【課題】基板検査に要するトータルの処理時間が長くすることなく、ステージの駆動機構による位置ずれによって生じる欠陥位置の誤差を低減する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板のアレイ欠陥を検査するＴＦＴアレイ検査装置であり、ＴＦＴアレイ基板を載置して検査位置に移動するステージと、移動中のステージの画像を取得する画像取得部と、この画像取得手段で取得した画像データを用いて検査位置におけるステージの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、位置ずれ量算出部で算出したステージの位置ずれ量に基づいて、欠陥検査により得られたＴＦＴアレイの欠陥位置を補正する欠陥位置補正部とを備える。ステージが移動している間にステージの位置ずれ量を求めることによって、処理時間を短縮する。 （もっと読む）

撮像組立品で、前記撮像組立品中の異なるそれぞれの場所に搭載され、試料のそれぞれの画像を記録するように構成された複数のカメラを含むものを備える、検査用の装置。移動組立品は、位置に関する所定の許容誤差で制限される精度で前記撮像組立品に前記試料を走査させるために、前記撮像組立品と前記サンプルの少なくとも一つを動かすように構成されている。画像処理装置は、前記位置に関する許容誤差よりも細かい位置精度で前記試料中の欠陥の位置を特定するために、前記カメラによって記録された画像を受信し、処理するために、結合されている。 （もっと読む）

【課題】画像モニタ中の要検査部位の画像を直接に動かすイメージで自在に動かして必要な部位を必要な方向から撮影した画像を表示させるようにすること。
【解決手段】正面用ビデオカメラ２ａ及び斜め用ビデオカメラ２ｂからなるカメラユニット２と、検査対象の回路基板１を保持する保持部３と、これを配したベース部４と、これに立ち上げたカメラユニット２を支持する門形フレーム５と、ベース部４に構成した保持部３のＹ方向移動機構４ａと、カメラユニット２の回転機構６ａ及びＺ方向移動機構６ｂと、門形フレーム５に構成したカメラユニット２のＸ方向移動機構５ａと、画像信号を再生する画像モニタ７と、各部を制御する制御部８と、動作指示用の指示用リモコン装置９と、画像モニタ７中の要検査部位を操作するイメージでＸ、Ｙ方向への変位操作、Ｚ方向の伸縮操作、Ｘ、Ｙ方向の傾き操作又は回転操作が可能な３Ｄマウス１４とで構成した。 （もっと読む）

【課題】圧痕の状態を判別する検査およびダミー電極の位置関係を判別する検査を、同じ検査装置で精度良く実行できるようにする。
【解決手段】カラー画像用のカメラ１０と、カメラ１０の光軸に沿って緑色光Ｌ_Ｇを照射する第１の照明部１２と、光軸に対して斜めになる方向から赤色光Ｌ_Ｒを照射する第２の照明部１３とを用いて、液晶パネルのガラス基板とＩＣ，ＦＰＣとの接続状態を検査する。異方性導電膜による接続によってガラス基板の基板側電極に生じた圧痕の状態を検査する場合には、カラー画像データの緑色成分の強度に基づき、圧痕の数および面積の適否を判別する。また、ダミー電極の位置関係を検査する場合には、ガラス基板側のダミー電極を表す緑色パターンとＩＣ，ＦＰＣ側のダミー電極を表す赤色パターンとを検出し、これらのパターン間の位置関係の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置において、上方検出系や斜方検出系などの複数の検出系を使用する場合、一つの検出系の検出視野に対して照明光およびウェハ高さを合わせた場合、他の検出系においてデフォーカスした像を検出してしまうため、欠陥検出感度が低下するという問題を解決する。
【解決手段】欠陥検査装置において、上方検出系や斜方検出系などの複数の検出系を使用する場合、一つの検出系の視野に対して、他の検出系の視野の位置を補正することによって、検査感度の低減を防ぐことが出来る。また、部品ばらつきや組立て誤差による、検査装置ごとの光軸ばらつきを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンの欠陥を検出する際に被検査画像を２値化して検査用の処理済画像を生成するための閾値を高精度に求める。
【解決手段】欠陥検出装置では、撮像部により基板の被検査画像が取得され、被検査画像にエッジ抽出フィルタを適用した上で２値化することによりエッジが抽出される。そして、被検査画像からエッジが除去されたエッジ除去済画像の濃度ヒストグラムに基づいて、被検査画像を２値化して検査用の処理済画像を生成するための検査用閾値が求められる。濃度ヒストグラムでは、エッジが除去されることにより、配線パターンに対応する濃度分布と基板本体に対応する濃度分布との間の濃度帯において画素の頻度が０となり、２つの濃度分布が明確に分離される。このため、基板本体に対応する濃度分布の最大濃度を検査用閾値とすることにより検査用閾値を高精度に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】効率よく平板状の検査対象物の欠陥を検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】平板状の検査対象物における欠陥を検査する検査装置１００であって、検査対象物の一方面が露出するように検査対象物を支持する支持部１１、及び、検査対象物の一方面を撮像する第一撮像手段１３を有する第一検査部１と、検査対象物の一方面を吸着して持ち上げるリフト手段２１、及び、検査対象物の他方面を撮像する第二撮像手段２３を有する第二検査部２と、第一撮像手段１３及び第二撮像手段２３が撮像した検査画像に基づいて検査対象物の欠陥を検出する判定装置３とを備える検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】低解像度カメラによる概要検査で詳細検査を必要とする部品を特定し、特定された部品の詳細検査を行う場合、概要検査範囲内の全部品が特定されるまで詳細検査を開始できないという問題がある。
【解決手段】検査機１００は、複数の検査ヘッド（ヘッド１、ヘッド２）を備え、複数の検査ヘッドで交互に基板を撮像して検査を行う。ヘッド１は低解像度のカメラが装着された検査ヘッドで、大視野で基板を撮像し、低解像度のカメラが装着された検査ヘッドの検査結果に応じて、高解像度のカメラが装着された他の検査ヘッドであるヘッド２が前記検査ヘッドに替わって小視野の詳細な検査を行う。 （もっと読む）

【課題】半田等の接合部材を容易にかつ短時間で検査することができる検査方法を提供する。
【解決手段】測定対象物までの距離を非接触に測定する非接触式変位計１０を、電子部品搭載基板に対し基板のマウント表面と平行を成すように相対的に移動させて、前記基板のマウント表面までの距離と前記電子部品の表面までの距離を測定する工程と、前記測定した基板のマウント表面までの距離から、前記測定した電子部品の表面までの距離と電子部品の厚さとを減算して、基板と電子部品の間に介在した接合材の厚さを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射性の高い物体を、簡単かつ正確に認識できるようにする。
【解決手段】基板Ｓに対してそれぞれ仰角が異なる方向に配置された３個の照明部Ａ，Ｂ，Ｃに互いに異なる色彩光を点灯させて、カメラ１により基板Ｓを撮像する処理を、撮像対象領域を変更せずに２回実行する。このとき２回目の撮像では、照明部Ａおよび照明部Ｃに点灯させる色彩光が１回目の撮像と反対になるように制御する。２回の撮像が終了すると、生成された２枚のカラー画像を用いて、これらの画像間で色差が所定のしきい値を超える画素を白画素とする２値の色差画像を生成する。さらに、はんだ付け部位を表すモデルデータ（テンプレート）を用いてこの色差画像に対するテンプレートマッチングを実行し、テンプレートに対する一致度が最も高い場所をはんだ付け部位として特定する。 （もっと読む）

【課題】落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを利用した検査が、片方のイメージだけを利用する検査装置と同程度の速度で行え、しかも設置面積の増大を招かず、廉価なパターン検査装置の提供。
【解決手段】フィルム状の帯状ワークであるテープ１０（ＣＯＦテープ等）の上面側及び下面側に配置され、テープ１０の上面側及び下面側をそれぞれ撮像するカメラ５ａ及び５ｂと、テープ１０の上面側から照明光を照射する照明装置４とを備えてなる。テープ１０における反射状態を表す落射照明イメージを生成するための落射光照明の機能と、テープ１０における透明度の分布を表す透過照明イメージを生成するための透過光照明の機能とが、１つの照明装置４だけで得られるので、１つの被検査パターンに関する落射照明イメージ及び透過照明イメージが同時に取得できる。 （もっと読む）

【課題】様々な形状の被撮像物の画像処理データの作成に幅広く対応できると共に、被撮像物のサンプル品の寸法精度の影響を補償して、画像処理データの精度を安定して確保できるようにする。
【解決手段】同一規格の電子部品（被撮像物）に関する複数のサンプル品をカメラで撮像して複数のサンプル画像を取得し、これら複数のサンプル画像を合成して合成画像を作成する。この際、複数のサンプル画像の各画素(i,j) の輝度を各画素(i,j) 毎に積算し、その輝度積算値をサンプル画像の総数で割り算して各画素(i,j) の平均輝度を求め、この平均輝度を合成画像の各画素(i,j) の輝度とし、この合成画像から画像処理データを作成する。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト方式の光学系により生成されたカラー画像を用いて、部品電極の浮き不良の検査とはんだ検査との双方を実行できるようにする。
【解決手段】赤色から青色に向かって徐々に波長が変化する光を、その波長の変化が入射角度が変化する方向に沿って生じるようにして基板Ｓに照射し、基板Ｓからの正反射光をカメラ１に入射させ、撮像を行う。生成されたカラー画像を用いた検査では、各部品のはんだ付け部位に対し、照明光の一部に相当する波長範囲に対応する色彩（たとえば青から青緑までの色彩）が現れている領域を抽出し、その抽出結果に基づきはんだ６３の表面状態の適否を判別する。さらに、部品電極の浮き不良を検査する場合には、カラー画像を濃淡画像に変換した後に、変換後の画像からエッジを抽出し、抽出されたエッジ画素の数を検査前に登録された判定基準値と比較する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査のスループットを低下させることなく、反射照明手段の照度測定を行えるようにし、ピットの存在を見逃すことがないようにすること。
【解決手段】撮像ユニット５１がワークＷの幅方向に走査され、反射照明手段２１により照明された配線パターン像が、撮像ユニット５１で受像され、図示しない制御部にて記憶される。また、反射照明手段２１からの照明光が反射部材（ミラー）６０に反射して、撮像ユニット５１で受像される。制御部は、反射部材６０による反射光を画像処理して輝度を求め、この輝度を、下限値と比較し、下限照度による輝度よりも低ければ、反射照明光の照度低下として、制御部は装置を停止し警報等のトラブル表示を行なう。また、反射部材６０の輝度が、下限照度による輝度以上であれば、制御部４は、撮像した配線パターンの検査を行なう。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板の光学検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】本発明は、プリント回路基板に赤外線帯域の光を照射するステップと、前記プリント回路基板の映像データを獲得するステップと、前記映像データから前記プリント回路基板における異物の有無を検出するステップと、を含むプリント回路基板の光学検査装置及びその方法に関する。開示されたプリント回路基板の光学検査装置及びその方法によれば、赤外線帯域の光を利用して非伝導性異物によって不良品と判別される過検出を低減することができ、電気的な回路パターン検査及び外観検査を同時に処理することができるため、検査速度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 大掛りな駆動機構を設けずに電子部品実装用テープキャリアの幅方向の反りを矯正し、且つ反射光による配線パターンの撮像も透過光による配線パターンの撮像も可能としたパターン検査装置を提供する。
【解決手段】 電子部品実装用のテープキャリアに形成された配線パターンの形状を光学的に取得して検査するパターン検査装置において、テープキャリア５を湾曲状態に保持し、このテープキャリア５に形成された配線パターンをラインセンサの撮像領域に次々に配置するドラム体８を設け、さらにこのドラム体８の内部に照明手段１４を備えることで、この照明手段１４が出射してテープキャリア５を透過した光が、ドラム体８の外側に配置された前記ラインセンサによって撮像されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】１次元イメージセンサカメラ利用の検査装置において全検査ウィンドウの均一条件下自動検査を実現する。
【解決手段】
１次元イメージセンサカメラで基板を撮像し、基板上の部品の実装位置とサイズと実装方向に従って部品領域を設定し、部品領域を周囲に自動拡大して検査ウィンドウを作成する際の拡大率を教示し、基準基板全面画像の検査ウィンドウ内画素値と、検体基板全面画像の対応する検査ウィンドウ内画素値とを、全検査ウィンドウについて均一の画素密度で差分画像処理し、均一の良否判定基準で品質を判定することにより、簡単な教示で過検出を最少化した実装基板の自動検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】１台で複数種類の基板をランダムに且つ効率よく検査することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】外寸が互いに異なる複数種類の基板１０Ａ〜Ｃをそれぞれセット可能な共通治具１４０が装着された基板載置部（支持台）１３０と、基板載置部上の基板を撮像する撮像手段１１０と、基板載置部上の基板の種類を識別する基板種別情報を取得する基板種別情報取得手段１５０と、複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査用プログラムを記憶する記憶手段と、基板載置部上の検査対象の基板について取得された基板種別情報に基づいて、複数の検査用プログラムから基板に対応する検査用プログラムを選択して実行することにより、撮像手段による基板の撮像を行うとともに、撮像された基板の画像データを用いて基板の検査結果を出すように検査用データ処理を行う検査処理手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】配線基板に形成された配線パターンの欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】配線基板１に光を照射し、その反射光により配線基板１に形成された配線パターン２を表示する配線パターン表示装置において、波長の異なる複数の光を発生して配線基板１に対して複数の異なる所定の方向から光を照射する複数の照射手段と、照射手段から配線パターン１に照射した光の反射光の波長を分離する波長分離手段と、波長分離手段により分離された波長の光に応じて配線パターン１を表示する表示部とを有する。 （もっと読む）

【課題】確認作業の効率を高め、作業員の負担を軽減する。
【解決手段】自動外観検査において不良と判定された部品に関する判定結果を確認するための確認操作画面において、不良と判定された部品の画像を、不良の種毎に、その不良の検出に用いられた判定基準に対する計測値の逸脱度合いの大きいものから順に並べた画像リストを表示し、良／不良の境界位置の指定を受け付ける。また１つの画像リストに対する指定が行われると、「不良」の範囲に含まれた各部品について、「実不良」であると確定し、以下の画像リストから削除する。最終的にリストに残された部品について、作業者の見過ぎ確定操作がなされると、見過ぎであると確定する。 （もっと読む）