【課題】 基板検査装置のベースを分割可能に構造にした場合に、組立時に位置精度を確保しつつ、容易に組み立てられるようにすることである。
【解決手段】 基板検査装置の検査用ベース３は、第１ベース部１５と、第２ベース部１６とからなる。第２ベース部１６は、２つの当接部４６，４７が設けられ、これら当接部４６，４７を挟むように固定部材５６，５７と、当接部４６，４７に挟まれるように固定部材５２，５３が設けられている。第１ベース部１５には、これに対応する位置に、それぞれ当接部と、ボルト穴とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成されたフィルムまたはテープ形態の検査対象物外観を光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システム及び方法に関する。
【解決手段】本発明の自動光学検査システムは、検査対象物が提供される巻き出し部と、 前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査するビジョン検査部と、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判定されたユニットを表示するマーキング部と、検査を終えた前記検査対象物が巻かれる巻き取り部とを含み、前記ビジョン検査部は互いに異なる視野を有して前記フィルムテープを撮像する撮像部材を含む。このような構成を有する本発明によると、より高い検査品質を得ることができ、検査品質を高めることができるという格別の効果を有する。 （もっと読む）

【課題】基準基板画像と検体基板画像を比較して異同箇所を検出する差分画像処理アルゴリズムで比較画像処理する基板検査装置は、教示プログラム作成が不要である上に最高速検査を実現できるというメリットがあるが、良品を不良と誤検出する「過検出」虚報の多発という課題があった。
【解決手段】複数基板画像の同一画素出力値を加算平均して平均化基準画像を作成し、この平均化基準画像を基準画像として用いられるようにしたので、正常範囲内変異による「過検出」虚報の発生を最少化した最高速の検査が実現する。 （もっと読む）

【課題】 半田印刷工程と並行して半田材の劣化度を短時間で判断する半田材劣化度判断装置を提供する。
【解決手段】 半田材１の表面に検査光を照射する照明部２０と、半田材１の表面を撮像する撮像部３０と、撮像部３０によって撮像された撮像画像に基づいて半田材１の劣化度を判断する劣化度判断部４２とを備える。上記の構成では、照明部２０が半田材１の表面に検査光を照射し、撮像部３０が半田材１の表面を撮像する。そして、上記撮像画像に基づいて、劣化度判断部４２が半田材１の劣化度を判断する。そのため、短時間で簡単に半田材の劣化度を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】 半田材の劣化状態を容易に評価することができる半田材検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半田材検査装置は、スキージ１３とマスク１４との、それぞれの表面に接するように半田材１５が介在している状態から、スキージ１３とマスク１４とが引き離された状態において、当該スキージ１３とマスク１４との間に位置する半田材１５へ光を出射する投光部１１と、半田材１５を通過した通過光を受光する受光部１２とを備えている。これにより、半田材１５の劣化状態を容易に評価することが可能となり、特に、インラインにおける半田材１５の劣化評価に有効である。 （もっと読む）

【課題】 安価な装置を用いて正確な検査を行うことのできる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】 ステージ部２１は、可撓性を有する薄板状の被検査物を載置するステージ面を形成し、載置された被検査物の一方主面とステージ面とを密着保持する。撮像カメラ３１は、ステージ面に密着保持された被検査物を撮像する。Ｘ軸方向駆動機構３５、Ｙ軸方向駆動機構２３、およびＺ軸方向駆動機構３６は、それぞれの方向にステージ面および撮像カメラ３１の少なくとも一方を相対的に移動させる。制御部４は、ステージ面における複数位置における変位データに基づいて、撮像カメラ３１とステージ面との間を等距離に保ちながらＸ軸方向駆動機構３５、Ｙ軸方向駆動機構２３、およびＺ軸方向駆動機構３６を制御する。 （もっと読む）

【課題】 高精度のマスタ画像を作成して正確にパターン検査を行うパターン検査方法およびパターン検査装置を提供する。
【解決手段】 ステップＳ５１では、被検査物に形成されるパターンの設計データを用いて比較用画像を作成する。ステップＳ５２では、被検査物を撮像して得られる画像を用いて仮マスタ画像を作成する。ステップＳ５３では、仮マスタ画像と比較用画像との相違点を抽出する。ステップＳ５４では、相違点を表示する。ステップＳ５７では、ユーザの操作に応じて、表示した相違点について仮マスタ画像を修正する。ステップＳ５９では、修正された仮マスタ画像をマスタ画像として登録する。そして、登録されたマスタ画像とオブジェクト画像とを比較して、被検査物のパターン形状を検査する。 （もっと読む）

【課題】プリント基板外観検査の検査画像撮像時において鏡面反射発生後に生じる劣化画像の補正を行う装置を提供する。
【解決手段】ポリゴンミラー３により偏向した光ビームを被検査物８上でＳ軸方向に走査し、反射光を受光素子７にて受光するセンサ部１と、前記センサ部１から出力される１ライン走査を順次行うことで得られる短冊状画像データを記憶する画像バッファ部１７と、所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力する鏡面検出部２２と、鏡面反射が発生した撮像部を当該Ｓ軸方向と逆方向走査して得られる画像データを記録する鏡面反射部記録部２５とを備え、鏡面反射が発生したことを示す鏡面反射発生信号が存在するときは、画像バッファ部１７からの画像データと鏡面反射部記録部２５からの画像データを合成する。 （もっと読む）

【課題】 複数のモードが混在する場合でも精度よく良否判定を行うことができる良否判定装置、良否判定方法および良否判定プログラムの提供を課題とする。
【解決手段】 良グループＧの分布領域に良否属性の異なる否グループＮのいずれかの要素が混在し、または、否グループＮの分布領域に良否属性の異なる良グループＧのいずれかの要素が混在する場合に、その混在する突出要素を中心として新たなグループＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを作成し、グループを細分化する。そして、細分化されたグループＧ，Ｎ，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心値Ｃ_g，Ｃ_n，Ｃ_a，Ｃ_b，Ｃ_c，Ｃ_dに対して検査対象のパラメータ値が近いかどうかを判断するため、精度の高い良否判定を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】基板検査に用いられる検査ロジックを自動生成可能な技術を提供する。
【解決手段】検査ロジック設定装置が、検査により検出されるべき部品を撮像して得られた複数の第１画像と検査により除外されるべき部品を撮像して得られた複数の第２画像とを取得し、前記複数の第１画像および第２画像のそれぞれの画像を複数のブロックに分割し、前記複数の第１画像と前記複数の第２画像との間の色距離を、前記ブロックごとに算出し、前記複数のブロックの中から色距離が相対的に大きいブロックを１つ以上選択し、選択されたブロックを領域条件として設定する。 （もっと読む）

【課題】 フィレットの大きさや傾き角度にばらつきがあても、いずれのフィレットにもカラーハイライト照明の光源配置に応じた色領域が分布されるようにする。
【解決手段】 基板１上に実装される部品１０のうち、フィレット２が急峻なものについては照明部４が低くなり、フィレット２が緩やかなものについては照明部４が高くなるように、各部品１０に対する照明部４の高さを調整しながら撮像する。この高さ調整のために、あらかじめ基板のモデルを用いて高さ制御情報が教示される。この場合、ユーザーは、表示されたフィレットの画像上に各光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂに対応する色領域が適切に分布するように照明部４の高さを調整する。さらに、調整後の画像を用いて、色領域検出のためのしきい値や判定基準値などの検査データが生成され、高さ制御情報とともにティーチングテーブルに登録される。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置に用いられるパラメータ、特にガルウィング型リードをもつ部品の基板検査に好適なパラメータ、を自動生成可能な技術を提供する。
【解決手段】情報処理装置が、部品を撮像して得られた画像から、半田が付与されるランド領域を特定し、前記ランド領域から、リードの影響が現れるリード領域を除外した領域を、基板検査で用いる検査領域に設定する。このとき、情報処理装置は、前記部品のＣＡＤ情報からリード高さの情報を取得し、前記リード高さに応じて前記ランド領域から除外するリード領域を大きくする。 （もっと読む）

【課題】三次元空間における対象物の特徴点の３次元位置を簡便かつ高精度に計測する。
【解決手段】被検査物を撮像する撮像カメラの前面に１組のミラーを光軸に対して傾いて配置するとともに前記ミラーを光軸に対して回転させて撮像する回転撮像手段６と、測定対象物の周りを回転して撮像を行う回転撮像手段６と、回転撮像手段６により撮像された複数枚の画像を取り込む連続画像取込手段７と、連続画像取込手段７により取り込まれた複数枚の画像を処理する情報処理手段１０と、を備え、取り込まれた複数枚の画像から画像内の特徴パターンを検出し、その特徴パターンの特徴部の移動軌跡より特徴部の３次元位置を計測してプリント基板の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】照明装置の光源として用いられるＬＥＤの交換を容易に行え、メンテナンス性に優れた撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カメラによる撮像方向に対して所定角度をなす照明方向から対象物に光を照射する照明装置において、ＬＥＤ光源２６が配列されたＬＥＤ基板２４を筐体２０に着脱自在に装着する構成として、ＬＥＤ基板２４を相直交する第１の装着面Ｂと第２の装着面Ｃが設けられたＬＥＤ保持部材２２に軸部材２３を介して保持させ、筐体２０の内面に設けられた第１の基準面Ｄと第２の基準面Ｅに第１の装着面Ｂと第２の装着面Ｃをそれぞれ密着させることによって、ＬＥＤ光源２６から照射される光の方向が所期の照明方向と一致するような構成を採用する。これにより、ＬＥＤの交換を容易に行えメンテナンス性に優れた撮像装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 高い生産性を確保しつつ、製品基板の信頼性を向上させる。
【解決手段】 実装処理が施された基板をカメラにより撮像してその画像データに基づき実装処理の良否を検査する実装検査装置４において、画像データに基づいて処理の良否を判定する判定部６１２と、検査タイミングに関するパラメータおよび検査レベルに関するパラメータを記憶する記憶部６１３と、この記憶手段に記憶されたパラメータに基づいて検査タイミング等を設定可能とするキーボード６８等の設定手段と、設定された検査タイミングおよび検査レベルに従って検査を実施すべくカメラ等を制御する主制御部６１１とを備える。前記設定手段については、複数の検査タイミングを設定可能に構成され、かつその設定タイミング毎に個別に検査レベルを設定可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ＡＣＦ貼付の有無を検出する際に、透過型センサーと反射型センサのいずれも用いることを可能とし、検出精度を向上させる。
【解決手段】 金属パターン２が形成された基板１上に電子回路部品を搭載するためにＡＣＦ３を貼り付けた後に、ＡＣＦ３が所定の位置に貼付されているか否かを検出する。この際に、基板１のＡＣＦ貼付エリアにＡＣＦダミーエリアを設定し、このＡＣＦダミーエリア内に円形状穴やスリットなどの貫通穴４を金型加工やＮＣ加工により形成して、ＡＣＦダミーエリアを含むＡＣＦ貼付エリア上にＡＣＦ３を貼り付ける。この後、基板１の一方側の透過型光センサ５ａから光を照射し、貫通穴４を透過した光を基板１の他方側に配置された透過型光センサ５ｂにて受光して検出する。 （もっと読む）

【課題】 拡散反射効率の高い拡散体を容易に製作することが可能な光源装置を提供すること。
【解決手段】 光源４と、光源４の前方に設けられた拡散透過板６と、光源４と拡散透過板６との間に設けられた拡散体８とを備えた光源装置２。拡散体８は、本体部３６と、本体部３６の両側端部３８よりそれぞれ延びる一対の側板部４０とを有し、また本体部３６と一対の側板部４０との接続部３８にはそれぞれ第１折曲げ用凹部５６が設けられており、拡散体８は、一対の側板部４０をそれぞれ第１折曲げ用凹部５６に沿って内側に折り曲げることにより形成され、さらに拡散体８の一対の側板部１８は、それらの幅方向の間隔が拡散透過板６側に向かって大きくなるテーパ状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】観測対象物の色合いがある程度変化しても、その観測対象物を精度良く抽出できるようにして、画像処理の精度を高める。
【解決手段】クリームはんだ印刷前のベア基板を撮像して得た基準画像には、赤みがかかったランドの画像３０が現れる。クリームはんだが良好に塗布された基板を撮像して得た良品画像では、クリームはんだの画像３１が青みがかった状態で現れる。自動ティーチング処理では、基準画像および良品画像のそれぞれについて、画素毎にＲ，Ｇ，Ｂの各色相データを算出し、さらに対応する画素の組毎に、各色相データの変化量を算出する。さらに、青色成分の変動量が所定のしきい値以上となる画素を抽出し、抽出された画素により構成される画像領域をはんだ印刷領域３２とみなして、検査領域やモデルの設定処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】 反射鏡を容易に製作することが可能な線状照明装置を提供すること。
【解決手段】 線状光源４と、線状光源４からの光を反射するシリンドリカル状の凹面状反射面１４を有する反射鏡６とを備えた線状照明装置２。反射鏡６は、シリンドリカル状の円弧状反射面２０ａ，２０ｂを有する複数の反射部材１６，１８から構成され、線状光源４と直交する断面において、反射鏡６の凹面状反射面１４は、複数の反射部材１６，１８の円弧状反射面２０ａ，２０ｂを接続する近似楕円１２の一部に形成され、複数の反射部材１６，１８は、円弧状反射面２０ａ，２０ｂの曲率半径が近似楕円１２の長軸６４に近い側から順に大きく、且つ隣接する一対の反射部材１６，１８の円弧状反射面２０ａ，２０ｂの隣接端部２２ａ，２２ｂにおける接線２６が実質上一致するように配設される。 （もっと読む）

【課題】一方向のステージの移動中に複数種類による照明パターンでの画像を取得する場合、短時間で精度良い検査を行うことのできるような検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板８を移動させる移動機構７と、この移動機構７による一方向の連続した移動中に照射パターンＡと照明パターンＢとを微小時間で切り換えてプリント基板８に光を照射する照明制御手段９１と、この照明制御手段９１によって照射されたプリント基板８からの反射画像をラインセンサ６で受光する受光手段９２と、この受光手段９２によって受光された画像に基づいてプリント基板８の良否を判定する判定手段９４とを設ける。そして、この切り替えられた照明パターンによる画像をステージ７０の移動が完了するまでメモリ９０の同一領域に格納し、その後、照明パターン毎に画像を分解してそれぞれを判定処理する。 （もっと読む）