【課題】半導体基板上の凹部内の欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】欠陥検査装置１では、第１照明部３により基板９の検査領域に偏光光が照射され、検査領域からの反射光が第１受光部４の第１分光器４３により受光されて反射光の反射特性を示す位相差スペクトル（すなわち、波長毎のｐ偏光成分とｓ偏光成分との位相差）が制御部７の検査部に送られる。制御部７では、検査対象である欠陥種類に対応して理論計算に基づいて決定された検査波長および閾値が予め記憶部に記憶されており、当該閾値と検査部により位相差スペクトルから求められた検査波長における位相差とに基づいて基板９の検査領域に形成された複数の凹部内の欠陥の集合が検出される。これにより、基板に光を照射して検査を行う通常の欠陥検査装置では検出が困難な基板９上の微小な凹部内の欠陥を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】構造から回折したビームの位相差および振幅を、複数の範囲の波長を有する既知の位相変調器の欠点がない状態で測定可能なスキャトロメータの楕円偏光法の機能を提供する。
【解決手段】本発明は、基板の特性を求めるために、基板から回折したら、別個に偏光した４つのビームを同時に測定することに関する。最大３つの偏光要素を介して、円または楕円偏光源を渡す。これは、光源を０、４５、９０および１３５°偏光する。位相変調器の代わりに、複数の偏光ビームスプリッタを使用するが、４つのビーム全部の強度を測定し、したがって組み合わせたビームの位相変調および振幅を測定して、基板の特徴を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像画像を処理する画像処理装置において、画像検査に不慣れなユーザでも容易に迅速に検査設定できるようにする。
【解決手段】画像処理装置は、複数の検査プログラムが格納された記憶部と、ユーザ操作で所望の検査設定を行う検査設定部と、装置全体を制御する制御部とを備え、検査設定部は予め複数の設定項目を含むデータテーブルが設けられている。検査設定において、ユーザは検査目的の項目を選択する第１の決定ステップ（Ｓ２１１）と、対象物の画像の特徴を選択する第２の決定ステップ（Ｓ２１２）と、検査基準の項目を選択する第３の決定ステップ（Ｓ２１３、Ｓ２１５）とにより、各設定項目を決定すると、制御部はユーザの最終設定項目の検査基準に適合する検査プログラムを自動的に設定する（Ｓ２１４、Ｓ２１６）。これにより、検査プログラムの選定を直接行わなくてよいので、不慣れなユーザでも容易に迅速に検査設定することができる。 （もっと読む）

【課題】微細な欠陥から散乱した光の取込範囲を拡大し信号強度を高める欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】被検査基板１を搭載して光学系に対し相対移動可能なステージ部３００と、被検査基板１上の検査領域４を照明する照明光学系１００と、被検査基板１の検査領域４からの光を検出する検出光学系２００と、検出光学系２００によって結像された像を信号に変換するイメージセンサ２０５と、イメージセンサ２０５の信号を処理し欠陥を検出する信号処理部４０２と、検出光学系２００と被検査基板１の間に配置され、被検査基板１上からの光を検出光学系２００に伝達する平面反射鏡５０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】導電フィルムの検査方法の提供。
【解決手段】導電フィルムの検査方法は、基板を提供し、基板上方にポリイミドフィルム（カプトン膜）を具え、そのポリイミドフィルム（カプトン膜）上に導電フィルム層を設置する。光源で基板の側面を照射する。画像センサー出導電フィルム層の反射光線を受けてグレースケール画像を発生させる。ソフトでグレースケール画像を計算して厚みもしくは長さを得る。厚みもしくは長さの大小を判断し、厚みが第一閾値より小さい、もしくは長さが第二閾値より大きい場合、導電フィルム層に貼り付けミスがある。 （もっと読む）

【課題】微小欠陥のサイズが「不良」微小欠陥とする基準サイズを上回っているか否かの判定を、ルーペを用いることなく容易に行える。
【解決手段】２枚の光透過性の第１、第２基板が隙間をあけて重ねられる表示パネル２０に対して、第１、第２基板の外面側に第１、第２偏光板をそれぞれ配置し、裏面側の第２偏光板１３ａから光を照射して、表面側の第１偏光板１４ａから前記表示パネルの微小欠陥のサイズを判定する治具３０であって、基準サイズに対する前記微小欠陥のサイズの大小を判定するドットが判定用保持板に設けられ、前記判定用保持板を前記表示パネルの表面に沿わせながら移動させ、前記ドットを前記微小欠陥に重ね合わせて該微小欠陥と基準サイズの大小を判定する構成とする。 （もっと読む）

【課題】不良が発生する前に不良の発生を予測できる電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板の表面上に形成された複数の電極に、チップの複数のバンプを異方性導電膜を介してそれぞれ圧着することにより、ガラス基板にチップを実装して、ＬＣＤを作製する（ステップＳ１、Ｓ２）。次に、ＬＣＤをチップが実装されたガラス基板の非実装面側から撮像して電極の画像を取得し、この電極の画像を使用して、各電極について異方性導電膜中の導電性粒子に押圧されて形成された圧痕の個数を計測する（ステップＳ４）。次に、ガラス基板全体について、電極毎の圧痕数の平均値及び標準偏差を算出する（ステップＳ６）。次に、この平均値及び標準偏差に基づいて、電極毎の圧痕数が基準値未満となる確率を算出する（ステップＳ７）。そして、この確率が所定値以上である場合に、警報を発信する（ステップＳ８、Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】被測定物の注目点の数が多くても、それより遥かに少ない合理的な数のランダムな注目点を選定して、測定画像とそのレファレンス画像とを位置合せする。
【解決手段】レファレンス画像におけるＭ個の注目体の分布範囲における第１の重心位置から最も遠距離にある１番目の注目体の位置をＰ１として、１番目から「ｋ−１」番目の各位置より最も遠距離の位置をＰｋとして、位置Ｐｋをｋ＝１からＮ（整数、Ｎ≪Ｍ）まで求められた各位置Ｐ１，・・・ＰＮ及び前記第１の重心位置を記憶する記憶手段４と、測定画像における第２の重心を求める重心位置算出手段５ａと、第１の重心位置と第２の重心位置を同じ位置にして双方の画像を重ねる合成手段５ｂと、重ねられたレファレンス画像の各位置Ｐ１、Ｐ２、・・ＰＮとそれらの各位置に対応する測定画像の各位置Ｑ１、Ｑ２、・・・ＱＮが重なるように回転させる回転角算出手段５ｃと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】被写体が動作している場合においても、適切な異常検出を行うこと。
【解決手段】被写体４０の正常動作時に撮像された画像のフレームごとに、被写体４０の動作部分を含む領域がマスク領域として設定されている。マスク領域は、画像のフレームごとに設定されているため、被写体の動作に合わせて時間的に変化するものである。そして、異常検出装置３０が、マスク領域以外の領域に対して、つまり被写体４０の動作部分ではない部分に対して、フレーム同期がとれた計測画像と参照画像との間の差分を計算して異常検出を行う。このように、被写体４０の動作部分に対しては差分計算を行わないため、被写体が動いたことによって差分計算の誤差が発生することを防止することができる。したがって、被写体が動作している場合でも、適切な異常検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 外観検査の精度を向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】 予め、基準となる製品を撮影して取得した画像データを分割し、所定の形式で変換したファイルのサイズを取得しておく。検査対象の製品を撮影した画像を分割し、おなじ形式で変換する。基準製品のファイルサイズと、検査対象製品のファイルサイズとを比較し、差分が所定値以上であれば、不合格の可能性有りと判定する。 （もっと読む）

【課題】分解能の異なるカラー画像を生成する処理を、コストをかけずに効率良く行えるようにする。
【解決手段】ＣＭＯＳカメラ１を用いた基板外観検査装置に、あらかじめ、複数種の分解能毎に、その分解能のカラー画像を生成するためのルールとして、画像の読み出しおよび色データの補間処理に関するプログラムを登録する。また、ティーチングの際に、基板に割り付けられた検査対象領域毎に、検査のための計測に要求される分解能と、その領域に対応する撮像素子上の範囲を特定するための情報とを登録する。検査時には、カメラ１による撮像を行う都度、その時点の撮像対象領域に含まれる検査対象領域毎に、その領域につき登録された分解能に応じたプログラムを用いて、撮像素子の対応する範囲から画像データを読み出し、画素毎に色パラメータを補間して、検査のためのカラー画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 低廉な装置構成により移動物品の欠陥部等を精度よく確実に検出し、しかも検出処理を短時間で行うことのできる移動物品の画像処理用データの前処理方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置を提供する。
【解決手段】
検出手段により連続して入力される移動中の物品からの物理データを所要の読み取り間隔で読み取って単位時間当たりの複数の読み取りデータを記憶手段により順次記憶させる。記憶された物品からの物理データを画素データとして順次分割されたフレームに読み出し、物品の移動速度と読み取り時間間隔とに相関する物品の移動量に対応した抽出幅で各フレームのデータから抽出して各フレームデータからそれぞれ抽出画素データを生成し、抽出された画素データを基礎にこれらを処理して欠陥部等の検出を行う。検出時間短縮と高精度の検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置で不良と自動判定された不良箇所を目視検査する際に、作業者の負担の少ない、外観検査装置の確認画面表示方法を提供する。
【解決手段】移動ボタンを押すと、確認画面表示用カメラ６が検査対象物に移動すると共に、モニタに「移動中」の文字表示と検査対象物と同系色の画面表示、または移動前のキャプチャ画像を表示し、カメラの移動終了と共に、モニタ画面をカメラ６の映像に切替え、不良箇所を一時的に操作部１にキャプチャした画像をモニタに表示する。作業者は、全て静止画像により検査でき、移動中の画像を見ることなく検査でき、負担が軽減する。 （もっと読む）

【課題】コストの増加や検査効率を低下させることなく、被検査面の傾斜角度を従来よりも細かい単位で検出できるようにする。
【解決手段】半球状の筐体２０を具備する照明部２と撮像面を真下に向けて配備したカメラ１により基板を撮像する。筐体２０には、周方向および上下方向をそれぞれ等角度間隔をもって区分けすることにより複数の領域が設定される。各領域には、それぞれ１２個のＬＥＤ２２ａが３×４のマトリクスを構成するように配置される。これらのＬＥＤ２２ａのうち、マトリクスの４隅を除く８個のＬＥＤ２２ａは、その点消灯のパターンによって、基板に対する照明の方向を示すバイナリコードを表示する。検査の際の画像処理では、画像に現れた反射パターンからそのパターンに対応する照明光の方向を特定して、フィレットの傾斜角度を求める。 （もっと読む）

【課題】インク印刷と銀光沢を有する金属領域を光学的に区別することができるプリント配線板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板本体の表面に、金属領域とシルク領域を有するプリント配線板１００を検査する検査装置１であって、前記プリント配線板１００の表面を撮像可能に配置されたカラーカメラ５と、プリント配線板表面に着色光を射出しプリント配線板の表面での着色光Ｌｃの正反射光がカラーカメラ５に対して入射するような位置に配置される着色光源４と、プリント配線板１００表面に白色光Ｌｗを照射し、カラーカメラ５と拡散反射光学系を構成するように配置されている白色光源６とを備える。着色光源４によって着色された部分を金属領域と認識して、プリント配線板１００の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】撮像対象領域に対し検査対象物がどの位置にある場合でも、その被検査面の傾斜状態を正しく判別できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、９種類の色彩光を、それぞれ入射角度αが異なる方向から基板Ｓに照射する照明装置２を配備し、光軸を鉛直方向に沿って配備したカメラ１により基板Ｓを撮像する。ティーチング時には、基板上の部品種毎に、フィレットの正しい傾斜角度を求め、さらに基板上の各部品について、９種類の色彩光の中から、フィレットに照射されたときの正反射光がカメラ１に入射するものを特定し、その特定された色彩光に対応する色彩を抽出色として検査のために登録する。 （もっと読む）

【課題】高密度実装基板上の実装部品の実装状態の良否の検査を、より正確かつ容易に行うことを可能にする。
【解決手段】撮像データを取得する撮像データ取得部１２と、取得した撮像データから、対象とする複数個の実装部品に関する画像データをそれぞれ抽出する解析領域抽出部１４と、抽出した各画像データから、上記複数個の実装部品のそれぞれについての、上記異なる色の光ごとの画素値ヒストグラムを作成するヒストグラム作成部１５と、作成した各分布データの、上記複数個の実装部品のそれぞれの間での差異に応じて、上記複数個の実装部品を、同じ検査パラメータを利用する実装部品ごとに区分するヒストグラム解析部１６およびバリエーション分割処理部１８とを備える。 （もっと読む）

電子回路基板の表面上に半田ペーストを堆積するためのステンシル印刷装置が、フレームと、前記フレームに結合され、複数の小孔を有したステンシルと、前記フレームに結合されたディスペンサーであてって、前記ステンシルおよび前記ディスペンサーが、電子回路基板上に半田ペーストを堆積するようにしたディスペンサーと、電子回路基板の画像を取込むように構成された画像システムと、画像システムに結合され、画像を取込むために前記画像システムの動作を制御する制御装置とを具備する。前記画像システムは、前記電子回路基板の表面の少なくとも一部の画像を取込むように構成されたカメラ要素と、長波長光を生成することによって前記電子回路基板の表面の少なくとも一部を照明するように構成された長波長光源を備えた第１の照明要素とを具備する。他の実施形態および方法が開示される。
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【課題】撮像装置に設けたシールドケースの脚部の先端位置の良否を容易に検査することができる撮像装置用検査装置。
【解決手段】撮像レンズと、撮像素子を内包し所定のプリント配線基板と半田接合するための複数の半田ボールを格子状に配設したパッケージセンサと、金属板から形成され前記パッケージセンサを被覆するシールドケースと、を備えた撮像装置を検査する撮像装置用検査装置において、前記半田ボールを当接させて前記撮像装置を載置する平滑な載置面を有する検査治具と、少なくとも、前記シールドケースに設けた前記プリント配線基板と半田接合するための脚部を撮像する検査用カメラと、前記検査用カメラで撮像した前記脚部を表示すると共に、前記脚部が所定の範囲内にあるか否かを判別するための２本の平行な判別線を予め設けた表示装置と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】検査パラメータや検査領域を細かに設定することなく、検査精度の向上と虚報の低減とを容易に両立させる。
【解決手段】基板の撮像画像を取得する撮像部1102と、パッドに施されているメッキ種類データ及びパッドの色及び輝度の双方またはいずれか一方に関するパラメータデータに基づいて、パッド切出閾値を決定するためのパッド切出閾値決定部1360と、パッド切出閾値に基づいて、基板の撮像画像の中からパッドの領域画像を切出すためのパッド切出部1385と、各領域の位置に関する領域データによって位置が特定された各領域に対して、パッドの領域画像に基づいて、位置合わせするための位置合わせ部1386と、基板の撮像画像の中から、位置合わせされた各領域を抽出し、抽出した各領域に対して、各領域の色及び輝度の双方またはいずれか一方に関する検査データに基づいて、各領域の外観の合否を判定するための検査部1394とを有する。 （もっと読む）