【課題】 部品点数及び組立工数が少なく、電極部と安定して接触できる検査用治具及び検査用治具に用いる検査用プローブの提供。
【解決手段】 複数の検査用プローブと複数の電極部と検査用プローブを保持する保持体を備える検査用治具であって、検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、保持体は検査用プローブの一端を検査点に案内する検査側案内孔を有する検査側案内板と、検査用プローブの他端を電極部に案内する電極側案内孔を有する電極側案内板を有し、電極側案内孔は係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、接続体の表面には異方性導電シートが載置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブ針のクリーニング方法において、少ない工数でプローブ針に付着した異物を確実に除去できるようにする。
【解決手段】少なくともプローブ針２の先端側部分を収容可能な有底の凹部１１を有すると共に当該凹部１１の底面１１ａ及び内周面１１ｂが前記プローブ針２を研磨するための研磨面とされたクリーニング部材５を用意する。そして、プローブ針２の先端を前記凹部１１の底面１１ａに押し付けると共に、前記プローブ針２の外周面２ｂを前記凹部１１の内周面１１ｂに当接させた状態で、前記プローブ針２が前記内周面１１ｂの周方向に公転旋回するように、前記プローブ針２及び前記クリーニング部材５を相対的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 配線抵抗が低く、熱負荷試験時において、プローブカード用セラミック配線基板に設けられたプローブピンとＳｉウエハの表面に形成された測定パッドとの位置ずれが小さく、電気特性の検査に好適に使用できるプローブカード用セラミック配線基板とこれを用いたプローブカードを提供する。
【解決手段】 プローブカード用セラミック配線基板１がムライトを主結晶相とするセラミック焼結体からなる絶縁基体１１と、該絶縁基体１１内に設けられた銅が４０〜６０体積％、タングステンが４０〜６０体積％である組成を有する銅とタングステンとの複合導体とを具備することにより、熱負荷試験時において、プローブカード用セラミック配線基板１に設けられた測定端子とＳｉウエハの表面に形成された測定パッドとの位置ずれが小さく、電気特性の検査に好適に使用できるプローブカード２を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】荷重によってたわみを生じる方向を制御することができ、ユニット化する際の組立を容易に行うことができ、ユニット化した後のメインテナンスを効率よく行うことができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供する。
【解決手段】荷重によって弾性座屈する弾性座屈部２２の所定方向における幅を弾性座屈部２２の長手方向に沿って変化させ、弾性座屈部２２の長手方向に沿って第１接触部２１の荷重作用点Ｔを通過する平面が弾性座屈部２２の所定方向における幅の変化が大きい箇所における幅の中点Ｍを通過しないようにオフセットするとともに、弾性座屈部２２を含む柱状部分と直交する方向へ板状に延びた腕部２４を設ける。 （もっと読む）

【課題】配線検査治具を用いて配線検査を行う際に、コストの低減及び作業の高効率化を図ることができる配線検査治具用変換盤及び配線検査治具を提供する。
【解決手段】所定のピッチで縦横に直交して配置される複数の配線及び前記複数の配線の交点にそれぞれ設けられた複数のスルーホールを有し、積層して配置される２以上の基板と、前記複数のスルーホールに挿入されて、前記２以上の基板のそれぞれを電気的に接続する複数の導通体と、を備え、前記２以上の基板は、それぞれに配置された前記複数の配線の所定箇所が切断され、前記複数の導通体は、前記２以上の基板の所定のスルーホールに挿入されて、それぞれ前記２以上の基板の前記複数の配線同士を電気的に接続することを特徴とする配線検査治具用変換盤。 （もっと読む）

【課題】従来のＡｇ−Ｐｄ−Ｃｕ合金よりも高い硬さの合金が求められる傾向にあり、その対策が要求されている。
【解決手段】Ａｇ２５〜５０ｗｔ％、Ｐｄ２５〜５０ｗｔ％、Ｃｕ１５〜４０ｗｔ％からなるＡｇ−Ｐｄ−Ｃｕ合金に、Ｉｎ０．１〜５ｗｔ％を添加し、圧延加工後および析出硬化後の硬さを向上させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 イリジウムを材質とする接触ピンを可動ピンと接合する実用性と信頼性の高い手段を提供することによって、安価でありながら耐食性、耐摩耗性に優れ、接触抵抗が小さく長寿命のスプリングピンを実現することを目的とする。
【構成】 可動軸１４は、イリジウムを材質とする接触ピン１５、薄肉パイプ１６、および可動ピン１７からなり、可動ピン１７の段付部２０は薄肉パイプ１６とスポット溶接２２によって接合されている。接触ピン１５の段付部１９には、０．５ミクロンから５ミクロンの範囲の平均面粗さを付与されているか、または電気伝導性良好な金属メッキが付与されており、該薄肉パイプは加熱されて、その内面が該面粗さに食い込むか、または該金属メッキに融着している。 （もっと読む）

【課題】量産性が高く、かつ高温環境下における被検査装置の特性検査に好適な接続装置を提供する。
【解決手段】
本発明に係る接続装置は、被検査装置に電気的に接続する接触子を有する接続装置であって、支持板１０と、支持板１０上に固定され、互いに離間している第１及び第２の高さ調節ブロック２０と、第１の高さ調節ブロック２０上に固定され、第１の貫通孔３６を有する第１のコンタクトベース部材３０と、第２の高さ調節ブロック２０上に固定され、第２の貫通孔３６を有する第２のコンタクトベース部材３０と、第１の貫通孔３６に挿通されることにより位置決めされた第１の接触子３６ａと、第２の貫通孔３６に挿通されることにより位置決めされた第２の接触子３６ａとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの増大を抑制し、基板を大型化させることなく、プローブの配置を狭ピッチ化することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】 開口３２の周囲に複数の接続端子からなるコネクタ部３３が配置されたメイン基板３０と、貫通孔１０ａが形成され、第１面をメイン基板３０に対向させたガイド板１０と、ガイド板１０の第２面に固定され、端部を貫通孔１０ａに挿通させた複数のプローブ１１と、開口３２を経由させ、一端がコネクタ部３３に接続され、他端がプローブ１１の端部に接合されたフレキシブル基板５０により構成される。 （もっと読む）

【課題】 検査用プローブの先端部を正確な位置に保持することにより、微小な検査点の所定の位置に正確にその検査用プローブの先端を当接させる。
【解決手段】 検査治具は、被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられ、各々が、被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、複数のプローブの先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、複数のプローブの後端部を測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、ヘッドプレートとベースプレートとの間に設けられていて、ヘッドプレートを第１の位置から第２の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも第１の位置においてヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備える。 （もっと読む）

【課題】耐食性、耐摩耗性等の優れた性能を有し、弾力性があり、曲げ加工の容易なプローブカード用プローブピンを実現する。
【解決手段】プローブカード用プローブピン１は、イリジウムを主成分とする接触部プローブピン２、曲げ加工性、弾力性および電気伝導性の良好な材料からなる後部プローブピン３、および電気伝導性良好な材料からなり圧延ロール加工を施された薄肉パイプ４で構成される。接触部プローブピン２の先端円錐形状部７と後部プローブピン３の前端円錐形状部８は、０．５ミクロンから５ミクロンの範囲の面粗さが付与され、それぞれ薄肉パイプ４の両端に装着され、圧延ロール加工によって薄肉パイプ４の内面は該面粗さに食い込み外径は接触部プローブ２の外径に等しくなっている。 （もっと読む）

【課題】４端子測定方式を用い、接触ポイントを最小化することが可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置１００は、第１電流供給ワイヤー１１２ａおよび第２電流供給ワイヤー１１２ｂに電流を供給する電流供給部１１０と、第１電圧測定ワイヤー１２２ａと第２電圧測定ワイヤー１２２ｂとの間の電圧を測定する電圧測定部１２０と、第１電流供給ワイヤー１１２ａおよび第１電圧測定ワイヤー１２２ａに電気的に連結された第１接続電極部１３０ａと、第２電流供給ワイヤー１１２ｂおよび第２電圧測定ワイヤー１２２ｂに電気的に連結された第２接続電極部１３０ｂと、第１接続電極部１３０ａと電気的に連結され、配線パターンの一側に接触する第１接触プローブ１４０ａと、第２接続電極部１３０ｂに電気的に連結され、配線パターンの他側に接触する第２接触プローブ１４０ｂと、を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】パッドピッチに対応させてプローブ針の間隔を狭くすることができるようにする。
【解決手段】この半導体装置は、絶縁膜１１０上に形成されたパッド１２０と、パッド１２０に形成された凹部１２１と、凹部１２１内に形成された金属層１２２とを備える。パッド１２０は接続領域１２６及びプローブ領域１２４を備えている。接続領域１２６にはボンディングワイヤやバンプなどの接続部材が接続される。プローブ領域１２４は、半導体検査装置のプローブ針が接する領域である。そして金属層１２２はプローブ領域１２４に設けられている。パッド１２０は矩形であり、プローブ領域１２４は、パッド１２０のうち半導体装置の内側を向いている辺を含むように形成されている。金属層１２２は、パッド１２０よりもイオン化傾向の小さい金属により形成されている。 （もっと読む）

【課題】 安定した電気的接続を可能にし、かつ、突起状接続電極の突起頂点にスクラブ跡を付けることのないプローブ針のガイド部材、カンチレバー型プローブカード、並びに、半導体装置の試験方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 プローブ針先端部の移動をそのスクラブ方向に沿った直線方向にガイドする直線状の側部を備えたガイド孔を有し、当該ガイド孔が、上記プローブ針ガイド部材が突起状接続電極に対して使用位置に位置決めされたとき、突起状接続電極の突起頂点を通るスクラブ方向に沿った中心線から外れた頂点周辺部と対向する位置に開口するガイド孔であるプローブ針ガイド部材、そのようなプローブ針ガイド部材を備えたカンチレバー型のプローブカード、並びに、そのようなプローブ針ガイド部材を用いる半導体装置の試験方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】測定の安定性、再現性を向上させたプローブヘッドを実現する。
【解決手段】底部に所定の角度でハ字状に形成された孔を有する容器と、該容器の底部と開口部を２分する仕切板と、前記底部に対向し前記仕切板に固定された取付板と、該取付板に一端が固定され先端に向かって側面が先細りとなるように形成された台形状の台座と、該台座の両側面に回動可能に取付けられた円板状のベアリングと、該ベアリングの側面に固定された棒状のシャフトと、Ｌ字状に形成された一端が前記ベアリングの中心部に固定され他端は自由端とされた先端ピンと、前記棒状のシャフトに一端が係合し他端が前記容器の外面に位置するように配置されたスライドレバーを備え、前記容器の外面に配置された前記スライドレバーを直線方向に移動させることにより前記棒状のシャフトを介して前記ベアリングを回動させ、前記先端ピンのピッチを変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のはんだボールとの接触および清掃などを繰り返し行うことにより摩耗が進行しても、鋭角な頂点が維持される先端部を備えるプローブを提供する。
【解決手段】プローブ端子１０と、プローブ端子１０の先端に位置し、少なくとも１つの鋭角な頂点４０を有しており、半導体装置の外部接続端子に接続する先端部２０と、を有し、先端部２０は、プローブ端子１０の延伸方向と非垂直方向に伸びていて、先端部２０の他の部分よりも硬い棒状物３０を有するプローブを提供する。 （もっと読む）

【目的】 プローブピンの先端接触部を、イリジウムを主成分とする材料とし、本体部を曲げ加工性、弾力性および電気伝導性の良好な材料とする際の、先端接触部と本体部を接合する実用性の高い方法を提供して、耐食性、耐摩耗性等の優れた性能を有し、弾力性があり、曲げ加工の容易なプローブカード用プローブピンを実現すること。
【構成】 プローブカード用プローブピン２１は、円錐部２３、円筒部２４、および段付軸部２５からなるイリジウムを主成分とするプローブピン２２と、段付軸部２５に嵌着された銅、ベリリウム銅等電気伝導性と冷間加工性に優れた材料の薄肉パイプ２６とで構成されている。段付軸部２５には、０．５ミクロンから５ミクロンの範囲の平均表面粗さ、または銅、ニッケル等電気伝導性良好な金属メッキが付与され、該薄肉パイプ２６は加熱軟化され、内面は該段付軸部２５の表面粗さに食い込むか、または該金属メッキと融着し、プローブピン２２と薄肉パイプ２６を接合している。 （もっと読む）

【課題】スパイラル型のインダクタ、およびスパイラル型のインダクタの電気的特性の検
査方法を提供する。
【解決手段】ウエハ１２上にアレイ状に配列されたスパイラルコイル１６と、前記スパイ
ラルコイル１６の外周端部から延出した外部電極２０と、前記外部電極２０に並列に配置
され前記スパイラルコイル１６に接続される接続配線２２と、を有するスパイラル型のイ
ンダクタ１０であって、前記接続配線２２は、一のインダクタ１０ａの接続配線２２と、
一のインダクタ１０ａから前記外部電極２０の延出した方向に対して垂直方向にある他の
インダクタ１０ｂの外部電極２０と、の間隔と、前記インダクタ１０の電気的特性を検査
するシグナル端子２６と、前記シグナル端子２６から前記垂直方向に一定の間隔を置いて
配置され前記シグナル端子２６に接続されたグランド端子２８と、の間隔と、が互いに等
しくなる位置に配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブピンを交換する際に、プローブソケットに対するプローブピンの誤挿入を防止し得る基板検査装置を提供する。
【解決手段】プローブソケット２１と先端が王冠型のプローブピン２２との間に、アダプタ２４を介在させ、かつアダプタ２４の中央部にプローブソケット２１が挿入する貫通孔２４ａを形成して、貫通孔２４ａのプローブピン２２の挿入側に、プローブピン２２の突起部２２ａが挿入可能な凹部２４ｂを形成するようにしている。 （もっと読む）

【課題】半導体回路に影響を与えることなく確実に電極パッドとの電気的接続を得ることのできるプローバー装置を得る。
【解決手段】１又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、前記プローブ針を振動させるための振動子と、を有し、前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記プローブ針には、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数が与えられるものであることを特徴とするプローバー装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）