【課題】検査用ステージの復路において検査しない時間を省略して検査の効率化を図り、短時間に多くの検査対象物を検査できるようにした外観検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板９を積層するスタッカ１０と、このスタッカ１０から一枚ずつプリント基板９を取り出すピックアップ機構２と、このピックアップ機構２によって吸着して取り出されたプリント基板９を載置する検査用ステージ４と、この検査用ステージ４に載置されたプリント基板９を検査する外観検査部７とを備えてなる外観検査装置１００において、検査用ステージ４０、４１を複数備え、これら複数の検査用ステージ４０、４１を上下方向にローテーションさせることによって順次外観検査部７にプリント基板９を通過させ、検査結果に応じて回収用スタッカ８３０に回収させるようにする。 （もっと読む）

【課題】 製造ラインのタクトタイムの短縮を図ることができるとともに、プログラミング作業及び管理等を容易に行うことができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 電子機器の製造ラインにおいてプリント基板を搬送する基板搬送装置であって、ライン上流側から搬入された一のプリント基板を位置決め保持し、一の作業機による所定作業の終了後に、該一のプリント基板をライン下流側に般出する作業用搬送部２１と、所定作業の実行中に、ライン上流側から搬入された他のプリント基板をライン下流側に搬出する送り用搬送部２２とを備えた構成としてある。好ましくは、作業用搬送部２１と送り用搬送部２２とを少なくとも一台ずつ上下に並設した多段搬送部２０を備え、該多段搬送部２０を昇降させることにより、作業用搬送部２１と送り用搬送部２２とを、ライン上流側又は下流側に配設した搬送手段と選択的に連続させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板上にパターンを形成し対象物を製作して行く製造工程で発生する異物等の欠陥を検出する際に、パターンからの回折光を低減するために回折光が入らない方向から直線上の高効率照明を実現し、パターンによる信号のばらつきに応じてしきい値を設定することにより、検出感度およびスループットを向上する欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明では、パターンからの散乱光を低減する方向から照明する高効率照明光学系により、信号のばらつきの原因であるパターンからの散乱光を低減し、さらに、チップ内の領域毎に算出した信号のばらつきをもとにしきい値を設定する手段により、検出しきい値を低減し、検出感度の向上およびスループットの向上を実現する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象のうち過剰に多くの製品が異常であると検出されないように、かつ、パターンに欠陥がある製品が正常であると検出されることがないように、最適な基準画像を作成して、安定した製品パターン検査を行うことを可能とする基準画像作成方法と、これを用いた製品パターン検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 パターンのマッチング検査を行う前の複数の製品から、パターンをそれぞれ撮像し、取り込まれた複数のパターン画像に対して位置補正処理を行った後、重ね合わせ処理を行い、重ね合わされたパターン画像の各画素において輝度レベルに関する２値化処理を行い、製品パターン検査に用いる基準画像を得る。得られた基準画像を用いて、検査対象の製品毎に撮像される検査対象画像についてパターンのマッチング検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 自動的に点欠陥や線欠陥などの検査項目を検査するとともに、困難な表示ムラ検出・判定処理を必要とせずに表示ムラの検出・判定の精度を向上可能なディスプレイパネル自動検査装置を提供する。
【解決手段】 画像処理回路４は画像データをもとに表示ムラ以外の所定の検査項目検出のための画像処理を行い、判定回路５は画像処理回路４の処理結果から欠陥を判定し、画像処理回路６は、画像データをもとに表示ムラが顕著になるような画像処理を行い表示装置６ａに出力する。これにより、検査者の目視による表示ムラの検出・判定が精度よく簡単に行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面の状態を検査する際に、画像の明るさや色合いが変動しても、信頼度の高い検査を実行できるようにする。
【解決手段】 赤，緑，青の各色彩光をそれぞれ異なる仰角の方向から照射した状態で上方から撮像を行い、得られた画像を用いてはんだのフィレット５３を検査する場合に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各階調による３次元のデータを１次元の色相データに変換し、この色相データを用いて赤、緑、青の順に沿って色相が変化する方向を抽出する。抽出された方向はフィレットの勾配が変化する方向を示すもので、この方向をあらかじめ登録された基準の方向と比較することにより、フィレットの傾斜面の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】 均一でむらのないスリット光を生成できるスリット光照射装置を提供
する。
【解決手段】 本発明になるスリット照射装置は、パターン検査方法およびパタ
ーン検査装置に用いられるスリット光照射装置であって、光を照射する発光部と
、この発光部から照射された光を均一に拡散する光拡散部と、この光拡散部で得
られた均一な拡散光を受けて平行光を生成する第一の平行光生成部と、この第一
の平行光生成部からの平行光を受けて予め決められた幅のスリット光を生成する
スリット光生成部と、このスリット光生成部からの予め決められた幅のスリット
光を受けてそのままの幅の平行光を生成する第二の平行光生成部と、を具備する
ことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に実装される電子部品を一度に撮像して、装着異常を迅速かつ適切に処理することができる実装された電子部品の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板を搬入位置に搬入して所定の位置に位置決めクランプする基板搬送装置と、部品供給装置により供給される電子部品を採取して前記基板上に実装する部品移載装置とを備えた電子部品実装機において、前記所定の位置に位置決めされたプリント基板全体を視野に収めることが可能なカメラ手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板の反り検査を安価にかつ高速に行うことが可能な反り検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】セラミック基板３を上面に配置する合成樹脂製のベース板２と、セラミック基板３を撮像するＣＣＤカメラ５と、撮像された画像データを処理してセラミック基板３の検査対称箇所の位置決めを行うための２次元領域を検出する画像処理手段６と、この位置決め用の２次元領域を基準としてセラミック基板３の所望の検査対象箇所において予め設定された基準面からの高さを非接触に検出するレーザ変位計４と、この検出した高さデータを処理するとともに画像処理手段６により検出された２次元領域の位置情報の処理を行うデータ処理手段７と、ベース板２を水平方向に移動させる駆動手段１と、データ処理手段７によるデータの処理内容に基づいて駆動手段１の動作を制御する制御手段８とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】工程検査において不良兆候を検出するための検査基準を適切に設定するための技術を提供する。
【解決手段】情報処理装置が、工程検査の各検査項目について抽出された特徴量、及び、最終検査の判定結果を記憶手段に蓄積し、記憶手段に蓄積された複数の製品のデータから、検査項目毎若しくは検査項目の組み合わせ毎に、最終検査で良品と判定された製品群の特徴量の分布と、最終検査で不良品と判定された製品群の特徴量の分布との分離度を算出し、検査項目若しくは検査項目の組み合わせの中から、その分離度の大きさに基づいて、検査基準を再設定すべき検査項目を選択し、選択された検査項目に対して新たな検査基準を設定する。 （もっと読む）

【課題】これから蓄積される又は既に蓄積されている画像やキーワード等の情報を、ユーザが誰であるかに拘わらず、有効に活用するための技術を提供すること。
【解決手段】所定の処理において撮像される画像を入力し、所定の処理に関する複数の項目情報の入力を受け付け、入力された画像及び複数の項目情報を表示し、表示された複数の項目情報及び画像について、所定の処理において生じた事象を判断するために有効と認められる参照順序の指定を受け付け、入力された複数の項目情報及び画像を、それぞれについて指定された参照順序がある場合はその参照順序と関連づけて記憶する。 （もっと読む）

【課題】不良基板も学習に使用できる様になり、欠陥検出装置の操作性が格段に向上する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ６により撮像された基板の画像は、パーソナルコンピューター５に送られ、パーソナルコンピューター５内のＣＰＵ２により欠陥の箇所が解析され、モニター１に表示される。表示された欠陥の画像は、学習が完了していないため、誤って欠陥でない所も表示されるが、オペレータは実際の欠陥の箇所だけを、マウス４により囲み、欠陥箇所の情報をＣＰＵ２与える。ＣＰＵ４は、この情報を基に、欠陥箇所を除外し、良品部分だけを学習する。この様にすることにより、不良基板での学習が可能になる。 （もっと読む）

【課題】検査視野順序における無駄を発見できるようにして、検査視野順序の適正化を図る。
【解決手段】設定された検査視野順序に基づき、検査視野の位置関係及び移動関係を、視覚的に把握可能な態様で表示する。具体的には、プリント基板の基板画像ＰＧを表示し、表示された基板画像ＰＧ上に、検査視野ＳＹ１〜ＳＹ１２の範囲を示す枠線を表示すると共に、移動元の検査視野から移動先の検査視野への矢印を表示する。その後、作業者が新たな順序関係を生成しようとする２つの検査視野を表示装置の表示画面上で選択操作することによって、検査視野順序の途中の順序関係を変更できるようにし、さらに、当該変更された順序関係以降の順序関係については自動的に再設定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】製品検査における自由度を高め，検査に要する費用を軽減する電子部品検査方法及び，これを用いる電子部品検査システムを提供する。
【解決手段】キャリアテープに一定間隔で搭載された複数の電子部品を順次に撮像する工程と，
前記撮像された複数の電子部品の画像データを記録媒体に保存する工程と，前記記録媒体に保存された複数の電子部品の画像データをディスプレイ装置に表示する工程と，前記ディスプレイ装置に表示された複数の電子部品の個々の画像を目視観察して欠陥が検知された個々の電子部品を識別する記号を含む検査結果データを記録保存する工程と，前記記録保存された検査結果データに基づき，前記キャリアテープに搭載された複数の電子部品から欠陥が検知された電子部品を検索する工程と，を有する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置での基板検査に用いられる検査ロジックを少ないサンプル画像から生成可能な技術を提供する。
【解決手段】情報処理装置が、新たな部品の検査ロジックを生成する際に、前記新たな部品の撮像画像を取得し、前記新たな部品の撮像画像から、着目領域の色分布の傾向を表す色分布傾向データを算出し、複数種類の過去の部品のそれぞれについて色分布傾向データを取得し、前記新たな部品に関する色分布傾向データと前記過去の部品に関する色分布傾向データとを比較することにより、色分布傾向が類似する過去の部品を選び出し、選び出された過去の部品の撮像画像を記憶装置から読み出し、前記新たな部品の撮像画像と前記過去の部品の撮像画像とを教師データとして、前記新たな部品の検査ロジックを生成する。 （もっと読む）

【課題】あらかじめ露光時間を測定する必要がなく、しかも、精度よい検査を行うために最適な画素の情報を生成する。
【解決手段】プリント基板３に光を照射する照明装置１２と、プリント基板３からの画像を取り込むラインセンサ１３と、このラインセンサ１３で取り込まれた画像を記憶する記憶手段２４と、この記憶手段２４に記憶された画像と基準画像とを比較することによってプリント基板３の良否を判定する判定手段２６とを備えた外観検査装置１において、第一の露光時間露光することによって検査対象物の画像を取り込む第一の画像取得手段２０と、この第一の露光時間とは異なる第二の露光時間露光することによってプリント基板３の画像を取り込む第二の画像取得手段２１と、これら第一・第二の画像取得手段２０、２１によって取り込まれた画像から、一ラインにおける各画素の情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】短時間で最適な照明条件を設定することができる照明設定方法、照明装置および部品移載装置を提供することを目的とする。
【解決手段】照明設定部７０は、プロファイル作成部７１により撮像装置５１の取り込み画像から輝度分布曲線であるプロファイルを作成する。このプロファイルは、照明５２ａ〜５２ｃの全て組み合わせ毎に作成する。これらのプロファイルに基づいて、照明設定部７０は、照明５２ａ〜５２ｃの組み合わせ、輝度、比などの照明装置５２の照明条件を設定する。このため、短時間で最適な設定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 基板のサイズの変更に容易に対応して、その基板の端縁のみを支持することが可能な基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 基板支持部２は、マスク基板の第１の辺における端縁を支持する第１支持部２１と、第１の辺における端面と当接するローラ７２とを有する第１支持部材６１と、一対のガイドレール６３と、ガイドレール６３に対して摺動可能に構成され、マスク基板の第２の辺における端縁を支持する第２支持部２２と、第２の辺における端面と当接するローラ７４とを有する第２支持部材６２と、マスク基板の第３の辺における端面と当接する当接位置と退避位置との間を揺動可能な揺動ピン６４と、この揺動ピン６４との距離を変更可能な状態で第１支持部材６１および第２支持部材６２にその両端を支持され、マスク基板の第４の辺における端面と当接する移動バー６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来、プリント配線板を検査する方法にあっては、目視で行なうについてどうしてもチェックミスは避けられず、通常のブラックライトを使用しても青色の成分の反射が強く、非常に見にくくなってしまうという点である。
【解決手段】 プリント配線板の検査方法は不可視領域の波長を有する光を照射することとし、前記した光は紫外線としたこととし、前記した紫外線は青色成分を含まない領域の波長であることとし、前記した光は上方、下方及び側周方向から照射することとし、前記した光の照射は、発光源とレンズ、プリズム、ミラー等の光学系要素を組み合せ行なうこととし、前記した光の照射は二以上の異なる波長のものを切り換えて行なうこととする。 （もっと読む）

【課題】 試料の外観検査に使用された画像間の相違を表す情報を欠陥情報の他に報告することにより、従来の外観検査ではユーザが知り得なかった試料間の相違を示すことが可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置を、試料３の表面を撮像する撮像手段４と、この撮像手段により得られた画像から試料３の欠陥を検出する欠陥検出手段５〜８と、さらに、撮像手段により撮像された画像における画素値の分布状態を示す分布情報を算出する分布情報算出手段１０と、欠陥検出手段により検出された欠陥情報の出力の他に、分布情報を出力するための分布情報出力手段２０と、を備えて構成する。 （もっと読む）