【課題】 衛星搭載用の太陽電池では内在する太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部の欠陥検査が求められている。
【解決手段】 太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部欠陥を検出する太陽電池パネル検査装置において、複数の照明素子が２次元配列されたアレイ型照明装置と、上記アレイ型照明装置から照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るＣＣＤカメラにより可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】 観察／検査装置における観察／検査条件の決定作業について、観察／検査条件の条件設定の指針となる情報を容易に得ることできるようにする。
【解決手段】 偏光板回転駆動手段９３を制御駆動して偏光板８９をその光軸を中心軸にして回転させている最中も、画像処理手段としてのコンピュータ１００が、イメージセンサ９１からＡ／Ｄ変換器９２を介して供給されるデジタル化された電気信号出力を逐次画像処理して試料表面の光学像の画像データを随時生成し、記録装置１０６に連続的に記憶管理していくことによって、偏光板回転方向の変化に応じて変化する試料表面の光学像の動画像データの取得を行う。 （もっと読む）

【課題】 検査条件設定を比較的短時間にかつ容易に行うことができ、また、サンプルがない場合にも検査条件設定の検討を可能にし、さらに、検査条件と欠陥信号強度を検査条件設定者に提供して検査条件設定を支援することができる検査システムを提供する。
【解決手段】 検査システムにおいて、検査画像である欠陥画像とその参照画像、欠陥画像及び参照画像の不一致分を欠陥信号強度として数値化して、検査条件に関連付けて蓄積し、設定した範囲の検査条件を全て評価完了するまで検査条件を変更して蓄積作業を繰返しながら評価を繰返す。全て評価完了し、検査対象としたい欠陥が複数ある場合には欠陥種類数分作業を繰返し、蓄積された欠陥信号強度の大きい条件及び検査条件項目分布を検査条件レシピとして自動的にレシピファイルを出力して検査条件設定作業者に提供する。そして、基板上のパターン欠陥や異物の欠陥を検出する外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 照明光の光量を低いレベルで微調整することが可能な微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】 この微細パターン観察装置は、修正対象ガラス基板８上に形成された微細パターンの欠陥を修正する装置であって、所定の光透過率αを有する光フィルタ板２６と、光フィルタ板２６を介して修正対象ガラス基板８に照明光を照射する透過照明用光源２０と、光源２０の光量を調整する調整器２７と、微細パターンの透過照明光観察を行なうための観察光学系１とを備える。したがって、透過照明光の光量を低いレベルで微調整することができ、微細な欠陥や色むらを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 入射面に対して略平行な凹状の傷（またはその一部分）であっても、良好に検査することができる表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 被検物体５の表面（被検面５ａ）に検査用の照明光を照射する照明ユニット１０と、被検面５ａに垂直な軸ＡＸ１を中心として、被検物体と照明ユニットとを相対的に回転させ、照明光の照射条件を変更する変更手段１,３３と、複数の照射条件の各々で、照明光が照射されたときに被検面から出射される散乱光を受光し、被検面の画像を取り込む受光ユニット２０と、受光ユニットによって取り込まれた照射条件の異なる複数の画像を合成して合成画像を生成する合成手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ラビングスジ欠陥を高精度に検出できる表示パネルの検査方法および検査装置の提供。
【解決手段】 表示パネルの検査装置は、スジ欠陥強調手段３００と、前記スジ欠陥強調手段３００において強調された画像に基づいて、スジ欠陥とラビジングスジ欠陥とを分別する欠陥分別手段４００と、前記欠陥分別手段４００においてラビングスジ欠陥と分別された欠陥を評価するラビングスジ欠陥評価手段５００とを備える。欠陥分別手段４００は、スジ欠陥強調手段３００で強調された各スジ欠陥が、ほぼ直線状の欠陥であり、かつ、スジ欠陥の形成方向がそのパネルに対してラビング処理された方向にほぼ一致する場合にはラビングスジ欠陥と判別し、それ以外の場合にはスジ欠陥と判別する。このため、欠陥幅や長さ、間隔などが変動していても、それらの影響を受けることなくラビングスジ欠陥を確実に判別できる。 （もっと読む）

【課題】 撮像用カメラの取り外し及び取り付けの工程を無くすことによるメンテナンスの効率化及び輝度変換テーブルを自動的に生成することによる撮像環境や撮像用カメラの階調変換特性の経時変化への対応が可能な画質検査装置を実現する。
【解決手段】 撮像素子、表示装置及び投影装置の欠陥を検出する画像検査装置において、検査対象物である撮像素子、表示装置、若しくは、投影装置の画像を撮像する撮像用カメラと、画像の輝度値を測定する輝度測定装置と、検査対象の交換時又は一定期間ごとの検査装置のメンテナンス時に輝度測定装置から輝度値を取り込んで輝度変換テーブルを生成し、検査時に検査対象物へ検査パターンを出力し、撮像用カメラからの画像データを取り込み、検査対象物に欠陥があるか否かの判断をする画像演算装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プロキシミティ露光を行う露光機で露光する前にカラーフィルタ形成用の基板上の未露光の着色層の異物を検知する異物検査装置で、未露光の着色層に影響しないように検査を行うことができ、且つ、製造ラインのレイアウトや機器構成にも制約を多く与えない異物検査装置を提供する。
【解決手段】 未露光の着色層を配設した基板を被検査基板として、被検査基板を水平状態で載置する載置台と、被検査基板の側面側に、未露光の着色層の所望の検査領域を、傾けた角度でレーザ光を照射する、１以上のレーザ光照射部と、被検査基板の前記未露光の着色層形成面と直交する方向、上側に配され、前記レーザ光照射部から照射されたレーザ光の、異物における散乱光を撮影し、前記検査領域全体にわたり、散乱光による撮影画像データを取得する、１以上の撮影手段と、前記各撮影手段にて取得された各撮影画像データを画像処理し、前記検査領域全体の、前記未露光の着色層における異物を抽出する画像処理部とを、備えている。 （もっと読む）

【課題】物品表面が劣化しても容易且つ高精度に真正を確認することのできる物品確認装置、物品確認方法及び物品確認プログラムの提供。
【解決手段】光源部２２により照明されたカード表面の所定領域を、カメラ２４により撮像して当該物品表面の再現不能な微細な特徴を含む特徴画像を示す画像情報を取得し、この画像情報を前記物品の特徴情報として外部記憶装置３４に記憶しておき、前記物品が真正であるか否かを判定する際に、ＣＰＵ１２により、当該物品表面の前記所定領域における前記画像情報を確認用情報としてカメラ２４により取得し、取得した前記確認用情報と外部記憶装置３４により記憶されている前記特徴情報とのパターンマッチングにより前記特徴画像が同一か否かを判定し、同一であると判定した場合に外部記憶装置３４により記憶されている前記特徴情報を前記確認用情報に更新する。 （もっと読む）

【課題】 板状体の検査面の傾き角度の大きさにかかわらず正確な外観検査を行うことを可能にする欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 板状体１２の検査面１２ａを撮像する撮像装置１３およびレンズ１４と、検査面１２ａに照明光を照射する投光装置１５とを、投光装置１５から検査面１２ａに入射される照明光の光軸と、検査面１２ａで反射してレンズ１４および撮像装置１３に入射する反射光の光軸とを含む平面が、検査面１２ａの法線方向に対して所定の角度αを成すように位置決め配置する。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜などの透明膜が存在する被検査対象に対して、回路パターンに起因するノイズを低減させることで、実害になる異物又は欠陥を高感度に検出可能とする。
【解決手段】 基板試料を載置してＸ-Ｙ-Ｚ-θの各方向へ任意に移動可能なステージ部と、回路パターンを斜方から照射する照明系と、照明された検査領域を上方および斜方から検出器上に結像する結像光学系とを有し、該照明系の照射により前記回路パターン上に発生する散乱光および回折光を集光する。更に、回路パターンの直線部分からの回折光を遮光するためにフーリエ変換面上に設けた空間フィルタを有する。更に、上記検出器で受光された上記照射された試料上からの散乱反射光を電気信号に変換し、該変換された電気信号を繰り返すチップ間で比較して不一致により試料上の異物として検査する。 （もっと読む）

【課題】 板状体製品内部に埋没する透明又は半透明の凝固物の欠陥に対して、製品ごとの透明又は半透明の板状体の表面平坦部の粗さ、板状体の透過率の差に関わらず、正確に欠陥を検出する。
【解決手段】 少なくとも投光手段と、撮像手段と、デジタル画像処理手段により、被検査対象物である透明又は半透明の板状体に投光し、透過光により撮像して得られた画像を用いて欠陥を検出する板状体の欠陥検出方法において、前記板状体の撮像画像を複数の枠に分割し、枠ごとの各画素の受光量の正規分布による標準偏差を算出し、隣接する枠との標準偏差の差分値を算出し、差分値と基準値を比較し、基準値を超える枠の位置情報により、前記板状体内の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】静的画面欠点と区別して、時間的変化を伴うちらつき不灯などの動的画面欠点を、高精度かつ高速に検査できるプラズマディスプレイの点灯画面検査方法を提供する。
【解決手段】プラズマディスプレイパネルを点灯表示させ、プラズマディスプレイパネルの点灯表示画面を撮像手段により撮像し、この撮像により取り込んだ画像の画像データを用いて各放電セルの点灯検査を行う点灯画面検査方法において、点灯検査を行うための表示パターンをプラズマディスプレイパネルに表示するステップと、表示パターンを表示したプラズマディスプレイパネルの点灯表示画面を所定の期間単位で撮像し、この撮像により複数の画像を検査画像データとして取り込むステップと、取り込んだ検査画像データを利用して画像の各画素における時間的な濃度変化を算出するステップと、濃度変化の算出結果に基づいて点灯画面を評価するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】表示パネルにおける非発光不良と破壊不良とを、自動的かつ同時に検査できるようにする。
【解決手段】Ｘ軸（水平）方向，Ｙ軸（垂直）方向およびＹ軸周りの回転が可能な冶具２４の上に表示パネル１を載置し、正しく位置決めして例えば同軸落射型顕微鏡３，ＣＣＤカメラ４および画像処理システム５を介して欠陥検査をする場合に、表示パネル１上に潜在的にあるブラックマトリックスを用いて回転の補正が簡単にできるようにし、照明の条件を切り替えることで異なる種別の欠陥検査を自動的かつ同時に実施できるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板に反り、うねり又は厚みムラがある場合でも、基板上に形成された凸部の高さを正確に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。
【解決手段】基板の表面の一方向に沿って並設された凸部の高さを検査する表面検査装置において、前記一方向に沿って延在するライン状の光を基板の表面に照射する投光光学系４と、前記一方向の該基板に対する相対移動に伴って基板上及び凸部上反射光を交互に受光するＣＣＤ１２と、ＣＣＤ１２の受光部をＲＯＩ_１とＲＯＩ_２とに割り当て、ＲＯＩ_１で受光した基板上反射光と、ＲＯＩ_２で受光した凸部上反射光の互いのピーク発生位置の距離に基づき凸部の高さを求める制御部１４とを設け、制御部１４は、いずれかの反射光のピーク発生位置の偏倚の方向及び偏倚量を求め、その偏倚を解消するようにＲＯＩ_１及びＲＯＩ_２を割り当て直すように構成する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面の欠陥と内部の欠陥とを、１回の検査工程で効率良く弁別する。
【解決手段】光学系１０の検査光投光系は、検査光を基板１の裏面へ斜めに照射する。ＣＣＤラインセンサー２１を含む第１の受光系は、検査光が基板１の表面又は内部の欠陥により散乱された散乱光を、基板１の表面に焦点を合わせて受光する。ＣＣＤラインセンサー２２を含む第２の受光系は、検査光が基板１の表面又は内部の欠陥により散乱された散乱光を、基板１の内部に焦点を合わせて受光する。信号処理回路６０は、第１の受光系が受光した散乱光と第２の受光系が受光した散乱光との強度の違いから、基板１の表面の欠陥と内部の欠陥とを弁別する。 （もっと読む）

【課題】平均検出率を向上させ、又はＤＯＩ検出率を高める一方でノイズ検出率を抑制することが出来る欠陥検査条件を容易に決定する。
【解決手段】検査装置から出力される欠陥・画像情報と、観察装置から出力されるADR・ADC情報とをデータ処理装置上で突き合わせをし、一覧表示させると共に、そのデータを用いて欠陥特徴量と平均検出率の関係や、レビューカテゴリごとにその欠陥特徴量と検出数を示す。 （もっと読む）

【課題】 撮像素子の飽和処理機能の検査を全領域で行うことができ且つ実際の撮影に近い照明条件で行うことができる照明装置および検査装置を提供する。
【解決手段】 透過率の異なる複数の領域を有する照明パターンと、検査対象の撮像素子１０Ａに対して照明パターンを投影し、撮像素子の１フィールドまたは１フレームの期間内に照明パターンの一部の領域を透過した光によって撮像素子を飽和させる投影手段１１〜１９と、撮像素子のフィールド周期またはフレーム周期に応じて、撮像素子に投影される照明パターンの位置を変更する変更手段１８,２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 より正確に印刷ずれかどうかを判定することが可能な蛍光体の印刷ずれ検査方法を提供する。
【解決手段】 平面表示器のガラス基板に塗布されている蛍光体の蛍光面を撮像したカメラからの入力画像から、蛍光体が塗布されている各領域を抽出して、蛍光体の色の選定を行ない、先に抽出された各領域内の画素を色度に変換し、色度のうち予め設定した領域内の色度を抽出し、抽出した色度から印刷ずれかどうかを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 異物にレーザ光を効率的に照射して変化を大きく捉えることで、信頼性の高い検出結果を得ることが可能な異物検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 微小異物検出装置Ｓはレーザ光を出射可能な投光ユニット３０、受光面４１Ａに撮像素子を行列状に配した受光カメラ４０、並びにコントローラ５０から構成され、受光カメラ４０ら出力される画像データの変化に基づいて異物の検出を行なっている。そして、投光ユニット３０のレーザ出射口３２の中心位置の高さは、ガラス基板Ｗの上面Ｗ１の高さとほぼ同じ高さにあって、異物に対してレーザ光の中心部分、すなわち、もっとも光強度の高い部分が照射される。このような構成であれば、画像データ中の変化もそれだけはっきりと現れるから、検出精度をより一層高めることが可能となる。 （もっと読む）