【課題】基板パターンの何れか一辺が搬送方向と平行となっている基板の回折光観察において、合焦不良欠陥などの観察方向によって欠陥検出感度が不安定である欠陥に対して、欠陥検出感度を向上させるための基板検査装置および基板検査プログラムを提供すること。
【解決手段】繰返しパターンが表面に形成された基板を搬送する手段と、搬送された基板に対して線状の照明光を照射する手段と、照明された基板の線状領域の画像を撮像する手段と、照射される照明光の照射方向を、搬送される基板の搬送方向と一致する第１の方向と、搬送方向に対して所定の角度を有する第２の方向とで切替える手段と、繰り返しパターンの縦横サイズが縦方向と横方向とで異なる長さである場合、照射方向を第２の方向に切替え、縦横サイズの短い方から発生する回折光が取り込めるように、照射する照明光の照明角度と撮像するための撮像角度とを調整する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の発生を大幅に抑制することができる光学系、パターン検査装置、パターンの検査方法、パターンを有する物品の製造方法を提供する。
【解決手段】入射する光を複数のビームに分割するインテグレータユニットと、前記インテグレータユニットを光軸の回りに回動させる第１の駆動手段と、前記インテグレータユニットの出射側に設けられ、互いに光路長が異なる複数の凹部を有する回転位相板と、前記回転位相板を回転させる第２の駆動手段と、を備えたことを特徴とする光学系が提供される。 （もっと読む）

【課題】
被検査物の検査により得られたパターン信号の飽和による欠陥の見逃しを防ぎ、早期に欠陥発生の原因究明ができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
パターンが形成された被検査物にレーザ光を照射し、該被検査物からの信号を検出して欠陥を検出する欠陥検査において、被検査物に関するレイアウトデータに含まれるパターン情報を入力し、該入力されたパターン情報から被検査物の複数の被検査領域毎に、配置，繰り返し性，粗密のうちの少なくともいずれかひとつを判定し、該判定結果に基づいて検出した信号の飽和レベルを予測し、該信号が飽和しないような透過率条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】
従来、印刷物を検査するということは、被印刷物の媒体(紙・フィルム等)が温度・湿度の影響や、印刷時の転写圧力(印圧)によって図柄の寸法が変動する要素があり、更に搬送中の印刷物を撮像するには、一枚毎の枚葉紙では静電気や空気抵抗、重力によるバタツキが発生し、クリアな画像を得るためにバタツキを抑制するためのエアー吹き付けや、ブラシの設置を行う必要があった。
【解決手段】
本発明では、印刷機上にて瞬時に印刷物の全数の欠点を検出し、更に撮像画像の安定化として、印刷直前の版面の状態を検査することによって、印刷図柄が被印刷物に転写される前に欠点を検出することが出来、安定した画像を撮像することを提供する。 （もっと読む）

【課題】基板画像に基板の特徴が詳細な外観として表れていなくても顕微鏡などを必要とせずに基板画像上に検査領域を設定する。
【解決手段】画像処理部２２は、撮像部５１から出力される２次元画像情報ｋｋに基づく検査用画像情報ｐｐと、検査領域を定義する設計情報を含み製造工程／品種情報取得部１２から出力される検査用製造工程／品種情報ｍｍとに基づいて、基板画像上に検査領域を設定する。その過程で画像処理部２２は、設計情報に基づいて基板を表す設計画像を生成し、検査用画像情報ｐｐにより表される基板画像との照合を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができるデバイス外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となるデバイス１００のガラス面／センサー面を暗照明及び明照明で照明して所定の倍率で撮像した基準画像を作成し、基準画像と検査対象となるデバイス１００を同一の条件で撮像した検査画像から差分画像を作成し、差分画像の予め設定されたマスク範囲にある異物の位置及び面積を含む異物一覧情報を保存し、予め設定された閾値等により異物の判定を行う。保存された異物一覧情報に基づいて、所定の第一の撮像条件で撮像し、異物の面積が予め設定された閾値等に合えば、異物の位置で第一の撮像条件とは異なる第二の撮像条件で撮像し、新たに作成した差分画像を検査して異物に関する情報を更新する。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転異常原因を特定できる円筒体回転装置を提供する。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗにおける一端側の周面に駆動ローラ１ａを接触させるとともに、他端側の周面に従動ローラ１ｂを接触させた状態で、駆動手段により駆動ローラ１ａを回転させて、その回転力によって、円筒体Ｗおよび従動ローラ１ｂを従動回転させるようにした円筒体回転装置を対象とする。本装置は、駆動ローラ１ａの回転状況を検出する駆動側回転状況検出手段と、従動ローラ１ｂの回転状況を検出する従動側回転状況検出手段と、上記両回転状況検出手段を介して取得される駆動ローラ１ａおよび従動ローラ１ｂの同じ時間帯の回転状況の差異に基づいて、円筒体Ｗにおける回転異常の原因を特定する回転異常原因特定手段と、を備える。 （もっと読む）

撮像組立品で、前記撮像組立品中の異なるそれぞれの場所に搭載され、試料のそれぞれの画像を記録するように構成された複数のカメラを含むものを備える、検査用の装置。移動組立品は、位置に関する所定の許容誤差で制限される精度で前記撮像組立品に前記試料を走査させるために、前記撮像組立品と前記サンプルの少なくとも一つを動かすように構成されている。画像処理装置は、前記位置に関する許容誤差よりも細かい位置精度で前記試料中の欠陥の位置を特定するために、前記カメラによって記録された画像を受信し、処理するために、結合されている。 （もっと読む）

【課題】高解像度で微細構造物の欠陥を検査できるようにする。
【解決手段】この欠陥検査装置は、光ビームを互いに特性の異なるＰ偏光ビームＰ１とＳ偏光ビームＳ１とに分岐すると共に、これら偏光ビームを互いに走査幅分の間隔で離隔する態様で、検査対象面９ａに照射させる第１及び第２の偏光ビームスプリッタ３、６と、検査対象面９ａ上を各偏光ビームＰ１、Ｓ１で走査する偏向走査手段２と、偏向走査手段２とＸＹステージとの駆動を制御して、検査対象面９ａ上を偏向走査手段２に各偏光ビームＰ１、Ｓ１で順次走査させ、全体として２重走査させる走査制御回路１０と、検査対象面９ａから反射する２種の反射光Ｐ２、Ｓ２を受光して電気信号に変換し、検出信号を生成する光電変換器１２、１３とを備え、光電変換器１２、１３から出力される検出信号を用いて、検査対象面を写すＰ偏光反射画像とＳ偏光反射画像とを取得して、微細構造物の欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転異常を正確に検出できる円筒体回転装置を提供する。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗにおける一端側の周面に駆動ローラ１ａを接触させるとともに、他端側の周面に従動ローラ１ｂを接触させた状態で、駆動手段により駆動ローラ１ａを回転させて、その回転力によって、円筒体Ｗおよび従動ローラ１ｂを従動回転させるようにした円筒体回転装置を対象とする。本装置は、駆動ローラ１ａの回転状況を検出する駆動側回転状況検出手段と、従動ローラ１ｂの回転状況を検出する従動側回転状況検出手段と、上記両回転状況検出手段によって得られる駆動ローラおよび従動ローラの同時期の回転状況の差異に基づいて、円筒体Ｗにおける回転動作の正否を判定する回転正否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハロゲンランプの経時劣化や交換による分光特性の変化分を補完し、検査光の色温度を一定に維持することができるローコストな検査光照射装置を提供する。
【解決手段】検査光照射装置は、ハロゲンランプ１１と、ＬＥＤ１２ａ〜１２ｃと、これらの光を混合して均一な白色光である検査光を生成する光混合装置１４と、検査光を集光して固体撮像素子１５に結像させる集光レンズ１６とからなる。光混合装置１４から射出された検査光を固体撮像素子１５に導く光路２８には、検査光の一部を受光する受光素子３０が設けられ、その出力信号が制御装置３１に送られる。制御装置３１は、ＬＥＤ用電源１９を制御してＬＥＤ１２ａ〜１２ｃの駆動電圧や点灯数を適切に変更するから、ハロゲンランプ１１の経時劣化や交換による分光特性の変化があっても、常に検査光の色温度を理想的な目標値に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】感度の高い表面検査が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、所定の繰り返しパターンを有するウェハ１０の表面に第１の直線偏光Ｌ１を照射する照明系３０と、ウェハ１０の表面で生じた楕円偏光Ｌ２から第１の直線偏光Ｌ１と振動方向が異なる第２の直線偏光成分Ｌ３を抽出する検光子４２と、第２の直線偏光成分Ｌ３を検出する撮像カメラ４４と、撮像カメラ４４で検出された第２の直線偏光成分Ｌ３に基づいて、繰り返しパターンの形状変化を表示するモニタ５５と、楕円偏光Ｌ２の進行方向と垂直な面内における楕円短軸の向きと当該垂直な面内における第２の直線偏光成分Ｌ３の振動方向とが略一致するように検光子４２を設定可能な回転駆動装置４３とを備え、繰り返しパターンに応じて検光子４２を設定するようになっている。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルなどの表示装置の欠陥評価を精度良く行うことができる表示欠陥評価装置を提供すること。
【解決手段】表示欠陥評価装置１は、ランプ１１と、ランプ１１の光を予め設定された比率で分離するビームスプリッタ１２と、分離された一方の光を検査用パネル２に入射するミラー１３と、疑似欠陥表示用パネル１５と、分離された他方の光を疑似欠陥表示用パネル１５に入射するミラー１４と、各パネル２，１５から出射された光を合成するプリズム１６と、プリズム１６から出射された光を投影する投影レンズ１７と、制御装置１８を備える。制御装置１８は、各パネル２，１５を制御するパネル制御手段１８１と、検査用パネルの欠陥候補の透過率を検査用パネル２の透過率と疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２の透過率とから求める透過率算出手段１８２と、前記欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段１８３とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥が表面の欠陥なのか裏面の欠陥なのかを区別できる検査装置を提供することにある。
【解決手段】 反射光の偏光依存性の最も大きくなるブリュースター角に近くなるよう設置した光源と、その反射光を撮影する偏光カメラを用いて、表面の欠陥なのか裏面の欠陥なのかを判別する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査機で検査された欠陥画像から水残り欠陥を特定できるようにしたパターン検査機による水残り判定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】カラーフィル基板上の欠陥をパターン検査機で検査する欠陥検査方法において、パターン検査機で欠陥画像を取得し、欠陥画像のＰｉｘｅｌ画像表示から形状判定と、欠陥画像のコントラスト波形かコントラスト判定と、を行って水残りを特定するパターン検査機による水残り特定方法である。 （もっと読む）

【課題】検出対象のホログラムが検出媒体のどの位置にある場合でも、回折反射光を安定して検出することができ、検出精度の向上したホログラム検査装置を提供する。
【解決手段】ホログラム検査装置は、ホログラムが付された検査媒体を支持する支持機構１４と、ホログラムに光を照射する光ファイバ照明装置１６と、ホログラムからの回折光を撮像する撮像部２０と、撮像部で撮像された画像を画像処理する画像処理部と、処理画像からホログラムの欠損、疲弊、真偽判定を行う判定処理部と、を備えている。光ファイバ照明装置は、検査媒体に平行に対向して配置された出射面と、ホログラムの特定の入射角度に対応した角度だけ出射面に対し傾斜して出射側端部が配置された光ファイバと、を有し、ホログラムに光を照射する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ること。
【解決手段】このカード印刷装置１は、媒体を搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上を搬送させながら、媒体表面を検査する装置において、撮像部５ａの走査タイミングを制御すると同時に、撮像部５ａからの照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御部１５を備え、制御部１５は、検査用試料を対象にして、撮像部５ａを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの平均輝度を予め取得した後に、平均輝度が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象の媒体の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。 （もっと読む）

【課題】 積層した複数の透過面のそれぞれにおける異物または欠陥を検査する低コスト、省スペースの検査装置を提供する。
【解決手段】 積層された複数の透過部材を含む被検物における複数の透過面の異物または欠陥に関して検査するために、前記複数の透過面を撮像する撮像装置１１と、前記撮像装置にて撮像した画像を処理して前記異物または欠陥を検出する画像処理部１６とを設ける。前記撮像装置には、積極的に焦点位置を変化させる機構１４、１７か、または１つの光軸に対して複数焦点をもつ光学系をもたせる。前記画像処理部は積層した複数の透過面に付着した異物、大きさ、位置や付着した面を判別する機能を有する。それらの情報を表示する表示部１９および各情報から付着した異物を除去する異物除去装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】二次元画像の画質を適切に検査できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１から出力される画像データは、画質検査装置２に入力される。画質検査装置２は、検査対象となる二次元画像の検査領域に対して、窓関数を用いて検査領域の境界における不連続性の影響を抑制するような補正を行う補正手段２１と、補正手段２１により補正された後の画像について、視覚の感度の周波数特性と、検査対象となる二次元画像の周波数成分とを積算することで欠陥強度を算出する欠陥強度算出手段２２と、欠陥強度算出手段２２により算出された欠陥強度に基づいて上記二次元画像の画質を判定する判定手段２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定試料のパターン検査を高速に実行できるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定試料のパターンに対応した測定データを生成する測定データ生成部と、被測定試料の設計データに基づいてイメージデータを生成し、イメージデータ上の図形の有無を検出するイメージデータ生成部と、イメージデータ上の図形の有無の情報を格納する図形有無情報格納部と、測定データとイメージデータを比較する比較処理部と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）