【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】定電流を測定対象物に流すための電流制御用の出力トランジスタで生じる電力損失を、測定対象物の抵抗やプローブの配線抵抗の大小によらず小さくすることができ、トランジスタで発生する熱量を小さくすることができる測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１は、電源部２から測定対象物Ｒdutに電流Ｉcを流す経路内に、定電流を流すように駆動されるトランジスタＱ１を配して、測定対象物Ｒdutに定電流を供給し、測定対象物Ｒdutの両端電圧を検出して、測定対象物Ｒdutのパラメータを測定する測定装置であって、電源部２が出力電圧を変更可能になっており、電源部２に出力電圧を設定する電圧設定部６を備えると共に、トランジスタＱ１のＶ_CEを検出する電位差検出部３と、電位差検出部３の検出したＶ_CEを、トランジスタＱ１の飽和電圧Ｖ_CE(sat)に基づく閾値に対して比較する比較部５とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】半導体スイッチを介して測定対象体に対する測定用電圧の出力をオン・オフする構成において、スパイク電圧を大幅に低減する。
【解決手段】規定電圧値Ｖ１の測定用電圧Ｖｍを測定対象体２１に出力する電圧出力装置１であって、測定用電圧Ｖｍを出力すると共に測定用電圧Ｖｍの電圧値を制御可能な電源部２と、電源部２から出力される測定用電圧Ｖｍの測定対象体２１に対する出力をオン・オフする半導体スイッチ３ａと、電源部２および半導体スイッチ３ａを制御する処理部５とを備え、処理部５は、半導体スイッチ３ａをオフ状態に制御した状態において電源部２に対する制御を実行して測定用電圧Ｖｍの電圧値を段階的に複数回に亘って変化させて規定電圧値Ｖ１に設定する電圧設定処理、および半導体スイッチ３ａをオン状態に制御して規定電圧値Ｖ１に設定された測定用電圧Ｖｍを測定対象体２１に出力する電圧出力処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】複数の抵抗変化型センサを備える装置において、入力端子の増加を抑制すること。
【解決手段】プリンタ１０では、第１出力端子ＰＯ１と第２出力端子ＰＯ２の間に直列に接続されるＴＨＭａ５６とＴＨＭｂ５８に対し、第１出力端子ＰＯ１と第２出力端子ＰＯ２から、共に、時間に対して電源電圧Ｖｃｃと接地電圧ＧＮＤが切り換わり、位相が反転した第１交流信号ＡＣ１と第２交流信号ＡＣ２を印加する。第１電圧検出回路７４は、第１入力端子ＰＩ１に入力される中間点ＳＰ１の電圧を測定しており、第１交流信号ＡＣ１が電源電圧Ｖｃｃを印加する際に検出された検出電圧と、第１交流信号ＡＣ１が接地電圧ＧＮＤを印加する際に検出された検出電圧と、に基づいてＴＨＭａ５６とＴＨＭｂ５８の抵抗値を算出する。 （もっと読む）

【課題】等価回路のパラメータを正確に測定する。
【解決手段】試料のインピーダンスＺ，位相θの実測周波数特性を実測する処理２１と、Ｚの実測周波数特性での極大極小点を検出する処理２２と、極大点のみのときに試料の等価回路が第１，第２等価回路のいずれかであると特定する処理２４と、Ｚ，θの各実測周波数特性から第１，第２等価回路の各パラメータ値を算出する処理２５と、Ｚ，θの各実測周波数特性からリアクタンスの実測特定周波数特性を算出する処理２６と、第１，第２等価回路の各リアクタンスついての理論第１周波数特性および理論第２周波数特性を算出する処理２７と、理論第１周波数特性および理論第２周波数特性のうちの実測特定周波数特性に、より近似する周波数特性の等価回路を試料の等価回路として特定する処理２８と、特定した等価回路の各パラメータ値を試料の等価回路の各パラメータ値として決定する処理２９とを実行する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レジスタンス測定回路を提供する。
【解決手段】本発明のレジスタンス測定回路は、アンプリファイア、トランジスター、可変レジスター、固定レジスター、第一レジスター及び第二レジスターを備え、前記可変レジスターの一端は接地し、前記可変レジスターの他端は、前記第一レジスターによって直流電源に接続され、前記アンプリファイアの非反転入力端は、前記可変レジスターと前記第一レジスターとの間のノードに接続され、前記アンプリファイアの出力端は、前記第二レジスターによって前記トランジスターのベースに接続され、前記トランジスターのコレクタは、前記直流電源に接続され、前記トランジスターのエミッタは、レジスタンスを測定しようとするレジスターの一端に接続され、前記アンプリファイアの反転入力端は、前記固定レジスターによって接地し且つレジスタンスを測定しようとする前記レジスターの他端に接続される。 （もっと読む）

【課題】抵抗体の等価回路のパラメータを十分な精度で算出する。
【解決手段】抵抗体の並列共振周波数ｆｐを含む周波数帯域のＺ，θの各周波数特性を取得するＺθ周波数特性取得処理と、抵抗体のレジスタンスｒの周波数特性、並列共振周波数ｆｐおよび最大値ｒ_ｍａｘを検出するｒ周波数特性測定処理と、象限周波数ｆ１，ｆ２からＱを算出するＱ算出処理と、パラメータ値Ｃｖ（＝Ｑ／（２×π×ｆｐ×ｒ_ｍａｘ））を算出するＣ算出処理と、パラメータ値Ｌｖ（＝２×Ｑ^２／｛（２×π×ｆｐ）^２×Ｃｖ×（２×Ｑ^２−１）｝）を算出するＬ算出処理と、並列共振周波数ｆｐから十分に離れた低域側の周波数ｆ_Ｌ１でのＺおよびθに基づいて周波数ｆ_Ｌ１でのコンダクタンスＧ_ＬおよびサセプタンスＢ_Ｌを算出するＧＢ算出処理と、パラメータ値Ｒｖ（＝２×π×ｆ_Ｌ×Ｇ_Ｌ×Ｌｖ／（２×π×ｆ_Ｌ×Ｃｖ−Ｂ_Ｌ））を算出するＲ算出処理とを実行する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の周波数特性から推定した等価回路の素子定数に誤差があったときに、この誤差を無くすためにいずれの素子定数をどのように変化させればよいかということを測定者が判断する必要が無く、簡便な操作で正確な素子定数を得ることができる等価回路解析装置を提供する。
【解決手段】等価回路解析装置１は、タッチパネル１０と、ＤＵＴ９０の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、タッチパネル１０にグラフで表示させる測定部２と、ＤＵＴ９０の周波数特性に基づいて等価回路の各素子定数を推定する推定部３と、等価回路の周波数特性を算出してそのグラフ及び各素子定数を表示させる理論特性演算部５と、タッチパネル１０に表示されている等価回路のグラフの部位に接触してから、その接触位置をタッチパネル上で移動させる移動操作に対応させて、等価回路の素子定数を変更する素子定数変更処理部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に対する等価回路の近似の度合いを、定量的に表すことができる等価回路解析装置及び等価回路解析方法を提供する。
【解決手段】等価回路解析方法は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定する測定ステップＳ１と、測定ステップＳ１で測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定ステップＳ２と、等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を演算する理論特性演算ステップＳ３と、測定ステップＳ１で測定した測定対象物の周波数特性と理論特性演算ステップＳ３で演算した等価回路の周波数特性との近似の度合いを示す評価値を演算する残差２乗平均演算ステップＳ４及び残差演算ステップＳ５とを備える方法である。 （もっと読む）

【課題】安価で簡素な電気回路であると共に、広範囲のレンジにおいて、可変抵抗の電気抵抗値を高精度に計測できる電気抵抗の計測装置を提供する。
【解決手段】定電流を供給する定電流回路１と、定電流回路１に接続された計測対象の可変抵抗２と、可変抵抗２に並列接続されたシャント抵抗３と、可変抵抗２に直列接続されたキャリブレーション用スイッチ４を備える。このキャリブレーション用スイッチ４が接続状態の場合には可変抵抗２とシャント抵抗３とによる並列回路を形成し、遮断状態の場合には可変抵抗２に電流が供給されずシャント抵抗３に電流が供給される非並列回路を形成する。そして、抵抗値算出部７において、非並列回路においてキャリブレーションを行うと共に、並列回路において可変抵抗２の電気抵抗値Raを計測する。 （もっと読む）

【課題】一対のワニ口クリップを正しいかみ合わせのもとでゼロアジャストが行えるようにする。
【解決手段】四端子抵抗測定装置に用いられる電気測定用プローブで、ともに被測定抵抗体の所定部位を挟む一対の挟持片を有する２つのワニ口クリップ１，２を備え、ワニ口クリップ１，２の各一方の挟持片が電流供給用のソースプローブとして定電流源のＨｉ側とＬｏ側とに接続され、各他方の挟持片が電圧検出用のセンスプローブとして電圧測定手段のＨｉ側とＬｏ側とに接続される電気測定用プローブにおいて、ワニ口クリップ１，２の各一方の挟持片のうち、定電流源のＬｏ側に接続されるソースＬｏ側挟持片２１ａ（１０２）の反挟持面側に絶縁被覆１０２Ａを設けるとともに、各他方の挟持片のうち、電圧測定手段のＨｉ側に接続されるセンスＨｉ側挟持片１２ａ（２０１）の反挟持面側に絶縁被覆２０１Ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】２個の電流源の相対誤差に起因する測定誤差を打ち消すことを可能とする３線式抵抗測定装置を実現する。
【解決手段】被測定抵抗１０の一端に第１配線を介して第１電流源４１が接続され、被測定抵抗の他端に第２配線を介して第２電流源４２が接続され、被測定抵抗１０の他端が第３配線を介して基準電位に接続され、第２電流源４２の電流回路に基準抵抗５０が挿入され、第１電流源４１、第２電流源４２の出力電位差を示す第１電圧信号と、基準抵抗の端子間の電圧降下を示す第２電圧信号に基づいて被測定抵抗１０の値を演算する信号処理部２００を備える抵抗測定装置において、第１電流源４１、第２電流源４２の第１配線および第２配線への接続を切り替える電流切り替え手段１００を備え、信号処理部２００は、切り替え前の第１電圧信号および第２電圧信号と、切り替え後の第１電圧信号および第２電圧信号に基づいて被測定抵抗の値を演算する。 （もっと読む）

【課題】 デルタ回路のような配線の測定対象部を測定する場合であっても、高周波の電圧源を用いて、短時間で且つ精度良く測定することができる測定方法及び測定装置を提供する。特に、上記の如く、従来技術に利用されるアンプを用いることなく測定を可能にする。
【解決手段】 測定対象となる第一測定部、第二測定部と第三測定部が三角結線にて形成される測定対象部の抵抗値を算出するための測定装置であって、二つの結線用接点と残り一つの結線用接点との間に電力を供給して算出される抵抗値を、夫々の場合に応じて算出し、その結果から、各測定部の抵抗値を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象体を接続したときに、誤ったインピーダンスが表示される事態の発生を回避して、最初のインピーダンスの表示から正しいインピーダンスを表示させる。
【解決手段】測定対象体１４に流れる測定用電流Ｉ１および測定対象体１４の両端間電圧Ｖｍを予め規定された時間長の測定期間に亘って測定する測定処理を実行し、かつ測定用電流Ｉ１および両端間電圧Ｖｍを測定する都度、測定した測定用電流Ｉ１および両端間電圧Ｖｍに基づいて測定対象体１４の抵抗値Ｒ１を算出して表示部１１に表示させる算出処理を実行する処理部１０を備えると共に、測定対象体１４の接続・未接続を検出する接続検出部９を備え、処理部１０は、測定対象体１４の接続が接続検出部９によって検出されるまでは測定処理の実行を停止し、測定対象体１４の接続が接続検出部９によって検出されたときに、測定処理の実行を開始する。 （もっと読む）

【課題】２端子インピーダンス部品について、補正の対象となる測定系が実測時と同じ状態のままで校正作業を行うことができる、電子部品の高周波特性誤差補正方法を提供する。
【解決手段】高周波特性の異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を、基準測定系と実測測定系で測定し、実測測定系で測定した測定値と基準測定系で測定した測定値とを、伝送路の誤差補正係数を用いて関連付ける数式を決定する。任意の電子部品２を実測測定系で測定し、決定した数式を用いて、電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電子部品の高周波特性の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】容量検出装置と抵抗検出装置の高精度化を図る。
【解決手段】本発明の容量検出装置は、発振部、第１微分部、第２微分部、第３微分部、第４微分部、制御部、積分部、サンプルホールド部を備える。第１〜４微分部は、第１〜４容量センサを用いて、第１発振信号を微分した信号に相当する第１微分信号を生成する。第２容量センサは第１容量センサと逆向きに静電容量が変化する。第３容量センサは第１容量センサと同じ向きに静電容量が変化する。第４容量センサは第１容量センサと逆向きに静電容量が変化する。積分部は、第１の位相のときに第１微分信号と第４微分信号とを合成した信号に対応する第１合成信号を生成し、第２の位相のときに第２微分信号と第３微分信号とを合成した信号に対応する第２合成信号を生成し、積分制御信号にしたがって第１合成信号と第２合成信号とを積分し、積分信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を向上させつつ検査効率を向上させる。
【解決手段】検査対象の抵抗器１００に交流定電流Ｉｍを供給して抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを測定する測定処理を実行する測定部１４と、上下限値Ｒａ，Ｒｂと抵抗値Ｒｍとを比較して抵抗器１００に対する良否検査を実行する制御部１９とを備え、制御部１９は、測定部１４によって測定処理が実行される測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３以下のときには、良品サンプル１００ａが回路基板に搭載されている状態において測定されるべき第１抵抗値Ｒｒ１と測定部１４によって測定された良品サンプル１００ａの第２抵抗値Ｒｒ２との差分値を補正値Ｒｃとして求め、抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを補正値Ｒｃで補正する補正処理を実行し、補正後の抵抗値Ｒｍを用いて良否検査を実行する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の低電圧化を図りつつ、抵抗値などのパラメータの測定範囲の縮小を回避する。
【解決手段】電圧測定モードのときには電池電圧Ｖｃｃの中間電圧である第１中間電圧Ｖｆ１（＝Ｖｃｃ／２）を生成して共通端子４に出力し、抵抗測定モードのときには第１中間電圧Ｖｆ１よりも低い電圧の第２中間電圧Ｖｆ２を生成して共通端子４に出力する中間電圧生成部６と、抵抗測定モードのときには電圧測定端子２に接続されて電圧測定端子２および共通端子４間に接続された測定対象体２１に直流定電流Ｉ１を供給する定電流供給部７と、電圧測定モードのときには電圧測定端子２および共通端子４間の端子間電圧を測定対象電圧Ｖとして測定し、抵抗測定モードのときには端子間電圧の電圧値および直流定電流Ｉ１の電流値に基づいて抵抗値Ｒｏｂを算出する処理部１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】２端子インピーダンス部品について、補正の対象となる測定系が実測時と同じ状態のままで校正作業を行うことができる、電子部品の高周波特性誤差補正方法を提供する。
【解決手段】高周波特性の異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を、基準測定系と実測測定系で測定し、実測測定系で測定した測定値と基準測定系で測定した測定値とを、伝送路の誤差補正係数を用いて関連付ける数式を決定する。任意の電子部品２を実測測定系で測定し、決定した数式を用いて、電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電子部品の高周波特性の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】リレーの数を減少すると共に検査時間を短縮することができる絶縁性検査装置を提供する。
【解決手段】対象物に電源を供給して電圧または電流を測定する測定器３０と、測定器３０と対象物との間を電気的に接続するバス配線線路５０-１、５０-２と、該対象物の測定ポイントと該バス配線線路とを選択的に接続する測定ポイント変換リレー部１０と、該測定器と該バス配線線路とを選択的に接続する測定器変換リレー部２０とを含む。 （もっと読む）