【課題】 機械的強度及び長手方向の熱伝導度を上げることによって疲労限度及び耐電流性能を向上させたコンタクトプローブの製造方法を提供する。
【解決手段】 導電性を有する線材２０を送線しながら、カーボンナノチューブを含むめっき液３１中を通過させるステップと、周面上にカーボンナノチューブからなる炭素繊維層が形成された線材２０を乾燥させるステップと、伸線用のダイス３４を用いて乾燥後の線材２０を引き抜くステップと、ダイス３４を介して引き抜かれた線材２０を切断するステップとを備えて構成される。 （もっと読む）

特に自動操作に適した多点プローブを開示する。また、多点プローブとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点測定システムも開示している。加えて、プローブホルダとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点プローブ把持システムを示す。さらに、多点プローブを操作するためのプローブローダとプローブカセットとを備えるローディング済みのプローブローダも示しており、これにおいて、プローブカセットは、多点プローブを固定するためのプローブホルダを設けている。
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【課題】デバイスの電極パッドに付いた痕跡をプローブの針跡としてより正確に判定し、プローブの針跡としての誤判定を格段に軽減することができる針跡の判定方法を提供する。
【解決手段】本発明の針跡の判定方法は、複数のデバイスＤの複数の電極パッドＰに付いた痕跡に、プローブの針跡としての良否を判定するためのスコアを付与し、このスコアに基づいて不明確な痕跡が付いた対象電極パッド２Ｐを含む対象デバイスＤを選択する工程と、対象デバイスＤの検査方向の前後に時間的に連続してある４個の対照デバイスＤｂと９個の対照デバイスＤａを選択し、これらの対照デバイスＤｂ、Ｄａの対象電極パッドＤに対応する対照電極パッドＰに付いた痕跡２Ｐに付与されたスコアと対象デバイスＤの不明確な痕跡２Ｐに付与されたスコアとの加算値と所定の基準値を比較して対象デバイスＤの不明確な痕跡２Ｐのプローブの針跡としての良否を判定する工程と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、プリント配線板を検査する検査装置用の接触ユニットに関する。接触ユニットは、フルグリッドカセットとアダプタとを備える。フルグリッドカセットは、検査装置の基本グリッドの接点のグリッドに配置された複数のスプリング接触ピンが設けられている。アダプタは、フルグリッドカセットの各スプリング接触ピンを検査対象であるプリント配線板の配線板検査点に電気的に接続する検査ニードルが設けられ、スプリング接触ピンは、フルグリッドカセットの中でアダプタから遠い側に落ちないように固定され、検査ニードルは、アダプタの中でフルグリッドカセットから遠い側に落ちないように固定されている。アダプタ及びフルグリッドカセットは、互いに取り外し自在に接合されている。このようにして、スプリング接触ピン及び検査ニードルの両方が、アダプタとフルグリッドカセットとが組み付けられた状態において接触ユニットから落ちないように固定されている。 （もっと読む）

【課題】最適なストロークを認識可能なコンタクトプローブ及びこのコンタクトプローブを用いた回路基板検査装置を提供する。
【解決手段】 導電性の筒状体からなるバレル３と、被検査対象と接触するとともに上記バレルと接触するプランジャー２と、上記バレル３内部にあり、上記プランジャー２を軸方向に付勢する弾性部材４と、を有してなり、前記プランジャー２は、最適なストローク位置をあらわすように塗装されている。塗装は、マーキング、色分けなどによる。プランジャー２の平坦面を色分け面とするとよい。 （もっと読む）

【目的】
多点電圧・電流プローブ法による２次元、３次元異方性物質の主軸電気抵抗率測定方法により２次元、３次元異方性物質の主軸電気抵抗率、および主軸角を測定する。
【構成】
測定試料の中央部付近に点状の正の電流源印加点を設け、同時に等角３軸上に異なる負の電流印加点を設けて、正と負の電流印加点に電流を加えると、電流は、２次元、および３次元の異方性物質の特性を反映して流れ、物質に特有の電場を構成する。そこで、２次元異方性物質にあっては、２次元異方性物質の表面上の異なる等角３軸の表面の電圧降下を測定し、等角３軸上の測定電気抵抗率から、その主軸電気抵抗率、および主軸角を理論式を用いて、同時に一回の測定操作で測定する。また、３次元異方性物質では、同方法を拡張して適用し、３次元異方性物質の主軸電気抵抗率、および主軸角を、同時に一回の測定操作で精度よく分離、測定することができる。 （もっと読む）

【課題】高周波特性がよく、狭ピッチによる多ピン配置が可能なプローブ部を備えた基板接続検査装置を提供する。
【解決手段】基板接続検査装置のプローブ部６では、プローブ８として、プリント基板の所定のランドにそれぞれ接触する複数のプローブ８８ａと、プリント基板の接地電位のランドに接触するＧＮＤプローブ８８ｂが、それぞれ所定の位置に配置されている。複数のプローブ８８ａのそれぞれに対して、プローブ８８ａを取り囲む態様で、ピン形状のＧＮＤ部９が、プローブ８８ａと距離を隔てられるとともに、プローブ８８ａの周方向に間隔を隔てて配置されている。 （もっと読む）

【課題】被検査体の電気的特性の検査において、被検査体と接触子との接触を安定させつつ、検査を適切に行う。
【解決手段】プローブカードの回路基板１０と支持板１２との間には、複数のプローブに所定の接触圧力を付与する流体チャンバ２０が設けられている。流体チャンバ２０は、内部に気体が封入され、可撓性を有している。流体チャンバ２０の内部には、検査時に回路基板１０とプローブを電気的に接続する複数の導電部３０が設けられている。導電部３０は、上下方向に配置された複数の導電層３１〜３４を備え、検査時に上下方向に伸長するように構成されている。各導電層３１〜３４は、柔軟性を有する絶縁層４０と、絶縁層４０の表面に形成された配線層４１をそれぞれ有している。 （もっと読む）

【課題】検査環境の広範な温度範囲下で、プローブに対し十分なクリーニング性能が発揮でき、かつプローブを容易に磨耗させることのないプローブクリーニングシート。
【解決手段】プローブの先端部分に付着している異物を除去するためのプローブクリーニングシート１０であって、基材シート２５と、基材シート２５上に、研磨粒子２２が混入されたシリコーン樹脂及び／又はシリコーンエラストマーから成る弾性母材２１で形成されるクリーニング層２０とを備え、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠する粘着性評価の傾斜式ボールタック試験で、傾斜角度２０度、ボールＮｏ．５（φ３．９ｍｍ）、助走距離１００ｍｍ、及び前記クリーニング層を表面とする粘着面の測定距離を１００ｍｍとする条件下で、ボールＮｏ．５の測定距離を通過する時間が、０．５秒以上４．０秒以下の範囲にあるプローブクリーニングシート１０による。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、平面構造物（３８）と電気的に接触するための接触側端部（１６）と、ケーブル、特に同軸ケーブルに接続するためのケーブル側端部（１２）、特に同軸ケーブル側端部とを有し、接触側端部（１６）とケーブル側端部（１２）との間に、少なくとも２つの導体（１８，２０）、特に３つの導体を有する共平面導体構造物が配設され、共平面導体構造物（１８，２０）に対して、ケーブル側端部（１２）と接触側端部（１６）との間の所定区間にわたって共平面導体構造物（１８，２０）を支持する誘電体（２４）が片側または両側に配設され、共平面導体構造物の導体（１８，２０）が空間内で自由に、支持誘電体（２４）に対して懸架された状態で配設されるように、誘電体（２４）と接触側端部（１６）との間にテストプロッドが設計され、平面構造物（３８）との接触時に平面構造物（３８）に面するテストプロッドの片側（３２）には、誘電体（２４）と接触側端部（１６）との間で、空間内で自由に、支持誘電体（２４）に対して懸架された状態で配設された共平面導体構造物（１８，２０）の領域（２６）へとシールドエレメント（３４）が延出するように、シールドエレメント（３４）が配設および設計される、高周波測定用のテストプロッドに関する。
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【課題】長期にわたって安定した検査を行うことができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供する。
【解決手段】一端が先鋭化した柱状をなす第１接触部２１と、第１接触部２１の他端から第１接触部２１の長手方向に沿って略柱状をなして延び、外部からの荷重によって弾性座屈を生じる弾性座屈部２２と、弾性座屈部２２が延びる方向の端部であって第１接触部２１に連なる端部とは異なる端部から延びる方向に沿って柱状をなして延びる接続部２３と、接続部２３の端部から該接続部２３が延びる方向と異なる方向に延び、外部から加わる荷重に応じて弾性変形を生じる腕部２４と、腕部２４から弾性座屈部２２が延びる方向と略平行であって第１接触部２１から遠ざかる方向に突出し、先端が先鋭化した第２接触部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】温度変化に応じ、プローブ先端の位置ずれを補償し、広い温度範囲のウェーハ試験が可能なプローブカードを提供する。
【解決手段】電子デバイスの試験に使用するプローブカード１０であって、基板１１と、第１の熱膨張係数を有する第１の金属材料から構成され、基端部１２２が基板１１に接合され、先端部１２１が電子デバイスの接続端子と接触するプローブ１２と、基端部１３２が基板１１に固定され、先端部１３１がプローブ１２の基端部１２２とプローブ１２の先端部１２１との中間部においてプローブ１２と接触し、第１の熱膨張係数より大きい第２の熱膨張係数を有する第２の金属材料から構成される熱補償部材１３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スタッドが接合されたメタライズ層の周辺において、クラック等の破損が生じ難い半導体素子検査用基板を提供すること。
【解決手段】フィレット６１の外周端は、メタライズ層５７の外周端より、前記請求項１に示した所定の条件を満たすように、内側に引き下がっている。即ち、フィレット６１の底辺の長さＦとフィレット６１の高さＨとの比（Ｆ／Ｈ）が、４．３以上である。よって、スタッド２３の接合強度が向上するので、スタッド２３が接合されたメタライズ層５７の周辺において、クラック等の破損が生じ難いという効果がある。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の電気的特性検査用の治具に用いられるプローブカードを正確、迅速、且つ容易にメンテナンスすることができるプローブカードのメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】プローブカード及びプローブカードに設置されたプローブを電気的特性検査における検査温度と同一の温度まで加熱し、プローブカード及び複数のプローブを当該検査温度に維持しつつ、複数のプローブのそれぞれの位置調整を行う。 （もっと読む）

【課題】アンテナ測定用プローブ自体に通電することによって外部導体の周囲に電界が生じる。この電界の影響によってアンテナ装置の反射特性が変化するため、より高い精度でアンテナ装置の反射特性を測定することが困難であった。
【解決手段】外部導体の外周面に接続され、内部導体の一軸方向に垂直な方向にそれぞれ延設された第１の突出部及び第２の突出部を具備し、第１の突出部の長さが第２の突出部の長さよりも大きいアンテナ測定用プローブとする。 （もっと読む）

【課題】 測定時にショートすることが少なく、測定対象物の裏側や、配線等が入り組んだ場所でも測定可能なテストリードを低供する。
【解決手段】 導電線を絶縁被覆したコードと、このコードの一端の導電線に接続され絶縁被覆された接続端子と、前記コードの他端の導電線に接続される接触子とを備え、前記接触子が、前記コードと接続する把持部と、この把持部から延設され導電線と導通した先端部と、この先端部の先端に配置される先ピン部とを有し、前記先端部が、絶縁性樹脂により被覆されるテストリード。 （もっと読む）

【課題】電流計測用のプローブピンを複数設けたり、電流計測用のプローブピンにバネ弾性を持たせたりすることなく、電流計測時に電気抵抗が増大するのを抑制すること。
【解決手段】太陽電池用測定治具１には、太陽電池セルに流れる電流を計測するために使用する電流計測用端子バー２および太陽電池セルに発生する電圧を計測するために使用する電圧計測用プローブピン４を設け、電流計測用端子バー２は、導体にて一体的に構成し、電圧計測用プローブピン４は、その先端が上下に進退できるように電流計測用端子バー２に挿入する。 （もっと読む）

【課題】 非常に狭ピッチの電極端子を有し、かつ、ＲＦ信号用端子を有するＩＣなどの検査をする場合でも、高周波・高速の帯域におけるインピーダンスの乱れを生じさせること無く、アイソレーション特性を改善することができる検査ソケットを提供する。
【解決手段】 板状の金属ブロック１１に形成される貫通孔１１ａ内に、少なくともＲＦ信号用コンタクトプローブ１２Sを含むコンタクトプローブ１２が設けられ、そのコンタクトプローブ１２は、金属ブロック１１から抜け出ないように、絶縁性基板１３により固定されている。コンタクトプローブ１２は、その先端に軸方向に沿って可動するプランジャ１２１、１２２が設けられており、絶縁性基板１３は、コンタクトプローブ１２の肩部で固定している。本発明では、ＲＦ信号用コンタクトプローブ１２Sの周囲のいずれかの場所における絶縁性基板１３にＧＮＤ柱１４またはＧＮＤ壁が形成されている。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に固化したフラックス等の絶縁物を短時間で除去して配線等の検査ポイントにプローブピンを当接し、これによってプリント基板の低温検査を実施すること。
【解決手段】検査用プローブ１０は、一端側から信号線１２が引き出され、他端側からプローブピン１１の円錐部が突き出る状態に配設された差込ソケット１４とを有する構成に、更に、差込ソケット１４のプローブピン１１が挿入された部分の外周に電熱線を周回し、この電熱線の両端部を引き出してヒータ用電源線１５ａ，１５ｂとしたヒータ用コイル１５と、ヒータ用コイル１５を完全に被服する絶縁性で且つ耐熱性の材質により形成されたヒータカバー１６とを備えて構成した。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、プローブを狭ピッチ間隔で容易に配列することができるプローブカードを提供する。
【構成】 溝４２０ａ、４２０ｂを有する基板４００と、基板４００の溝４２０ａに嵌合するプレート７００ａと、基板４００の溝４２０ｂに嵌合し且つプレート７００ａよりも背高なプレート７００ｂと、先端部５１０ａが折り曲げられたプローブ５００ａと、先端部５１０ｂが折り曲げられ且つ先端部５１０ｂの先端から折り曲げ部までの長さが先端部５１０ａの先端から折り曲げ部までの長さよりも短いプローブ５００ｂとを備える。プレート７００ａには、前記先端を下方に向けてプローブ５００ａを各々保持する凹部７１０ａが設けられており、プレート７００ｂには、プローブ５００ａ、５００ｂの先端同士が同一高さになるように当該プローブ５００ｂを各々保持する凹部７１０ｂが設けられている。 （もっと読む）