【課題】半導体素子の電気的特性の検査に用いられるプローブに関し、プローブへのハンダ転写防止と耐磨耗性・安定した電気的特性を維持できるプローブを提供しようとするものである。
【解決手段】半導体素子の電極と接触する端子部１１０を備えたプローブ１００において、端子部１１０の基材１１１の表面に、異なる白金族系元素を含む材料からなる複数の被膜層１２１、１２２；１３１〜１３３；１４１、１４３；１５２、１５３を形成したことを特徴とする （もっと読む）

【課題】 試験装置及び試験方法に関し、簡単な機構により特定のプローブピンに大電流が流れることを回避する。
【解決手段】 テスターヘッドと、テスターヘッドと電気的に接続されるパファーマンスボードと、パフォーマンスボードと電気的に接続されるフロックリングと、フロックリングに電気的に接続されるプローブカードとを少なくとも備えたテスター本体部を有する試験装置のテスター本体側にプローブカードに配設したプローブピンの温度を監視するサーモグラフィを設ける。 （もっと読む）

【課題】プローブカードの良否判定を正確に行うことを可能にするプローブカード検査装置を提供する。
【解決手段】プローブカード検査装置１０は、プローブカードの複数のプローブ針の先端部を受け入れる被接触面を表面に有する基板を備える。被接触面は、この被接触面に形成された複数の境界線により複数の座標領域Ａ_ｊ（１，１）〜Ａ_ｊ（１１，１１）に区画されている。複数の座標領域Ａ_ｊ（１，１）〜Ａ_ｊ（１１，１１）は格子状に配列されている。 （もっと読む）

【課題】 検査用プローブを簡便に装着することのできる基板検査用治具の提供。
【解決手段】 先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する線状部とからなる検査用プローブを、所定の間隔をもって配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持する基板検査治具において、前記電極側支持体と前記検査側支持体との空間を移動可能な中間板を供え、前記中間板は、前記検査用プローブを前記検査用支持体及び前記電極側支持体に支持させる際に、該検査用支持体の案内孔と該電極側支持体の案内孔の一直線上に配置される案内孔が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 帯状電極に対し、プローブが傾斜して接触しても電極が損傷しないようにする。
【解決手段】 本発明は、帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持装置に関する。そして、帯状電極にプローブが接触していないときに、プローブユニットを懸架し、帯状電極及びプローブユニットの相対移動により帯状電極にプローブが接触した以降、プローブが帯状電極上に接触した状態を維持したまま、プローブユニットの懸架状態を解放する懸架部材を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面が平坦でない電極や傷つきやすい電極や可撓性のある電極もしくは電極支持体に対して、表面を傷つけずに電気的に確実に接触させる。
【解決手段】本発明のブラシ状プローブは、導電性を有し電気的処理対象物の電極に臨ませて配設されるプローブ基材と、当該プローブ基材に複数植毛されて前記電極に接触される可撓性を有する導電性線材とを備え、前記各導電性線材を一方向に傾斜させるように、前記プローブ基材を前記相手側電極に対して斜めに移動させながら、前記各導電性線材を相手側電極に接触させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】探針の長さを２種の長さに簡便に変更することができ、さらに探針の破損を防止することができる測定用プローブを提供する。
【解決手段】測定用プローブ１は、測定器に接続されて先端側を測定対象物に接触させる導電性で略棒状の探針２と、探針２の後端側を覆って支持する絶縁性で棒状の把持部３と、探針２の軸線方向に移動自在に把持部３に嵌められる筒状に形成されて、筒状の先端が探針を外界に突出可能に探針よりも僅かに大径に形成されている絶縁性の探針カバー４とを有しており、第一の規定値Ａの長さで探針カバー４から探針２を外界に突出させる第一の位置、規定値Ａの長さよりも短い第二の規定値Ｂの長さで探針カバー４から探針２を外界に突出させる第二の位置、および探針カバー４から探針２を外界に突出させずに探針カバー４の内部に収容する第三の位置の各位置で把持部３に探針カバー４を位置決めする凸部２３、凹部１１〜１３を有している。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造でき、すべてのプローブの脚の並び方向が揃っている電気的接続体を提供する。
【解決手段】プローブカード１０は、複数のワイヤー製のプローブ１８が絶縁性の支持板１２を上下方向に貫通した状態で固定され、プローブ１８の脚１８ａ，１８ｃはそれぞれ弾性変形可能な形状に形成されて支持板１２の上方及び下方に突出している。支持板１２は、ワイヤ径より大きな径の上板貫通穴１４ａを有する上板１４と、上板貫通穴１４ａのそれぞれと対をなしワイヤ径より大きな径の下板貫通穴１６ａを有する下板１６とが重ね合わされた状態で固定されたものである。対をなす上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとはプローブ１８の中央付近を挟み込むように軸線がずらされており、下板１６のうち上板１４と対向する対向面には、ずらし方向に沿って延びる溝１６ｂが設けられている、 （もっと読む）

【課題】低コストかつ、目的の端子に確実に接触でき、隣接する端子と接触を防止することができる電気信号測定用プローブを提供する。
【解決手段】電気信号測定用プローブ１のプローブヘッド４の先端部に絶縁体で平板状に形成されプローブヘッド４から突出量ｌだけ突出したガイド部材５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ロジック回路とアナログ回路を混載したシステムＬＳＩのそれぞれの電気的特性を高速テスタを投資することなく低速テスタで、信号伝送速度４Ｇｂｐｓ以上の高速テストが可能なプローブ装置を提供する。
【解決手段】 ロジック回路とアナログ回路を混載したシステムＬＳＩ３ａの電気的特性をテストする電気的測定回路２０を搭載したプローブ装置１であって、プローブ装置は、ロジック回路テスト用およびアナログ回路テスト用の電気的測定回路２０の少なくとも一方を搭載したロードボード５を備え、ロードボードの上面および下面の少なくとも一方には電気的測定回路２０が複数積層され、信号伝送速度４Ｇｂｐｓ以上の高周波伝送機能を備えるスパイラル状接触子２、１２と、積層可能なスタック式のインターコネクタ１６、１７，１８を備えたプローブ装置。 （もっと読む）

【課題】隣接した半導体素子領域（ＩＣ領域）を同時に検査しても、検査用のプローブが外部電極から食み出し難くい、半導体素子、半導体ウエハ、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】外周に沿って配置された複数の外部電極２８を有する、矩形の半導体素子３８であって、前記外部電極の対向する二辺が、前記半導体素子の一の対角線３４に垂直な方向３６を向いている半導体素子。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ、小型化が可能な両端変位型コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】コイルばねにより相反する方向に付勢された一対の導電性可動体が検査装置のソケットの内部に往復動を許容して収容されると共に、一方の導電性可動体が被検査体に当接するように取り付けられ、かつ他方の導電性可動体が回路基板に電気的に接続して取り付けられている両端変位型コンタクトプローブにおいて、コイルばね内に配設され一対の導電性可動体の軸方向に延在する中空の導電性パイプ体を有し、一対の導電性可動体が導電性パイプ体の両端部から内部に向かってそれぞれ挿入されており、一対の導電性可動体が導電性パイプに対して摺動可能で且つ電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】荷重点である変位出力端側に応答特性に優れた拡大移動量を付与して電気計測プローブをＺ軸方向に迅速に移動させることができる変位拡大機構および基板検査装置の提供。
【解決手段】基台部１２と、力点として作用させる当接部２５を備えて伸縮制御を自在に配設される伸縮体２２と、該伸縮体２２側からの押圧力を受けて変位出力端５７側に対しＺ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、基台部１２を含む必要箇所に介在させた各支点部１５を介して連結されるアーム体３２とで変位拡大機構１１を構成し、該変位拡大機構１１を具備させることで基板検査装置を形成した。これにより、電気計測プローブＰが取り付けられる変位出力端側に対しては、アーム体３２を介してＺ軸方向での拡大された非線形の変位量を平行リンクを介して線形の変位量として出力することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】コンタクトプローブのメンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能なコンタクトプローブ及びこれを用いた電子回路試験装置を提供する。
【解決手段】導電性の筒状体からなるスリーブと、 該スリーブ内に摺動自在に嵌合する導電性のプランジャーと、前記スリーブ内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングとを備え、前記プランジャーは貴金属の中実ムク材によって形成され前記スリーブと着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】プランジャーをクランク状に偏心させることなく両プランジャーの先端の間隔寸法を小さくすることができる検査治具を提供する。
【解決手段】検査治具１は、治具ベース２と、治具ベース２内に収容される一対のプランジャー３とを備える。各プランジャー３はスプリング４により先方に付勢され、治具ベース２の先端側の開口２１ａから突出自在とされる。両プランジャー３は、治具ベース２内で先方に向うに従って互いに接近するように傾斜した状態で収容される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フィルムタイプのプローブユニット及びその製造方法に関するものであり、より詳しくは、被検査体の電極と同一なピッチを有するプローブシートを別途製作し、電極が極微細ピッチで形成された場合にも接触性能に優れるフィルムタイプのプローブユニット及びその製造方法に関するものである。
【解決手段】本発明によるフィルムタイプのプローブユニットは、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が、被検査体に接触する接触部になるプローブシート；及び前記プローブシートが底面に備えられるボディブロック；を含み、前記接触部は２列以上で形成されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】配線基板のプローブピンによる打痕を抑制して、配線基板の配線検査を効率良く行うことができ、さらには、コストを低減できる配線検査治具及び配線検査装置を提供する。
【解決手段】上板部材、中間部材、下板部材、複数の中間ピン、同じ長さの複数のプローブピン、を備え、複数の中間ピンのそれぞれの上部は、下板部材の上面部からそれぞれの中間ピンごとに予め定められた距離で配置され、複数のプローブピンの一端部は、それぞれ複数の第１の貫通孔及び複数の第１の貫通孔に対応する複数の第２の貫通孔のそれぞれを貫通して複数の第３の貫通孔のそれぞれに配置された複数の中間ピンのそれぞれの上部に接触するように、下板部材の上面部に対して所定の角度で挿入され、複数のプローブピンのそれぞれの他端部は、複数の第１の貫通孔からの突出量が同一であることを特徴とする配線検査治具。 （もっと読む）

【課題】 コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することのできる回路基板検査装置を得る。
【解決手段】 導電性の筒状体からなるバレル３、回路基板１５と接触するとともにバレル３に進退可能に嵌められ最適なストローク位置を判別できるように塗装されたプランジャー２、プランジャー１を軸方向に付勢する弾性部材４、コンタクトプローブ１のストローク量をバレル３からの塗装の露出量に基づき測定するストローク量測定部、及び、ストローク量測定部が測定したコンタクトプローブ１のストローク量をもとにストローク量の適否を判断する適否判断部、を備えた回路基板検査装置。 （もっと読む）

【課題】計測用クリップを着脱させて利用できる低圧配電路用の電圧測定補助具を提供することを課題とする。
【解決手段】電圧測定補助具を、クリップが取り付け可能なクリップ取付端子と、これに電気的に接続され、電線の絶縁被覆に食い込む鋭利な先端を備えた鋭先電極と、電線を挟み込むと共に鋭先電極を電線の絶縁被覆に対して側方から押し付ける押圧手段を備えた締め付け機構とを有し、クリップ取付端子と鋭先電極とを一体化したモジュールを締め付け機構に着脱自在に装着する。クリップ取付端子と鋭先電極とを締め付け機構に一体化させてもよい。 （もっと読む）

【課題】 部品点数及び組立工数が少なく、電極部と安定して接触できる検査用治具及び検査用治具に用いる検査用プローブの提供。
【解決手段】 複数の検査用プローブと複数の電極部と検査用プローブを保持する保持体を備える検査用治具であって、検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、保持体は検査用プローブの一端を検査点に案内する検査側案内孔を有する検査側案内板と、検査用プローブの他端を電極部に案内する電極側案内孔を有する電極側案内板を有し、電極側案内孔は係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、接続体の表面には異方性導電シートが載置されていることを特徴とする。 （もっと読む）