【課題】ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化する。
【解決手段】液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。基板の変形量測定方法は、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】画像上の対象物の明るさに左右されることなく、対象物の抽出精度を確保する。
【解決手段】カラーハイライト照明を用いた基板検査装置において、リード先端部を検査のために抽出するに際し、処理対象のカラー画像を構成するＲ，Ｇ，Ｂの各色データをそれぞれ所定の係数により重み付けし、重み付け後の各色データの総和Ｉを濃度とするグレイスケール画像を生成する。ここで各係数のうち、検査対象のリード先端部を抽出するのに適した色データであるＲ，Ｇの係数には正の値が設定され、残りのＢには負の値が設定される。さらに生成されたグレイスケール画像について、判別分析法によりしきい値を特定した後に、そのしきい値による２値化処理を行って、リード先端部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】搬送ステージと撮像デバイスとを同期させて移動し、ワークを停止させることなく撮像することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査用のワーク１を所定の検査位置へ搬送する搬送ステージ３と、上記ワークが上記検査位置へ到達するまでに上記ワークの所定の２点における光軸方向の高さを検出する変位センサ４と、上記検査位置において光軸方向の位置が焦点深度内に保持され、上記ワークの外観を撮像するシャッタ速度1/20000以上の撮像デバイス５と、上記撮像デバイスによって撮像された画像を処理する画像処理装置８と、上記ワークの所定の１点から他の１点に向けて上記搬送ステージを移動させると共に、上記搬送ステージの移動と同期して上記撮像デバイスの光軸方向の位置を調整する制御装置９とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上と印刷精度確保のバランスがとれた最適な検査形態を実現することができる印刷検査装置および印刷検査方法を提供すること。
【解決手段】スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査において、基板の回路形成面に設けられた電子部品接合用の電極に印刷される要素半田印刷部の形状および位置を示す単位形状・位置データを、検査形態に応じて選定されるグループ化条件に従ってデータ群に括ることによって検査用データを作成する。検査時の良否判定はこのデータ群毎に行い、判定結果を各データ群毎に表示する。これにより、検査対象の基板の特性に応じた最適な検査形態をフレキシブルに選択することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの外観検査と内部検査とを単一化して検査効率を極大化させる半導体デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】表面実装型半導体チップパッケージや半導体モジュールなどの半導体デバイスに対する外観及び内部検査において、半導体デバイスの外観映像を獲得する外観映像検出部１２１と半導体デバイスにＸ線を照射して透過映像を獲得する透過映像検出部１３１と外観映像検出部１２１の検査情報と透過映像検出部１３１から獲得された映像情報とを基準映像と比較して良好/不良を判定するコントローラー１４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行う。
【解決手段】 認識対象物の画像認識時に用いる情報を設定するプログラムにおいて、認識対象物の画像内における所定の領域ごとに、認識対象物の色を判別するステップと、判別された色に関する統計量を算出するステップと、算出された統計量に基づいて、認識対象物を構成する構成色として設定するステップを実行し、色を判別するステップでは、出現頻度の高い色の領域を抽出するステップを実行し、設定ステップでは、算出された統計量に基づいて、出現頻度の高い色を構成色として設定するステップを実行し、色判別ステップでは、出現頻度の高い色に類似する領域を抽出するステップを実行し、統計量を算出するステップでは、出現頻度の高い色と、類似色との統計量を算出するステップを実行する。 （もっと読む）

【課題】欠陥修正工程の作業効率の向上、並びにタクトタイムの短縮を図る。
【解決手段】複数の配線部が繰り返し形成された基板１を撮影した欠陥画像３４と欠陥の無い参照画像とを照合して検出された欠陥２０ｆを修正する欠陥修正方法の表示方法であって、検出された欠陥２０ｆの基板１上での位置情報、及びその欠陥が配線部を構成する複数の領域１４，１５，１６，１７のいずれに属するかを示す領域情報を抽出する過程と、欠陥２０ｆの特徴情報を抽出する過程と、過去に実施された欠陥修正手法を含む種々の欠陥修正手法が蓄積されたデータベースから、欠陥の位置情報、領域情報及び特徴情報に対応して優先度の高い欠陥修正手法を読み出す過程と、読み出された前記欠陥修正手法に基づいて欠陥の修正を行う過程とを有する。読み出した欠陥修正方法は、欠陥画像３４と重ねて表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は半導体関連部品や液晶関連部品等に形成された周期構造に生ずる欠陥を検査する周期構造基板の検査装置及び検査方法に関する。
【解決手段】
周期構造が形成された基盤を照明するライン状の光源と、基板表面から生ずる回折光を検出するライン状のセンサと、ライン状のセンサの検出信号から基板表面を画像検出する搬送手段とを備えた、周期構造基板の検査装置であって、ライン状のセンサとライン状の光源のライン方向が、周期構造の並び方向に垂直に形成されていることを特徴とする周期構造基板の検査装置である。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置の照明手段の消費電力および発熱量を可及的に抑制するとともに、検査者の目に対する負担を低減した外観検査装置を提供する。
【解決手段】被外観検査物を照明する照明手段と、該照明手段により照明された上記被外観検査物を撮像検査する撮像検査手段と、該撮像検査手段および上記照明手段を次の検査対象に移動させる移動手段とを備えてなる外観検査装置において、上記照明手段は、上記撮像検査手段による撮像時には連続点灯制御される一方、上記移動手段による移動時には減光制御手段により間欠点灯制御されるようにした。 （もっと読む）

パターンのパラメータの変化を評価するための方法及びシステムが提供される。この方法は、パターン化された物品の少なくとも一部分の空間強度像を表すデータを処理し、更に、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内の所定の領域に対して空間像強度のある関数の値を決定することを含み、空間像強度の関数の前記値は、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内のパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すか、又はそのパターン化された物品を使用することにより製造されるパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すものである。 （もっと読む）

【課題】検査領域の設定データが倍率色収差により不正確になるのを防止する。
【解決手段】メモリ１５には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各単色画像毎に、カメラの視野における各画素の対応点の位置を検索するための位置換算テーブルと、画素毎に、周囲近傍の画素との間の分解能をそれぞれの画素に向かう方向毎に表した画素分解能テーブルとが登録される。また検査領域の設定データとして、撮像対象領域の中心点に対する検査領域の中心点の相対座標および検査領域の大きさを示すデータを登録する。検査の際には、各単色画像の位置換算テーブルからそれぞれ前記相対座標に最も近い画素を抽出し、これを検査領域の中心点とする。またこの中心点を起点に、画素分解能テーブルのデータを検査領域の各端縁に向かう方向毎に読み出して当該方向に対応するデータを累計し、その累計値が前記検査領域の大きさデータに最も近くなったときの画素を、検査領域の境界位置とする。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板上に印刷されたクリーム半田の印刷状態を、簡単な構成かつ低コストで、高速にかつ高精度で検査することができるクリーム半田印刷状態の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、クリーム半田が印刷されたプリント回路基板１０の印刷面におけるクリーム半田の印刷状態を検査する。プリント回路基板の印刷面に対して斜め方向からレーザ光を照射して高さ方向に濃淡場１６が作られる検査領域１０ａを形成する照明装置１１，１２と、検査領域を撮像して撮像データを生成するＣＣＤカメラ２０と、２つの照明装置とＣＣＤカメラから成る撮像系装置１００が、プリント回路基板の印刷面を走査するように、相対的移動を生じさせる移動装置１７と、撮像データに基づき検査領域でのクリーム半田の高さデータを算出する高さデータ算出手段３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学画像またはＸ線画像を利用する被検査体の検査装置の構成を簡略化し、コストの増加を抑制する。
【解決手段】基板検査装置は、基板２の光学画像、およびＸ線を照射することにより得られる基板２のＸ線画像の双方を撮像するラインセンサ３４と、撮像された光学画像およびＸ線画像を利用して被検査体の部品の実装状態を検査するスレーブＰＣと、を備える。基板検査装置は、基板２を移動しながら、または基板２の移動と停止を繰り返しながら、複数回にわたって撮像された画像を利用して基板２を検査するものであって、撮像領域が異なるラインセンサ３４が、基板２の被撮像面と平行かつ基板２の移動方向と垂直に複数並設される。 （もっと読む）

【課題】撮像時間の増加を抑制しながら光学画像およびＸ線画像を良好な画質で撮像し、短時間で精度のよい被検査体の検査を実施する検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置において、ラインセンサ３４は、基板の光学画像を撮像する。ＣＣＤセンサ１７２は、基板のＸ線画像を撮像する。スレーブＰＣは、撮像された光学画像およびＸ線画像を利用して基板の部品の実装状態を検査する。基板検査装置は基板の移動と停止を繰り返しながら、複数回にわたって撮像された画像を利用して基板を検査する。基板検査装置には、撮像領域が異なる複数のＣＣＤセンサ１７２が、基板の移動方向と略垂直に並設される。ＣＣＤセンサ１７２は、鏡により反射された基板のＸ線画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】透過画像として得られるＸ線画像を利用して正確かつ迅速に被検査体を検査することが可能な被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の検査装置において、光学撮像部は、被検査体の光学画像を撮像する。Ｘ線撮像部は、被検査体にＸ線が照射されることにより光学変換部に表示されるＸ線画像を撮像する。検査部は、撮像された光学画像を利用して検査対象領域を画定し、画定された検査対象領域におけるＸ線画像を検査することにより被検査体のブリッジ検査およびハンダ検査を実施する。Ｘ線撮像部は、光学撮像部によって被検査体の光学画像が撮像された後にＸ線画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】被検査部位への検査領域の設定を高い精度で行えるようにして、検査の精度を高める。
【解決手段】検査対象の基板について、あらかじめ全体画像１０３を作成し、この全体画像１０３上の被検査部位に検査領域３１を対応づけておく。検査時に、撮像対象領域３０に対応する位置にカメラ３Ａを位置決めして撮像し、処理対象画像４０を取得すると、全体画像１０３上でこの処理対象画像４０に対応する領域４１を抽出し、この領域４１の撮像対象領域３０に対するずれ量Δｘ，Δｙを算出する。さらに、検査領域３１の設定位置をずれ量Δｘ，Δｙを用いて補正し、この補正後の座標に基づき、処理対象画像４０に検査領域を設定する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行うことのできる画像認識装置のデータ設定装置を提供する。
【解決手段】
認識用対象物の認識用画像を設定データに基づき画像認識する画像認識装置の設定データを設定するデータ設定装置において、認識対象物が撮像された認識用画像内の認識領域を指定する認識画像入力部と、認識領域内の画像に基づいて記認識対象物の構成色の位置を抽出し、当該構成色に関する色のバラツキを示す統計量を算出する構成色処理部と、統計量に基づいて認識対象物の抽出色範囲を決定する検査データ決定部とを具備し、構成色処理部は、構成色に含まれる各画素の色空間における各次元の値に基づいてバラツキを示す統計量を算出する構成色統計量算出部を具備して構成する。 （もっと読む）

【課題】印刷検査を合理的に進めることにより当該検査の効率化を図る。
【解決手段】互いに独立する回路が形成された複数のエリアを有し、かつこれらエリアのうち部品の実装が不要な欠陥エリアに対してバットマークが形成される多面取り基板Ｐの印刷状態を基板認識カメラにより撮像して検査する方法であって、バットマークの座標位置を基板認識カメラにより事前に撮像することによって基板Ｐの各エリアにおけるバットマークの有無情報を取得し、この情報に基づき、各エリアのうちバットマークが形成されていないエリアを特定し、この特定エリアの印刷位置のみを撮像して印刷状態を検査する。 （もっと読む）

画像化すべき微細な特徴を有する概して平面的なワークの高解像度処理の為の装置であって、概して平面的なワーク上の微細部分の少なくとも２つの候補画像を取得するビデオカメラと、前記ビデオカメラが選択された時間間隔で前記少なくとも２つの候補画像を取得し、前記少なくとも２つの候補画像のそれぞれは少なくとも一つの画像パラメータが異なるように、前記ワークの面上の位置に概して垂直に伸びる光軸に沿って前記ビデオカメラの少なくとも一つの光学部品の前記ワークを基準とする移動を生じさせるよう動作するモーションコントローラと、予め決まった画像品質の基準にしたがって前記少なくとも２つの候補画像から、選択された微細部分に対応する個別の画像を選択するように動作する画像セレクタと、画像セレクタによって選択された個別の画像の少なくとも一部を分析するよう動作する選択画像アナライザと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 フレキシブル印刷回路基板のパターンを多数の領域に分割して撮影することでデータ分量を減少させて検査時間を短縮し、ソルダーレジスト(Solder Resist)領域まで検査できるフレキシブル印刷回路基板の外観検査装置及び方法を提供する。
また、樹脂層が塗布された領域と塗布されていない領域を別途に撮影し映像データの均一性を向上させるためのフレキシブル印刷回路基板の外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】
フレキシブル印刷回路基板を連続的に提供する巻出部、前記上記フレキシブル印刷回路基板の回路パターンを検査する後記の第１ないし第３の検査部、該検査部を通じて不良であると判別されたフレキシブル印刷回路基板に不良表示するための不良表示部、検査の終わったフレキシブル印刷回路基板を巻取る巻取部及び前記上記構成要素の諸般動作を制御する制御部を具備した外観検査装置を用いて検査を行う。構成される。また、後述のように種々の好ましい態様をとることができる。 （もっと読む）