【課題】周期構造中の欠陥を確実に検出することが可能となる、広い領域上の小さな周期構造を検査するための単純かつ低コストなオプションを提供する。
【解決手段】画素構造（２）を有する光学画像記録装置により、周期構造（１）を検査する検査方法及び検査システムが開示される。前記検査方法及び前記検査システムにおいて、周期構造（１）の記録画像（６）が前記周期構造（１）の欠陥のない基準画像（４）と比較される。簡単な手段で欠陥を確実に検知するため、前記基準画像（４）の少なくとも１つの位置（Ｘ、Ｙ）において、前記光学画像記録装置の前記画素構造（２）に対する前記周期構造（１）の位相角（フェーズＸ、フェーズＹ）が決定される。前記記録画像（６）は、検査領域（７）に分割される。各検査領域（７）毎に、前記画像記録装置の前記画素構造（２）に対する前記周期構造（１）の前記位相角（フェーズＸ、フェーズＹ）が決定される。検査領域（７）と前記基準画像（４）とを比較するため、前記検査領域（７）に対応する位相角（フェーズＸ、フェーズＹ）を有する基準画像領域（８）が選択される。 （もっと読む）

【課題】透明な平板状製品の欠陥を容易に検査する。
【解決手段】検査対象の平板状透明製品１５を挟んで配置される一対の偏光子１，２と、偏光子１，２の一方１を通して検査対象１５を照明する白色照明光源４と、一方の偏光子１と検査対象１５との間に配置される広帯域位相子３と、白色照明光源４から照明光が照射され一対の偏光子の他方の偏光子２から出射する透過光を検出する検出手段８と、他方の偏光子２と検出手段８との間に配置されたフィルタ手段２０と、フィルタ手段２０により波長分散されて検出手段８が検出した透過光データから評価値を算出し、該評価値が増大する方向に偏光子１の光学軸の角度θ１と広帯域位相子３の光学軸の角度θ２とを独立に制御する演算手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の表面上の欠陥分布を分類するために、分類の基準となる欠陥分布パターンの特徴が記述されたテンプレートを調整するテンプレート調整方法であって、人が設定したテンプレートを、実際の欠陥分布により正確に適合するように自動的に調整できるものを提供すること。
【解決手段】或る基板群の欠陥分布を分類するために設定されたテンプレート１００と、基板群の欠陥分布がテンプレート１００に記述された欠陥分布パターンに該当するか否かを分類して得られたデータ群１０１，１０２とを用意する。テンプレート１００における欠陥分布パターンの特徴に変更を加えるとともに、データ群１０１，１０２を用いて変更後のテンプレート１０７の良否を評価する調整処理をコンピュータに実行させる。 （もっと読む）

【課題】 金属フッ化物単結晶からなるレンズ硝材などの透明材料中に存在する欠陥のＸＹＺ座標位置及びその形状を迅速にかつ正確に評価する。
【解決手段】 被検体（透明材料）のＺ軸延長線上であって、その焦点面がＸＹ平面と平行となる位置にカメラを配置し、透過光照明下に該焦点面が存在するＺ座標位置のＸＹ平面を撮影するステップと、カメラと被検体との相対的なＺ座標位置を変化させるステップとの２つのステップを交互に繰り返し、撮像と該像を撮影した時点のカメラと被検体との相対的なＸＹＺ座標位置とから、該被検体中に存在する欠陥の形状及びそのＸＹＺ座標位置を計測する。得られた撮像の形状から欠陥の原因を、撮影した被検体とカメラの相対位置から欠陥の位置を把握できる。位置情報と原因情報が同時に得られるため欠陥を生じた原因が把握しやすく、製造条件の改善が容易となる。また相対的に欠陥の少ない最終製品に加工することも容易である。 （もっと読む）

【課題】 導光ロッドの固体差をなくし、内部欠陥やキズに依存する漏光量を測定することなく、導光ロッドから出力され、光が光ファイバに入射される光量を正確に測定することができることを技術的課題とする。
【解決手段】 光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタとそれを用いた光源装置に関する。
光源４から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を均一化して光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッド７と、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバー２とを有し、同導光ロッドと光ファイバは対向面に間隔を有して配置してある。そして光ファイバーの入射端面からの反射光を光センサ１５が受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してある。 （もっと読む）

【課題】生産効率を改善する。
【解決手段】液晶パネル１０のガラス基板１１には、上端側がソースドライバ１７に接続されたソース配線１４が多数本形成されるとともに、各ソース配線１４と直交するゲート配線１５が多数本形成されている。ガラス基板１１には、各ソース配線１４の下端側とソースドライバ１７とを接続可能な予備配線２１が形成されている。ソース配線１４の断線の有無を検査する点灯検査を行う際には、断線箇所１９が所定の基準領域３１内に位置しているか否かを判定するための判定シート３０を介在させる。断線箇所１９が判定シート３０における基準領域３１内に位置していた場合のみ、断線が生じたソース配線１４の下端側とソース配線１４とを予備配線２１により接続する修理を行う。 （もっと読む）

【課題】安定して正確に表示装置の表示不良を検査することができる表示不良検査装置及びそれを用いた表示不良検査方法を提供する。
【解決手段】表示不良検査装置１０は、検査対象の表示面２１の所定エリアの画像をマトリクス状の多数の画素に分割してそれぞれの画素データを検知するＣＣＤカメラ３０（画素データ検知部）と、ＣＣＤカメラ３０で検知した所定の画素の画素データと、所定の画素から少なくとも一つの画素を隔てて設けられた画素の画素データと、の差分を演算するＣＰＵ５１（差分演算部）と、ＣＰＵ５１で演算された画素データの差分が所定条件を満たすか否かを判定するＣＰＵ５１（差分判定部）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ホログラム箔の表面構造を構成する回折格子やアルミ箔による乱反射の影響を受けることなく、ホログラム箔の貼付形状の品質検査を可能とする。
【解決手段】 貼付媒体を搬送する搬送体（裏検査胴５０）の表面に薄いシート状の発光体５２が貼付され、この発光体５２から発せられた光がホログラム箔及び貼付媒体を透過し、この透過光が撮像手段（ホログラム箔検査用カメラ８０）で取り込まれる。また、発光体５２の電源として太陽電池パネル５４と蓄電器５５とを備え、これらが搬送体（裏検査胴５０）の凹部５３に収めた構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ディスプレイパネルが置かれたカセットの運搬による作業者の安全性及びディスプレイパネルの安全性を確保する。
【解決手段】 ディスプレイパネルが搭載されたカセットが移送されるコンベヤ部と、コンベヤ部の両側に配置され、カセットからディスプレイパネルの提供を受けてディスプレイパネルの検査を実施する検査装備と、検査装備にカセットを供給するためにカセットをコンベヤから離隔して検査装備に提供する供給部材を含むものの、供給部材は、コンベヤに置かれたカセットを支持するテーブルと、カセットがコンベヤから持ち上げられるようにテーブルを昇降させる昇降部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】複数種類の被検査パターンを有する基板の検査を効率的に行うことができるパターン検査装置を提供する。
【解決手段】カメラ１は、検査対象物に形成された被検査パターンを撮像して画像データを生成する。生成された画像データはメモリ２に格納される。セル種判定部３はメモリ２から画像データを読み出し、画像データ中の被検査パターンの種類を判定する。分配部４は被検査パターンの種類毎に画像データをセル種メモリ５ａおよび５ｂに分配する。検査部６ａおよび６ｂは、それぞれセル種メモリ５ａおよび５ｂから画像データを読み出し、隣接画素比較法等によって並列的に検査を行い、欠陥を抽出する。 （もっと読む）

試験対象物の異なる表面箇所に対応する複数の干渉分光信号から導出可能な情報と、試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することであって、複数のモデルは、試験対象物の１つまたは複数の十分に分解できない横方向の特徴に関連する一連の特性によってパラメータ化されている、比較すること、比較に基づいて十分に分解できない表面特徴についての情報を出力することを含む干渉分光解析法を開示する。
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【課題】異なる２つ以上の方向に画像を表示する画像表示パネルの欠陥を高精度、かつ、高速に検出する検査方法、および、検査装置を実現する。
【解決手段】異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する被検査パネル２をパネル保持ステージ１１に保持し、点灯回路１２による検査用表示信号を被検査パネル２に与える。検査用表示信号が与えられた被検査パネル２を移動させながら、ラインセンサカメラ１０ａおよび１０ｂによってそれぞれの画像表示方向から撮像し、画像データを取得する。それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う。 （もっと読む）

【課題】省スペース化及び作業効率の向上を図った検査装置１を提供する。
【解決手段】液晶パネル７の処理工程の途中に組み込まれる検査装置１である。上記処理工程のコンベアライン上に配設されて液晶パネル７を検査するプローバ４と、上記コンベアライン上を上記プローバ４まで案内された液晶パネル７を上記プローバ４内に搬入する搬入機構３と、上記プローバ４で検査終了した液晶パネル７を後工程側の上記コンベアライン上に搬出する搬出機構５とを備えた。上記プローバ４は、筐体４１と、当該筐体４１内に収納されて液晶パネル７が載置されるワークテーブル４２と、当該ワークテーブル４２に載置された液晶パネル７を照射するバックライト４３と、液晶パネル７の試験を行うプローブユニット４５と、筐体４１に外部から認識できるように設けられて液晶パネル７の映像を映し出すスクリーン４６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】光学系の焦点位置の調整を簡単にして、基板の欠陥の検査を容易に行う。
【解決手段】ワークテーブル１３の基板支持体１５により、マスク基板１をその向かい合う二辺だけで支持する。光学ユニット４０ａ，４０ｂをボールねじ２４，２６でＹ方向へ移動することにより、光学ユニット４０ａの検査光によるマスク基板１の走査範囲を変更する。マスク基板１のたわみに応じて、ワークテーブル１３をカム３２及びカムフォロア３３でＺ方向へ移動することにより、マスク基板１に対する光学ユニット４０ａ，４０ｂの焦点位置の調整を行う。ワークテーブル１３をボールねじ２２でＸ方向へ移動することにより、光学ユニット４０ａの検査光によるマスク基板１の走査を行い、マスク基板１のたわみ量の差が光学ユニット４０ａ，４０ｂの焦点位置の許容誤差の範囲内となる検査幅で、マスク基板１の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】
導光ロッドの個体差を無くし、内部欠陥やキズに依存する漏光量を測定することなく、導光ロッドから出力される検出光の光量を増加させて検出精度を向上させると共に、導光ロッドからは均一の光量分布の光を出射できるようにする。
【解決手段】
光源（２）から被照射物に至る光路中に、光入射端面（７in）となる片端側から入射した光を均一化して光出射端面（７out）となる他端側から出射する多角柱状のロッドインテグレータから成る導光ロッド（７）が配され、光出射端面（７out）のエッジ部（９）の外周面に該エッジ部（９）で散乱して外部に出射する光をさらに拡散させる光拡散体（１０）が設けられると共に、光拡散体（１０）で拡散された光の光量を照射光量として検出する光センサ（１５）を設けた。 （もっと読む）

【課題】ＣＲＴやＰＤＰなどのディスプレイデバイスの表示領域全体における輝度値を高精度、高速に測定し、画質検査を効率よく行う。
【解決手段】ディスプレイデバイスに所定の画像を表示させた後、撮像手段を用いて前記ディスプレイデバイスを撮像することにより前記撮像手段の各画素において画像データを得るステップと、輝度計を用いて前記ディスプレイデバイスの所定領域の輝度を測定して輝度測定値を得るステップと、前記画像データを用いて得られる前記所定領域での輝度値と前記輝度測定値とに差があるとき、その差を無くすように前記撮像手段の各画素の前記画像データを補正して補正画像データを得るステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】透明基板上に少なくとも複数の着色フィルタが形成されたカラーフィルタ基板の外観検査を行う検査方法において、着色フィルタの表面を一定の平滑面にした状態で外観検査を行うカラーフィルタの検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ブラックマトリクス２１ｂが形成された透明基板１１上に赤色フィルタ３１Ｒを形成し、赤色フィルタ３１Ｒ表面を加熱処理、物理研磨、化学研磨等の方法で平滑化処理を行って、自動外観検査機を用いて、赤色フィルタ３１Ｒの反射、透過照明による比較検査を行い、赤色フィルタ３１Ｒ上の異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と、反射系白欠陥と、透過系の白欠陥を検査する。以下、着色フィルタ形成、平滑化処理、自動外観検査を繰り返すことにより、カラーフィルタの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】偏光板が無い状態の液晶パネルを撮像装置を用いて検査する装置において，液晶パネルの両側の表面に付着したゴミの映像と，液晶パネルの内部の欠陥とを区別できるようにする。
【解決手段】バックライトスイッチ３６をオンにして，傾斜照明スイッチ４０はオフにする。シャッター３２を開いて，バックライト装置３０の光を，拡散板２４と第１偏光板２２を通して，液晶パネル１２のウラ面に照射し，ＣＣＤカメラ４４で液晶パネル１２を撮影する。このとき，液晶パネル１２の内部のゴミと両側の表面のゴミ（外部ゴミ）が映る。次に，シャッター３２を閉じて，傾斜照明スイッチ４０をオンにして，同様に撮影する。このとき，内部ゴミは映らずに外部ゴミだけが映る。二つの映像を比較することにより，内部ゴミと外部ゴミを区別できる。 （もっと読む）

本発明によって得られるのは、基板（１９０）の表面を検査するための測定装置であり、この測定装置は、表面を検出するセンサ（１１１）と、センサ（１１１）に並んで配置される空気圧式エレメント（１２）とを備えた測定ヘッド（１１０）を有しており、上記の空気圧式エレメントにはインレット開口部（１１５）と、下側を向いた少なくとも１つのアウトレット開口部（１１４）とが含まれている。本発明の測定装置にはさらに、基板（１９０）の上のｘｙ平面内で測定ヘッド（１１０，２１０）を精確に位置決めする表面位置決めシステムと、インレット開口部（２１５）に空気圧的に結合されている圧縮空気発生装置（２５０）とが含まれているため、空気圧式エレメント（１１２，２１２）に圧縮空気を加えた際には基板（１９０）を基準にしてあらかじめ定めた高さだけ測定ヘッド（１１０，２１０）を位置決めすることができ、またこの測定ヘッドが空気クッションに載って滑走する。さらに本発明により、上記の複数の測定装置を有する測定システムが得られ、ここでは上記の測定装置は、各センサが測定ラインを構成するように互い配置される。
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【課題】被検査物の隅部であっても欠陥を検出でき、かつ、欠陥を容易に検出することができる欠陥検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、同一繰り返しパターンを有する被検査物を撮像して画像を取得する画像取得工程と、取得した画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程とを有する。欠陥強調処理工程ＳＴ３は、撮像画像において検査対象点を順次選定する検査対象点選定工程ＳＴ３１と、選定された検査対象点の輝度値と、その周囲に複数配置された比較対象点の輝度値との差をそれぞれ求め、各輝度差データのうち、その値が最小となるものを選択して前記検査対象点の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ３２とを有する。 （もっと読む）