【課題】基板に発生した圧痕を検査するにおいて、圧痕検査が必要な検査領域の設定が迅速且つ正確であることは勿論、圧痕の異常有無も迅速で且つ正確に検査することができる圧痕検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧痕検査装置は、圧痕が発生した基板を固定するためのワークステージと、前記ワークステージの上側に位置し、前記基板の後面を観察するための顕微鏡と、前記顕微鏡を通して観察された基板の後面を撮像できるように、前記顕微鏡に連結設置されたカメラと、前記カメラから前記撮像された画像データを入力され、前記画像データ中において圧痕検査が必要な検査領域を設定する検査領域選択部と、前記検査領域内で所定形状の枠を有する各検出領域ごとに輝度分布情報を検出し、前記検出された輝度分布情報によって圧痕指数を検出する圧痕検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プリンティング状態の検査に必要な時間、工程及び費用を減少させ、また、検査の結果を後続プリンティング工程に反映する。
【解決手段】インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムは、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に裝着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、基板の品質検査装置及びその検査方法を提供する。
本発明の検査装置と検査方法は、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力によって発生する電源からのノイズ、検査しようとする基板の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境による震動などの影響を受けてノイズが影映像情報に含まれている際、そのノイズは除去して基板の表面品質を検査する装置に構成させたものであって、これにより、品質検査時のノイズによるエラーを無くして検査の精密度を高めると共に、製品に対する品質満足度を向上させることができる。
（もっと読む）

【課題】点検者が携帯端末等を適切な位置や向きに調整する必要なく、大型の検査対象に対しても小型の装置にて照合検査が可能であり、点検者の目視の負担を軽減できる視点距離にて照合検査を短時間で効率的に行うことができる図面情報管理装置および照合検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、検査対象の図面情報を記憶部に記憶し、画像撮影部により取得された、検査対象の少なくとも一部を含む第１の画像と、当該検査対象の少なくとも一部と携帯端末とを含む第２の画像と、を比較することにより、検査対象上における携帯端末の位置情報を取得し、取得された位置情報に基づいて、記憶部に記憶された図面情報から所定領域の図面情報を抽出し、抽出された所定領域の図面情報を携帯端末へ送信し、当該携帯端末の表示部に当該所定領域の当該図面情報を表示させる。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】光学的認識装置において、２以上のパラメータの設定に必要な認識操作の回数が少なくて済み、かつ、該パラメータの設定値を従来よりも細かくできるようにする。
【解決手段】２以上のパラメータの値を設定して、照明条件および／または認識条件を設定することができる光学的認識装置１０のパラメータ設定方法であって、前記２以上のパラメータの値をそれぞれ変動させて設定した条件ごとに認識対象の認識を行うステップと、前記認識が成功したか否かを判断するステップと、前記認識が成功したとき、設定した前記条件ごとに認識成功回数をカウントアップするステップと、設定した前記条件ごとに認識成功回数を記憶するステップと、前記パラメータごとに、変動させた値の加重平均値を認識成功回数の重みを加味して算出するステップと、前記パラメータごとに、算出した前記加重平均値に設定するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】被検査物を元来の状態に保ったまま搬送しながら検査を行うことができる撮影検査装置を提供する。
【解決手段】所定間隔を開けて配置されている一対の搬送ローラー３７１，３７２に帯状の被検査物を掛けて移動させながら、前記被検査物の前記間隔を通りかかる部分を保持手段で下から保持しながら上から映像を撮って検査する撮影検査装置において、前記保持手段として、案内ローラー３９２が、前記間隔を通りかかる前記被検査物を下から当てると共に、前記被検査物の移動に従って回転することができるように配置構成されている。 （もっと読む）

【課題】目視確認の部品の画像の表示を、不良の可能性の高さまたは判定の難易度に基づいて制御できるようにする。
【解決手段】管理サーバ２の検査結果データベース２１には、良／不良の判定結果とともに検査の過程で生じた各種情報が蓄積され、画像データベース２２には、自動外観検査に使用された画像が蓄積される。管理サーバ２は、基板外観検査装置１による自動検査で不良と判定されて目視確認の対象となった部品について、その部品と同じ検査ルールによる自動外観検査が実施された部品に係る蓄積情報を用いて不良の可能性の高さまたは判定の難易度を示すパラメータを算出する。そして、各部品のパラメータが所定の順序で並ぶように、それぞれの部品の画像の表示順序を決定し、決定した順序に基づいて確認用端末３に画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】残存欠陥を自動的かつ正確に検出する。
【解決手段】撮像部１１がガラス基板２を撮像した欠陥画像に基づき画像処理部１２は欠陥を検出し、欠陥の位置および範囲を認識する。レーザ発振器１４は、検出された欠陥を修正するためのレーザ光を出力する。レーザ光は、欠陥に照射されるようにＤＭＤユニット１７により空間光変調される。ＤＭＤユニット１７を駆動するドライバ２０は、画像処理部１２から出力されるデータに基づいて制御信号を出力するレーザ形状制御部１９により制御される。残存欠陥検出部２２は、欠陥の範囲におけるガラス基板２の高さに関する高さ情報を取得し、欠陥の修正後にさらに修正すべき残存欠陥が存在するか否かを、高さ情報に基づいて判断する。残存欠陥が存在すると判断されると、欠陥に対するレーザ照射と同様にして、残存欠陥に対するレーザ照射が行われる。 （もっと読む）

【課題】欠陥画像と参照画像との差画像から欠陥を抽出する検査装置において，位置合わせのための画素間補間演算に時間がかかっていた。また，欠陥の寸法算出や分類を行う場合もサンプリング点数が不足するため，十分な精度が得られない。
【解決手段】検査試料を搭載したステージ１の移動方向に対して２次元センサ３を所定の角度傾けて設置し，ステージ１の移動と同期して撮像，画像を再構成することにより，ウエハ２に対して，２次元センサ３の画素サイズ以下の高密度サンプリングの画像を得ることが出来る。これにより，位置合わせ時の補間演算が不要になり，また，欠陥の寸法算出，分類が高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの厚さ方向の形状に関する情報を含む画像に基づくベリファイを可能にするパターン検査装置の提供。
【解決手段】（Ａ）及び（Ｂ）は反射光２次元画像及び透過光２次元画像を夫々示し、（Ｃ）はそれら両画像を重ねて表示した合成画像を示す。配線パターンＰ１ｒ，Ｐ２ｒ，Ｐ３ｒとＰ１ｔ，Ｐ２ｔ，Ｐ３ｔとは幅が相違するので、（Ｃ）の合成画像にはＰ１ｒ，Ｐ２ｒ，Ｐ３ｒの輪郭とＰ１ｔ，Ｐ２ｔ及びＰ３ｔの輪郭とに挟まれた中間領域が明瞭に視認できる。中間領域の画像は、断面が台形をなす配線パターンにおける斜面の形状を表すので、中間領域の目視観察により、ショートｆ１、欠けｆ２等の配線パターンの検出が極めて容易に行える。 （もっと読む）

【課題】 一般に入手が容易である１台の二次元カメラと１台の照明と稼動ステージと画像処理装置という通常の表面検査装置の構成で、欠陥が凸であるか否かの判定を可能とし、短時間で検査処理が実現できる表面検査装置を提供すること。
【解決手段】 検査物を載置するステージと、一の照明、光学系、平面画像を取得する一の画像取得部、からなる撮像装置と、前記ステージと前記撮像装置とを相対的に移動させる移動制御部と、画像記憶部と、欠陥検出部と、前記欠陥検出部で欠陥が検出された画像を第１の画像とし、当該第１の画像を取得した時の前記ステージと前記撮像装置との位置関係と異なる位置関係で当該第１の画像と同一の欠陥が含まれる第２の画像を取得し、当該第１の画像と第２の画像の位置合せを行う画像位置合せ部と、位置合せがされた第１の画像と第２の画像を比較し、欠陥が凸状態であるか否かを判定する凸判定部とを有する。 （もっと読む）

【課題】撮像する領域の任意の点において光の入射する条件が同じである照明手段、及び、ピットの良否判定を行うことができるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】多数のＬＥＤ２をＬＥＤ支持部材３上に並べ、ＬＥＤ２から照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒに所定の入射角度θで入射するように各面光源ア〜クを構成する。ＬＥＤ２を並べる領域の大きさは、撮像領域Ｒの大きさよりも大きくする。８個の面光源ア〜クからは照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒの全体に所定の角度θで入射する。したがって、撮像領域ＲのＢＡＣ上の任意の点において、全方向から同じ角度の照明光が同じ照射強度で入射し、撮像領域のどの点においても、その条件が同じになる。このため、検査を行う全領域でピットの明るさ（輝度）の違いよって良否を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】ピックアップ機構などの振り分け装置を用いることなく、低コストで良否の判定結果に基づく振り分けを行えるようにした自動検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象であるプリント基板を保持するステージ２、このステージ２によって保持されたプリント基板をカメラ４３の画像取得領域４６まで移動させる移動機構３とを備え、カメラ４３によって撮影された画像に基づく良否の結果に基づいて検査対象物を回収部５する自動検査装置１において、ステージ２を左右一対の保持体要素２１で構成し、これら保持体要素２１間の距離をカメラ４３による判定結果に基づいて画像取得領域４６の後段で拡大させるプリント基板を落下させる平行リンク機構２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】複数はんだ箇所をグループ化し、そのグループにおける形状値を軸に許容値と工程指数との関係を可逆的に認識可能にし、許容値の変更があったときは次の１枚目の検査から反映することができる印刷はんだ検査装置を提供することである。
【解決手段】データ蓄積手段６に測定手段２で測定されたプリント基板の１枚毎に、形状データ生成手段３で生成されたハンダ量を表す複数種類の形状データをはんだ箇所に対応づけて蓄積し保存する。統計処理手段７が、プリント基板の１枚を測定する度に、操作手段により指定されたはんだ箇所のグループの、かつ種類の前記保存された形状データについて、少なくとも、標準偏差σを求めるとともに標準偏差値σと該当する前記許容データとから工程能力指数を求める演算を行う。表示制御手段８は、前記１枚毎に、更新された工程能力指数を表示手段９に表示させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】 照射器具を変更することなく可視光の照度を向上させ、微小異物検査精度の向上を図ると共に、従来の検査方法を併用し異物検出精度を向上させ、更なる検査精度向上を図ることが可能な貫通穴検査装置及び貫通穴検査方法を提供する。
【解決手段】 基板（単層、多層）に設けられた貫通穴を光学的に検査する検査装置であって、前記貫通穴に透過光を照射する照射手段と、照射手段から照射される可視光を散乱なしに貫通穴に集光させる集光手段とを有する貫通穴検査装置。基板に設けられた貫通穴の検査方法であって、貫通穴に照度３０００〜３８００ｌｘの可視光を照射しての検査と、照度４０００〜４３００ｌｘ可視光を照射しての検査とを併用して、貫通穴を検査する貫通穴検査方法及びに貫通穴に散乱なしに集光された可視光を照射して行なう検査と、貫通穴に集光なしに可視光を照射して行なう検査とを併用する貫通穴検査方法。 （もっと読む）

【課題】基板浮上機構の組み付け工数を減らし、精密な加工を含めた装置全体の価格を削減することができる基板浮上機構の取り付けおよび高さ調整機構を提供すること。
【解決手段】空気の吹き出し及び吸引によって基板２を一定の高さに浮上維持する基盤浮上機構３と、前記基板浮上機構３の高さを個別に調整する高さ位置調整機構４と、前記基板浮上機構４の一側面からはみ出した前記基板５の片端部を固定する基板把持機構５と前記基板浮上機構３の一側面と隣接して設けられ、前記基板把持機構５を介して前記基板２を搬送方向Ｘに沿った方向に搬送する基板搬送機構６と、前記基板浮上機構３へ空気の供給および前記基板浮上機構３からの空気の吸引を行う浮上制御部Ａと、前記基板２の表面検査を行う検査部Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出を行なう被対象物である試料に照射する光の偏光（アルファ）（ｓ偏光からの角度（アルファ））を、試料の回路パターンの条件、照射光の方位角及び入射角を所定の計算式に代入して算出する。偏光（アルファ）は、ｐ偏光とｓ偏光との間にある。算出した偏光（アルファ）の光を試料に照射して欠陥を検査する。これにより、配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の目視検査を簡単な構成により効果的に支援して目視検査の効率化を図る。
【解決手段】本発明の目視検査支援装置１は、基板Ｐ上の部品を撮像する撮像手段（５０）と、実装状態が良好な部品についてあらかじめ撮像された画像を良品画像Ｇ２として記憶する記憶手段（６７）と、上記撮像手段（５０）により撮像された複数の部品の画像Ｇ１を、各部品に対応した良品画像Ｇ２とそれぞれペアにして一画面にまとめて表示する表示手段（４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面の異物と内部欠陥とを容易に判定できる表示デバイスの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】欠陥候補の画像状態が最適になる検査画像の焦点深度を欠陥焦点深度として選択し（処理Ｓ２４〜Ｓ２５）、欠陥焦点深度が検査対象の表面または表面より内側にあれば欠陥候補は検査対象の内部欠陥であると判定し、欠陥焦点深度が検査対象の表面より外側にあれば欠陥候補は検査対象に付着した異物であると判定する（処理Ｓ２６〜Ｓ２７）ことを特徴とする表示デバイスの欠陥検査方法。 （もっと読む）