【課題】 アライメント部によるアライメント処理を良好に実行できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 アライメント部１３０は、主として、定置台１３３と、複数の支持ピン１３４と、入出射部１７１と、を有している。定置台１３３は、ウェハーステージであり、基準用基板Ｗ１は、その上面に第１水平姿勢にて定置されている。複数の支持ピン１３４は、定置台１３３の上面から入出射部１７１側に立設されている。処理基板Ｗおよび比較用基板Ｗ２は、これら支持ピン１３４により第２水平姿勢にて支持される。入出射部１７１は、定置台１３３側に光を照射とともに、基準用基板Ｗ１および比較用基板Ｗ２で反射される反射光を受光する。そして、複数の支持ピン１３４による処理基板Ｗおよび比較用基板Ｗ２の支持状況は、基準用基板Ｗ１の反射光と比較用基板Ｗ２の反射光と、に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】 アライメント部によるアライメント処理を良好に実行できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 アライメント部１３０は、主として、定置台１３３と、複数の支持ピン１３４と、入出射部１７１と、を有している。定置台１３３は、ウェハーステージであり、検査用基板Ｗ２は、その上面に定置されている。複数の支持ピン１３４は、定置台１３３の上面から入出射部１７１側に立設されている。処理基板Ｗ１および検査用基板Ｗ３は、これら支持ピン１３４により支持される。入出射部１７１は、定置台１３３側に光を照射するとともに、処理基板Ｗ１、基準用基板Ｗ２、Ｗ３で反射される反射光を受光する。そして、光源１７１ａの発光状況は、定置台１３３上の処理基板Ｗ１、検査用基板Ｗ２、Ｗ３で反射された複数の反射光について、各反射光の反射光スペクトルから演算される各積分演算値に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】配線保持装置において、安価かつ簡素な構成で振動を抑制する。
【解決手段】可動部（５）に接続された配線４を保持する保持部材６を複数個連設してなり、一端側がベース部７に沿って配置される配線保持装置２において、側面視における配線４とベース部７との間に配置された振動吸収部材（６ｄ）を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンを表す画像のパターン間にノイズが存在する場合でも、正確な欠陥検査を行う形状検査手法を提供する。
【解決手段】形状検査は、被検査パターンの輪郭を推定し、被検査パターンが正しい形状にどの程度近いかを算出する処理である。被検査領域中を各々の被検査パターンを含む個別領域に分割し、第１の形状検査を行う。次に、第１の形状検査が不合格であった個別領域に対して、より限定した領域のみを対象として第２の形状検査を行い、推定輪郭を修正する。領域の限定には、個別領域の周囲に位置する、第１の形状検査に合格した被検査パターンの輪郭を用いる。第２の形状検査では、まず正しい形状を備えた周囲の被検査パターンに基づいて、検査対象の個別領域に含まれる被検査パターンが正しい形状を備えている場合の輪郭を推定する。そして、推定された輪郭を含み、かつ個別領域全体より小さな領域を検査範囲として形状検査を行う。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンからアシストパターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、を備えているアシストパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、アシストパターンをデセンス領域に設定するデセンス領域設定部と、デセンス領域において、パターンの比較検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンから特定パターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、を備えているパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像の光学画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、特定パターンを特定検査実行領域に設定する特定検査実行領域設定部と、特定検査実行領域において、光学画像取得部で取得した光学画像のパターン検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時における光源の交換が容易で、部品の汎用性が高いライン型光源装置を提供する。
【解決手段】複数のＬＥＤ光源１３がライン状に実装されている光源基板１１を、放熱部材１２に接合してなる光源ユニット７を本体ハウジング５に固設すると共に、駆動制御部６から延出する配線ライン１９を光源基板１１に対してコンプレッションコネクタ１６を介して接続させる。ＬＥＤ光源１３を交換するに際しては光源ユニット７全体を交換する。その際、光源基板１１がコンプレッションコネクタ１６を介して配線ライン１９と接続されているため、コネクタが自動的に挿脱されるため、作業性が良い。 （もっと読む）

【課題】基板に発生した圧痕を検査するにおいて、圧痕検査が必要な検査領域の設定が迅速且つ正確であることは勿論、圧痕の異常有無も迅速で且つ正確に検査することができる圧痕検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧痕検査装置は、圧痕が発生した基板を固定するためのワークステージと、前記ワークステージの上側に位置し、前記基板の後面を観察するための顕微鏡と、前記顕微鏡を通して観察された基板の後面を撮像できるように、前記顕微鏡に連結設置されたカメラと、前記カメラから前記撮像された画像データを入力され、前記画像データ中において圧痕検査が必要な検査領域を設定する検査領域選択部と、前記検査領域内で所定形状の枠を有する各検出領域ごとに輝度分布情報を検出し、前記検出された輝度分布情報によって圧痕指数を検出する圧痕検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小な重欠陥を検出可能でありながら、不良とはならない程度の微小な差異を検出することがないカラーフィルタ欠陥検査方法、及びカラーフィルタ欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】着色層のパターンが形成されたカラーフィルタの欠陥検査方法であって、カラーフィルタの撮像画像から着色層端部のテーパー形状部を抽出し、該抽出した領域と、該抽出した領域以外の領域とで異なる検査閾値を設定し、欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ欠陥検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類できるようにする。
【解決手段】光源装置４からの光をポラライザー５を介して偏光を与えて被検査体Ｗに対し斜め方向に入射させ、その散乱光ＳＢを暗視野に配置された偏光分離素子９を有するＣＣＤ撮像装置７で撮像し、得られたＰ偏光成分画像とＳ偏光成分画像とについて成分光強度を得て、それらの比としての偏光方向を求める。被検査体に応力を印加していない状態と、応力を印加した状態の光散乱体の撮像により得られた画像から成分光強度、偏光方向を求め、所定の閾値と対比することにより欠陥の検出、分類がなされる。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤの滅点と塵埃を識別することができるディスプレイ検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】ディスプレイを撮像部１１により撮像する第１撮像部（制御部１３）と、撮像部の感光面がディスプレイの移動方向とは逆方向に移動された状態で、ディスプレイを撮像部１１により撮像する第２撮像部（制御部１３）と、第２撮像部により撮像された画像における点欠と隣り合うカラーフィルタと、第１撮像部により撮像された画像における点欠と隣り合うカラーフィルタとの種類が異なるかどうかを判断する判断部（制御部１３）を有し、第２撮像部により撮像された画像における点欠と隣り合うカラーフィルタと、第１撮像部により撮像された画像における点欠と隣り合うカラーフィルタとの種類が異なると判断された場合、ディスプレイの点欠を異物による点欠とする判定部（制御部１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い感度で高速に検査を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ウェハＷの表面に照明光を照射する照明部１０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する２次元撮像素子３３と、２次元撮像素子３３により検出された光情報を読み出して、当該光情報に基づきウェハＷの表面を検査するとともに、２次元撮像素子３３における検査に適する部分を求めるＣＰＵ４３とを備え、２次元撮像素子３３は、光情報を画素単位で部分的に読み出すことが可能なＣＭＯＳイメージセンサであり、ＣＰＵ４３は、２次元撮像素子３３における検査に適する部分の光情報のみを読み出して検査するようになっている。 （もっと読む）

【課題】欠陥原因の究明などを短期間で効率よく行えることはもとより、欠陥検査した検査情報から特定することで、リペア装置にリペア箇所を的確に指示することが可能なフラットディスプレイパネルの欠陥検査装置およびその方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査した検査情報を保持するデータベース６４０と、表示パネルを形成する第１基板と第２基板とを張り合わせた後、個々に分割されそれぞれに識別子が付与されたフラットパネルディスプレイの点灯検査を行い、欠陥検査した検査情報と分割されたフラットパネルディスプレイを点灯検査した検査情報を識別子で照合させ、フラットパネルディスプレイの点灯検査情報を基に、第１基板と第２基板の製造時に欠陥検査した検査情報を自動分類し、点灯検査で検出された線欠陥の欠陥箇所を第１基板と第２基板の製造時に欠陥検査した検査情報から特定して、リペア箇所を指示する処理部６５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】製品品質の検査システム及びその方法を提供する。
【解決手段】製品品質の検査システムは、検査機具と、撮影装置及び検査モジュールを含む。前記検査機具は検査対象としての完成品を位置決めするためであり、撮影装置をその上に架設し、両者の位置の対応関係を恒に変わらぬよう保持し、検査モジュールはデジタル信号の処理を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成の受光光学系であって、光ＮＡ化が可能な受光光学系を有する欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 ロッドレンズ５に入射した散乱光は、ロッドレンズ５の側面５ｃで全反射を繰り返しながら、第１の表面５ａと反対側にある第２の表面５ｂに導かれ、第２の表面５ｂからロッドレンズ５の外部に放出されて、受光素子６により受光される。ロッドレンズ５は、その両端面が第１の表面５ａ、第２の表面５ｂとなっている。第１の表面５ａ、第２の表面５ｂは通常、平面である。そして、第１の表面５ａの面積Ｓ１の方が、第２の表面５ｂの面積Ｓ２よりも大きくされている。よって、広い面積を有する第１の表面５ａで受光を行うので、大きなＮＡを持たせることができる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）

【課題】小さい透明ディスクを備え、電子デバイスの底面を検査する機能を達成すると共に、該ディスクは、高硬度の性質を有し、検査すべき電子デバイスがディスクにぶつかって傷付けてしまうことを避け、画像取得する際の干渉現象を減少し、検査の正確度を向上させる検査システムを提供する。
【解決手段】複数の電子デバイス２００を置くための第１の透明ディスク１０と、第１の透明ディスク１０の下方に設けられ、電子デバイス２００の底面を検査するための第１の画像受取ユニット１１と、第１の透明ディスク１０に隣接する第２のディスク１２と、第１の透明ディスク１０と第２のディスク１２の隣接位置に設けられ、第１の透明ディスク１０上の電子デバイス２００を案内し第２のディスク１２に転送するガイドユニット１３と、第２のディスク１２の上方に設けられ、電子デバイス２００の他の表面を検査するための複数の第２の画像受取ユニット１４とを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥画像と参照画像との差画像から欠陥を抽出する検査装置において，位置合わせのための画素間補間演算に時間がかかっていた。また，欠陥の寸法算出や分類を行う場合もサンプリング点数が不足するため，十分な精度が得られない。
【解決手段】検査試料を搭載したステージ１の移動方向に対して２次元センサ３を所定の角度傾けて設置し，ステージ１の移動と同期して撮像，画像を再構成することにより，ウエハ２に対して，２次元センサ３の画素サイズ以下の高密度サンプリングの画像を得ることが出来る。これにより，位置合わせ時の補間演算が不要になり，また，欠陥の寸法算出，分類が高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】その目的は、光学フィルムが設けられた光学表示ユニットの一方面から光を照射し、その他方面で当該光の透過光像を撮像し、当該撮像した画像から輝点を検出する、光学表示ユニットの検査方法において、検査対象物の欠点の、検査対象物の厚み方向の位置を測定可能とした検査方法を提供することにある。
【解決手段】光学フィルムが設けられた光学表示ユニットの一方面から光を照射し、その他方面で当該光の透過光像を撮像し、当該撮像した画像から輝点を検出する、光学表示ユニットの検査方法であって、前記輝点の検出に際し、輝点の焦点深度を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージを用いた安価且つ簡素な構成の基板検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板（１０）を浮上させて支持する浮上ステージ２と、この浮上ステージ２の上方に位置し、被検査基板（１０）に暗視野照明光を射出する光源と、浮上ステージ２上に位置し、視野照明光を散乱反射させる散乱反射部２ａと、被検査基板（１０）を落射暗視野観察する光学系（３）と、を備える構成とする。 （もっと読む）