本発明は、光の輝度及びピーク波長を決定する方法及び装置を提供する。該装置は、上記光を感知するための１以上の対の感知ユニットを有し、１つの対における第１感知ユニットは第１の所定の波長範囲内の光の第１輝度を第１の所定のスペクトル応答度で感知するように構成され、１つの対における第２感知ユニットは第１の所定の波長範囲内の光の第２輝度を第２の所定のスペクトル応答度で感知するように構成される。該装置は、更に、上記１以上の対の感知ユニットに動作的に接続された処理システムを有し、該処理システムは、光の１以上の所定の波長範囲の各々に関する輝度及びピーク波長を、上記第１輝度及び第２輝度の各々の間の１以上の所定の関数的関係に従って決定するように構成される。
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光学材料を特定するための光学特定システムが開示されている。当該システムは、通常回折エレメント（１０４）、検出器（１０６）、及び光学エレメント（１０２）を備える。光学エレメント（１０２）は、材料の照射レスポンスである照射ビームを受光するために適用される。当該光学エレメント（１０２）は、通常照射ビームを屈折により平行化して回折エレメント（１０４）に入射させるための屈折表面と、回折された照射ビームを反射して検出器（１０６）に入射させるための反射表面とを備える。光学エレメント（１０２）は、さらに照射ビームを受光するための受光サイドと反対側の、上記光学エレメント（１０２）の同じサイドに配置された回折エレメント（１０４）及び検出器（１０６）と協同するために適用される。
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【課題】物質間の物理的・化学的相互作用の変化により吸収スペクトルの波長変化やバックグラウンドの変化が起こっても精度の高い測定ができるようにする。
【解決手段】光源２より出射された光は、試料２を透過した後、結像光学系３で薄膜干渉フィルタ４上に結像され、薄膜干渉フィルタ４上に設置された光検出器５により検出される。光検出器５の出力信号はデータ処理装置６に入力され、ここでデータ処理される。薄膜干渉フィルタ４は、光の入射角を変化させて透過中心波長を調整できるように回転可能に設置されており、試料２の吸収ピーク波長に合わせるように調整される。 （もっと読む）

本発明は、光源のフォトメトリック及び／又はカラーメトリック特性の特徴を示すための装置及び方法を提供する。装置は、前記光源により放射された前記光の少なくとも一部に関する少なくともスペクトロラジオメトリックデータを示すデータを生成する検出システムを有する。装置は、更に、前記検出システムと前記光源との間の相対位置を制御するように構成された操作ステージを有する。加えて、装置は、前記検出システムの動作及び前記操作ステージの動作を制御し、前記データ並びに関連する検出システムの相対位置を記録するように構成された制御及び処理システムを有する。前記制御及び処理システムは、更に、前記光源により放射された前記光のフォトメトリック及び／又はカラーメトリック特性の決定のための収集したデータを処理するように構成される。
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マイクロミラーアレイ（ＭＭＡ）および２つの別個の光チャンネルおよび検出器等の適応的光学素子を利用するように設計された分光器。この機器は、信号のリアルタイムおよび準リアルタイムスケーリングおよび標準化を提供できる。

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光信号計測システム［１２００］は、調整可能な光学フィルタ［４０２］を設ける［１２０２］。未知の光信号［６２８］が調整可能な光学フィルタ［４０２］を介してを走査される［１２０４］。調整可能な光学フィルタ［４０２］をＯＳＡおよびＰＭＤ計測のうちの少なくとも一方については走査モードで、ＣＤ計測についてはステッピングモードで動作させることにより、調整可能な光学フィルタ［４０２］を介して走査される未知の光信号［６２８］の波長および色分散値が計測される［１２０６］。未知の光信号［６２８］における波長および分散値が特定される［１２０８］。
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【課題】時間分解分光器に対して改善された検出器の配置を提供する。
【解決手段】時間分解分光器は任意の原因のために時間と共に変化するスペクトルを分析するものである。スペクトルの時間変化は、例えば、（ｉ）（放射減衰のためなど）時間と共に所定のサンプルスペースからのスペクトルの変化、（ｉｉ）（レーザ走査分光器など）サンプルスペースの連続部分がサンプリングされるときのスペクトルの変化のためである。ＣＣＤデバイスは、時間変化するスペクトルを検出し、スペクトルを表す信号電荷を生成するように配置されるフォトサイトのアレイと、信号電荷を受信し、電荷増倍を提供するように配置される１又は複数のＣＣＤ増倍レジスタとを備えている。速度及び感度の強化は、１又は複数の増倍レジスタに直列に電荷を提供するために、フォトサイトのアレイから並列に信号電荷を受信する記憶領域によって与えられる。 （もっと読む）

【課題】物体への照射時あるいは光検出器の検出時における光源のスペクトル分布がガウシアン分布となる光源装置およびこれを用いた光コヒーレンストモグラフィ計測装置を提供する。
【解決手段】光コヒーレンストモグラフィ計測装置２００は、ガウシアン光源２０１を備えている。ガウシアン光源２０１は、非ガウシアン分布の発光スペクトルを有するＳＬＤ光源２０２と、その出力光を整形するガウシアン整形用光フィルタ２０３から構成されている。ガウシアン分布に整形された透過光２１５は計測用光学系２０４を通過し、光検出器２０５で検出される。サイドローブの強度が抑圧された良好な高精彩画像が得られる。 （もっと読む）

本発明は、光ビームの少なくとも２つのスペクトル・シフト・スペクトル分布を測定する分光装置に関し、前記装置は、分散要素が光ビームで照らされているとき前記光ビームのスペクトル成分の空間分散を生成するように構成された前記分散要素と、前記分散されたスペクトル成分の少なくとも一部の強度を測定するように構成された検出器とを備え、前記装置は、さらに、前記光ビームが前記分散要素に異なって当たるように少なくとも２つの異なるやり方で前記分散要素を照らすように構成された光学的シフト手段を備え、それによって、前記分散要素は、前記光ビームのスペクトル成分の少なくとも２つの空間シフト空間分散を生成する。本発明は、さらに、光ビームの少なくとも２つのスペクトル・シフト・スペクトル分布を測定する前記分光装置を備えるプロービング・システム、及び光ビームの少なくとも２つのスペクトル・シフト・スペクトル分布を測定する方法に関する。
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【課題】本開示は概略的に、多重波長作像分光器に対する方法および装置に関する。より詳細には、一実施例において本開示は、光子を貫通通過させる光学フィルタに関する。
【解決手段】前記フィルタは、第１フィルタ・ステージおよび第２フィルタ・ステージを含む。前記第１フィルタ・ステージは、第１リターダ要素と第１液晶セルとを含み得る。前記第１要素は、入力面および出力面を含み得る。前記第１要素の各面のひとつは、当該フィルタを貫通通過する光子の軌跡に対して実質的に直交しては配向されない。

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分光器は、入射光内に存在する異なる波長成分の間の曖昧さを区別する。分光器内の空間フィルタは、入射光を空間的にフィルタ処理する。分散系は、空間的にフィルタ処理された光を受け取り、２つ以上の波長別画像が検出器系において少なくとも部分的にオーバーラップするように空間フィルタの画像を波長に依存して分散する。検出器系は、１つ以上のオーバーラップした画像の間の曖昧さを除去するために分散光を検出及び処理する検出器アレイ及びプロセッサを具備する。検出器アレイは、符号化開口関数により定義される符号化開口空間フィルタに関連する符号化開口画像を検出してもよく、プロセッサは、符号化開口関数を補完する解析関数を使用して検出器アレイの出力信号を処理してもよい。検出器系は空間フィルタ画像をフィルタ処理し、結果として得られる検出器アレイの出力信号を電子的に処理してもよい。
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【課題】 遠紫外域や真空紫外域のような短波長帯においても高次光や迷光等を抑制し、電気的なノイズに対しても大きなS/N比を得ることができる光チョッパ及びそれを備えた分光装置を提供する。
【解決手段】 光チョッパに、広波長帯域の光を高透過率で透過させる第１領域と、測定目的波長以外の光を低透過率で透過させる第２領域を設ける。検出器に入射する光束をそれらに交互に通過させることにより、振幅変調によって電気的ノイズの除去が、透過帯域特性により迷光の影響の除去を行うことができる。 （もっと読む）

静的マルチモードマルチプレックス分光法のための方法及びシステムを開示する。静的マルチモードマルチプレックス分光法のための方法によれば、拡散ソースの異なる点から放射したスペクトルエネルギーを同時に受け取る。異なるマルチピークフィルタ関数を異なる点から放射したスペクトルエネルギーに適用して、各点に対する多チャンネルスペクトル測定値を生成する。この多チャンネルスペクトル測定値を合成して拡散ソースの特性を推定する。
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【課題】ウエハ上の焦点ずれ検出を改善するための方法および装置。
【解決手段】ハイパースペクトル画像化を用いることで、局所的な焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させ、フーリエ空間解析を用いることで、広域の焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させる。これらを組み合わせることにより、局所的および広域の焦点ずれ欠陥に対する全体的な感度が改善される。 （もっと読む）

【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルＥ９５の高精度な計測を行うこと。
【解決手段】 計測光（レーザ光）をレンズ１１で集光し、光ファイバ１２を通して取り込む。光ファイバ１２の出射側には、ファイバ揺動／移動機構１３が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。 光ファイバ１２から出射される光は、コリメータレンズ１４により適当な角度に集光され、エタロン１５に入射する。エタロン１５から出た光は、集光レンズ１６で集光され、ＣＣＤセンサなどのセンサ１７上にフリンジ像が結像する。センサ１７により取得したデータは積算処理され、波長スケール変換された後、デコンボリューション処理され、Ｅ９５が計測される。 （もっと読む）

【課題】 迷光補正を行い好適な測定画像を得ると共に、充分な精度を維持しつつ補正処理時間を短縮する。
【解決手段】 撮像により得られる観察画像に対する迷光の影響を補正して補正画像を求める迷光補正法として、迷光の影響に基づく迷光画像が重畳された観察画像と、予め測定されて記憶された、観察画像の撮像域における特定画素への単位強度の入射光に応じて該撮像域の全画素に対して得られる応答画像とから、観察画像の画素数より低い画素数の画像情報を用いて迷光画像を推定算出し、当該推定算出された迷光画像を観察画像から除去して実画像に近似する補正画像を算出する方法を用いる。 （もっと読む）

この分光装置では、透過波長帯域が異なる複数の干渉フィルタ３１，３２・・・を、特定の干渉フィルタ３１で反射された光が次段の干渉フィルタ３２に入射するように順次配置し、それぞれの干渉フィルタを透過した光が入射する位置に光検出素子４１，４２・・・を設けてなる分光装置において、この分光装置における初段の干渉フィルタ３１の光入射面側に厚さ２０〜２００ｎｍの銀薄膜３１ａを設けることとした。
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【課題】 照明光の分光特性が変化しても、被検物体の表面の欠陥を正確に検出できる検査装置を提供する。
【解決手段】 光源１１からの照明光を被検物体１０Ａに照射する照明手段１２〜１８と、照明光が照射された被検物体の像を形成する結像手段１７〜１９と、被検物体の像を複数の色成分に分解して各色成分ごとに撮像する撮像手段２０と、照明光を複数の色成分に分解して各色成分ごとに検知する検知手段２１〜２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 １つのトリミングフィルタにより、複数の波長範囲に分解された光の波長帯域を調整可能であり、損傷や塵埃の付着の影響が少なく、設定された波長範囲の光を確実に透過可能な色分解光学系とする。
【解決手段】 複数のプリズム１１，１２，１３を組み合わせることにより、入射光を互いに異なる複数の波長範囲の光に分解する色分解プリズム１０を構成する。色分解プリズム１０の被測定物側に、少なくとも１つの波長範囲に対応して、この波長範囲よりも狭い波長範囲を選択するトリミングフィルタ１４を着脱可能に配設する。 （もっと読む）

【課題】
波長方向に特徴をもつ対象物を撮影して得られたマルチスペクトル画像に基づいて、下地の色にばらつきがあるときにも、注目する特徴の成分を抽出する、対象物の分類や領域の抽出などの処理を可能にするマルチスペクトル画像処理方法を提供する。
【解決手段】
対象物の波長方向にＮチャネルを持つマルチスペクトル画像を撮影するステップと、得られたマルチスペクトル画像をＭ次元の基底関数の張る部分空間に投影して、対象物のＭ次元部分空間成分画像を得るステップと、得られたマルチスペクトル画像と対象物のＭ次元部分空間成分画像との差分を計算することにより、対象物の差分マルチスペクトル画像を得るステップと、対象物の差分マルチスペクトル画像のうち、指定された波長に対応する一つまたは複数のチャネルの差分特定波長画像を抽出するステップと、抽出された差分特定波長画像の画素値を用いて、画像内の各点の属するクラスを判定するステップとを有する。 （もっと読む）