【課題】アレイ分割時（ダイシング時）の切削負荷による層間剥離の発生を抑えることができるとともに、被着体側の変形を抑えることができるため、音響性能を向上させることができる超音波探触子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１と、圧電振動子の一方の面側に形成された第１電極層１ａと、第１電極層に第１接着層を介して積層された１又は２以上の導電性の音響整合層３と、音響整合層上に第２接着層を介して積層され、第２接着層側に電極パターンが形成された第１のフィルム４と、圧電振動子の他方の面側に形成された第２電極層１ｂと、第２電極層に第３接着層を介して積層され、第３接着層側の面に電極パターンが形成された第２のフィルム６と、第２のフィルムの他方の面側に第４接着層を介して積層された背面負荷材７とを備え、第１乃至第４接着層のうち、少なくとも１つの接着層に繊維状又はフレーク状の充填剤１０、１１を配合させた。 （もっと読む）

【課題】試料の弾性特性等を高精度に測定しうる超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】パルス光を用いて超音波を発生させ、発生した超音波を音響レンズ２で収束させて試料６に照射し、試料６で反射した反射超音波を用いて、試料６を観察する超音波顕微鏡１ａを用いる。その超音波顕微鏡１ａに、パルス光を照射するパルス光照射手段８を設ける。音響レンズ２において試料６に対面する側にレンズ面１２を形成する。その上で、照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発すると共に、当該超音波を試料６に送出する超音波送波部４をレンズ面１２に沿うように配備する。さらに、試料６で反射した超音波である反射超音波を受波する超音波受波部３を、超音波送波部４とは別位置に設ける。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ共振子を用いて確実に磁界検知ができる磁気センサを実現する。
【解決手段】ＳＡＷ共振子１０の水晶基板１１の表面１１１には、第１のくし形電極１２Ａ、第２のくし形電極１２Ｂが形成されている。第１のくし形電極１２Ａの電極指１２１Ａと第２のくし形電極１２Ｂの電極指１２１Ｂとは、配列方向に沿って交互に配置されており、全ての電極指１２１Ａ，１２１Ｂの長さおよび幅は同じである。電極指１２１Ａと電極指１２１Ｂの交叉幅も一定である。ＳＡＷ共振子１０を、磁界検出の一態様において、電極指１２１Ａ，１２１Ｂの配列方向すなわち共振信号の伝搬方向と磁石２０Ａ，２０Ｂで生じる磁界強度の中心軸とが平行になるように、設置する。より具体的には、交叉幅の中心を結んで得られるＳＡＷ共振子１０のＸ軸中心軸と、磁界強度の中心軸に対応する磁石２０Ａ，２０Ｂの中心軸とが略一致するように、ＳＡＷ共振子１０を設置する。 （もっと読む）

【課題】周波数に依存する弾性表面波の伝搬特性の変化から環境変化要因を計測する。
【解決手段】球形状の外表面に周回経路１１が構成され、励起された弾性表面波１２が周回経路に沿って伝搬して周回する球状弾性表面波素子１と、複数の周波数の高周波信号を発生する発生器４２と、前記周回経路に対向して配置され、１つの周波数の高周波信号により弾性表面波を励起し、この励起された弾性表面波を周回経路に沿って連続的に周回させ、かつ、周回してきた弾性表面波から発生する信号を検知し出力する弾性表面波励起・検知手段２と、高周波信号の励起時及び弾性表面波の所定周回目の信号検知時に弾性表面波励起・検知手段を周回経路に接近させるように移動調節する相対距離調節手段３と、周波数の違いによる前記弾性表面波の伝搬特性の変化から所望とする環境変化を計測する制御処理系４とを備えた球状弾性表面波装置である。 （もっと読む）

レーザと共振光キャビティとを用いて、気体または液体の媒体中に低濃度で存在する1つまたは複数の分析対象種を光音響によって識別および定量化するための方法および装置であり、該共振光キャビティが、該媒体を収容し、かつ少なくとも2つの部分的に透明なミラーを該キャビティの内部に有し、該ミラーのうちの1つがキャビティ結合ミラーであり、かつ、該ミラーのうちの1つが入力信号に応答するアセンブリに移動可能に取り付けられている。

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【課題】試料に対して高周波数の超音波を送出でき、高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】パルス光を照射するパルス光照射手段５から照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料に送出する超音波送波部４と、超音波送波部４から送出された超音波を収束させつつ試料に放射するレンズ面を備えた音響レンズ２と、を具備する超音波顕微鏡１において、音響レンズ２のレンズ面１０を、楕円体の表面の一部で構成する。当該楕円体を、楕円の長軸又は短軸を回転軸として得られる回転体とする。レンズ面１０を、当該回転軸が、超音波の音響レンズ内での伝播方向と平行になるように非球面の凹形状に形成する。 （もっと読む）

尿素溶液の品質を測定する機器（１００）は、機器の少なくとも一部を尿素溶液中に挿入して動作させる。機器（１００）は、尿素溶液のある体積中における力学的特性および電気的特性を測定するセンサ（１８０、１９０、２００）の構成を含み、力学的特性および電気的特性の測定値は、尿素溶液中に存在する成分によって相互に差が生じるように影響される。機器（１００）のデータ処理機構（２３０）は、力学的特性および電気的特性の測定を処理して、尿素溶液の品質を表示する出力データ（１２０）を生成するように動作可能である。機器（１００）は、他の種類の溶液の品質を測定するために適応させることも可能である。
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【課題】光源より照射される光の光路と機械電気変換素子の弾性波受信部を近づけることが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】機械電気変換素子は、光源１０から照射された光により検査対象１で発生する弾性波を受けて弾性波を電気信号に変換する。光源１０より照射される光の光路中に置かれる機械電気変換素子の少なくとも一部が、光透過性を有し、光源１０からの光の少なくとも一部が機械電気変換素子を通過して検査対象１に照射される。 （もっと読む）

【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部１９と参照用素子部２１との間に、遅延線の構造を有する第１遅延部５１を備えているので、測定用素子部１９から出力される信号を参照用素子部２１から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置３では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、出力信号の周波数特性が不安定となる問題点を解決するバイオセンサ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
基体と、前記基体上に形成される密着層と、前記密着層上に形成される選択層を有する、特定の検出対象を検出するバイオセンサ装置において、前記選択層と前記密着層との間に拡散防止層が形成されるバイオセンサ装置、または、
前記基体が圧電基板と保護層で構成され、前記圧電基板と前記保護層との間に電極層を有し、前記保護膜上に前記密着層が形成されるバイオセンサ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、周囲の複数の物質の状況の変化を従来に比べより精密により精度良く測定することが可能な弾性表面波測定装置を提供することである。
【解決手段】弾性表面波測定装置では、複数の基体１２の表面の円環状連続弾性表面波周回路１２ａ，１２ｂ，１２ｃに弾性表面波・励起／検知手段１４ａ，１４ｂ，１４ｃが高周波信号を基に弾性表面波を励起周回させ、周回した弾性表面波を検知し受信信号を発する。高周波信号入力／受信信号取り出し手段５６が、複数の励起／検知手段に高周波信号を同時に同位相で入力させるとともに互いに異なる時刻の周回後の弾性表面波から受信信号を取り出す。測定手段４６が、複数の受信信号に対応する表面波の所定の特性を互いに異なる時刻で測定する。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の外表面の弾性表面波周回路を周回する弾性表面波を正確に測定できる周回数を従来に比べ遥かに多くすることが出来、ひいては外部環境の測定精度を従来に比べ遥かに向上させることが出来る、球状弾性表面波装置を提供することである。
【解決手段】この発明の球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている弾性表面波周回路１０ａを外表面に含む球状弾性表面波素子１０と；上記周回路に対向して配置された弾性表面波・励起／検知手段１４と；そして、上記素子及び上記手段の少なくともいずれか一方を他方に対し相対的に移動可能に支持し、上記周回路と上記手段との間の距離を調節して上記手段により上記周回路に励起する弾性表面波の強度及び上記周回路を周回した弾性表面波を検知しそれに対応して上記手段が発する信号の強度を調整する相対距離調節手段１８と、を備えていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で実現でき、高調波成分に係る信号を効率よく抽出することができ、微視欠陥を高精度に計測できる超音波探触子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子１０は、両面に電極形成用金属膜１４，１５を有する超音波発振子１１と、音響レンズ１２と、超音波発振子と音響レンズの間に設けられる金属箔１３とからなり、超音波発振子と音響レンズは金属箔を介して相互に圧接されて接合されている。電極形成用金属膜１４，１５は銀（Ａｕ）／クロム（Ｃｒ）膜であり、金属箔１３の材質は白金（Ｐｔ）またはタングステン（Ｗ）である。 （もっと読む）

【課題】圧電性単結晶の基材を使用しても基材の円環状表面領域を周回する弾性表面波を指数関数的に減衰出来て周回速度も一定に保て、従来に比べ球状弾性表面波素子を利用した装置の動作精度をさらに向上出来る球状弾性表面波素子を提供することである。
【解決手段】球状弾性表面波素子１１は、圧電性単結晶基材１３の球面の一部で形成され最大径の外周線を含み円環状に延出している表面領域に弾性表面波を励起し上記表面領域の延出方向に周回させる電気音響変換素子１５の中心が、上記基材の上記表面領域において上記基材のＺ軸と直交する平面と上記球面との交線と異なる位置に配置されるか、又は上記交線上にあって弾性表面波の音速が最も高い位置に配置されることで、上記表面領域を多重周回する弾性表面波の強度の減衰が指数関数的な減衰と一致することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極と導体との接合が確実で、かつ歩留まりの高い電極接合構造を有する球状弾性表面波センサを得る。
【解決手段】球状ＳＡＷ水素センサ１０は、球状ＳＡＷ水素センサ１０表面の円周上にあるＳＡＷ周回経路に設置され、ＳＡＷ周回経路に沿って弾性表面波を発生および伝搬させるすだれ状電極と、ＳＡＷ周回経路を挟み、球状ＳＡＷ水素センサ１０表面の互いに対向する両極にそれぞれ形成された第１電極および第２電極と、すだれ状電極と第１電極および第２電極とを接続する引出し線と、第１電極および第２電極にその一端がそれぞれ接合された第１電極棒２０および第２電極棒３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】匂いの元となるガス分子を高感度に検出できるとともに、多種類のガス応答特性の対応できる匂いセンサ用球状弾性表面波素子および匂いセンシングシステムを提供する。
【解決手段】弾性表面波を周回させて伝搬する伝搬面を有する球状基材と、前記球状基材の伝搬面上に形成され、弾性表面波を前記球状基材の伝搬面に励起する電極と、前記球状基材の伝搬面上に形成され、匂いの元となるガス分子を吸着する感応膜とを有し、前記感応膜は脂質とポリマーとが共有結合したリポポリマーを含むことを特徴とする匂いセンサ用球状弾性表面波素子。 （もっと読む）

【課題】測定対象範囲の測定感度が略一定となるような超音波探傷装置および超音波探傷方法を提供すること。
【解決手段】
被測定材に超音波を照射し超音波エコーを受信できる超音波振動子を有する探触子と、該探触子と前記被測定材との相対位置および／または相対角度を変えることができる駆動手段と、複数の受信した前記超音波エコーの波形を記憶できる第一記憶手段と、受信した前記超音波エコーの波形を記憶できる第二記憶手段と、該第二記憶手段が記憶する波形と前記第一記憶手段が記憶する波形とを比較して、第一記憶手段に記憶される複数の波形から第二記憶手段に記憶される波形に略同一の波形を選択するマッチング手段と、を備え、前記駆動手段は、前記マッチング手段が選択した波形データに対応する探触子の位置から正しい測定位置に前記探触子を移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】大掛かりなマルチパスセルを必要とせず、入射光の波長を掃引しながら複数の吸収線を検知し、多種の吸収物質をコンパクトな装置で高感度に検出する。
【解決手段】レーザ光出射手段から出射された光を被測定物質に入射して、被測定物質の光学吸収特性を測定する光吸収測定装置において、被測定物質に入射された入射光の光路と交差するように、被測定物質内に第１の音叉を配置する。さらに、第１の音叉の共鳴周波数近傍の信号で入射光の強度を変調する変調手段と、第１の音叉の共鳴振動を第１の電気信号に変換する変換手段と、第１の電気信号と共鳴周波数近傍の信号とをロックイン検波して、測定物質の光学吸収特性を測定する測定手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子を用いて測定対象となる液状物の物性を、液状物の粘性や液温変化の影響を受けず、しかも、比較的簡素なシステムで、小型化及び低コスト化を測ることが可能なバイオセンサを使用した物性の測定方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子の片面に測定対象となる液状物を接触させ、前記水晶振動子を発振させるとともに前記水晶振動子の周波数の変動を測定することにより、前記液状物の物性を測定するためのバイオセンサを使用した測定方法であって、前記水晶振動子に印加される電圧の位相を変化させて、前記水晶振動子の発振点を異ならせ、少なくとも２点の周波数を測定することにより質量負荷と粘性負荷とを分離して測定することを特徴する。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子を速やかにセンサーホルダに装着し、薬液や気体中の成分の分析を速やかに行える弾性表面波装置を得る。
【解決手段】球状の圧電体基材を有し、前記圧電体基材の結晶のＺ軸に垂直で前記圧電体基材の中心を通る平面と前記圧電体基材の表面との交線に沿った周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記結晶のＺ軸に垂直な平面が前記圧電体基材に接する接点を北極と南極とする場合に、前記圧電体基材の球面に一方の前記櫛型電極に接続し、前記北極および南極に接する平面に平行して前記北極および南極から前記圧電体基材の寸法の５分の１以上３分の１以下の間隔で平行する平面と前記北極および南極の間の前記圧電体基材の表面を覆う北極側素子電極および南極側素子電極を有する球状弾性表面波素子を用いる。 （もっと読む）