課題】検出器に実際に作用するＸ線強度を求めることを簡単に可能にする。
【解決手段】少なくとも１つの検出器要素（３）の検出器出力信号ｘ（ｉ，ｊ）とＸ線放射器（１）の少なくとも１つの予め与えられたＸ線放射器入力値ｙ（ｉ）とから、検出器出力信号に依存する強度関数Ｓ(ｘ（ｉ，ｊ）)の検出器要素に関係した係数ｓ_n（ｊ）およびＸ線放射器入力値に依存する強度関数Ｑ（ｙ（ｉ））のＸ線放射器に関係した係数ｑ_m（ｉ）を計算する計算手段（４）を備え、係数ｓ_n（ｊ），ｑ_m（ｉ）の計算は、係数ｓ_n（ｊ），ｑ_m（ｉ）、検出器出力信号ｘ（ｉ，ｊ）および少なくとも１つのＸ線放射器入力値ｙ（ｉ）を含む連立方程式（４．２）を解くことによって実行可能であり、連立方程式は、検出器出力信号に依存する強度関数Ｓ(ｘ（ｉ，ｊ）)とＸ線放射器入力値に依存する強度関数Ｑ（ｙ（ｉ））との間の関係を作る方程式を含む。 （もっと読む）

【課題】 表面層を備えたサンプルの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 その検査方法はＸ線の平行光線でサンプル２２を照射中に、サンプル２２の第１の反射率スペクトルを取得し、サンプル２２の散漫反射特性を測定するために第１の反射率スペクトルを処理する。Ｘ線の収束光線でサンプル２２を照射中に、サンプル２２の第２の反射率スペクトルが取得される。サンプル２２の表面層の特性を求めるために散漫反射特性を使用して、第２の反射率スペクトルが解析される。 （もっと読む）

【課題】
フィルタによって生じる不均一性を補正し、良好な３次元像を得ることが可能なＸ線計測装置を提供する。
【解決手段】
検査対象１０８に照射するＸ線を発生するＸ線源１０１と、検査対象１０８に関する計測データを検出するＸ線検出器１０２と、Ｘ線源１０１とＸ線検出器１０２を対向させて保持する保持装置１０３と、検査対象１０８に対するＸ線源１０１およびＸ線検出器１０２の相対位置を変化させる回転装置１０４と、計測データの演算処理を行う制御処理装置１０６とを有し、凹型の円弧と凸型の円弧と直線を組み合わせた断面形状を持つフィルタ１１０をＸ線源１０１と検査対象１０８との間に設置し、回転装置１０４が回転を行う間にＸ線源１０１がＸ線を発生すると共にＸ線検出器１０２が計測データを収集することを特徴とする。 （もっと読む）

開示されているのは、標的内の平均原子番号及び／又は質量の空間分布を求めるために前記標的から散乱する光子のエネルギースペクトルを用いる、潜在的な脅威を探して標的を走査するための方法及びシステムである。代表的な一方法は、光子ビームで標的の複数ボクセルそれぞれを照光する段階と、各ボクセルへの入射束を求める段階と、前記ボクセルから散乱した光子のエネルギースペクトルを測定する段階と、前記エネルギースペクトルを用いて前記ボクセル内の平均原子番号を求める段階と、前記入射束と、前記ボクセル内の物質の前記平均原子番号と、前記エネルギースペクトルと、前記ボクセルに対応する散乱核とを用いて前記ボクセル内の質量を求める段階とを含む。代表的な一システムは脅威検出ヒューリスティックスを用いて、前記ボクセルの前記平均原子番号及び／又は質量に基づいて更なる動作を開始させるか否かを決定してもよい。

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【課題】
被分析試料の表面から深さ方向の元素分布分析をすることができる電子線プローブマイクロＸ線分析方法を提供すること
【解決手段】
本発明の電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、被分析試料５表面に電子線２を照射し、この電子線２により被分析試料５表面から誘導放出される特性Ｘ線の強度を測定する電子線プローブマイクロＸ線分析において、測定する特性Ｘ線の被分析試料５表面に対する角度を所定の範囲内で変化させて、複数の角度で特性Ｘ線の強度を測定し、各角度で測定した特性Ｘ線の強度に基づいて被分析試料５の元素分析をする。 （もっと読む）

【課題】 分析試料において指定元素の含有の有無を判定する際に誤判定を防ぎ、信頼性の高い判定結果を容易に得ることを可能とする元素含有判定方法、プログラム、装置およびシステムを提供する。
【解決手段】 測定装置１における特定の分析手法により得られた分散スペクトル波形ＳＩのデータから、確定的な結論が出せる場合には、その判断結果を明示するようにしたので、他の手法による検証作業を省略することが可能となる。また、確定的な結論が出せない場合や、指定元素の含有は結論できても濃度が確定できない場合など、問題が残るような場合には、無理に結論を導出するのではなく、どのような問題が生じているのかを示し、他の測定法の利用も推奨するような対処方法を導出することで、測定技術に詳しくない測定者であっても、誤った判断をせずに、適切な対応を選択することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 試料を支持する試料板からの回折Ｘ線の影響を排除して、試料に関する正確なＸ線回折測定をできるようにする。
【解決手段】 単結晶試料板２１によって支持する試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する回折Ｘ線を２次元Ｘ線検出器２によって検出し、検出された回折Ｘ線の座標及び強度をＸ線読取り装置によって読み取り、そしてその読取り結果に基づいて演算を行って回折Ｘ線強度分布を求めるＸ線測定装置である。単結晶試料板２１から出る回折Ｘ線が２次元Ｘ線検出器２によって検出される座標位置を、回折Ｘ線強度分布の演算に寄与させないブランク領域として認識する。単結晶試料板２１からの回折Ｘ線がＸ線強度の演算に算入されないので、試料Ｓからの回折Ｘ線だけに関して正確にＸ線強度分布を求めることができる。 （もっと読む）