【課題】混載ウェハ（システムＬＳＩなど）などに対して欠陥を高感度に検出し、しかも欠陥種を幅広く検出して、欠陥捕捉率を向上することができるようにした欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】検査対象の表面に形成されているパターンの周期性に応じて検出光路を２分岐し、それぞれの光路にて異なる開口形状を有する空間フィルタを配置する。空間フィルタ後の光量が相対的に多い光路に減光するフィルタを設け、イメージセンサの飽和を抑制する。また、暗視野光学系にて分岐した第１及び第２の検出光路にそれぞれ偏光素子を備え、第１と第２の検出光路に配置した偏光素子を透過する光が異なる特性となるように設定し、欠陥の捕捉率を向上する。 （もっと読む）

【課題】簡易にして常に安定した外観検査を行うことができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】カメラにより被検査物の所定領域を撮影してその画像情報を得て所定階調値のグレースケール画像情報に処理し、階調値ごとの出現頻度を求めてそのヒストグラムを作成して複数のモードを求める。そして各モードにおける出現頻度を示す階調値の下限値に掛かる下限閾値およびその階調値の上限値に掛かる上限閾値をそれぞれ求め、各モードにそれぞれ掛かる構成部材の配置領域情報をそれぞれ得て、構成部材の配置領域におけるモードの下限閾値以下および上限閾値以上のグレースケール画像情報との論理和演算を実行して合成画像情報を得て、構成部材の配置領域情報との論理積演算により複合画像情報を得る。そうして得られた複合画像情報に特異点があるとき外観検査装置は、被検査物に異常があると判定する。 （もっと読む）

基板の表面の検査用の測定装置が記載されている。測定装置は、保持部材と、エアマウントされたエレメントとを有しており、エアマウントされたエレメントは、保持部材に取り付けられており、保持部材は、基板の検査すべき表面と共に、空気支持体を形成可能であり、保持部材は、エアマウントされたエレメントを、表面のコルゲーション（凸凹）に適合可能である。測定装置は、更に、少なくとも１つのセンサを有しており、このセンサは、エアマウントされたエレメントに取り付けられており、基板の表面の検出用に装置構成されている。エアマウントされたエレメントのフレキシビリティの結果、少なくとも１つのセンサを、検査すべき表面のコルゲーション（凸凹）に、常に一定の測定距離で表面に対して相対的に動くことができる。更に、表面検査用の測定方法が記載されており、その際、前述の測定装置が、表面に対して相対的に動かされる。
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【課題】
検査対象基板のストライプ状着色膜に生じるスジ欠陥を感度良く検査する基板検査装置及び基板検査方法を提供する。
【解決手段】
ストライプ状の着色膜群が形成された基板の水平面に対して光を照射する照明手段と該基板からの正反射光を捉える位置に配置された撮像手段があり前記照明手段と前記撮像手段とを結ぶ直線と、前記ストライプ状の着色群のうち１の着色群が備えるストライプ方向との成す角θは４０°以上５０°の条件で該基板を撮像し、撮像された画像より該基板に生じたスジ欠陥を検出する基板検査装置及び基板検査方法。 （もっと読む）

【課題】群化した点欠陥を一群の欠陥として精度良く検出できる欠陥検出方法、欠陥検出プログラムおよび検査装置を提供すること。
【解決手段】点欠陥強調工程（ＳＴ２）において、撮像画像中の点欠陥候補を強調して検出しやすくしておいてから、領域検索工程（ＳＴ３）にて所定領域内の点欠陥候補ｄ個数を検出し、領域判定工程（ＳＴ４）にて領域が対象領域か否かを判定することで、撮像画像中に点欠陥候補がある程度以上に集まった（群化した）領域を対象領域として判定する。そして、群化状態算出工程（ＳＴ６）にて点欠陥候補の群化状態を算出してから、欠陥分類工程（ＳＴ７）にて群化状態が面欠陥候補であるかを判定し、欠陥検出工程（ＳＴ８）にて面欠陥検出用の閾値を用ることで、群化点欠陥を面欠陥として精度良く検出し、欠陥判定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】検査漏れを防止する。
【解決手段】液晶パネル１１内には、バックライトから照射される光をフィルタリングするためのカラーフィルタがＲ，Ｇ，Ｂの三色設置されている。この液晶パネル１１を検査するための検査装置３０は、液晶パネル１１を撮像してその受光信号を出力するカメラ３１と、液晶パネル１１に対してカメラ３１とは反対側から光を照射する検査用バックライト３２と、液晶パネル１１とカメラ３１との間に介在し、液晶パネル１１の各カラーフィルタを透過した各色の光が同じ光量だったとき、それらの光をカメラ３１では同じ強度の光として検出できるようフィルタリングする補正用カラーフィルタ３５と、カメラ３１から出力される受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出する演算処理部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】正確かつ安定性が高い品質の光を照射することができ、しかも構成が簡単で効率もよいカラー撮像素子検査用の光源装置を提供する。
【解決手段】筐体１１に収容され、互いに異なる色の光を発する複数のＬＥＤ１と、各ＬＥＤ１に接続され、混合される前の各色の光を光混合部３に伝達する多数の第１メイン光ファイバ２と、各ＬＥＤ１に前記第１メイン光ファイバ２とともに接続され、混合される前の筐体１１内部で漏れる各色の光をそれぞれ導入される複数のサブ光ファイバ６と、前記各サブ光ファイバ６から導出される光の強度をそれぞれ検出する受光素子７と、前記受光素子７で検出された各ＬＥＤ１に対応する光の強度が、予め定めたそれぞれの目標値となるように、前記各ＬＥＤ１への供給電力をそれぞれ制御する供給電力制御部８とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 複数台のカメラを用いても装置が大型化せず、全てのカメラで同一の画像ずらし量を実現できる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】 複数のエリアに分割された検査対象の各分割エリアを、レンズ系及び所定数の画素からなるエリアセンサを備える複数台のカメラで撮像した画像情報を処理し、計算された特徴量に基づいて前記エリアの欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記複数台のカメラを固定配置するカメラボードと、
このカメラボードを、Ｘ，Ｙ方向の所定範囲で周期的に移動操作するアクチュエータ手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】
（１）群欠陥判定の処理時間の短縮。
（２）レンズの収差による誤判定の抑制による、群欠陥の検出精度の改善。
（３）群判定のための条件設定の工数の削減。
（４）ハードウェア変更に対する条件設定の工数の削減。
（５）検査対象のサブピクセル形状の変更に対する汎用的に維持。
を実現した欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 複数個のサブピクセルからなるピクセルが集合した検査対象の検査エリアを撮像した画像データを処理し、この処理により計算される特徴量から識別された前記サブピクセルの単独欠陥の密集態様に基づいて群欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記識別された単独欠陥の固有情報を抽出する単独欠陥固有情報抽出手段と、
抽出された前記単独欠陥の固有情報を、前記検査エリアにマッピングする単独欠陥情報マッピング手段と、
マッピングされた前記単独欠陥情報の密集態様を示す特徴量に基づいて群欠陥の分類処理を実行する特徴量マッチング手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置における配線量を削減して、基板検査装置の小型化、製造コストや保守管理コストの低減、動作の信頼性の向上を実現する。
【解決手段】マクロ検査装置２００、ミクロ検査装置３００、ＣＩＭサーバ４００を含む基板検査システム１００において、マクロ検査カメラ部２３０（ミクロ検査カメラ部３３０）と制御コンピュータ２１０（制御コンピュータ３１０）の間で無線通信情報フレーム６００を授受し、ハブ５００を介してＣＩＭサーバ４００に無線通信情報フレーム６００を送る構成として信号配線を省略した。マクロ検査カメラ部２３０（ミクロ検査カメラ部３３０）では、画像処理ユニット２３２（画像処理ユニット３３２）で欠陥を判別し、必要な場合にのみ、無線通信情報フレーム６００に基板３０の基板画像データを乗せて送信することで、無線通信される無線通信情報フレーム６００のデータを減らして、通信帯域の輻輳を防止し、円滑な通信を実現する。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の閾値の再設定の必要がなく、安定した検査ができると共に欠陥強度の検出精度を向上させ、欠陥同士の強度の比較を可能とする欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】 所定の被検査エリアを有する検査対象を、エリアセンサにより撮像した画像情報を処理し、前記エリア内の輝度変化から計算した特徴量に基づいて欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記エリアセンサのエリア中心部と周辺部の輝度出力差に起因する前記特徴量の差を補正する、特徴量面内補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】
マルチ撮像ヘッド方式の複数の画像処理部は、各画像処理部を制御するための操作が複雑になり操作者の負担が増大するため、複数の画像処理部を効率的に操作できるマルチ撮像ヘッド方式の画像処理装置の実現が望まれている。
【解決手段】
試料台と、上記試料台上の被測定対象物を撮像する複数の撮像部と、上記複数の撮像部で撮像された上記被測定対象物の映像信号を処理する複数の画像処理部と、上記画像処理部からの出力信号を表示する表示部と、入出力切替部と、上記複数の画像処理部および上記入出力切替部を制御する制御部を有し、上記制御部の制御に基づいて上記入出力切替部を制御し、上記複数の画像処理部の出力信号のいずれか一方の出力信号を上記表示部に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図れるのは勿論、それに加えて、検査に要する走査距離を短くするにより、検査時間を短縮する。
【解決手段】被検査対象である基板Ａを支持するステージ１と、ステージ上に支持された基板を跨ぐように基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アーム３Ａ、３Ｂと、複数の門型アームにそれぞれ設けられて基板を検査する検査部５とを備える。基板Ａは、離間して配置された門型アームに対して相対移動される。このとき、装置の全長は基板Ａの長さの１．５倍でよい。また、走査距離は、基板Ａの全長の約１／２で足り、検査時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】検出した欠陥が修復できない欠陥にまで発達して、基板を廃棄しなければならなくなる不都合の発生を未然に防止する。
【解決手段】基板のエッジを撮影する撮影部６と、該撮影部６により取得された基板のエッジの画像に基づいて欠陥を検出する欠陥検出部７と、該欠陥検出部７により検出された欠陥の程度を判定する欠陥状態判定部８と、欠陥検出部７により検出された欠陥の位置と、欠陥状態判定部８により判定された欠陥の程度とを対応づけて登録する欠陥登録部とを備え、欠陥状態判定部８が、欠陥登録部に登録された欠陥の程度を経時的に判定する欠陥監視システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の基板が大型化しても照明のための安定した透過範囲を広くとることができ、かつ均一でかつ照度の高い透過照明が行える透過照明ステージおよび基板検査装置を提供する
【解決手段】基板Ａを支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟２と、桟２に支持される基板を跨ぐように設けられて、顕微鏡９を基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる門型アーム６と、複数の桟の間に配置されて基板を下側から照明する照明ユニット１５と、照明ユニットを搭載した状態で桟の延在する方向へ移動させる移動台１２とを備え、照明ユニットには、桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤ１７からなる照明部１６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】検査時間の短縮化が図れ、かつ、任意の位置で位置補正して、常に顕微鏡と透過照明部との光軸を一致させ、しかも顕微鏡による観察時における照度の均一性を保つ。
【解決手段】基板Ａを基板ステージ２によってＹ方向へ移動させつつ、顕微鏡４を門型アーム３によってＸ方向へ移動させるとともに、顕微鏡の移動に同期させて透過照明部６を透過照明部移動機構５によってＸ方向へ移動させるとき、予め記憶部１４に記憶させた補正データに基づき、制御部１３によって微調整用ステージ７を駆動させて透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させる。これにより、顕微鏡と透過照明部の光軸を一致させ、しかもそれらの焦点を一致させる。 （もっと読む）

【課題】実際に製造された被検査基板を用いることなく、回折光を観察するための照明光源からカメラに至る光軸を調整する。
【解決手段】被検査基板に形成されたパターンを、光源３からの照明光の該パターンにおける回折光を検出器４により検出して検査する基板検査装置１の光軸調整方法であって、検査時に照明光が照射されることとなる被検査基板の表面位置に、被検査基板に代えて、照明光を反射する反射面１０ｂを有し、該反射面１０ｂが、検査時における被検査基板の表面方向に対し、回折角度αの１／２の角度だけ、光源３からの照明光の入射角度を減少させる方向に傾斜して配置される反射部材１０を配置し、該反射部材１０の反射面１０ｂにおける照明光の反射光に基づいて、光源３と検出器４との相対角度を調整する基板検査装置１の光軸調整方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板の内部の欠陥を、基板の表面からの深さに関わらず検出する。
【解決手段】投光系は、光線の焦点を光が透過する基板１の表面に合わせ、光線を基板１の表面へ斜めに照射しながら、光線を移動して光線による基板１の走査を行う。下受光系は、複数の光ファイバーを束ねた受光部３２を有し、基板１の裏面側に配置され、基板１の表面又は内部の欠陥により散乱されて基板１を透過した散乱光を受光する。基板１の内部に欠陥が存在する場合、複数の光ファイバーを束ねた受光部３２で受光された散乱光は、縦横に広がった十字形状となる。欠陥検出回路３５は、受光部３２が受光した散乱光の形状的特徴から、基板１の内部の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】容積を小型化すると共に基板の全面を観察できる。
【解決手段】ステージ１１上に基板２を固定状態に保持する。ステージ１１で支持するアーム部１５によって基板に照明光を照射する照明部３を水平移動可能に支持する。照明部３で照射された基板を撮像する撮像部４をアーム部１９によって水平移動可能に支持する。欠陥の種類に応じた照明部３の照射角度及び撮像部４の撮像角度を制御手段に記憶しておき、検査すべき欠陥に応じて照射角度と撮像角度を予め設定する。基板２を移動することなく、照明部３の照射角度と撮像部４の撮像角度を一定に維持しながらアーム部によって水平移動させて基板の全領域を検査する。 （もっと読む）

【課題】基板検査システムにおいて、製造ラインの作業者と基板検査装置における検査者との間で、基板に関する情報伝達を容易かつ確実に行うことができるようにする。
【解決手段】Ｃ／Ｄ６、露光機７、オートマクロ検査装置９、搬送ローダ５を備える基板検査システム１であって、オートマクロ検査装置９が、基板２の検査時の画像データを、基板ＩＤと、基板２ごとに追記および書き換え可能に設けられた付加入力データとともに記憶するデータ記憶部と、データ記憶部に記憶された各データを表示するデータ表示部とを有し、このデータ記憶部とデータ通信可能に接続されることで付加入力データの入力とデータ記憶部に記憶された各データの表示とが可能な入出力端末８Ａ、８Ｂが、Ｃ／Ｄ６、露光機７の近傍に配置された構成とする。 （もっと読む）