【課題】 反射鏡を容易に製作することが可能な線状照明装置を提供すること。
【解決手段】 線状光源４と、線状光源４からの光を反射するシリンドリカル状の凹面状反射面１４を有する反射鏡６とを備えた線状照明装置２。反射鏡６は、シリンドリカル状の円弧状反射面２０ａ，２０ｂを有する複数の反射部材１６，１８から構成され、線状光源４と直交する断面において、反射鏡６の凹面状反射面１４は、複数の反射部材１６，１８の円弧状反射面２０ａ，２０ｂを接続する近似楕円１２の一部に形成され、複数の反射部材１６，１８は、円弧状反射面２０ａ，２０ｂの曲率半径が近似楕円１２の長軸６４に近い側から順に大きく、且つ隣接する一対の反射部材１６，１８の円弧状反射面２０ａ，２０ｂの隣接端部２２ａ，２２ｂにおける接線２６が実質上一致するように配設される。 （もっと読む）

【課題】一方向のステージの移動中に複数種類による照明パターンでの画像を取得する場合、短時間で精度良い検査を行うことのできるような検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板８を移動させる移動機構７と、この移動機構７による一方向の連続した移動中に照射パターンＡと照明パターンＢとを微小時間で切り換えてプリント基板８に光を照射する照明制御手段９１と、この照明制御手段９１によって照射されたプリント基板８からの反射画像をラインセンサ６で受光する受光手段９２と、この受光手段９２によって受光された画像に基づいてプリント基板８の良否を判定する判定手段９４とを設ける。そして、この切り替えられた照明パターンによる画像をステージ７０の移動が完了するまでメモリ９０の同一領域に格納し、その後、照明パターン毎に画像を分解してそれぞれを判定処理する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置に用いられるパラメータを自動生成可能な技術を提供する。
【解決手段】パラメータ設定装置が、良品画像の検査領域内の各画素の色を対象点として、不良品画像の検査領域内の各画素の色を除外点として、それぞれ色空間にマッピングし、対象点の数と除外点の数の差が最大となるような色範囲を求める。次に、各検査領域から色範囲に含まれる画素領域を抽出し、その画素領域のもつ特徴量の分布から、良・不良を分離するためのしきい値と、良品分布と不良品分布との分離度とを求める。そして、検査領域を変更しながら上記処理を繰り返して、各々の検査領域について色範囲、しきい値および分離度を算出し、分離度が最大となった検査領域、色範囲およびしきい値をそれぞれ基板検査で用いるパラメータとして設定する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の検査結果を把握しやすい形で表示させ、ユーザの使い勝手を向上させることができる外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査する外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の表面の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の裏面の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄと、ディスプレイ１７０と、スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄのそれぞれから検査結果を受け取り、基板２の表面についての検査結果と裏面についての検査結果とをディスプレイ１７０に同時に表示させるマスタＰＣ１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検査体を同時に複数の方向から検査可能な外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査するための外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄとを備え、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、基板２に実装された各部品についての表面用検査データと裏面用検査データとを格納したライブラリ１４３ａ〜１４３ｄを有しており、基板２の画像データと表面用および裏面用検査データとに基づいて基板２の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の撮像方向における寸法が変化しても精度のよい検査を実行可能とする外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査するための外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄとを備え、表面側撮像ユニット８０ａには、基板２の厚さに応じて像倍率を変えることなく被検査体である基板２に焦点を合わせる焦点合わせ機構を構成する焦点調整モータ４０等が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板などの被検査体の検査時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 基板２の外観検査装置において、第１撮像部３０ａおよび第２撮像部３０ｂは、基板２と相対的に移動することにより、基板２の一面を走査する。第３撮像部３０ｃおよび第４撮像部３０ｄは、基板２を挟んで第１撮像部３０ａおよび第２撮像部３０ｂと対向するよう配置され、基板２と相対的に移動することにより、基板２の他の一面を走査する。基板搬送モータ５８は、撮像部３０の各々と基板２とを相対的に移動させる。基板搬送モータ５８が基板２と撮像部３０の各々とを相対的に移動させる一回の移動工程において、撮像部３０の各々が基板２の走査を完了する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被検査体の外観検査において、拡張性が高くフレキシブルなシステム構成を可能とし、また基板などの被検査体の検査時間を短縮し、または検査精度を向上することを目的とする。
【解決手段】 基板２の外観検査装置２００において、複数のスレーブＰＣ１４０は、基板２の撮像を行う複数の撮像部３０と、該複数の撮像部３０の各々に対応して設けられ、対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データに基づいて基板２の検査を行う。該複数のスレーブＰＣ１４０の各々は他のスレーブＰＣ１４０に、該他のスレーブＰＣ１４０による検査に必要な共用データを送信する。共用データは、各々のスレーブＰＣ１４０が対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データから取得してものである。スレーブＰＣ１４０は各々、他のスレーブＰＣ１４０から受信した共用データを参照して基板２の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】基板上に繰り返し設けられる単位領域のパターンの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置１では、基準画像検査回路４２において基板９上の基準とされるダイのパターンを示す基準画像と、それぞれが選択されたダイのパターンを示す複数の選択画像とが比較され、基準画像が有する欠陥が検出される。続いて、被検査画像検査回路４４では、他のダイのパターンを示す被検査画像と基準画像とが比較され、被検査画像が有する欠陥候補が検出される。そして、欠陥検出部４５にて基準画像が有する欠陥の少なくとも位置情報に基づいて欠陥候補から基準画像が有する欠陥と重複するものが除外される。これにより、欠陥検出装置１では基準とされるダイのパターンの欠陥の影響を除きつつ、他のダイのパターンの欠陥を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
微細なパターンを高い分解能で検出する欠陥検査方法、その装置及び半導体基板を高歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】
Ｘｅランプ３、楕円鏡４、マスク５とからなる輪帯状の照明を形成するランプハウス２４は、輪帯状の照明光を、ＸＹＺステージ２上に載置された微細パターンを形成したウエハ（被検査対象物）１を、コリメータレンズ６、光量調整用フイルタ１４及びコンデンサレンズ７を介して、円又は楕円偏光変換素子により円又は楕円偏光させて、対物レンズ９を介して照明し、その反射光をハーフミラー８ａ、８ｂ、ズームレンズ１３を介し、反射光の画像をイメージセンサ１２ａにより検出する。ステージＸＹＺを移動させ、センサ１２ａにより走査し画像信号を得る。この画像出力をＡ／Ｄ変換器１５ａにより変換して基準画像と比較して不一致を欠陥として検出するものである。 （もっと読む）

【課題】ピクセル単位の厳密な位置合わせを行う必要がなく、光学的なずれや機械的なずれが存在していた場合でも虚報を生じさせないようにする。
【解決手段】予め基準対象物１０のピクセル毎に、許容輝度幅と、そのピクセル位置を中心として検査対象物１１の対応するピクセルを探索する探索距離を記憶しておき、まず、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。今度は逆に、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に、検査対象物１１の輝度に対する第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、各探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、基準対象物１０の位置に対応するピクセルを良ピクセルとする。 （もっと読む）

【課題】検査ワークの欠陥を正しく検出する。
【解決手段】Ｘ−Ｙテーブル２は、検査ワーク１の第１、第２の撮像領域の線方向と直角のＹ方向に移動する。照明装置４ａ，４ｂは第１の撮像領域に光ビームを照射し、照明装置４ｃ，４ｄは第２の撮像領域に光ビームを照射する。第１のラインセンサカメラ３ａは第１の撮像領域を撮像し、第２のラインセンサカメラ３ｂは第２の撮像領域を撮像する。第１の撮像領域は、検査ワーク１の基材面に設定され、第２の撮像領域は、検査ワーク１の導体の上面に設定される。 （もっと読む）

【課題】基板上に設けられたクリームハンダ又はバンプに関する検査を行うに際し、より正確な検査を実現することの可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板Ｋに対し、下部リングライト１３より、斜め方向から３６５ｎｍ以上４２０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長をもつ紫外線が照射される。より小さな入射角で上部リングライト１２により、６１０ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長をもつ赤色光が照射される。プリント基板Ｋのほぼ真上に設けられたＣＣＤカメラ６により、紫外線の照射された基板Ｋからの反射光及び赤色光の照射された基板Ｋからの反射光が撮像される。ＣＣＤカメラ６にて撮像された各画像データに基づき二次元検査部８Ａではクリームハンダの領域が抽出され、所定の検査が行われる。ＣＣＤカメラ６は可視光用の光学系を具備し、滲みを生じさせることで「中べこ」による影響が払拭される。 （もっと読む）

【課題】 誤判定が少なく、迅速な判定が可能な電子部品の実装検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】 本発明においては本発明において検査エリアＲ２を撮影して得られた輝度分布が正規分布に近似しているかどうかによって電子部品の裏取付け判定が行われる。具体的には、検査エリアＲ２を撮影して得られた輝度分布から平均値ｕと分散値σ²を算出し、これらを満足するような正規分布の関数として確率密度関数ｆ_iする。そして、確率密度関数ｆ_iと元の輝度分布の分布傾向との相関係数ｒを算出し、この相関係数ｒの大小によって電子部品の裏取付け判定を行うことができる。従って、予め不良品や良品の輝度分布のティーチング等を行うことなく、正確な判定を実現することができる。 （もっと読む）

この発明は、検査する基板を支持するガイド支台に対して少なくとも２つの方向に相対移動可能である検査ヘッドを備えている検査装置に関する。ガイド支台は、少なくとも部分的に互いに重なり合うように前後して被着、特に印刷された少なくとも２つの層を備えた基板を支持する。検査ヘッドは照明装置と検出装置から成り、それによって基板から反射された電磁線を捕捉して判定装置に伝送し、それによって所与の基板（３０）の不良を検知することができる。検査ヘッド（１２）は必要に応じて錐形状に拡幅したトンネル（２４）を備えていてその内周上に多数の発光素子が取り付けられており、検出装置（１４）は基板（３０）上で３０μｍ未満の解像度で捕捉を行う光学系を有するデジタルカメラ（１８）を備え、駆動装置によって撮影サイクル中におけるガイド支台（３２）と検査ヘッド（１２）との間の相対動作を制御し、それによって互いに連続しているあるいは重複している個別画像を１つの基板（３０）の全体画像に合成することができる。 （もっと読む）

表面に関する情報を検出する装置は、表面についての２次元情報を取得するように配置される第１の複数の光学要素と、表面についての表面凹凸形状情報を取得するように配置される第２の複数の光学要素とを備え、第１の複数の光学要素、および、第２の複数の光学要素は、単一センサアレイの少なくとも部分的に重ならない部分に、２次元情報および表面凹凸形状情報を同時に提供するように配置される。
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【課題】
比較検査の性能向上のためには位置合せの精度向上。
【解決手段】
代表画素領域における代表注目画素の位置ずれ量を算出するときに、統計処理領域（投票対象領域）である代表画素領域の周辺に切り出される周辺画素領域群における各周辺注目画素の位置ずれ量を統計処理する（投票処理して集計する）ことによって得られる頻度の高い位置ずれ量を利用することで、位置合せの正解率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】偏光条件に対するイメージセンサのチャンネル依存性を低減し検査感度の向上を図る。
【解決手段】偏光ビームスプリッタ１５に対する入射照明光の方向と偏光ビームスプリッタ上に投影されるイメージセンサ2000の視野の長手方向を概ね平行方向にする。 （もっと読む）

【課題】１つの統合ステーションで検査、検証、および修正を行う可能性を提供する自動光学検査、検証、および修正のためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムは、部品の欠陥の自動光学検査（ＡＯＩ）、検証、および修正のための自動装置と、部品に対してＡＯＩ、検証、および修正のいずれを行うかを選択するように作動するコントローラとを備える。
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【課題】 位置決め部材により照明光が遮られる部位についても、問題なく検査を実行できるようにする。
【解決手段】 基板の両端縁部を位置決めするための押さえ爪３５の先端面３５２を鏡面として形成するとともに、この先端面３５２を垂直方向に対し、角度δだけ傾斜させる。被検査部位であるフィレット４１の傾斜角度を検出するのに必要なＡ点からの照明光は押さえ爪３５により遮光されるが、前記傾斜角度δを調整することにより、Ａ点に対向するＢ点からの照明光が押さえ爪３５の先端面３５２で鏡面反射し、その反射光がＡ点からの光と同じ方向からフィレット４１に照射されるように設定することができる。 （もっと読む）