【課題】側壁にすき間領域があっても高精度に入射角度を制限可能な光学センサー及電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３０と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター４０と、を含む。角度制限フィルター４０は、少なくとも、第１の絶縁層に対応する第１のプラグと、第１の絶縁層よりも上層の第２の絶縁層に対応する第２のプラグにより形成される。第１のプラグと第２のプラグの間には、すき間間隔ｂがλ／２以下のすき間領域がある。 （もっと読む）

【課題】高さが異なる面を有する微小な構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に感光性材料層を形成する工程（ｂ）と、感光性材料層の上方にマスクを配置する工程（ｃ）と、感光性材料層のうち、第１の領域以外の部分をマスクによって遮光しながら、第１の領域を露光する工程（ｄ）と、マスクを感光性材料層の面に沿って移動する工程（ｅ）と、感光性材料層のうち、第１の領域の一部である第２領域と、第２領域に接し、工程（ｄ）で遮光された領域の一部である第３の領域以外の部分をマスクによって遮光しながら、第２の領域と第３領域を露光する工程（ｆ）と、感光性材料層を現像することにより、マスクの移動方向に沿って高さが異なる面を感光性材料層に形成する工程（ｇ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板２０に設けられた第１，第２固定電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２固定電極と対向する第１，第２可変電極７２，７４とを有し、第１、第２可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第２可変電極のスリット部を形成した。 （もっと読む）

【課題】 高速かつ高感度な分光が可能であるとともに、小型化を実現可能な分光装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光が入力される光入力部１０２と、光学素子と、光偏向素子１０７と、光偏向素子１０７から出射された光を反射する反射素子１０８と、光検出器１１０とを少なくとも備え、
光偏向素子１０７が、電気光学効果を有する材料で形成された屈折率変化領域１２１、及び屈折率変化領域１２１を挟むように電極１２２が配置されてなり、
反射素子１０８が、特定波長の光を共鳴反射する波長選択性を有する共鳴フィルタであることを特徴とする分光装置１０１である。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で反射膜同士の貼り付きを防止できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１と、第１基板５１に対向する第２基板５２と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４とミラー間ギャップＧ１を介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、を備え、第１電極５６１の一部と、固定ミラー５４の外周縁の少なくとも一部とが積層されて構成される第１積層ストッパー部６０を有する。 （もっと読む）

【課題】配線信頼性を向上でき、かつ基板の撓みをも抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動部５２１および保持部５２２を有する可動基板５２と、固定反射膜５６と、可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４と、可動基板５２に設けられて各第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４にそれぞれ対向した第二電極５４７、５４７，５４６と、第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４および第二電極５４７、５４７，５４６を接続する導電性部材５５と、を具備し、導電性部材５５は、平面視において、可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｑ３の円周上に沿って等角度間隔となるように、可動基板５２の外周縁と保持部５２２の外周縁との間の領域内に設けられた。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーが接触するスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長可変バンドパスフィルタを用いた光スペクトラム測定装置及び光スペクトラム測定方法において、分解能が可変でありかつ分解能を狭くすることが可能でありかつ最大入力レベルを大きくすることを可能にすることを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、本願発明の光スペクトラム測定装置１０１は、遅延ループ光導波路１２に波長可変バンドパスフィルタ１４を挿入し、被測定光を波長可変バンドパスフィルタ１４にｎ（ｎは自然数。）回通過させる。さらに、遅延ループ光導波路１２と入力用光導波路１１とを入力側光スイッチ１３で接続し、波長可変バンドパスフィルタ１４に入力される被測定光を時間的に制限する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、中心波長を連続的に変えることができる分光装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも２個の可変バンドパスフィルタで構成された第１および第２のフィルタ群からなり、
これらフィルタ群は、光軸に対して互いに異なる方向に所望の回転角度で交わるように回転可能に取り付けられていることを特徴とする分光装置である。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光センサを得ることができる分光センサの製造方法を提供する。
【解決手段】 分光センサ１の製造方法では、ハンドル基板上にナノインプリント法によってキャビティ層２１を形成する。このように、ハンドル基板に対してナノインプリント法を実施することで、高精度のキャビティ層２１を安定して得ることができる。さらに、光透過基板３側にキャビティ層２１及びＤＢＲ層２２，２３を形成した後に、光検出基板４を接合する。これにより、キャビティ層２１やＤＢＲ層２２，２３を形成するための各プロセスにおいて光検出基板４にダメージが与えられるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】比較的少ない部品点数で、高速に２次元（ＸＹ）平面を高い波長分解能で分光できる小型で安価な分光装置とそれを用いた顕微鏡を提供すること。
【解決手段】試料を照射する光源と、前記試料の反射光から所望の波長領域を選択する可変バンドパスフィルタと、この可変バンドパスフィルタの透過光が入射される２次元アレイ検出器と、前記可変バンドパスフィルタの波長領域をシフトさせてシフト前後における前記２次元アレイ検出器の各素子の検出出力の差分を算出して分光出力とする制御装置とそれを用いた顕微鏡である。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ１では、キャビティ層２１が干渉フィルタ部２０Ａ〜２０Ｃのそれぞれに渡って一体的に形成されており、キャビティ層２１の一部が隣り合うＤＢＲ層２３，２３間の領域Ｒ２に入り込んでいる。これにより、分光センサ１の使用時における温度サイクルに起因して、各干渉フィルタ部２０Ａ〜２０Ｃを構成する各部材が膨張・収縮しても、ＤＢＲ層２３からキャビティ層２１が剥がれることが防止される。 （もっと読む）

【課題】外的要因によるギャップの変動を抑制しつつ、所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること
【解決手段】第１基板５１に設けられた第１可動ミラー５６と、第１可動ミラー５６と所定のギャップＧを介して対向する第２可動ミラー５７と、ミラー間のギャップＧの寸法を変える静電アクチュエーター５４とを備える。第１基板５１は、第１可動ミラー５６が設けられた第１可動部５１２と、第１可動部５１２を基板厚み方向に移動可能に保持する第１連結保持部５１３とを備える。第２基板５２は、第２可動ミラー５７が設けられた第２可動部５２２と、第２可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する第２連結保持部５２３と備える。静電アクチュエーター５４は、各可動部５１２，５２２を相対的に移動させることで、ギャップＧの寸法を変更させる。 （もっと読む）

【課題】同一波長の直交する偏波が多重化された偏波多重信号光の各偏光を分離し、各信号光の特性を評価できるようにする。
【解決手段】光入射部２１に入射され可変波長光フィルタ２２を透過した光を前処理部２３で受けて、偏波状態の変更、位相変化から振幅変化への変換を行い、偏光ビームスプリッタ２６に入射し、偏光ビームスプリッタ２６で分離された一方の偏光成分の強度を第１受光部３０で検出し、他方の強度を第２受光部３１で検出する。また、分離された両偏光成分を差動バランス型の第３受光部３３に入射し、両偏光成分の差分信号の強度を検出し、その振幅を振幅検出部３４で検出する。評価処理部４０は、可変波長光フィルタ２２と前処理部２３を制御しつつ、第１受光部３０、第２受光部３１、振幅検出部３４の出力を受けて、光入射部２１に入射された偏波多重信号光の評価に必要な各特性を求める。 （もっと読む）

【課題】 波長可変フィルターの可動範囲を抑制すること。
【解決手段】 光フィルター３００は、第１波長可変バンドパスフィルター可変ＢＰＦ（１）と、第２波長可変バンドパスフィルター可変ＢＰＦ（２）と、駆動部３０１と、各バンドパスフィルターの分光帯域を可変に制御する制御部３０３と、を含み、第１波長可変バンドパスフィルターは、所望波長帯域における第１波長帯域（４００ｎｍ〜４６０ｎｍ）を分光可能とし、かつ、分光帯域として、前記第１波長帯域内の第１波長を中心波長とする第１分光帯域ｂ１と、第１波長帯域内の第２波長を中心波長とする第２分光帯域ｂ２と、を少なくとも有し、第２波長可変バンドパスフィルターは、所望波長帯域における、第１波長帯域に隣接する第２波長帯域（４８０ｎｍ〜５４０ｎｍ）を分光可能とし、かつ、分光帯域として、第２波長帯域内の第３波長を中心波長とする第３分光帯域ｂ５と、第２波長帯域内の第４波長を中心波長とする第４分光帯域ｂ６と、を少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】出力光の光軸ずれを低減しつつ、選択波長の可変範囲を容易に広げること。
【解決手段】この光源装置１は、光源からの光を直線偏光成分Ｌ３，Ｌ４に分離する偏光分離素子８と、直線偏光成分Ｌ３を偏光分離素子８に向けて反射させる高反射ミラー１１と、偏光分離素子８と高反射ミラー１１との間に設けられたフィルタ回転体９及び１／４波長板１０とを備え、フィルタ回転体９は、偏光分離素子８からの直線偏光成分Ｌ３に基づく光成分を、その光成分の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させ、入射角が変更可能なように回転可能に支持された４枚のバンドパスフィルタ９１ａ〜９１ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】Ｘｅフラッシュランプに代表されるような間欠発光光源の発光量の利用効率を改善し、良好なＳ／Ｎ比を得ることが可能な分光光度計を実現する。
【解決手段】広波長範囲の単一光源であるＸｅフラッシュランプ１からの光のうちの所望の波長光をモノクロメータ１０で選択し試料７を通過させ光検出器７で検出し、信号処理回路２３のローパスフィルタ２４に供給する。Ｘｅフラッシュランプ１の発光光度のピーク値から半値となるまでの経過時間を時定数とする遅延手段等の時間幅拡張手段としてのローパスフィルタ２４により光検出器７からの出力信号の波形を期間的に拡張する。拡張した期間の波形信号は増幅器２５、Ａ／Ｄ変換回路２６を介してコンピュータ２６に供給される。拡張した期間の波形信号を使用することができるので、全発光光量に対する利用効率を向上でき、Ｓ／Ｎ比の改善効果を最適化することかできる。 （もっと読む）

【課題】透過波長可変フィルタを用いて、高い波長分解能を有する分光測光装置を提供する。
【解決手段】入射した光を波長ごとに分光して透過させる光学部品であって、光が入射する面内の第１の方向に沿って透過波長が変化する第１の透過波長可変フィルタと、光が入射する面内の第２の方向に沿って透過波長が変化する第２の透過波長可変フィルタを有し、前記第１及び第２の透過波長可変フィルタを所定の間隔を隔てて、かつ、前記第１の方向と前記第２の方向が略平行となるように設置する。分光測光装置であって、前記光学部品と、前記光学部品を透過した光を受光する、複数のセンサが配列されたセンサアレイを備える。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と回折効率をともに向上できる分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法等を提供すること。
【解決手段】分光装置は、入射光を透過する透過型回折格子を含む。透過型回折格子は、第１の誘電体により形成される傾斜面１４０（または傾斜面１５０）を有する。傾斜面１４０は、基準線１３０に対して傾斜して配列される。透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線１３０に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線１３０に対して角度βとする。この場合、入射角度αは、傾斜面１４０対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度である。 （もっと読む）