【課題】ディスク状対象物を検査するシステムを提供する。
【解決手段】ディスク状基板３２を検査するシステムを開示する。システム１００は筐体に囲まれている。少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能であるとともに載置板２２により担持される台２が筐体５０内に設けられている。載置板２２は筐体５０に対して防振されている。同様に排気ユニット４０が載置板２２の下方に設けられているとともにそこから離れて配置されている。排気ユニット４０は空気流入用開口３６を有する。空気流入用開口３６は排気ユニット内で載置板２２の端部と筐体５０の壁との間に設けられている。 （もっと読む）

本発明は、無数のピクセル素子を有する空間光変調器で少なくとも１つの欠陥ピクセルを検出する方法に関する。空間光変調器は検出器に描像される。前記空間光変調器内でピクセルの第１チェス盤パターンの中継された像は、前記検出器によって検出される。前記空間光変調器内で、第１チェス盤パターンに対して反転された第２チェス盤パターンの中継された像は、前記検出器によって検出される。前記第１および第２パターンの中継された像は、前記検出像とその理論的像との差を検出するために分析される。本発明は、無数のピクセル素子を有する空間光変調器で少なくとも１つの欠陥ピクセルを検出する方法に関する。空間光変調器は検出器に描像される。前記空間光変調器内でピクセルの第１チェス盤パターンの中継された像は、前記検出器によって検出される。前記空間光変調器内で、第１チェス盤パターンに対して反転された第２チェス盤パターンの中継された像は、前記検出器によって検出される。前記第１および第２パターンの中継された像は、前記検出像とその理論的像との差を検出するために分析される。
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【課題】 単純化された装置構成によって、短時間での適切な光量の調節を実現する。
【解決手段】 検査装置１の画像処理部１１０は、カメラより得た画像の明るさを調節してモニタ５４に表示する。輝度情報算出手段は、カメラより得た画像をモニタ５４に表示したときの、画像の参照領域における輝度を算出する。調光テーブルは、カメラへの入射光量と、入射光量の制御によって調節される、調光レベルとの関係を示す。調光レベル変更量算出手段は、輝度と調光テーブルとに基づいて、画像に対する調光レベルの変更量を算出する。光量制御情報生成手段は、調光レベルの変更量と現在の調光レベルとを比較して、変更する光量についての光量制御情報を生成する。制御回路２３は、光量制御情報に基づいて、カメラへの入射光量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 薄板構造を持ち相当の重量に達することがある基板を、ステージ上において正確に且つ僅かの力で容易に位置決めすること、及びその位置決め状態でステージ上への保持を可能にする基板位置決め保持方法及び装置を提供する。
【解決手段】 ステージ１上に搬送された基板Ｂは、ステージ１に関連して設けられたステー４に形成されたエア開口５からの噴出エアで浮遊状態となる。その状態で基板Ｂは、その側方から規制駒１０の係合片１３が側方からの僅かな力で当接することによって、所定の位置に位置決めされる。規制駒１０による当接状態でエアの噴出を停止するとともに、係合片１３による基板Ｂのステージ１への押し付け、及びエア開口５からの基板Ｂの吸着によって、基板Ｂはステージ１上に保持される。ステージ１における基板Ｂの位置を検出するセンサの検出基準を緩めても、アラームの発生の多発を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】設置面積が少なくて済み、投射レンズとスクリーン間から反射鏡を省け、しかも点欠陥等を自動検出可能な電気光学装置の検査装置及びその検査方法を提供すること。
【解決手段】電気光学パネル１００に表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、水平に置かれた電気光学パネル１００に検査光を鉛直方向に透過させて投影面１７に投射する検査光学系５を備えたものである。さらに、撮影カメラ６を備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 二光束干渉光学系を備えた装置を利用した表面形状の測定における誤計測を的確に判別することにより、誤計測に起因する種々の問題を無くすことのできる表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の表面形状測定方法は、観察対象となる基板面を、該基板の観察対象部位の法線方向に走査しながら二光束干渉光学系を用いて観察して得られた画像データから、上記観察対象部位における走査方向の明度変調量を算出し（ステップＳ３）、算出して得られた明度変調量から、上記観察対象部位の高さまたは深さを計測する（ステップＳ４）。そして、上記観察対象部位に対して得られる明度変調量のうち予め設定された基準値を越えた明度変調量を走査方向に抽出して得られる明度変調領域から、上記ステップＳ４で計測された該観察対象部位における計測値が誤計測であるか否かを判別する（ステップＳ８）。 （もっと読む）

【課題】 サイズの異なる検査対象物を一台の検査装置で検査する場合でも、前記検査対象物を高精度で短時間に検査でき、かつ装置コストの安価な検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置には複数のＣＣＤカメラ２０〜２１が設置され、検査装置は、一台の前記ＣＣＤカメラが検査を担うワーク１０の領域および一台の前記ＣＣＤカメラがワーク１０をスキャンする回数・幅が、ＣＣＤカメラ２０〜２１で均等になるように演算し、前記ＣＣＤカメラの位置をプリセットする。異なるサイズの検査対象物を検査する場合でも、検査時にはすべての前記ＣＣＤカメラが使用されるために効率よく検査でき、かつ前記ＣＣＤカメラが処理する画像量を均一化することで、前記ＣＣＤカメラが撮像した画像の処理効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 ランプ光源からの出射光の損失を可及的に防止しながら受光部で均一且つ高強度の光分布が得られるような光学検出装置を提供することにある。
さらに、フラットパネルディスプレイ用として有用な光学検出装置を提供することにある。
【解決手段】 ランプ光源とライン状ライトガイドの入射部との間に凹レンズを配設することにより、上記課題を一挙に解決するに至った。 （もっと読む）

【課題】任意の品種のホログラムの欠陥検出に汎用的に利用することができ、かつ欠陥を精度良く安定して検出する。
【解決手段】本発明のホログラム欠陥判別装置は、ライトガイド２を介して光源１から発せられた光を平行光にして、この平行光を、ホログラム５の面に対して任意の入射角度φで照射する平行光学系４と、この平行光がホログラム５の面で反射してなる反射光のうち、投影された進行方向が、平行光の投影された進行方向と同一であって、かつホログラム５の面に対する法線ＯＮを中心として入射角度φと対称になるような反射角度φで反射する反射光成分を抽出するテレセントリックレンズ６及び絞り部７と、抽出された反射光成分を用いてホログラム５の面を撮像するカメラ９とを備える。そして、この撮像結果に画像処理を施し、その結果から、ホログラム５の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状ワークに対する外観検査の高速化、低コスト化、高精度化を図り、さらに生産性を向上することができる円筒状ワークの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 円筒状ワーク１０を回転させながら搬送する搬送手段２と、円筒状ワーク１０が視野に入るように撮像素子４と光学レンズ５が設けられ、撮像素子４により撮影した撮像光を光電変換して出力する光電変換部６と、円筒状ワーク１０を照明する照明手段８と、光電変換手段６の位置を円筒状ワーク１０の回転移動に合わせて制御する外観駆動制御手段と、光電変換部６によって得られる円筒状ワーク１０の画像情報に基づいて円筒状ワーク１０の良否を判定する外観検査用画像処理装置９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ムラ欠陥を高精度に検出できるムラ欠陥検出方法及び装置を提供する。
【課題手段】 ムラ欠陥検出方法は、撮像した画像の各画素に対してムラ成分強調フィルタをかけてムラ成分を強調するムラ成分強調処理工程と、前記ムラ成分強調処理工程で得られた各画素のムラ成分強調値に基づいてムラ欠陥を検出するムラ欠陥検出工程とを有する。ムラ成分強調処理工程は、対象画素から所定距離離れてかつ対象画素の周囲に配置された輝度比較画素を、各輝度比較画素の輝度値の大きさの順に並び替えた際に中央部分に位置する所定数の画素の輝度平均値を求め、この輝度平均値と対象画素の輝度値との差分を計算して対象画素のムラ成分強調値とするムラ成分強調フィルタを用いてムラ成分を強調する。ムラ欠陥検出工程は、前記各画素のムラ成分強調値を所定の閾値と比較してムラ欠陥候補の画素を抽出してムラ欠陥を検出する。 （もっと読む）

本発明の透明基板端面部の検査装置および透明基板端面部の検査方法は、透明基板の端面部における欠陥を、確実に、しかも、高精度で検出する。透明基板である表示パネル基板１０が回転テーブル２１に載置されると、表示パネル基板１０の端面部に対向して配置された端面照明部３９から光が間欠的に照射される。表示パネル基板１０の表面に沿って照射される光は、下部反射鏡４２によって、表示パネル基板１０の端面部に向かって反射される。その端面部およびその近傍部分は、ＣＣＤカメラ３６によって撮像され、得られる画像データの各画素の画像の濃度に基づいて、表示パネル基板１０の端面部における欠陥が検出される。
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【課題】 ビジュアル検査工程を自動化するための表示パネル用検査装置及びその検査方法が開示される。
【解決手段】 ローディング部は、複数のステージのうち、第１位置のステージ上に表示パネルを装着して、表示パネルの固有番号を認識する。第１画像撮像部は、第２位置に移動されたステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第１画像データを獲得する。第２画像撮像部は、第３位置に移動されたステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第２画像データを獲得する。システム制御部は、第１画像データに基づいて、表示パネルの有効不良を検出し、第２画像データに基づいて、表示パネルの外観不良を検出する。アンローディング部は、第４位置に移動されたステージ上の表示パネルをステージから取り出す。これによって、人力節減、原価節減、及び製品の信頼性向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 受光部にて均一の光強度分布が得られるように、ライトガイドからの出射光分布を調整できる光学検出装置を提供すること。
【解決手段】 ライトガイドの出射端並びに受光部が共にライン状にあるような光学検出装置にあっては、該ライトガイドの入射部の光軸に対する光源の光軸の傾き角（α）が１０＞α＞０°、好ましくは、３°〜７°の範囲にあるとき、該受光部で均一な光強度分布が得られることを究明した。 （もっと読む）

【課題】 ムラ成分だけを強調でき、より確実なムラ検出を行うことができるようなムラ欠陥検出方法、自動的にムラ欠陥検出を行うための装置、検査システム等を得る。
【解決手段】 ムラ検出処理手段７Ｃが、検出対象の画像に基づく画像データから、任意の基準となる画素と、基準となる画素を中心に所定の距離を有して点対称の関係にある２つの画素との輝度差をそれぞれ求め、基準となる画素の輝度値と、点対称の関係にある２つの画素の輝度値との相対関係に基づいて、２つの画素との輝度差の何れか一方又は所定値を当該２つの画素における仮の値として決め、基準となる画素と点対称の関係にある２つの画素を順次変更して、２つの画素における輝度差を求めて仮の値を決める工程を繰り返し、それぞれ決めた２つの画素における仮の値に基づいて基準となる画素におけるムラ成分強調結果の値を決定する。 （もっと読む）

【課題】 画像に存在する画素ムラ欠陥を精度よく検出する画素ムラ欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 検査画像取得工程ＳＴ１００で取得した画像から画素ムラを検出して（画素ムラ検出工程ＳＴ３００）、画素ムラ検出工程で検出された結果に基づいた定量的な評価により、画像に画素ムラ欠陥があることの判別を行う（欠陥判別工程ＳＴ４００）。画素ムラ検出工程（ＳＴ３００）は、画像データを所定面積の複数の領域に分割する領域分割工程と、各領域内において周囲に比べて輝度が所定閾値よりも高いまたは輝度が低い異常画素を検出する工程（異常画素検出工程）と、検出された異常画素の数を領域ごとにカウントしていく工程（異常画素カウント工程）と、領域ごとにカウントされた異常画素の数に基づいて画素ムラに繋がる領域を抽出する工程（画素ムラ候補抽出工程）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光源の光量を調整することができ、特に欠陥検出検査において、ノイズとなる影響をあらかじめ排除し、高い欠陥検出能力を有する方法、システム等を提供する。
【解決手段】 検査用光源１Ａから発せられる光の光路上に設けられ、パネル制御装置８からの制御信号に基づいて、それぞれ配置された位置で光を補正する複数の素子を有する光量調整用パネル３に対し、選択した素子における透過率を最小でない任意の透過率とし、その他の素子における透過率を最小にした画面を表示させ、カメラ６が撮像した画像データに基づいて、画像処理手段７Ａが画面中で最も高い輝度値を検出する工程と、その輝度値を基準値又は基準範囲と比較し、決定した輝度値が基準値又は基準範囲内であるかどうかを判断し、判断に基づいて、基準値以下又は基準範囲内になるように選択した素子の透過率を決定し、これを各素子に対して行う。 （もっと読む）

【課題】 フラットパネルディスプレイに対応した正確な座標位置を出力する。
【解決手段】 フラットパネルディスプレイの既知画像をカメラで撮像してカメラ座標での濃度値を取得し（Ｓ１）、カメラ座標をＦＰＤ座標に変換する為の座標対応表を作成する（Ｓ２）。検査画面をカメラで撮像しカメラ座標での濃度値を取得し（Ｓ３）、座標対応表を用いてＦＰＤ座標に変換する。ＦＰＤ座標の各座標位置において、小数点以下の値が同じ値のものを集めて各値毎にサブピクセル座標を形成し、各サブピクセル座標別に、画像の濃度値の平均値を求め（Ｓ４）、その逆数をＦＰＤ座標の座標位置に乗算してＦＰＤ座標の座標位置が示す濃度値を変更する（Ｓ５）。このＦＰＤ座標で欠陥検査を行い、点欠陥として検出されたＦＰＤ座標位置を他の装置やモニタに出力する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】正確で再現性があり従って計測可能で予測性のある結果が得られ、人間の視覚では見つけることができない単独微細粒子を検出できる漏出粒子検出システムを提供する。
【解決手段】面１７上の清浄部分によって反射された平行光の量及びその面１７上にある粒子によって反射された平行光の量を計測することによって、略平滑面１７上の漏出粒子を検出する方法及び装置であり、この方法及び装置においてはＤＶＤ用やＣＤ用のそれと同様の光ピックアップ１０を使用できる。これにより窪み欠陥も検出できる。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルの検査を効率良く行うことができる液晶パネル検査方法を提供すること。
【解決手段】 液晶パネルにおける個々の液晶画素に所定の駆動信号を印加して、互いに明部および暗部が逆転した市松模様の第一および第二市松画像を表示し、ＣＣＤカメラによって撮像する。画像処理によって、第一および第二市松画像の明部撮像データから白画像を、第一および第二市松画像の暗部撮像データから黒画像を構成する。第一および第二市松画像の検査を通じて縮退欠陥（ショート、リークなど）を、白画像の検査を通じて黒点欠陥を、黒画像の検査を通じて輝点欠陥を検出する。従来は、第一および第二市松画像、白画像、黒画像の合計４パターンの画像を表示していたところ、本発明では、第一および第二市松画像の２パターンの画像を表示するだけでよいので、欠陥検査を効率良く行える。 （もっと読む）