【課題】撮像ごとに発生するノイズを除去できる検査装置を提供する。
【解決手段】検査システム１４は、ステージ３００に積載されている基板３０に光を照射するライト４６と、基板３０からの反射光を撮像するラインセンサ４８と、検査装置４０と、ディスプレイ装置５０とを備える。検査装置４０は、受信部４１と、記憶部４２と、判定部４３と、出力部４４と、入力部４５とを含む。判定部４３は、複数の領域の各画像を投影することにより１次元の投影データをそれぞれ算出し、各投影データを差分することにより差分プロファイルを算出し、差分プロファイルから強度のピークを検出し、当該ピークの値に基づいて基板３０に形成された薄膜のムラを判定する。 （もっと読む）

【課題】 ノイズの影響を簡便に低減させ、高画質で高品質の画像データを取得する多重スキャンによる画像取得方法、画像取得装置および試料検査装置を提供する。
【解決手段】 マスク１１が載置されたステージに対して、１次元画像センサのライン方向と交差するＸ方向の走行移動と、ライン方向であるＹ方向のステップ移動と、を繰り返して第１スキャン・・・第９スキャン・・・第ｎスキャンの多重スキャンを行い、１次元画像センサによりマスク１１の２次元画像データを取得する画像取得方法において、ステップ移動量を、１次元画像センサのライン方向の画素数からなるセンサ幅Ｗより小さくして、マスク１１の同一領域の画像を１次元画像センサのライン上の異なる画素で複数回撮像し、これ等の異なる画素で撮像して得た画像データを画素間演算し平均化処理あるいは比較処理する。 （もっと読む）

【課題】検査時間を短縮する表示制御装置等を実現する。
【解決手段】本発明の表示制御装置４は、目視検査工程の際、自動検査工程において欠陥がないと判定された検査項目の欠陥を検出するための点灯パターンを表示対象から除外する表示制御部７を備えているので、目視検査工程に要する検査時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハに打ち込んだイオンの影響や、パターン接続の有無、パターンエッジの形状などの影響による検出画像誤差を生じることなく画像を検出する。
【解決手段】パターン検査方は、対象物基板を撮像してディジタル画像を得、このディジタル画像を用いて予め座標データで登録した領域、又は予め登録したパターンと一致するパターンをマスクして欠陥を検出し、この検出した欠陥を表示するようにした。又本発明によるパターン検査方法においては、対象物基板を撮像してディジタル画像を得、このディジタル画像を用いて欠陥を検出し、この検出した欠陥のうち登録した特徴に一致する欠陥の表示非表示を切替えるか他と識別可能なように表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】ハイブリッドネマチック配向液晶フィルムを含む光学フィルムの欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】液晶をハイブリッドネマチック配向させた第１液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第１偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第２液晶フィルムと第２偏光板とからなる欠陥検査用素子を、前記第２液晶フィルム側が前記光学フィルム側に隣接するように配置し、且つ前記欠陥検査用素子を、前記光学フィルムに対し傾斜させて、前記光学フィルムを検査する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥が、どの色の着色画素に発生したかを検査の段階で特定し、色毎に異なる規格を適用した欠陥検査を行うカラーフィルタの外観検査方法を提供する。
【解決手段】予め、着色画素などの良品検査画素の濃度範囲を設定し、被検査体を撮像した際に、各色の着色画素などを判定する検出検査画素の数を設定し、次に、欠陥Ｄ３の位置情報から、その周囲に輪郭部Ｒ３を設け、輪郭検査画素の各濃度を求め前記濃度範囲と対比して濃度範囲毎に集計し、次に、輪郭検査画素の数が検出検査画素の数以上なら、欠陥は当該着色画素と判定し、欠陥のサイズを当該色の許容欠陥のサイズと対比し可否を判定する。 （もっと読む）

【課題】正常な膜厚に対して膜厚差が生じている特定周期のスジムラのみを検出する。
【解決手段】本発明の検査装置４は、第１方向から光を照射して検査対象基板Ｐ上に配列した絵素を撮像した画像Ｌと、上記第１方向とは異なる第２方向から光を照射して上記絵素を撮像した画像Ｒとのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出部１２と、画像Ｌ及び画像Ｒのそれぞれにおいて、検査対象基板Ｐ上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔Ｔで検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出部１３と、画像Ｌ及び画像Ｒの両方で検出されたスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出部１４とを備えているので、正常な膜厚の絵素に対して膜厚差が生じている絵素の存在によって生じる特定周期のスジムラのみを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】平面表示パネルの画素周期のレベルで画像中における平面表示パネルの表示領域に相当する領域の位置を決定することができる平面表示パネルの画像の位置決め方法を提供する。
【解決手段】一色の画素のみを発光させて液晶パネルを撮像して画像Ａを取得する。次に、画像ＡについてＸ方向の輝度プロファイルＦｘを求め、極小点の座標ｘ_ｍｉｎを求め、配列周期Ｐｘを求める。そして、パネル領域のＸ方向の端部の座標ｘ_ｅｎｄとして、最も外側に位置する極小点から配列周期Ｐｘだけ外側に離隔した位置の座標を算出する。一方、Ｙ方向の輝度プロファイルＦｙを求め、極大点の座標ｙ_ｍａｘを求め、配列周期Ｐｙを求める。そして、パネル領域のＹ方向の端部の座標ｙ_ｅｎｄとして、最も外側に位置する極大点から、Ｙ方向における発光させた画素の中心とこの画素が属する絵素の外側の端縁との間の距離ｅだけ外側に離隔した位置の座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】視野角依存性が強い被検査面に対し、高精度な検査を可能とする画像検査装置を提供する。
【解決手段】カメラ２Ｂは、被検査面１０ａの中心に正対する位置から離れた位置にあり、被検査面１０ａを斜め方向から撮影する。カメラ２Ｂにおいて、撮影レンズ２１の光軸２１ａ（光学系２２の光軸）は、カメラ２Ａと同様、被検査面１０ａとほぼ垂直な方向とされ、撮像面２３は被検査面１０ａとほぼ平行とされている。また、光学系２２は、撮像素子に対して水平方向にずらされることで、撮像素子の撮像面２３に被検査面１０ａが結像する位置関係が維持されている。 （もっと読む）

【課題】画像データから特定周期スジムラの出現傾向の評価を適切に行えるスジムラ評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のスジムラ評価装置１００は、カラーフィルタの光照射されている評価対象面を撮像して得られた撮像画像データから当該評価対象面に発生している周期性を有するスジムラを評価する指標となる評価データを生成する評価データ生成部１２０を備える。評価データ生成部１２０は、撮像画像データに含まれる光分布情報に対して、スジムラの出現方向のベクトルを含む方向を投影方向として一次元投影処理を行う一次元投影処理部１２１と、一次元投影処理された光分布情報からパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部１２２と、算出されたパワースペクトルから、予め設定した周期の区間積分値を算出する積分処理部１２３と、算出された区間積分値中に含まれるノイズ成分を除去するノイズ成分除去部１２４とを有している。 （もっと読む）

【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】赤外線サーモグラフィを使用して改善された欠陥検出及び解析を提供する。
【解決手段】信号発生器（３３０）からのテストベクタにより、テスト対象デバイス（３０５）の各部分を加熱して欠陥を識別する際に有用な熱特性を生成する。テストベクタは、欠陥とそれを取り囲む部分との間の熱コントラストを高めるように調節されるので、赤外線（ＩＲ）撮像装置（３１５）は改善されたサーモグラフ画像を取得することができる。ＡＣ及びＤＣテストベクタを組み合わせることにより、電力伝送を最大化して加熱を加速する。改善された画像に数学的変換を適用することにより、欠陥検出及び解析をさらに加速する。欠陥アーチファクトを解析して該当する欠陥の位置を正確に特定する欠陥位置特定アルゴリズムを採用する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステージの位置ズレ補正制御だけに頼ることなく、被検査物を撮影した撮像画像の位置補正や被検査物を撮影するイメージセンサの向きを調整補正する等の対応により、異物やパターン欠陥が高速・高精度に検出でき、コストＵＰが抑制できる検査方法および検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影する検査方法において、撮影に向け移動する前記ステージの目標位置と実際位置との位置ズレ量を求め、撮影した前記目標位置の撮影範囲からの撮像画像切り出しで、前記位置ズレ量に見合った切り出し位置補正をすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像において、輝度ムラ等の変化を抽出することを目的として処理する場合に、入力信号の画素の信号データによる信号レベルのマップ上で変化を抽出して変化がある図形とする必要がある。
【解決手段】
カーネル処理に適応するために、設定した画素寸法によるブロックに対角線を引きその対角線を境としてＸ軸Ｙ軸に分割をされて４分割されたエレメントに相当する画素をＸ軸とＹ軸おのおのの２つづつのエレメントの相関比を抽出し、さらに、抽出したＸ軸とＹ軸の相関比を合成して方向データとする方法で図形として分別する方法や、Ｘ軸とＹ軸の相関比を乗算して方向データの強度とする図形条件抽出方法と、また、入力信号の画素データをレベル比較により処理して図形を検出し、カーネル処理を行い抽出したデータとの相関で有効図形とする処理を行うもの。 （もっと読む）

【課題】基板と光学系とを相対的にＸ方向及びＹ方向へ移動して基板の検査を行う際、基板の移動範囲を小さくして、装置を小型化する。
【解決手段】半導体ウェーハ１の表面を４つの検査領域に分割する。半導体ウェーハ１をステージによりＸ方向に半導体ウェーハ１の直径（２Ｒ）の半分の距離（Ｒ）だけ移動し、光学系をＹ方向に半導体ウェーハ１の直径（２Ｒ）の半分の距離（Ｒ）だけ移動して、１つの検査領域の検査を行う。１つの検査領域の検査が終了したら、半導体ウェーハ１を９０°回転させて、検査領域を切り替える。これらを繰り返すことにより、半導体ウェーハ１の表面全体の検査を行う。検査装置が半導体ウェーハの移動のために占有する面積は、３Ｒ×２Ｒとなる。 （もっと読む）

【課題】パターン画像検出部１１０の特性変動や被検査ウェーハ６の表面特性の個体ばらつきに応じて、欠陥判定のしきい値を自動的に調整する。
【解決手段】画像処理部１２０は、被検査ウェーハ６表面のある領域の検出画像とその領域と同じパターンを有する他の領域の検出画像との差分画像に基づき、欠陥信号を抽出する欠陥信号抽出部２１、前記差分画像の全画素について、その各画素の欠陥信号量を累積して、その頻度分布および分散を算出する欠陥信号累積部２３、その算出した分散を、基準の被検査ウェーハ６から得られた基準の頻度分布の分散と比較して、頻度分布のオフセット量を算出するオフセット算出部２４、あらかじめ設定された基準の欠陥判定しきい値を前記オフセット量により修正し、その修正した欠陥判定しきい値に基づき、前記欠陥画像についての欠陥信号の欠陥判定を行う欠陥判定部２５、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体パターン検査装置において、シミュレーションで求められた危険箇所に対して、その検出感度を最適化したい要望がある。しかし、設計データとパターン検査装置を結びつけたツールがない。あるいは、その実施に膨大な時間を要し、製造現場での運用には無理があった。
【解決手段】本発明では、検査装置から出力した複数の検査・画像・特徴量データ、及びレビューＳＥＭ画像だけでなく、シミュレーションから求めた危険箇所の座標情報、及びその部分のＣＡＤ情報を取り込む。これらの情報を並べて表示するデータ処理装置により、危険箇所の検出率の観点から検査装置の検査条件のチューニングを容易にする。また、レビューＳＥＭで読み取ることが出来る座標データを出力して容易に定点観察機能を従来のレビューＳＥＭで実現できるようにする。これによりシミュレーションデータ、検査装置、レビューＳＥＭの連携を容易にする。 （もっと読む）

【課題】ムラ検査装置におけるラインセンサカメラの位置調整を容易に行う。
【解決手段】ムラ検査装置は、基板９ａが載置されるとともに移動可能なステージ２１、線状の照明領域に照明光を照射する光照射部３およびラインセンサカメラ４を備え、ラインセンサカメラ４の位置調整時には、基準撮像ライン８０ａの両側に、基準撮像ライン８０ａに向かって漸次幅が減少する暗部である複数の凸状領域を基準撮像ライン８０ａに平行に配列して有するチャート８が基板９ａ上に配置される。ラインセンサカメラ４による撮像ラインが基準撮像ライン８０ａに対して傾斜していたりずれている場合は、ラインセンサカメラ４の出力の輝度分布に幅の異なる、または、幅の広い低輝度部が現れる。これにより、ラインセンサカメラ４の傾きや前後位置のずれを容易に把握することができ、ラインセンサカメラ４の位置調整を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】検出系からの検出画像信号を補正することにより、照明系、光学系、検出系など構成要素の特性ばらつきによる、複数の検査装置（機体）間での検査感度の機体差を低減する。
【解決手段】被検査対象に光束を照射する光源と、被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、光電イメージセンサを分割した複数の領域毎に、それぞれに対応する信号補正部、Ａ／Ｄ変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部と、合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、検出信号伝送部は、光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる。 （もっと読む）

【課題】 ＲＧＢの３色の蛍光体が塗布された試料を検査する場合には、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれの単色を検査するための光学系を使用する必要がある。しかし、単色毎に検査すると検査に時間が多くかかった。また３色を同時に検査するためには、３つの光学系が必要となり、検査装置が大きくなる要因となり、製作コストも高かった。本発明は、検査時間の短く、かつ小型の蛍光体検査装置を提供する。
【解決手段】 分散プリズムを通し、分光した光をラインセンサに取込み処理することにより、１つの光学系で、かつ、一度に、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の蛍光体のミクロ検査とマクロ検査を行う。 （もっと読む）