【構成】 ガスセンサは、妨害ガスを除去するフィルタと、フィルタで処理済みのガス中の検出対象のガス成分を検出するセンサ本体とを備えている。フィルタは、ゼオライトと活性アルミナの質量比で9:1〜1:4の混合物である。
【効果】 このフィルタは、シリコーンガスの除去能力が高く、炭化水素等を吸着しない。 （もっと読む）

【課題】予防保全により、信頼性を維持することが可能なガス検知技術を提供する。
【解決手段】フィルタパッケージ１１０に収容されたセンサ素子１０のヒータ層３への間欠的な通電による加熱および感知層７への通電による電気抵抗値Ｒの検出によって雰囲気のガスの濃度を検出するガス検知装置１００において、検出対象のガス以外の干渉ガスの有無を判別するガス種判定手段２３を設け、干渉ガスが検出された場合には、検出対象ガスの検出のための閾値Ｒ２よりも大きな閾値Ｒ１を電気抵抗値Ｒが下回った場合にフィルタパッケージ１１０の劣化と判断して警報を出力することで、ガス検知装置１００の予防保全を実現する。 （もっと読む）

【課題】ガス種の判定ロジックを改良し、検知性能を維持しつつ低消費電力化を実現しようとするガス検知装置を提供する。
【解決手段】通常時にあっては干渉ガスまたは検知対象ガスの有無を検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれるか否かを判定し、さらに干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれる場合には干渉ガスを燃焼させる温度であってガス感知層が検知対象ガスのみを検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて検知対象ガスの有無または濃度を判定するガス検知装置とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、十分な機械的強度を備え、かつ、安定で、信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層上に形成されるガス感知層を備える薄膜ガスセンサであって、前記ガス感知層が、前記電気絶縁層上に形成される一対の感知電極層と、該一対の感知電極層の一部を覆うように、かつ、該一対の感知電極層の両方に渡って形成される感知層と、前記感知電極層及び該感知層を覆うように形成される選択燃焼層とを含み、前記選択燃焼層に含まれるバインダの粒径が、前記感知層を構成するＳｎＯ_２の粒径及び前記選択燃焼層を構成する金属酸化物の粒径よりも小さいことを特徴とする薄膜ガスセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うに、非検出対象ガスの影響を排除し、消費電力の低減を図ることができながらも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を短くして検知応答規定時間内に警報を発することが可能な技術を提供する。
【解決手段】ガス検知装置であって、筐体の外部に存在する検出対象ガスが筐体の内部に設けられたセンサ素子に到達してガス検知層にて検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することの検出が可能となる下限時間の検知応答時間と、筐体の外部に存在する検出対象ガスを筐体内のガス検知層にて検出することが必要とされる時間の検知応答規定時間とに関して、ガス種を判定するガス種判定手段による判定結果に基づいて、検出タイミングが、検知応答時間以上かつ検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、通常周期を変更する通電周期変更手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 通電により加熱された状態で検知対象ガスに感応するガス感応素子を有するガスセンサを具えてなるものにおいて、電源投入後、ガス濃度測定を行うことのできる状態を早期に得ることのできるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 前記ガスセンサを具えたガス検知器において、ガスセンサの起動時にゼロガスが導入されている状態において、センサ出力値が対数関数的に経時的に変化する特定の時間範囲内で選ばれた２つの測定時の各々においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値に基づいて、前記特定の時間範囲内におけるいずれかの測定時を出力補正対象測定時として当該出力補正対象測定時におけるセンサ出力値を予測して、これを補正用出力値として取得し、この補正用出力値に基づいて、前記出力補正対象測定時においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値を補正する機能を有する出力補正機構を具えてなる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム部に生じる歪(熱による歪・割れによって生じた歪)を検出し、故障を自己診断するようにして、検出特性の変化により発生する事故の未然防止に寄与する薄膜ガスセンサを提供する。更にこのような薄膜ガスセンサを製造する薄膜ガスセンサの製造方法も併せて提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部の上に歪感知層８１を４個配置し、さらにホイートストンブリッジ回路を形成する。これにより、ピエゾ抵抗素子として機能する歪感知層８１によりダイヤフラム部の歪を抵抗値の変化として検出することが可能になる。また、歪感知層８１はガス感知層５３と同じ材料とし、歪感知層８１とガス感知層５３とを同時に形成するため工数低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】電池駆動形ガスセンサとして使用しても、その特性が大きく変動しないガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層上に一対の電極を形成し、その上に半導体薄膜からなるガス感知層を形成し、さらにその最表面に選択燃焼層を形成した薄膜ガスセンサにおいて、ガス感知層７と選択燃焼層８との間に触媒拡散防止層９を設けることにより、高湿度環境下においても選択燃焼層８の貴金属触媒がガス感知層７まで拡散しないようにすることで、センサ特性が大きく変化しないようにする。 （もっと読む）

【課題】導電性構造体に接している、導電性の低い領域を製造する方法を提案すること
【解決手段】導電率の低い、導電性の構造体に接する領域を製造する方法であって、ａ）導電性構造体を設けるステップと；ｂ）当該導電性構造体を物質Ａと接触接続させるステップと；ｃ）導電性構造体と接触接続している物質Ａに刺激を加えるステップとを有している形式の方法において、ステップｃ）において刺激を加えることによって少なくとも部分的に物質Ａが物質Ａ１と物質Ａ２に変化するように、物質Ａを選択し、前記物質Ａ１が前記導電性構造体によって取り入れられ、前記物質Ａ２は前記導電性構造体によって取り入れられず、前記導電性構造体および物質Ａよりも低い導電率を有している方法。 （もっと読む）

【課題】ガス感応層の温度を正確に算出するようにして、ガス感応層に最適なヒータ駆動を行うようにした薄膜ガスセンサを提供することにある。
【解決手段】ヒータ層３により加熱された感知電極層５１１、検出部５１１ａおよび測温抵抗体５１１ｂの温度に応じた抵抗値の変化を電圧の変化に変換して検出し、さらにこの電圧の変化に基づいてヒータ層３の温度の高低を判別し、この高低に基づいてヒータ層３の温度制御を行う薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】バインダとしてシリカゾルを含有するガス選択燃焼層が覆う多孔質のガス感応層（ＳｎＯ_２層）でも、細孔や間隙中のシリカゾル（シリカコロイド）の浸透を低減して、ガス選択燃焼層の機械的強度の向上やガス感応層の検出性能の向上をともに実現する薄膜ガスセンサ、および、このような薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】ガス感応膜５３の複数の間隙５３２および複数の細孔５３３に高沸点液体６０を充填してからガス感応膜５３を覆うようにガス選択燃焼膜５４を形成し、これらガス感応膜５３およびガス選択燃焼膜５４を焼成して間隙５３２および細孔５３３の高沸点液体６０を蒸発させてガス感応膜５３に間隙５３２および細孔５３３を形成するとともにガス感応層５３およびガス選択燃焼層５４を形成するような薄膜ガスセンサおよびその製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】フィルタ層の剥離やクラックの発生を防止した長寿命の薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ヒータ層に通電する２本のヒータリードと、所定のガスを感知する感知層電極とを接続する２本の感知層リードを備えたダイヤフラム構造の薄膜センサにおいて、各ヒータリードおよび各感知層リードは、ダイヤフラムを構成する貫通孔の軸心に対して放射状に、かつ、この軸心を支点として各リード間の成す角を所定の角度以上、好ましくは３０度以上広げて位置付けた。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易な構成により調節作業の高精度化および機械化を実現し、性能および生産性の向上を共に図る薄膜ガスセンサを提供する。また、このような薄膜ガスセンサを搭載して性能および生産性の向上を共に図るガス漏れ警報器を提供する。さらにまた、このような薄膜ガスセンサの調節作業を行う薄膜ガスセンサ設定調節装置および薄膜ガスセンサ設定調節方法を提供する。
【解決手段】設定調節部７は、ヒータ層３、設定調節部７およびシャント抵抗８により形成される直列回路に電源を供給したときのヒータ層３およびシャント抵抗８を通じて取得された情報に基づいて、デジタルポテンショメータ７１の抵抗値を変化させて設定調節部７の合成抵抗値を増減させて、ヒータ層３が最適出力をするように設定調節された薄膜ガスセンサ１００，２００，３００とした。 （もっと読む）

【課題】ガス感知膜と電気絶縁層との界面の剥離やクラックの発生を防止し、長期的な安定性、信頼性を大幅に向上させると共に、ガス感知膜の熱応答性及び均熱性を改善したガスセンサと、このガスセンサを備えたガス検出器を提供する。
【解決手段】例えば、電気絶縁層８と、この電気絶縁層８の上面に形成された一対の感知膜電極９と、この感知膜電極９により抵抗が測定される酸化物半導体からなるガス感知膜１０と、を備えた薄膜ガスセンサにおいて、電気絶縁層８及び感知膜電極９とガス感知膜１０との界面近傍のガス感知膜１０側に、ガス感知膜１０よりも高密度の緻密部（緻密膜１０ａまたは１０ａ，１０ｂ、あるいは緻密層１０ｃ）を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて電気絶縁層と感知層との応力変化による影響を回避し、マイクロクラックの発生を抑止するようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層１４と感知層１５ｂとの間に歪超格子と同様に機能する中間バッファ層１６を設け、この中間バッファ層１６により熱衝撃に起因する電気絶縁層１４とガス感知層１５ｂとの応力変化を吸収し、その結果マイクロクラックの発生を抑止するような薄膜ガスセンサ１とした。 （もっと読む）

【課題】間欠駆動で動作する薄膜ガスセンサであっても、短期間でセンサ特性の初期変動を安定させ、エージング期間を短縮したエージング方法を採用する薄膜ガスセンサ、および、このような薄膜ガスセンサの初期安定化処理方法を提供する。
【解決手段】薄膜ガスセンサのガス感応層に対して、通常のガス検知パターンの駆動時間間隔よりも短い初期化用時間間隔Ｔ_ａで予め定められた回数のパルス駆動を行う第１のエージング工程と、第１のエージング工程に続いて通常のガス検知パターンと同じ駆動時間間隔Ｔ_ｂのパルス駆動を行う第２のエージング工程と、により初期安定化処理を行う。 （もっと読む）

【課題】従来から、薄膜型ガスセンサを構成する梁部は、ガス検知時に発生する熱応力によって梁部が撓み、梁部に亀裂が入ってしまうか、損壊してしまうことがあった。梁部の亀裂はセンサとしての信頼性の悪化を招き、損壊に至るとセンサとして機能しないため、大きな問題であった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、梁部に溝を設ける。この溝を設けることで、熱応力によって梁部が撓んだ場合でも、溝によって梁部の熱変形を吸収することができる。したがって、梁部に対してガス検知に伴う熱応力が印加しても、梁部の撓みによる応力集中を緩和し、梁部の破壊を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】熱絶縁支持層の脱ガスを確実に行ってガス選択燃焼層の焼成時にガスが発生しないようにして、膨れ・剥離の発生を防止した薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を有するＳｉ基板１と、熱酸化層２１、ＣＶＤ―ＳｉＮ層２２、ＣＶＤ―ＳｉＯ_２層２３の三層構造の熱絶縁支持層２と、ヒータ層３と、電気絶縁層４と、一対の感知電極層５１と、ガス感応層５２と、ガス選択燃焼層５３と、を備える薄膜ガスセンサの製造方法であって、熱絶縁支持層２の形成後、ＣＶＤ―ＳｉＮ層２２およびＣＶＤ―ＳｉＯ_２層２３に含まれるＨ_２ガスを主成分とするガスをアニールにより除去するアニール工程を有する薄膜ガスセンサの製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスを確実に除去するとともに十分な反応速度を確保し、長期間にわたり高い応答性を実現した可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】検出空間２１２を有するケース体２０と、検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタ６０と、無機化合物フィルタ６０を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタ３０と、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサ１０と、を備える可燃性ガス検出装置１とした。 （もっと読む）

【課題】微量成分分析検出のための自己較正ガスセンサに関する。
【解決手段】サンプルガスを導入する工程と、吸収サンプル及び流通サンプルを提供するのに十分な程度にサンプルガスの少なくとも一部を吸収する工程と、流通電気信号を提供するのに十分な程度に流通サンプルを検出する工程と、吸収サンプルを解放する工程と、吸収サンプル電気信号を提供するのに十分な程度に吸収サンプルを検出する工程と、較正サンプルを発生させる工程と、較正サンプル電気信号を提供するのに十分な程度に較正サンプルを検出する工程とを有する。具体的には、流れチャンネルと、流れチャンネル内に位置する濃度モジュレータと、流れチャンネルに接触するガス発生器と、濃度モジュレータ及びガス発生器の下流側に位置する１又はそれ以上のガス検出器と、ポンプとを有するガスセンサを特徴とする自己較正ガスセンサである。 （もっと読む）