エッジ欠陥及びディスカラー検査装置。薄膜トランジスタ液晶表示装置用のガラス基板を運ぶローディングユニットと、ローディングユニットにより供給されるガラス基板のエッジ及びディスカラーを検査する検査ユニットと、ローディングユニット及び検査ユニットを制御する制御ユニットとを具備し、このような構成のエッジ欠陥及びディスカラー検査装置により、ガラス基板のエッジ欠陥及びディスカラーの有無の検査を薄膜トランジスタ液晶表示装置の製造工程中において自動で行うことができるので経済的であり、かつ連続の蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いた工程間に本発明のエッジ欠陥及びディスカラーの検査装置を配して、リアルタイムにガラス基板の適合性を確認することができるので経済的かつ迅速な工程を図ることができる。
（もっと読む）

【課題】半導体プロセスにおいて、色の違いによって検査対象物を判別する検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】カラー画像を撮像可能な撮像手段によって検査対象物のカラー画像を撮像し、ＲＧＢ色空間の色情報を取得する。ＲＧＢ色空間の色成分または他の色空間の色成分のグレースケール画像を作成し、パターン認識の手法によって検査対象物を検出する。あるいは作成したグレースケール画像から二値画像を作成し、二値画像に対してパターン認識を行い検査対象物を検出する。検出した検査対象物が占める画素の色データと、予め用意しておいた良品の検査対象物の色データとを比較し、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する。また、ネットワークを通じて他の製造工程にこの判定結果を反映させ、製品の品質を高いものにする。 （もっと読む）

【課題】 複数の検査装置で統一した判断でシミ欠陥を検出するための閾値を簡便に設定するシミ欠陥検出用閾値設定方法を提供する。
【解決手段】 モデル欠陥作成工程ＳＴ１００においてシミ欠陥を検出する基準となるモデル欠陥の画像を作成する。モデル欠陥再現情報記憶工程ＳＴ２００においてモデル欠陥作成工程ＳＴ１００にて作成されたモデル欠陥の画像を再現するためのモデル欠陥再現情報を記憶する。モデル欠陥表示工程において、モデル欠陥再現情報に基づいて検査装置の駆動手段にてモデル欠陥を再現させて表示させる。撮像工程において、再現されたモデル欠陥を検査装置の撮像手段によって撮像した撮像データを取得する。画像処理工程では、撮像データを画像処理手段で画像処理してシミ欠陥を検出するパラメータを算出する。閾値設定工程では、画像処理工程にて算出されたパラメータをシミ欠陥検出用閾値として設定する。 （もっと読む）

【課題】 光源や光学素子などの不具合成分に起因する擬似欠陥と基板自体の真の欠陥とを識別可能な外観検査装置及びこれを用いた外観検査方法を提供する。
【解決手段】 基板６表面６ａに照射した照明光の反射光を観察することにより基板６の検査を行う外観検査装置１の、光源２及び光源２から出射された光の方向を偏向する反射ミラー３、４や偏向された光を収束するフレネルレンズ５などの光学素子のうち、少なくとも１つを、周期的もしくはランダムに揺動又は湾曲させて光軸方向又は焦点位置を変位させることで、照明光学系の不具合成分に起因して基板６上に出現する擬似欠陥を揺れ動かし、擬似欠陥と基板６自体に生じた真の欠陥とを識別する。 （もっと読む）

【課題】 検査用画像の色に基づいて液晶ライトバルブの検査を高精度に行うことができる検査方法を提供すること。
【解決手段】 位置Ｐｇに検査対象の液晶ライトバルブ１４Ｇを配置し、位置Ｐｒおよび位置Ｐｂに参照用の液晶ライトバルブ１４Ｒおよび１４Ｂをそれぞれ配置する。検査対象の液晶ライトバルブ１４Ｇに欠陥がなければ、スクリーン２には全面が白色の検査用画像が表示されるが、検査対象の液晶ライトバルブ１４Ｇに欠陥があれば、スクリーン２には色付きの検査用画像が表示される。したがって、検査用画像の色に基づいて液晶ライトバルブ１４Ｇの検査を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする。
【解決手段】光照射手段（光ファイバ２８）とフレネルレンズ３０と撮像手段（エリアセンサーカメラ２４）とを有する光学系３１を用いて、基板２１上に形成された塗布膜２２の表面形状の検査を行うものであり、光照射手段から放射されてフレネルレンズ３０を通過させた光を塗布膜２２に照射し、そのときの反射光を撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から光学系３１の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ等の製造工程において、自動検査機で不良と判定された製品についての目視検査の作業時間を短縮するとともに、不良区分情報の入力作業を効率良く行うことができる不良分類システムを提供する。
【解決手段】目視検査で不良と判断された基板の不良箇所を撮影した画像データを、記憶媒体に作業単位に保存しておき、目視検査工程とは別工程で、記憶媒体に保存された画像を順にモニター画面に表示することにより不良区分の入力作業だけを行うことを特徴とする不良分類システム。 （もっと読む）

【課題】端面部分が研磨され円弧状の端面あるいはシーミング面を有するガラス板の端面部分の欠陥を検出する。
【解決手段】ガラス板の端面より外側かつ表裏両面の斜め２方向からガラス板の端面部分を撮像する少なくとも２台のＣＣＤカメラからなる撮像手段と、中心軸方向に照明光を照射可能でスリット状の切欠部を有する略Ｃ字形状のリング照明を少なくとも有した照明手段と、前記ＣＣＤカメラで撮像した撮像信号を処理し該端面部の良否を判定する画像処理手段とからなり、前記端面部がリング照明の中心軸と一致するように前記開口スリット部内にガラス板の端面を遊挿させて端面に照射光を照射させ、該端面を前記撮像手段によって撮像して得られた画像信号を前記画像処理手段によって処理することにより端面の欠陥の有無を検出するようにする。 （もっと読む）

【課題】短い時間で波長選択を行うことができ、検査の時間を短縮できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】互いに異なる波長の光を射出する複数の発光ダイオード１，２，３と、複数の発光ダイオード１，２，３からの光を合成して、被検物体４に照射する合成光学系８と、被検物体４からの光を集光して被検物体像を撮像する受光光学系１３と、それぞれの発光ダイオード１，２，３に対して、点灯／消灯の制御を行うことにより、合成光学系８から照射される光の波長を切り替える制御手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 透光性を有する複数の層が積層されて構成される光学部品の欠陥を、光学部品のサイズに拘束されることなく検出することができる光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 光源３６から検出用光３８を出射して、プリズム３２によって、光学部品３５の各層の屈折率に基づいて、光源３６から光学部品３５の一表面部３５ａに検出用光３８を入射させて、検出用光３８の導波経路を確定することによって、光学部品３５を構成する各層のうちの少なくとも１つの層で、多重結合を誘導するように、検出用光３８を入射させることができ、検出用光３８の一部を欠陥検出すべき層に導いて欠陥４５を検出する。 （もっと読む）

【課題】短時間で高精度にＰＤＰの隔壁の形状不良を検出し良否判定ができる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】プラズマディスプレイパネル用基板２１に形成された隔壁１０の形状を検査する検査方法において、平行に配列された複数の隔壁１０のうち１つの隔壁１０に照明光が照射されるように、プラズマディスプレイパネル用基板２１の隔壁形成面側から照明光を照射し、そのときの隔壁１０からの反射光を撮像し、撮像により得られた画像データについて画像処理を行うことにより隔壁１０の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】周期性パターンに発生するスジ状ムラを安定的、高精度に撮像、検出可能なムラ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を水平に保持し、基板を二次元平面視野内でＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させる移動機構を備えたＸＹステージ21と、基板の周期性パターンに対して斜め透過照明を個別に行う４つの光源11A-11Dと、ＸＹステージを挟んで光源の反対側に配置され、斜め透過照明された周期性パターンにおける回折光を撮像する撮像手段31と、基板に対して光源の各々を二次元平面視野内で個別に移動させる移動手段13と、光源が移動されたときに、周期性パターンに対して光源から斜め透過光があたるように移動手段と連動して光源の向きを変えさせる姿勢変更手段12と、周期性パターンに対して光源による斜め透過照明の入射角度が変わるように、移動手段および姿勢変更手段の動作をそれぞれ設定する光学条件４軸設定手段40a-40cとを備える。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、しかも環境性能にも優れた液晶基板目視検査装置を提供する。
【解決手段】液晶基板５の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置である。照明用光源にＬＥＤを使用したロッド形状の発光灯１９を用いる。これによって、ＯＮ・ＯＦＦの頻繁なスイッチング操作によっても照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。照明用光源の色を色混合によって変化させる。反射用照明１と透過用照明２とを備え、ロッド形状の発光灯１９を反射用照明１と透過用照明２とに用いる。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズの鏡筒に設けた純水供給流路及び純水回収流路の内壁に熱を加えたり又は薬液を流したりすること無く、直接紫外線を照射してＵＶ殺菌を行うこと。
【解決手段】 明視野観察時には、ハーフミラー７は、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置にあり、照明光源２の紫外光の略半分はウエハＷに落射させる。殺菌時には、反射ミラー３０を、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置に移動させる。照明光源２の紫外光は、反射ミラー３０の丸穴３０ａのため、中央部の紫外光は、液浸対物レンズ８の方向に行かない。一方、その周辺部のミラー面３０ｂで反射された紫外光は、純水供給・回収流路２１，２２の中心軸（Ｌ２）に沿って進み、カバーガラス２５を介して、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、この内部の純水ＰＷを殺菌する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルにおいて、バックライトや投影ランプの輝度バラツキ等の外的影響を排除し、点欠陥、線欠陥を確実に検出可能とする。
【解決手段】液晶表示パネル駆動装置２により液晶表示パネル１に検査用の液晶表示を行う。液晶表示パネル１の下方からは、バックライト６により光を照射し、液晶表示パネル１の検査用の液晶表示をＣＣＤカメラ５で撮像する。画像処理装置３は、撮像された液晶表示画像の縦横の各検査ライン毎に輝度波形を求め、各輝度波形から各一次導関数波形を求め、各一次導関数波形に対し閾値によりピークとその位置を検出し、ピークの位置に基づいてピークが検査ラインの直交方向に連続する数をカウントし、このカウント値が線欠陥閾値を超えている線欠陥を検出する。ここで、線欠陥が検出されない場合には、カウント値が線欠陥閾値より低い点欠陥閾値を超えている点欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】時間の掛かる調整を行うことなく、基板を平坦に支持しながら、基板の全面を検査する。
【解決手段】基板１を搭載するステージは、ステージベース１１及びブロック１２を含んで構成されている。ステージベース１１の上面には、細長い長方形のブロック１２が、所定の間隔で複数取り付けられている。ブロック１２は、ステージベース１１に取り付けられた後、機械加工によって上面が均一な高さに削られている。各ブロック１２には、吸着孔１３が所定の間隔で複数設けられている。吸着孔１３から空気を吸引することにより、ブロック１２によって支持された基板１が真空吸着されてステージに固定される。基板１のブロック１２で支持されていない部分には、光学系から検査光２が照射される。ステージに搭載された基板１の位置を検査光２の走査方向と直交する方向へ移動して、基板１のブロック１２で支持される箇所を変更する。 （もっと読む）

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に対する修復システムは、自動画像キャプチャおよび処理、自動欠陥分類、自動修復分類、ならびに修復マクロ（指示）生成ソフトウェアのような多数の動作を実施する。欠陥分類、修復分類、および修復マクロ生成は、オープンアーキテクチャに基づいており、多段分類器の利用を通していずれの利用ケースにおいても解決でき、それ故に、パネル設計の広い多様性が、単一修復ツール内で修復されてもよい。例えば、欠陥分類器、修復分類器である分類器の多段組は、カスタマイズのための能力とともに効率的な意思決定修復処理を可能とする。多段分類器は、欠陥および関連するツールのサポートデータベースに関連して、統計学習（オンラインおよびバッチ処理の両方）および能動的学習を援助することに任意に拡大される。分類器および手法ルールは、欠陥判断または修復ニーズと同時にオペレータによって学習される訓練を組み込むことで、時間が経つごとに自動的または半自動的に改良されてもよい。 （もっと読む）

【課題】
被検査体を高い真直度で移動させることができ、正確な検査を行うことができる検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる検査装置は、一対のガイド軸５２の間にＸ方向に沿って移動可能に設けられたエアスライダ５１であって、ガイド軸５２との間で微小隙間を発生させるエアスライダ５１と、エアスライダ５１をＸ方向に移動させる直線駆動機構４０と、エアスライダ５１とともに移動し、マスクをＹ方向に保持するマスクホルダ７と、マスクホルダ７の上側に設けられ、Ｘ方向に沿って設けられたガラスレール７１と、Ｘ方向と垂直なＺ方向から、ガラスレール７１を挟むように設けられた一対のエアパッド７２と、一対のエアパッド７２に対応して設けられ、マスクホルダ７の上部を挟むように配置された一対のホルダ挟持具７３とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置を実現する。
【解決手段】 画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 表示用パネルの電極に付着している塵埃によるプローブ及びプローブユニットの損傷を防止することにある。
【解決手段】 検査装置は、矩形の表示用パネルであってこれと平行の面内で一方向に間隔をおいて形成された複数の電極を有する表示用パネルの検査に用いられる。検査装置は、表示用パネルが配置される配置領域を形成する配置領域形成装置と、配置領域に配置された表示用パネルの電極に付着している異物を検出して、異物が存在するとき異物信号を出力する異物検出装置とを含む。 （もっと読む）