【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】長期間交換する必要のないセンサを備える物質検出装置及び携帯電話機を提供する。
【解決手段】２次元マトリックス状に配置された複数のセンサ部２０と複数のセンサ部２０それぞれを外部から遮断する封止部１７とを有し、持ち運び可能な携帯電話機４の筐体４ａに着脱自在なマトリックスセンサ１０を備え、所定のセンサ部２０を指定し、指定されたセンサ部２０に対応する封止部１７を除去し、指定されたセンサ部１０による検出データを取得し、取得された検出データに基づいて、検出対象物質の濃度を算出し、算出された検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であるか否か判断し、検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であると判断された場合に、当該検出対象物質が検出された旨を報知し、複数のセンサ部１０の全てが指定された場合にマトリックスセンサ１０を交換するよう報知し、センサ部２０が劣化しているか否か判断するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガス排出物のような混合物の２種以上の成分を同時に分析して、たとえば、混合物中のガスのいずれをも分離する必要もなくガスをセンサーに直接接触させることにより生成させたデータだけから濃度を算出する。
【解決手段】化学的センサーおよび化学的センサーアレイを用いて多成分ガス系内のＮＯ_ｘ、炭化水素、一酸化炭素、酸素などの種々のガスの濃度を分析、感知、および測定する方法および装置である。センサーおよびセンサーアレイは、化学的／電気的活性物質を用いてガスの存在を分析および検出する。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサを提供する。
【解決手段】ガス・センサ（１００）は、ガス検知層（１１８）と、少なくとも１つの電極（１１２）と、接着層（１１４）と、前記ガス検知層（１１８）及び前記接着層（１１４）に隣接する応答修正層（１１６）とを含む。ガス・センサ（１００）を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ（１００）の製造方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】化学センサーアレイを用いる、多成分ガス系中のＮＯ_ｘ、炭化水素、一酸化炭素および酸素をはじめとする、様々なガスの濃度に関連した情報の分析、検知および測定のための方法および装置の提供。
【解決手段】該センサーアレイは、化学／電気活性材料を用いてガスの存在を分析および検出する。少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程と、応答を検出する工程と、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる方法を提供する。好ましくは化学／電気活性材料は半導体材料であり、多成分ガス系は燃焼プロセス排ガスである。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンス、またはＤＣ抵抗の測定値であり得る。 （もっと読む）

【課題】高濃度雰囲気中で安定に動作する水素センサーを提供する。
【解決手段】基板２と、該基板２上に形成された希土類金属膜３と、該希土類金属膜３上に形成された保護膜５であって前記保護５膜はセラミックス材料１５中に水素透過性金属粒子１３を分散してなる保護膜５と、前記保護膜上に形成された一対の電極膜と前記保護膜５及び電極膜上に形成された撥水膜４とを有することを特徴とする水素センサー。
希土類金属膜３の厚さが５〜１０００ｎｍであり、保護膜５の厚さが５〜４０ｎｍであり、撥水膜４の厚さが０．０１〜１．５μｍであり、電極膜１６a、１６bの厚さが５〜１０００ｎｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘ってガス選択性を有する半導体式ガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部２と、ガス感応部２を被覆する触媒層３とを備える半導体式ガス検知素子Ｒｓであって、触媒層３は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化セリウムからなる群から選択される少なくとも１種の金属酸化物を含む金属酸化物半導体に、セリウム、スズ、アルミニウム、ランタン、ニオブ、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、ネオジム、ガドリニウム、バナジウム、シリコン、マグネシウムからなる群から選択される少なくとも１種の金属元素を固溶させた金属複合酸化物を含有する。 （もっと読む）

【課題】熱ストレスによる割れが生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。
【解決手段】基板と、該基板上に形成された希土類金属からなる検知膜と、該検知膜上に形成された保護膜であって前記保護膜はセラミックス材料中に水素透過性金属粒子を分散してなる保護膜と、該保護膜上に離間して形成され該保護膜を介して検知膜と電気的に接続される一対の電極と、を有する水素センサ。前記水素透過性金属粒子は、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｂ、Ｖ、Ｔａであり、その好ましい含有量は２０〜７０質量％である。保護膜の電極間方向の抵抗値は１０〜１０００００Ω、検知膜の電極間方向の抵抗値は保護膜の電極間方向の抵抗値より小さい値であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】非水素成分による有害な影響や水素による劣化を抑制でき、更に、高感度で水素ガスを検出できる水素センサーを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板４と、該セラミックス基板４上に順次形成される下層セラミックス保護膜６及び上層セラミックス保護膜８と、前記上層セラミックス保護膜８及び下層セラミックス保護膜６の間に埋設される水素検知膜１０と、前記上層セラミックス保護膜８の表面であって前記水素検知膜８の両縁部近傍に形成される一対の電極２０ａ、２０bとからなる水素センサー２であって、少なくとも前記上層セラミックス保護膜８がセラミックス材料１６、１８中に水素透過性金属粒子１２、１４を分散させてなる複合材料保護膜で形成されてなる水素センサーとする。 （もっと読む）

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び／又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】外部放熱によって生じる無駄な消費電力を削減しつつ、パッケージサイズの小型化を図ることができるガス検知器を提供すること。
【解決手段】本発明のガス検知器１は、空気層に挟まれた絶縁性耐熱材の基板９と、基板の表面上の発熱素子１０と、発熱素子１０に接合され発熱素子１０の加熱によって所定の温度に被検知ガスと反応するガス反応素子２と、基板１０の表面上の発熱素子１０の形成領域１０ｐ外に形成された複数の電極８と、基板９において発熱素子１０の形成領域１０ｐから電極８の形成領域８ｐを隔てる断熱溝９ｇと他の部材６、７を備えており、基板９の周辺の空気を断熱材として利用することにより発熱素子１０の形成領域１０ｐ外への放熱を防止する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、複数のガスに対するガス感知層を１チップ化することを目的とする。
【解決手段】 薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板１と、基板の上に設けられた支持層２と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター５と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層６と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第１および第２のガス感知層１０，２０であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第１および第２のガス感知層と、第１のガス感知層と電気的に接触して設けられた第１の電極対１５，１６と、第２のガス感知層と電気的に接触して設けられた第２の電極対２５，２６とを備えるセンサが提供される。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供する。
【解決手段】 複数の孔を有する多孔質部材と多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたナノ構造体とを含む吸着剤である。ここで、ナノ構造体は炭素からなり得る。また、多孔質部材は２００℃以上の耐熱性を有することが好ましい。さらに、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサである。 （もっと読む）

【課題】触媒膜に金属酸化物および金属窒化物を添加させることによって、触媒膜の膜厚を薄くすることなしに、触媒膜が検知膜の保護を行い、且つ、ガス感度が高いガスセンサを提供する。
【解決手段】特定のガス分子を解離させ、且つ、検知膜２０の保護を行う触媒膜３０と、前記解離されたガスイオンにより、電気抵抗率が変化する検知膜と、前記触媒膜３０と検知膜２０の合成抵抗を測定する一対の電極とを備えるガスセンサにおいて、前記触媒膜３０は、触媒材料に金属酸化物または金属窒化物を添加させことにより、触媒膜３０の電気抵抗を高くして、ガス感度を向上することができる。 （もっと読む）

たとえば、ＨＦ、ＮＦ_３等を用いたエッチング洗浄を受けている半導体処理ツールの排出物など、フッ素を含むガスにおけるフッ素含有種を検出するためのガス検出器およびプロセス。好ましい構造配置における検出器は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）ベースのデバイス構造、および／または、検知成分として、かつ任意に、高温検知が要求されるときには熱源として機能する独立金属要素を用いる。独立金属要素は、標準チップキャリア／デバイスパッケージに直接製造して、パッケージが検出器のプラットフォームとなるようにすることができる。
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フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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本明細書に開示するのは、金属酸化物センサの配列の抵抗を、デジタル信号に変換するデバイスおよび方法であって、ここで、センサは、センサ配列を取り囲んでいるガスの濃度に応答する。このデバイスは、励起電圧をセンサに提供する電子励起デバイス、センサの抵抗をデジタル信号に変換するアナログ−ツー−デジタル信号変換デバイス、および、デジタル信号からガス濃度を算出する手段を含む。
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【課題】 酸化物半導体の抵抗値変化のオーバーシュートを抑制して、良好な応答性を呈するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスセンサ１は、セラミック基板３の上面に一対の対向電極５を形成し、更にその上面に、雰囲気中のガス濃度に応じて抵抗値が変化する酸化物半導体７を積層した構造となっている。また、酸化物半導体７の表面を含むセラミック基板３の全周には、雰囲気から酸化物半導体７に至るガスの拡散を制御する拡散制御層９が設けられている。拡散制御層９が上記ガスの拡散を適切な速度に制御するため、ＳｎＯ₂ のように感度が優れた物質を酸化物半導体７として使用しても、抵抗値変化のオーバーシュートを良好に抑制することができる。 （もっと読む）