【課題】プランジャから直接配線に導通して、高周波及び高電流での検査に対応可能とすると共に、プローブの交換を容易に行え得る検査ユニットを提供する。
【解決手段】配線支持ボード２３に、配線１１の線本体１１ｂをレーザ溶射等により一体成形したボール状端子１１ｃを所定量移動自在かつ弾性部材４１により付勢して収納する。ピンボード２２を貫通しかつスプリング２６により付勢されてプランジャ２５が所定量移動自在に支持される。プランジャ２５の後端部に、弾性部材４１により付勢されたボール状端子１１ｃが接触する。 （もっと読む）

【課題】プローブ本体部側に従来のキャップに相当する弾性保護カバーを出没可能に内蔵させて紛失しないようにした測定器用テストプローブの提供。
【解決手段】接触ピンを突出させたプローブ本体部１２からコードを引き出さしてなる測定器用テストプローブ１１において、プローブ本体部１２は、一部を突出させて人為的な回転操作を可能に軸支させた回転ギア２０と、該回転ギア２０と噛合する噛合溝３４をその表面３２ａに有して内部空間１５の内コード部２３周りに螺旋状となって進退可能に配置される弾性保護カバー３２と、先端１３寄りにて弾性保護カバー３２の出入を許す出入口１９とを備え、接触ピン１６使用時には、出入口１９にその先端面３３ａ側が臨む位置まで弾性保護カバー３２の退避を可能とし、不使用時には、接触ピン１６の全体を進出させた弾性保護カバー３２で覆えるようにした。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減できるとともに製造時間を短縮できるセラミック基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】大版のグリーンシート３３の所定箇所（各母セラミック基板４７に対応する箇所）に、単一の金型を用いて、表側パッドより多い（即ち予想されるビア１１の数より多い所定数の）スルーホール３５を形成し、母セラミック基板４７のグリーンシート３１に対応した第１ラインＬ１で切断する。次に、そのグリーンシート３１を焼成して母セラミック基板４７を製造する。その後、仕様に応じて、表側パッド１９及び表面導電層２１を形成するとともに、裏側パッド２５を形成し、その後、第３ラインＬ３で切断して、ＩＣ検査装置用基板１を完成する。 （もっと読む）

【課題】使用不能な接触子の発生による接触子の交換サイクルを長くすることができる接触子を提供する。
【解決手段】電気的接続装置１０は、前後方向に間隔をおいた複数の台座１２を下面１４に備える基板１６と、それぞれが第１の接触子１８及び第２の接触子１９を備える複数対の接触子群とを含む。第１の接触子１８は、台座１２に支持された後端部２０と自由端である先端部２２とを有する左方向へ伸びる針主体部２４を備える。第２の接触子１９は、台座１２に支持された後端部２１と自由端である先端部２３とを有する右方向へ伸びる針主体部２５を備える。第１の接触子１８が折れた場合、第２の接触子１９を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】荷重点である変位出力端側に応答特性に優れた拡大移動量を付与して電気計測プローブをＺ軸方向に迅速に移動させることができる変位拡大機構および基板検査装置の提供。
【解決手段】基台部１２と、力点として作用させる当接部２５を備えて伸縮制御を自在に配設される伸縮体２２と、該伸縮体２２側からの押圧力を受けて変位出力端５７側に対しＺ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、基台部１２を含む必要箇所に介在させた各支点部１５を介して連結されるアーム体３２とで変位拡大機構１１を構成し、該変位拡大機構１１を具備させることで基板検査装置を形成した。これにより、電気計測プローブＰが取り付けられる変位出力端５７側に対しては、アーム体３２を介してＺ軸方向での拡大された非線形の変位量を平行リンクを介して線形の変位量として出力することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】設計に要する時間および製造期間を短縮することができ、且つ比較的少ない治具で容易且つ安価に製造できる電子部品検査装置用配線基板を提供する。
【解決手段】表面２２および裏面２３を有する絶縁材からなり、該表面２２と裏面２３との間を貫通する複数の第１ビア導体２５と、該第１ビア導体２５ごとの両端に個別に接続される表面側の第１端子２６および外部との導通に用いる裏面側の外部端子２７とを有するベース基板２０と、該ベース基板２０の表面２２に実装され、少なくとも表面４側が絶縁材からなり、該表面４にプローブｐを取り付けるための複数のプローブ用パッド６、およびベース基板２０の第１端子２６と導通するための複数の第２端子７を有する実装用基板２と、を備える電子品検査装置用配線基板１ａであって、上記表面４の中心側のプローブ用パッド６と該表面４の周辺側の第２端子７との間を接続する表面配線８が実装用基板２の表面４に形成されている、電子品検査装置用配線基板１ａ。 （もっと読む）

【課題】プローブ先端形状が変化しても針入抵抗の変化を小さくでき、研磨層（クリーナ層）に対する針入量のバラツキを小さくして全てのテストプローブを均一にクリーニングする。また表面での付着物捕捉作用を増大させてテストの信頼性向上と製品の歩止まり向上を可能にする。
【解決手段】微細な研磨剤が混入されかつテストプローブ（１６，１８）の先端が進入可能な研磨層（４２）と、この研磨層（４２）の少なくとも一方の表面に積層され高分子ゲルから成る表面層（４４）とを備え、テストプローブ（１６，１８）の先端を表面層（４４）から研磨層（４２）に進入させることによりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】プローブ支持板を短期間かつ低コストで製造する。
【解決手段】プローブ支持板１１の製造方法であって、複数の金属薄板２０をそれぞれエッチングして、各金属薄板２０にプローブ１０を挿入させるための複数の貫通孔２１を形成するエッチング工程と、その後、複数の金属薄板２０の各貫通孔２１が金属薄板２０の厚み方向にそれぞれ連結されるように、複数の金属薄板２０を積層し、当該複数の金属薄板２０を接合する接合工程と、その後、各貫通孔の内側面２１に絶縁膜２２を形成する膜形成工程と、を有する。前記エッチング工程において、最上層と最下層との間に積層される中間層の金属薄板２０ｃの貫通孔２１ｃを、最上層と最下層の金属薄板２０ａ、２０ｂの貫通孔の径２１ａ、２１ｂより大きい径で形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスや集積回路などのテスト工程で使用されるプローブの先端に付着した異物を除去するクリーニング装置で、プローブ先端のスティックスリップ発生を防止した装置を提供する。
【解決手段】先端部が球面状あるいはその球面状の先端部の中途から直線で延伸する傾斜部が設けられたプローブ１１を装着する鉛直方向駆動機構２３と、クリーニングシート５０を固定するステージ３０、４０の水平方向駆動機構３２、４２と制御装置６０を備え、制御装置６０によってクリーニングシート５０へのプローブ１１の押し込み量が連続的に所定値に増加するよう鉛直方向駆動機構２３で、クリーニングシート５０に対するプローブ先端部１２の移動軌跡が閉ループとなるよう水平方向駆動機構３２、４２が駆動制御される。 （もっと読む）

【課題】清掃装置によるＣＦ基板の損傷を防止することにある。
【解決手段】プローブ装置は、電極を備える被検査体の上方に配置されて、またプローブ装置本体と、該プローブ装置本体に結合された清掃装置と、該清掃装置を前記プローブ装置に結合する結合装置とを含む。前記プローブ装置本体は、前記電極に接触されるように下方に向けられた針先を有する。前記清掃装置は、前記プローブ装置本体と前記被検査体とが相寄り相離れる上下方向への相対移動により前記電極に接触可能の前端部を前記針先より下方及び前方に備える。前記結合装置は、上方ほど後方となる斜めの方向に前記清掃装置と前記プローブ装置本体とを相対的に移動可能に結合している。 （もっと読む）

【課題】リード部との接触面積を十分に確保できない電子部品であっても大電流テストが可能な電子部品測定装置を提供する。
【解決手段】電子部品測定装置１は、複数のリード部Ｓ１が突出するとともに、当該リード部Ｓ１よりも幅広の金属板Ｓ２が底面に貼着され、少なくとも一本のリード部Ｓ１ａが当該金属板Ｓ２と接続された電子部品Ｓの特性測定を行う。この電子部品測定装置１は、このような電子部品Ｓが載置されるホールドピン６と、各リード部Ｓ１に接触するコンタクト２１，２２と、コンタクト２１，２２よりも幅広の金属板用コンタクト２２ｂを備える。金属板用コンタクト２２ｂは、金属板Ｓ２に接触させる。 （もっと読む）

【課題】プローブ針の針先平面度を高い精度で維持し、負圧による撓みを抑えて正確な検査を行う。
【解決手段】本発明の接触子は、互いに対向して設けられた２つの基板の各電極にそれぞれ接触して各電極間を電気的に接続するポゴピンと、当該ポゴピンの外周を囲繞して設けられ当該ポゴピンを支持すると共に上記２つの基板にそれぞれ当接して各基板間を設定間隔に維持する外側筒とを備えて構成した。また、検査装置の接続ユニットの各ポゴピン挿入穴に、上記接触子を備えた。 （もっと読む）

【課題】プローブピン用途に好適な貴金属合金であって、微細化に対応可能な加工性が良好であり、硬度、防汚特性に優れたものを提供する。
【解決手段】本発明は、添加元素として、Ｆｅ：３０〜１５０ｐｐｍ、Ｉｒ：８０〜３５０ｐｐｍ、Ｐｔ：１００〜３００ｐｐｍ、を含み、残部がＲｈからなるプローブピン用の線材に適したロジウム合金である、この材料からなるプローブピンは、ロジウムの持つ加工性を維持しつつ、低い接触圧でも接触抵抗が安定しており、強度面、防汚特性にも優れ、長期間安定的に使用可能なプローブピンである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、併用するＰＣＲとの接触さらには測定ノード部との接触が確実になり、ＰＣＲを使用する検査冶具が抱えていたコスト高、コンタミネイションの問題を解決するＰＣＲを用いた検査方法を得る。
【解決手段】基板１５を厚さ方向に貫通し両端部が基板１５の表面から突出している複数の導電性の可動ピン１８を備え、可動ピン１８は長さ方向に微動可能である可動ピン植設基板１７を使用し、電気絶縁シート内に導電部が埋め込まれることにより電気絶縁シートの厚さ方向に導通するＰＣＲ１０を可動ピン植設基板１７の片面に重ね、可動ピン植設基板１７とＰＣＲ１０を介して検査対処４の測定ノード５と検査装置とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】試験対象物の損傷を長期に抑制する試験装置を提供すること。
【解決手段】本体部４ｄと屈曲部４ｃと針先部４ａとを有し、前記針先部４ａの先端の外周部の後側から前記針先部４ａの長さ方向に延びて屈曲部４ｃの内側に達する溝４ｂを含むプローブ針４と、前記プローブ針４を支持する基板とを有するプローブカード３と、前記プローブカード３に対して試験信号を送受信する制御部１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】融点が異なる異種金属からなる線材を溶接して構成される検査用プローブにおける接合箇所の品質を向上した検査用プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成されかつ融点が異なる材料によって形成された第１、第２の線材１１０，１２０を接合して構成される検査用プローブ１００の製造方法を、第１及び第２の線材の接合面の一方に凸部１１１、他方に凹部１２１を形成し、第１、第２の線材のうち一方の接合面に、他方の線材の材料と近い融点を有する材料からなる金属被膜１３０を形成し、第１、第２の線材を凸部及び凹部が係合するように突合せ、加熱して溶接する構成とする。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、高温テスト又は低温テスト時に、カード保持部の熱膨張又は熱収縮による影響を受けたとしても、早期にプローブの先端の高さ位置の変動を抑制することができるプローブカードを提供する。
【構成】 プローブカードは、第１面とその裏側の第２面とを有するメイン基板１００と、メイン基板１００の第１面に固着された補強板２００と、熱膨張係数が補強板２００よりも小さい環状の補強部材３００と、補強部材３００の内側に保持されたプローブユニット４００と、メイン基板１００の第２面側で補強部材３００を補強板２００に固定する固定手段５００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】異種金属からなる線材をロウ付けして構成される検査用プローブにおける接合箇所の品質を向上した検査用プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成される第１の線材１１０及び第２の線材１２０を接合して構成される検査用プローブの製造方法を、第１の線材１１０の接合面及び第２の線材１２０の接合面の一方に凸部１１１を形成するとともに他方に凸部と係合する凹部１２１を形成し、第１の線材の接合面及び第２の線材の接合面の少なくとも一方に金属被膜１３０，１４０を形成し、第１の線材の接合面及び第２の線材の接合面の間にロウ材１５０を配置して第１の線材と第２の線材とを凸部及び凹部が係合するように突合せ、加熱することによってロウ材と金属被膜とをロウ付けする構成とする。 （もっと読む）

【課題】検査プローブを被測定パターンに確実に接触させて正確に検査できる検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置の提供。
【解決手段】検査プローブ接触検知機構１１は、検査プローブ１２を保持するプローブ移動手段２２と、プローブ移動手段２２の導電部２９を介して相互の電気的な導通を自在に離間配置された一対の電極部３８，３９と、該電極部３８，３９に接続されて電流を検出する計測回路とを備え、電極部３８，３９相互間に流される電流は、検査プローブ１２を被測定パターンに接触させた際に受ける接触圧によるその流れの遮断により検査プローブ１２の前被測定パターンへの接触の検知を可能に形成した。回路基板装置は、中央処理手段と、検査プローブ接触検知機構１１が検出した電気的信号に基づいてプロービング動作を制御するプロービング制御手段とで構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プローブカード用セラミック基板及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるプローブカード用セラミック基板は、複数のビア電極が形成されたセラミック基板と、セラミック基板の一面に形成され、上記ビア電極を露出させる複数の貫通ホールを含む絶縁層と、貫通ホールの内部に形成され、ビア電極と電気的に連結される接触パッドとを含む。 （もっと読む）